專利名稱：用于晶圓加工設(shè)備的晶圓突片告警系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及晶圓加工設(shè)備，特別涉及一種用于晶圓加工設(shè)備的晶圓突片告警系 統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在晶圓的加工的工藝過(guò)程中，常見(jiàn)的晶圓加工設(shè)備，如WJ 1000H (ffatkins Johnson公司的一種晶圓加工設(shè)備產(chǎn)品名稱)，晶圓在該設(shè)備的傳輸路徑是晶圓放置到片 盒內(nèi)，被裝載到裝載平臺(tái)上，然后機(jī)械手去取晶圓，將取到的晶圓送進(jìn)設(shè)備內(nèi)部晶圓傳送帶 上，進(jìn)行加工，加工后的晶圓被傳送帶送達(dá)設(shè)備尾部，被機(jī)械手系統(tǒng)取出，放回片盒。晶圓被 機(jī)械手從片盒取出放到設(shè)備內(nèi)部，到加工工藝完成到達(dá)返回平臺(tái)，機(jī)械手取走放回片盒，在 這過(guò)程中，晶圓在片盒中的前后的位置是由機(jī)械手系統(tǒng)取放的動(dòng)作保證的，如果機(jī)械手傳 送誤差，會(huì)造成晶圓送回片盒時(shí)位置偏移的，也就是晶圓返回時(shí)，有可能偏離先前的位置， 這樣會(huì)導(dǎo)致晶圓在片盒內(nèi)有突出的現(xiàn)象。由于機(jī)械手每次從片盒取放晶圓時(shí)總是從下往上的位置順序進(jìn)行移動(dòng)，所以如果 存在晶圓放回后在片盒突出，該晶圓突出的距離阻礙到下一片晶圓返回時(shí)從下往上的行程 路徑，就會(huì)發(fā)生下一片晶圓在存在晶圓突出位置與該突出晶圓相撞，造成嚴(yán)重后果。如圖1 所示，有多片晶圓20放置在片盒30中，其中晶圓21突出，突出的晶圓21阻礙到機(jī)械手10 上的晶圓22返回時(shí)從下往上的行程路徑，突出的晶圓21會(huì)同返回的晶圓22發(fā)生碰撞。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種用于晶圓加工設(shè)備的晶圓突片告警系統(tǒng)，采 用該系統(tǒng)能避免加工后的晶圓由機(jī)械手放回片盒時(shí)同片盒內(nèi)突出晶圓發(fā)生碰撞。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的用于晶圓加工設(shè)備的晶圓突片告警系統(tǒng)，所述晶 圓加工設(shè)備，包括一個(gè)或多個(gè)裝載平臺(tái)，工藝腔，返回平臺(tái)，機(jī)械手，控制系統(tǒng)，裝載平臺(tái)用 于裝載片盒，片盒用于放置晶圓，其特征在于，所述用于晶圓加工設(shè)備的晶圓突片警系統(tǒng)包 括一晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器、一個(gè)或多個(gè)晶圓突片檢測(cè)器，所述各晶圓突片檢測(cè)器分別安裝于各 裝載平臺(tái)；當(dāng)有晶圓經(jīng)過(guò)時(shí)，所述晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器輸出晶圓經(jīng)過(guò)信號(hào)；當(dāng)所述晶圓經(jīng)過(guò)檢 測(cè)器輸出晶圓經(jīng)過(guò)信號(hào)時(shí)，所述晶圓突片檢測(cè)器進(jìn)行工作，當(dāng)裝載于一裝載平臺(tái)的一片盒 中有突出的晶圓時(shí)，安裝于該裝載平臺(tái)的一晶圓突片檢測(cè)器輸出晶圓突片存在信號(hào)。從工藝腔返回的晶圓依次順序經(jīng)過(guò)返回平臺(tái)，所述晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器可以安裝在所 述返回平臺(tái)上，當(dāng)晶圓經(jīng)過(guò)返回平臺(tái)時(shí)，所述晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器輸出晶圓經(jīng)過(guò)信號(hào)。所述晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器可以安裝在機(jī)械手從所述返回平臺(tái)到各裝載平臺(tái)的移動(dòng)路 徑上，當(dāng)機(jī)械手從返回平臺(tái)抓取一晶圓向一裝載平臺(tái)移動(dòng)時(shí)，所述晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器輸出晶 圓經(jīng)過(guò)信號(hào)?？梢园ㄒ粋€(gè)或多個(gè)片盒存在檢測(cè)器，所述各片盒存在檢測(cè)器分別安裝于各裝載 平臺(tái)，當(dāng)一裝載平臺(tái)上未裝載片盒時(shí)，安裝于該裝載平臺(tái)的一片盒存在檢測(cè)器輸出片盒不存在信號(hào)?？梢园ㄒ粋€(gè)晶圓經(jīng)過(guò)開(kāi)關(guān)、一個(gè)或多個(gè)晶圓突片開(kāi)關(guān)、一個(gè)或多個(gè)晶圓突片報(bào) 警常閉開(kāi)關(guān)、一個(gè)或多個(gè)片盒存在開(kāi)關(guān)；當(dāng)所述晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器輸出晶圓經(jīng)過(guò)信號(hào)時(shí)，所述 晶圓經(jīng)過(guò)開(kāi)關(guān)動(dòng)作，所述晶圓經(jīng)過(guò)開(kāi)關(guān)動(dòng)作后，所述晶圓突片檢測(cè)器進(jìn)行工作；當(dāng)安裝于一 裝載平臺(tái)的一晶圓突片檢測(cè)器輸出晶圓突片存在信號(hào)，該晶圓突片檢測(cè)器輸出的晶圓突片 存在信號(hào)控制一晶圓突片開(kāi)關(guān)動(dòng)作，該晶圓突片開(kāi)關(guān)動(dòng)作后控制一個(gè)晶圓突片報(bào)警常閉開(kāi) 關(guān)斷開(kāi)；當(dāng)安裝于一裝載平臺(tái)的一片盒存在檢測(cè)器輸出片盒不存在信號(hào)時(shí)，該片盒存在檢 測(cè)器輸出的片盒不存在信號(hào)控制一個(gè)片盒存在開(kāi)關(guān)斷開(kāi)；安裝在一裝載平臺(tái)的晶圓突片檢 測(cè)器所控制的晶圓突片開(kāi)關(guān)控制的一晶圓突片報(bào)警常閉開(kāi)關(guān)與安裝在同一裝載平臺(tái)的片 盒存在檢測(cè)器所控制的一片盒存在開(kāi)關(guān)串聯(lián)于一告警信號(hào)輸出回路，同一告警信號(hào)輸出回 路中的晶圓突片報(bào)警常閉開(kāi)關(guān)和/或片盒存在開(kāi)關(guān)斷開(kāi)時(shí)該告警信號(hào)輸出回路輸出告警 信號(hào)。
本發(fā)明的用于晶圓加工設(shè)備的晶圓突片告警系統(tǒng)，包括一晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器、一個(gè) 或多個(gè)晶圓突片檢測(cè)器，在返回平臺(tái)(從工藝腔返回的晶圓依次順序經(jīng)過(guò)返回平臺(tái))或在 晶圓從返回平臺(tái)放回裝載在裝載平臺(tái)上的片盒中的移動(dòng)路徑上安裝該晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器，在 各裝載平臺(tái)分別安裝所述各晶圓突片檢測(cè)器；當(dāng)有晶圓經(jīng)過(guò)時(shí)，所述晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器輸出 晶圓經(jīng)過(guò)信號(hào)，當(dāng)所述晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器輸出晶圓經(jīng)過(guò)信號(hào)時(shí)，所述晶圓突片檢測(cè)器進(jìn)行工 作，當(dāng)裝載于一裝載平臺(tái)的一片盒中有突出的晶圓時(shí)，安裝于該裝載平臺(tái)的一晶圓突片檢 測(cè)器輸出晶圓突片存在信號(hào)。從而晶圓加工設(shè)備的控制系統(tǒng)能利用輸出的晶圓突片存在信 號(hào)進(jìn)行晶圓取放的相應(yīng)操作處理，避免加工后的晶圓由機(jī)械手放回片盒時(shí)同片盒內(nèi)突出的 晶圓發(fā)生碰撞。


圖1是返回的晶圓同片盒內(nèi)突出的晶圓發(fā)生碰撞示意圖；圖2是本發(fā)明的用于晶圓加工設(shè)備的晶圓突片告警系統(tǒng)一實(shí)施方式示意圖；圖3是本發(fā)明的用于晶圓加工設(shè)備的晶圓突片告警系統(tǒng)一實(shí)施方式的方框圖；圖4是本發(fā)明的用于晶圓加工設(shè)備的晶圓突片告警系統(tǒng)的一實(shí)施例電路圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的用于晶圓加工設(shè)備的晶圓突片告警系統(tǒng)一實(shí)施方式如圖2所示，晶圓加 工設(shè)備包括裝載平臺(tái)70，控制系統(tǒng)、機(jī)械手，晶圓傳送帶，工藝腔40，返回平臺(tái)60。圖中箭頭 表示晶圓的傳送線路，晶圓放置到片盒30內(nèi)，被裝載到裝載平臺(tái)70上，然后機(jī)械手去取晶 圓，將取到的晶圓送進(jìn)設(shè)備內(nèi)部工藝腔40中的晶圓傳送帶上，進(jìn)行加工，加工后的晶圓被 傳送帶依次順序送達(dá)設(shè)備尾部的返回平臺(tái)60，被機(jī)械手取出，放回裝載平臺(tái)70上的片盒30 內(nèi)。所述用于晶圓加工設(shè)備的晶圓突片告警系統(tǒng)如圖2、圖3所示，包括一晶圓經(jīng)過(guò)檢 測(cè)器51、一個(gè)晶圓經(jīng)過(guò)開(kāi)關(guān)、多個(gè)晶圓突片檢測(cè)器52、多個(gè)晶圓突片開(kāi)關(guān)、多個(gè)晶圓突片報(bào) 警常閉開(kāi)關(guān)、多個(gè)片盒存在檢測(cè)器53、多個(gè)片盒存在開(kāi)關(guān)。所述晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器51安裝在返回平臺(tái)上，或者安裝在機(jī)械手從返回平臺(tái)60到裝載平臺(tái)70的移動(dòng)路徑上，這樣當(dāng)加工后的晶圓被傳送帶依次順序送達(dá)設(shè)備尾部的返回 平臺(tái)60時(shí)，或機(jī)械手從返回平臺(tái)60取下晶圓向裝載于裝在平臺(tái)70的片盒30的移動(dòng)過(guò)程 中，晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器51會(huì)輸出晶圓經(jīng)過(guò)信號(hào)；所述各晶圓突片檢測(cè)器52分別安裝在各裝載 平臺(tái)70上，安裝在一裝載平臺(tái)70上的晶圓突片檢測(cè)器52用于檢測(cè)裝載于該裝載平臺(tái)70 的片盒30中有無(wú)突出的晶圓，當(dāng)晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器51輸出晶圓經(jīng)過(guò)信號(hào)時(shí)，如果安裝于一裝 載平臺(tái)的一晶圓突片檢測(cè)器52檢測(cè)到裝載于該裝載平臺(tái)的一片盒30中有突出的晶圓，就 輸出晶圓突片存在信號(hào)；當(dāng)晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器51輸出晶圓經(jīng)過(guò)信號(hào)后，控制晶圓經(jīng)過(guò)開(kāi)關(guān)動(dòng) 作，從而控制各晶圓突片檢測(cè)器(晶圓突片檢測(cè)器一，晶圓突片檢測(cè)器二，…)開(kāi)始工作； 當(dāng)裝載于一裝載平臺(tái)的晶圓突片檢測(cè)器52輸出晶圓突片存在信號(hào)，則控制一晶圓突片開(kāi) 關(guān)動(dòng)作，從而控制一晶圓突片報(bào)警常閉開(kāi)關(guān)斷開(kāi)，輸出裝載于該裝載平臺(tái)的片盒存在晶圓 突片告警信號(hào)。晶圓加工設(shè)備的控制系統(tǒng)根據(jù)告警信號(hào)進(jìn)行控制，如控制機(jī)械手停止對(duì)裝 載于該裝載平臺(tái)的片盒取放晶圓，進(jìn)行聲、光報(bào)警提示等，避免加工后的晶圓由機(jī)械手放回 片盒時(shí)同片盒內(nèi)突出晶圓發(fā)生碰撞。所述各片盒存在檢測(cè)器53分別安裝在所述各裝載平臺(tái)70上，當(dāng)一裝載平臺(tái)70沒(méi) 有裝載片盒30時(shí)，安裝在該裝載平臺(tái)上的一片盒存在檢測(cè)器53就輸出該裝載平臺(tái)片盒不 存在信號(hào)，該片盒存在檢測(cè)器輸出的片盒不存在信號(hào)控制一個(gè)片盒存在開(kāi)關(guān)斷開(kāi)，輸出告 警信號(hào)。晶圓加工設(shè)備的控制系統(tǒng)根據(jù)告警信號(hào)進(jìn)行控制。圖4所示為本發(fā)明的晶圓加工設(shè)備的晶圓突片告警系統(tǒng)的一實(shí)施例，包括一晶圓 經(jīng)過(guò)檢測(cè)器100、一個(gè)晶圓經(jīng)過(guò)開(kāi)關(guān)101、兩個(gè)晶圓突片檢測(cè)器110，210、兩個(gè)晶圓突片開(kāi)關(guān) 111，211、兩個(gè)片盒存在檢測(cè)器、兩個(gè)片盒存在開(kāi)關(guān)131，231、兩個(gè)電磁繼電器，晶圓經(jīng)過(guò)開(kāi) 關(guān)101及晶圓突片開(kāi)關(guān)111，211為常開(kāi)開(kāi)關(guān)，兩電磁繼電器的線圈120，220分別與兩晶圓 突片開(kāi)關(guān)111，211串接于一電源回路，兩電磁繼電器的常閉開(kāi)關(guān)121，221分別同兩片盒存 在開(kāi)關(guān)131，231串接于兩告警信號(hào)輸出回路中，晶圓經(jīng)過(guò)開(kāi)關(guān)101的一端接電源，另一端接 兩個(gè)晶圓突片開(kāi)關(guān)111，211的一端及兩個(gè)晶圓突片檢測(cè)器110，210的電源端，當(dāng)晶圓經(jīng)過(guò) 檢測(cè)器100檢測(cè)到有晶圓從返回平臺(tái)或返回平臺(tái)到裝載平臺(tái)的移動(dòng)路徑上經(jīng)過(guò)，晶圓經(jīng)過(guò) 檢測(cè)器100就輸出晶圓經(jīng)過(guò)信號(hào)，輸出的晶圓經(jīng)過(guò)信號(hào)控制常開(kāi)的晶圓經(jīng)過(guò)開(kāi)關(guān)101閉合， 從而為兩個(gè)晶圓突片檢測(cè)器110，210接通電源，兩個(gè)晶圓突片檢測(cè)器110，210進(jìn)行工作， 同時(shí)也為晶圓突片開(kāi)關(guān)、電磁繼電器線圈的串聯(lián)回路供電，當(dāng)一晶圓突片檢測(cè)器檢測(cè)到裝 載于同一裝載平臺(tái)的片盒中有晶圓突片存在，就輸出晶圓突片存在信號(hào)，輸出的晶圓突片 存在信號(hào)控制一常開(kāi)的晶圓突片開(kāi)關(guān)閉合，從而使同該晶圓突片開(kāi)關(guān)串聯(lián)的一電磁繼電器 的線圈通電，從而控制該電磁繼電器的常閉開(kāi)關(guān)斷開(kāi)，使該電磁繼電器的常閉開(kāi)關(guān)所在的 告警信號(hào)輸出回路輸出告警信號(hào)。當(dāng)一裝載平臺(tái)上沒(méi)有放置片盒時(shí)，安裝在該裝載平臺(tái)上 的一片盒存在檢測(cè)器輸出片盒不存在信號(hào)，輸出的片盒不存在信號(hào)控制一片盒存在開(kāi)關(guān)斷 開(kāi)，該片盒存在開(kāi)關(guān)所在的告警信號(hào)輸出回路輸出告警信號(hào)。
權(quán)利要求
一種用于晶圓加工設(shè)備的晶圓突片告警系統(tǒng)，所述晶圓加工設(shè)備，包括一個(gè)或多個(gè)裝載平臺(tái)，工藝腔，返回平臺(tái)，機(jī)械手，控制系統(tǒng)，裝載平臺(tái)用于裝載片盒，片盒用于放置晶圓，其特征在于，所述用于晶圓加工設(shè)備的晶圓突片警系統(tǒng)包括一晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器、一個(gè)或多個(gè)晶圓突片檢測(cè)器，所述各晶圓突片檢測(cè)器分別安裝于各裝載平臺(tái)；當(dāng)有晶圓經(jīng)過(guò)時(shí)，所述晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器輸出晶圓經(jīng)過(guò)信號(hào)；當(dāng)所述晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器輸出晶圓經(jīng)過(guò)信號(hào)時(shí)，所述晶圓突片檢測(cè)器進(jìn)行工作，當(dāng)裝載于一裝載平臺(tái)的一片盒中有突出的晶圓時(shí)，安裝于該裝載平臺(tái)的一晶圓突片檢測(cè)器輸出晶圓突片存在信號(hào)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓加工設(shè)備的晶圓突片告警系統(tǒng)，其特征在于，從工 藝腔返回的晶圓依次順序經(jīng)過(guò)返回平臺(tái)，所述晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器安裝在所述返回平臺(tái)上，當(dāng) 晶圓經(jīng)過(guò)返回平臺(tái)時(shí)，所述晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器輸出晶圓經(jīng)過(guò)信號(hào)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓加工設(shè)備的晶圓突片告警系統(tǒng)，其特征在于，所述 晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器安裝在機(jī)械手從所述返回平臺(tái)到各裝載平臺(tái)的移動(dòng)路徑上，當(dāng)機(jī)械手從返 回平臺(tái)抓取一晶圓向一裝載平臺(tái)移動(dòng)時(shí)，所述晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器輸出晶圓經(jīng)過(guò)信號(hào)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓加工設(shè)備的晶圓突片告警系統(tǒng)，其特征在于，還包 括一個(gè)或多個(gè)片盒存在檢測(cè)器，所述各片盒存在檢測(cè)器分別安裝于各裝載平臺(tái)，當(dāng)一裝載 平臺(tái)上未裝載片盒時(shí)，安裝于該裝載平臺(tái)的一片盒存在檢測(cè)器輸出片盒不存在信號(hào)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓加工設(shè)備的晶圓突片告警系統(tǒng)，其特征在于，還包 括一個(gè)晶圓經(jīng)過(guò)開(kāi)關(guān)、一個(gè)或多個(gè)晶圓突片開(kāi)關(guān)、一個(gè)或多個(gè)晶圓突片報(bào)警常閉開(kāi)關(guān)、一個(gè) 或多個(gè)片盒存在開(kāi)關(guān)；當(dāng)所述晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器輸出晶圓經(jīng)過(guò)信號(hào)時(shí)，所述晶圓經(jīng)過(guò)開(kāi)關(guān)動(dòng) 作，所述晶圓經(jīng)過(guò)開(kāi)關(guān)動(dòng)作后，所述晶圓突片檢測(cè)器進(jìn)行工作；當(dāng)安裝于一裝載平臺(tái)的一晶 圓突片檢測(cè)器輸出晶圓突片存在信號(hào)，該晶圓突片檢測(cè)器輸出的晶圓突片存在信號(hào)控制一 晶圓突片開(kāi)關(guān)動(dòng)作，該晶圓突片開(kāi)關(guān)動(dòng)作后控制一個(gè)晶圓突片報(bào)警常閉開(kāi)關(guān)斷開(kāi)；當(dāng)安裝 于一裝載平臺(tái)的一片盒存在檢測(cè)器輸出片盒不存在信號(hào)時(shí)，該片盒存在檢測(cè)器輸出的片盒 不存在信號(hào)控制一個(gè)片盒存在開(kāi)關(guān)斷開(kāi)；安裝在一裝載平臺(tái)的晶圓突片檢測(cè)器所控制的晶 圓突片開(kāi)關(guān)控制的一晶圓突片報(bào)警常閉開(kāi)關(guān)與安裝在同一裝載平臺(tái)的片盒存在檢測(cè)器所 控制的一片盒存在開(kāi)關(guān)串聯(lián)于一告警信號(hào)輸出回路，同一告警信號(hào)輸出回路中的晶圓突片 報(bào)警常閉開(kāi)關(guān)和/或片盒存在開(kāi)關(guān)斷開(kāi)時(shí)該告警信號(hào)輸出回路輸出告警信號(hào)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓加工設(shè)備，其特征在于，所述一晶圓突片報(bào)警常閉開(kāi)關(guān) 為一電磁繼電器的常閉開(kāi)關(guān)，所述一電磁繼電器的線圈同一晶圓突片開(kāi)關(guān)串接于一電源回 路，所述晶圓突片開(kāi)關(guān)為常開(kāi)開(kāi)關(guān)；當(dāng)安裝于一裝載平臺(tái)的一晶圓突片檢測(cè)器輸出晶圓突 片存在信號(hào)，該晶圓突片檢測(cè)器輸出的晶圓突片存在信號(hào)控制一晶圓突片開(kāi)關(guān)閉合，該晶 圓突片開(kāi)關(guān)所在的電源回路接通，同該晶圓突片開(kāi)關(guān)串接的電磁繼電器線圈通電，使串接 于告警信號(hào)輸出回路中的該電磁繼電器的常閉開(kāi)關(guān)斷開(kāi)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于晶圓加工設(shè)備的晶圓突片告警系統(tǒng)，包括一晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器、一個(gè)或多個(gè)晶圓突片檢測(cè)器，所述各晶圓突片檢測(cè)器分別安裝于各裝載平臺(tái)；當(dāng)有晶圓經(jīng)過(guò)時(shí)，所述晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器輸出晶圓經(jīng)過(guò)信號(hào)；當(dāng)所述晶圓經(jīng)過(guò)檢測(cè)器輸出晶圓經(jīng)過(guò)信號(hào)時(shí)，所述晶圓突片檢測(cè)器進(jìn)行工作，當(dāng)裝載于一裝載平臺(tái)的一片盒中有突出的晶圓時(shí)，安裝于該裝載平臺(tái)的一晶圓突片檢測(cè)器輸出晶圓突片存在信號(hào)。采用該系統(tǒng)能避免加工后的晶圓由機(jī)械手放回片盒時(shí)同片盒內(nèi)突出晶圓發(fā)生碰撞。
文檔編號(hào)H01L21/00GK101872529SQ200910057129
公開(kāi)日2010年10月27日 申請(qǐng)日期2009年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月24日
發(fā)明者何定峰, 徐伯山, 楊安 申請(qǐng)人:上海華虹Nec電子有限公司