專利名稱：：多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體
技術(shù)領(lǐng)域：
中的制絨設(shè)備，具體地說(shuō)，涉及的是一種多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨設(shè)備。
背景技術(shù)：
：制絨是對(duì)硅片表面進(jìn)行各向同性腐蝕，形成微溝，降低硅片表面的反射率，促使太陽(yáng)在硅片表面進(jìn)行多級(jí)反射，提升光的利用率。在太陽(yáng)能晶硅電池的制備工藝中，制絨工藝是關(guān)系到太陽(yáng)能電池表面的光吸收的重要部分，也是提高太陽(yáng)能電池轉(zhuǎn)換效率的重要途徑之一。在太陽(yáng)能電池迅速發(fā)展應(yīng)用的今天，對(duì)于目前占主要市場(chǎng)的晶體硅太陽(yáng)能電池，未經(jīng)表面處理的發(fā)射率一般超過(guò)30%，經(jīng)過(guò)堿液等各向異性化學(xué)腐蝕形成表面微米級(jí)隨機(jī)金字塔結(jié)構(gòu)絨面后單晶硅電池表面發(fā)射率可以降到10%，多晶硅電池由于表面晶粒的晶向差異，目前普遍采用的各向行化學(xué)腐蝕只能將發(fā)射率降低到20%。制絨工藝及其設(shè)備已經(jīng)成為多晶硅電池發(fā)展的一個(gè)原因?，F(xiàn)有技術(shù)中，如，中國(guó)實(shí)用新型專利200720039053.X，"一種單晶硅太陽(yáng)能電池絨面腐蝕槽"，該專利包括槽體、加熱管、支撐平板、硅片承載器，在支撐平板的左右兩端分別開有左缺口和右缺口，支撐平板架設(shè)在槽體內(nèi)，并與槽體底面形成一個(gè)空腔，所述加熱管安裝在槽體內(nèi)壁上，且位于左缺口或右缺口的上方，硅片承載器放置在支撐平板上。但是該專利不能適用于多晶硅太陽(yáng)能電池絨面的制備。又如中國(guó)發(fā)明專利200710025572.5，"一種太陽(yáng)能硅片的切割制絨一體化加工方法及裝置"，該專利中提及的加工裝置是一種利用電火花電解復(fù)合線切割技術(shù)對(duì)硅片進(jìn)行切割即可得到無(wú)需進(jìn)一步制絨處理硅片的裝置。該裝置包括控制系統(tǒng)、脈沖電源、XY工作臺(tái)、電極絲等。但是太陽(yáng)能電池清洗設(shè)備要求高產(chǎn)能，清洗后形成金字塔結(jié)構(gòu)的均勻絨面，該設(shè)備很難保證多晶制絨、去多孔硅工藝溫度，避免工藝中化學(xué)反應(yīng)放熱對(duì)溫度的影響，從而影響最終產(chǎn)品的一致性和穩(wěn)定性。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨設(shè)備，以減少二次污染，改善工作環(huán)境，提高生產(chǎn)效率；其次解決國(guó)外技術(shù)的壟斷，為國(guó)產(chǎn)設(shè)備應(yīng)用提供條件。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨設(shè)備，該設(shè)備包括多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分、多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分和微機(jī)控制系統(tǒng)，所述多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分、多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分均連接到微機(jī)控制系統(tǒng)，微機(jī)控制系統(tǒng)對(duì)晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分、多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分可以進(jìn)行單獨(dú)的控制或者協(xié)調(diào)控制。所述的多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分包括上料機(jī)構(gòu)、第一機(jī)架、第一溢流漂洗槽、制絨槽、第一沖洗槽、去多孔硅槽、機(jī)械臂、中間傳送機(jī)構(gòu)。制絨部分觸摸屏；其中第一清3洗槽、第一沖洗槽、制絨槽、去多孔硅槽直接固定在第一機(jī)架上，機(jī)械臂通過(guò)圓導(dǎo)軌連接在第一機(jī)架上，并能通過(guò)圓導(dǎo)軌左右移動(dòng)實(shí)現(xiàn)提籃的傳送，第一機(jī)架一端與上料機(jī)構(gòu)連接，另一端通過(guò)中間傳送機(jī)構(gòu)與多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分連接，制絨部分觸摸屏直接固定在上料機(jī)構(gòu)的上料臺(tái)處。所述多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分還設(shè)有與去多孔硅槽連接的冷凝系統(tǒng)和補(bǔ)液系統(tǒng)。所述補(bǔ)液系統(tǒng)，包括儲(chǔ)液槽、稱量槽、混液槽、泵、流量計(jì)、氣控閥；儲(chǔ)液槽與分別稱量槽、混液槽連接，稱量槽、混液槽相連，其中儲(chǔ)液槽與稱量槽之間依次設(shè)有隔膜泵、管路系統(tǒng)，儲(chǔ)液槽與混液槽之間設(shè)置氣控閥；稱量槽、混液槽相連，兩者之間設(shè)有流量計(jì)。本發(fā)明使用的多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分，打破了德國(guó)瑞納的鏈?zhǔn)街平q系統(tǒng)，與鏈?zhǔn)街平q相比槽式制絨的優(yōu)勢(shì)在于降低藥液的消耗、碎片率及交叉污染的可能性，大大降低了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，避免了交叉污染的可能性及生產(chǎn)的安全性，維修的方便性，從而提高利潤(rùn)。同時(shí)通過(guò)冷凝系統(tǒng)保證了反應(yīng)溫度的恒定性，通過(guò)補(bǔ)液系統(tǒng)保證了槽內(nèi)藥液的濃度的一致性，進(jìn)一步保證了在無(wú)人為干擾的情況下制絨效果的一致性。本發(fā)明使用的去多孔硅技術(shù)，通過(guò)冷凝系統(tǒng)保證了反應(yīng)溫度的恒定性，同時(shí)通過(guò)補(bǔ)液系統(tǒng)保證了槽內(nèi)藥液的濃度的一致性，進(jìn)一步保證了在無(wú)人為干擾的情況下制絨效果的一致性。所述的多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分包括第二機(jī)架、酸洗槽、第二沖洗槽、第二清洗槽、慢拉槽、慢拉機(jī)構(gòu)、N2烘干槽、下料機(jī)構(gòu)，酸洗部分觸摸屏；其中酸洗槽、第二清洗槽、第二溢流漂洗槽、慢拉槽、^烘干槽直接固定在第二機(jī)架上，機(jī)械臂通過(guò)圓導(dǎo)軌固定在第二機(jī)架上，并能通過(guò)圓導(dǎo)軌左右移動(dòng)實(shí)現(xiàn)提籃的運(yùn)送功能，第二機(jī)架一端通過(guò)中間傳送機(jī)構(gòu)與制絨部分連接，另一端與下料機(jī)構(gòu)連接，酸洗部分觸摸屏固定在下料機(jī)構(gòu)的下料臺(tái)處。所述慢拉機(jī)構(gòu)采用伺服電機(jī)實(shí)現(xiàn)。本發(fā)明所使用的慢拉系統(tǒng)(慢拉槽、慢拉機(jī)構(gòu))通過(guò)伺服電機(jī)的扭力恒定性，速度穩(wěn)定性及四邊溢流帶來(lái)的藥液表面的平整性，避免了在慢拉過(guò)程中分子張力對(duì)硅片干燥的影響，加熱方式采用的是通過(guò)式在線水加熱系統(tǒng)，避免了資源浪費(fèi)同時(shí)保證了溫度的恒定性，從而達(dá)到最佳慢拉效果，提高了生產(chǎn)效率。本發(fā)明使用的N2烘干系統(tǒng)(N2烘干槽)，避免了在烘干過(guò)程中硅片被氧化的可能性，同時(shí)提高了槽內(nèi)氣體的潔凈度，避免了對(duì)硅片的污染，烘干槽體加自動(dòng)蓋降低了熱量的損耗，進(jìn)而降低了生產(chǎn)成本；本系統(tǒng)與傳統(tǒng)的烘干方式及甩干方式相比，降低了碎片率，避免了二次污染，提高了生產(chǎn)效率。圖1為本發(fā)明實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖；圖中多晶制絨部分操作盒1，上料機(jī)構(gòu)2，溢流漂洗槽3，酸制絨槽4，沖洗槽5，機(jī)械臂6，去多孔硅槽7，中間傳送機(jī)構(gòu)8，提籃9，酸洗槽IO，后抽風(fēng)ll，慢拉槽12，慢拉機(jī)構(gòu)13，烘干槽14，下料機(jī)構(gòu)15，多晶酸洗部分操作盒16。圖2為本發(fā)明另一實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖中冷凍機(jī)17，1#酸儲(chǔ)槽18，2#酸儲(chǔ)槽19，混酸槽20，1#酸稱量槽21，2#酸稱量槽一22，熱交換器23，循環(huán)泵24，小熱交換器25，K0H儲(chǔ)液槽26，K0H稱量槽27，HCL儲(chǔ)液槽28，HCL稱量槽29，2#酸稱量槽二30，在線加熱系統(tǒng)31，慢拉系統(tǒng)32，熱風(fēng)循環(huán)動(dòng)力系統(tǒng)33，加熱系統(tǒng)34，凈化系統(tǒng)35。圖3本發(fā)明工作控制原理圖。具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明，以下的描述僅用于理解本發(fā)明技術(shù)方案之用，不用于限定本發(fā)明的范圍。本發(fā)明提供的多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨設(shè)備包括多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分、多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分和微機(jī)控制系統(tǒng)，多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分、多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分均連接到微機(jī)控制系統(tǒng)，微機(jī)控制系統(tǒng)對(duì)晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分、多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分可以進(jìn)行單獨(dú)的控制或者協(xié)調(diào)控制。如圖1所示，所述的多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分A包括上料機(jī)構(gòu)2、第一機(jī)架(圖中未標(biāo)出)、第一溢流漂洗槽3、制絨槽4、第一沖洗槽5、機(jī)械臂6、去多孔硅槽7、中間傳送機(jī)構(gòu)8，制絨部分觸摸屏(圖中未標(biāo)出)；其中第一溢流漂洗槽3、第一沖洗槽5、制絨槽4、去多孔硅槽7直接固定在第一機(jī)架上，機(jī)械臂8通過(guò)圓導(dǎo)軌連接在第一機(jī)架上，并可以通過(guò)圓導(dǎo)軌左右移動(dòng)實(shí)現(xiàn)提籃9的傳送，第一機(jī)架一端與上料機(jī)構(gòu)2連接，另一端通過(guò)中間傳送機(jī)構(gòu)8與多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分連接，制絨部分觸摸屏直接固定在上料機(jī)構(gòu)2的上料臺(tái)處。所述的多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分B包括第二機(jī)架(圖中未標(biāo)出)、酸洗槽10、第二沖洗槽(圖中未標(biāo)出)、第二溢流漂洗槽(圖中未標(biāo)出)、慢拉槽12、慢拉機(jī)構(gòu)13、N2烘干槽14、下料機(jī)構(gòu)15，酸洗部分觸摸屏(圖中未標(biāo)出)；其中酸洗槽10、第二沖洗槽、第二溢流漂洗槽、慢拉槽12、慢拉機(jī)構(gòu)13、N2烘干槽14直接固定在第二機(jī)架上，機(jī)械臂6通過(guò)圓導(dǎo)軌固定在第二機(jī)架上，并能通過(guò)圓導(dǎo)軌左右移動(dòng)實(shí)現(xiàn)提籃9的運(yùn)送功能，第二機(jī)架一端通過(guò)中間傳送機(jī)構(gòu)8與多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分連接，另一端與下料機(jī)構(gòu)15連接，酸洗部分觸摸屏固定在下料機(jī)構(gòu)15的下料臺(tái)處。所述第一機(jī)架一端設(shè)有多晶制絨部分操作盒1。所述第二機(jī)架一端設(shè)有多晶酸洗部分操作盒16。所述第二機(jī)架上設(shè)有后抽風(fēng)ll，該后抽風(fēng)11位于酸洗槽10后面。所述慢拉機(jī)構(gòu)13采用伺服電機(jī)實(shí)現(xiàn)。如圖2所示，為本發(fā)明另一實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖，圖中所述的多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分包括冷凍機(jī)17，1#酸儲(chǔ)槽18，2#酸儲(chǔ)槽19，混酸槽20，1#酸稱量槽21，2#酸稱量槽一22，熱交換器23，循環(huán)泵24，小熱交換器25，KOH儲(chǔ)液槽26，KOH稱量槽27，單個(gè)熱交換器36。酸制絨槽4直接固定在機(jī)架上，循環(huán)排液口通過(guò)回水管路與混酸槽20相連，進(jìn)液口通過(guò)小熱交換器25與混酸槽20出口相連；混酸槽20在設(shè)備的后邊，進(jìn)口分4路，其中2路通過(guò)泵、流量計(jì)、氣動(dòng)閥與1#酸儲(chǔ)槽18、2#酸儲(chǔ)槽19的出口相連，另外2路通過(guò)流量計(jì)、氣動(dòng)閥、1#酸稱量槽21、2#酸稱量槽一22、氣控閥、流量計(jì)與1#酸儲(chǔ)槽18、2#酸儲(chǔ)槽19出口相；所有稱量槽在設(shè)備內(nèi)部，后排風(fēng)旁邊；所有酸儲(chǔ)槽在一個(gè)單獨(dú)的房間內(nèi)；小熱交換器25和循環(huán)泵24在獨(dú)立箱體內(nèi)在設(shè)備的后邊，混酸槽20的旁邊；冷凍機(jī)17在設(shè)備的后邊，混酸槽20的另一邊進(jìn)出口于所有的熱交換器出進(jìn)口相連；熱交換器23在混酸槽內(nèi)部；去多孔硅槽7直接固定在機(jī)架上，進(jìn)液口分兩路，一路通過(guò)流量計(jì)、氣控閥、泵直接與K0H儲(chǔ)液槽26出口相連，另一路通過(guò)流量計(jì)、氣控閥、KOH稱量槽27、流量計(jì)、泵與KOH儲(chǔ)液槽相連，循環(huán)排液通過(guò)泵、單個(gè)熱交換器36回到去多孔硅槽7內(nèi)部。所述的多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分B包括HCL儲(chǔ)液槽28，HCL稱量槽29，2#酸稱量槽二30，在線加熱系統(tǒng)31，慢拉系統(tǒng)32，熱風(fēng)循環(huán)動(dòng)力系統(tǒng)33，加熱系統(tǒng)34，凈化系統(tǒng)35。酸洗槽10直接固定在設(shè)備內(nèi)部，進(jìn)口分兩路，其中一路通過(guò)氣控閥、流量計(jì)、泵與HCL儲(chǔ)液槽28直接供液，另一路通過(guò)氣控閥、流量計(jì)、HCL稱量槽29、泵與HCL儲(chǔ)液槽28相連；HCL儲(chǔ)液槽28在設(shè)備的后邊；HCL稱量槽29在設(shè)備內(nèi)部，后排風(fēng)的旁邊；2#酸稱量槽二30在在設(shè)備內(nèi)部，后排風(fēng)的旁邊出口通過(guò)流量計(jì)、氣控閥與酸槽相連，進(jìn)口通過(guò)流量計(jì)、氣控閥、泵與2#酸儲(chǔ)液槽19相連；在線加熱系統(tǒng)31在設(shè)備的內(nèi)部，進(jìn)口與客戶的DI水主供水管路相連，出口與慢提拉槽12相連，慢提拉槽12直接固定在設(shè)備內(nèi)部；慢提拉系統(tǒng)32直接固定在機(jī)架上，在慢提拉槽12的正后上方，通過(guò)托架伸到慢提拉槽12內(nèi)部，實(shí)現(xiàn)提拉的慢拉功能；熱風(fēng)循環(huán)動(dòng)力系統(tǒng)33，加熱系統(tǒng)34，凈化系統(tǒng)35在設(shè)備后邊的獨(dú)立箱體內(nèi)部，熱風(fēng)循環(huán)動(dòng)力系統(tǒng)33進(jìn)風(fēng)口直接與N2烘干槽的回風(fēng)口相連，出口通過(guò)加熱系統(tǒng)34、凈化系統(tǒng)35與N2烘干槽的進(jìn)風(fēng)口相連.整機(jī)設(shè)備運(yùn)作由機(jī)械手依設(shè)定程序按下表各工藝槽傳遞完成制絨、去多孔硅、酸洗、漂洗(OF)、沖洗(QDR)、脫水、烘干工作。本實(shí)施例工作工藝情況，參見下表<table>tableseeoriginaldocumentpage7</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage8</column></row><table>如圖3所示，所述微機(jī)控制系統(tǒng)分多晶制絨和多晶酸洗控制兩個(gè)子系統(tǒng)，分別由微機(jī)(PLC)和人機(jī)界面(觸摸屏)管理、控制。這兩個(gè)子系統(tǒng)均是由人機(jī)界面和微機(jī)(PLC)通訊來(lái)管理數(shù)據(jù)和控制設(shè)備各功能，多晶制絨和多晶酸洗既可獨(dú)立控制各自部分功能又具有相互通訊來(lái)處理連接機(jī)械手、輸送機(jī)相互傳遞完成制造工藝的流程。兩個(gè)子系統(tǒng)都設(shè)有手動(dòng)和自動(dòng)模式，手動(dòng)模式是用于設(shè)備各功能調(diào)試、自動(dòng)模式用于正常設(shè)備使用。微機(jī)控制指令來(lái)源從觸摸屏收到生產(chǎn)前設(shè)定的數(shù)據(jù)。微機(jī)根據(jù)指令處理數(shù)據(jù)，執(zhí)行各功能正常運(yùn)轉(zhuǎn)，并對(duì)報(bào)警信息反饋到人機(jī)界面上顯示處理對(duì)策。設(shè)備操作流程設(shè)備上電-一>開啟電源-一>開啟電源-一>手動(dòng)模式-一>設(shè)定生產(chǎn)數(shù)據(jù)(溫度、藥液、時(shí)間、程序)_一>按運(yùn)轉(zhuǎn)準(zhǔn)備(設(shè)備將自動(dòng)補(bǔ)水)_一>配藥液一->清洗準(zhǔn)備一->自動(dòng)模式一->自動(dòng)啟動(dòng)(設(shè)備正常運(yùn)行)設(shè)備裝有三色燈綠色為自動(dòng)模式、黃色為手動(dòng)模式、紅色為故障信號(hào)。本實(shí)施例的技術(shù)效果多晶槽式制絨、酸洗整機(jī)產(chǎn)量每3.5_4分鐘一籃，每籃200片，一小時(shí)15-17籃=3000-3400片，轉(zhuǎn)換效率為16%-16.75%，輸出功率范圍3.9-4.07W。與以往的技術(shù)相比(比如常見的平面制絨)優(yōu)點(diǎn)1.碎片率低2.轉(zhuǎn)換率高3.節(jié)約藥液成本4.安全性能的提高。權(quán)利要求一種多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨設(shè)備，其特征在于包括多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分、多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分和微機(jī)控制系統(tǒng)，所述多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分、多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分均連接到微機(jī)控制系統(tǒng)，微機(jī)控制系統(tǒng)對(duì)晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分、多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分進(jìn)行單獨(dú)的控制或者協(xié)調(diào)控制；其中所述的多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分包括上料機(jī)構(gòu)、第一機(jī)架、第一清洗槽、制絨槽、第一沖洗槽、去多孔硅槽、機(jī)械臂、中間傳送機(jī)構(gòu)，制絨部分觸摸屏；其中第一清洗槽、第一沖洗槽、制絨槽、去多孔硅槽直接固定在第一機(jī)架上，機(jī)械臂通過(guò)圓導(dǎo)軌連接在第一機(jī)架上，并能通過(guò)圓導(dǎo)軌左右移動(dòng)實(shí)現(xiàn)提籃的傳送，第一機(jī)架一端與上料機(jī)構(gòu)連接，另一端通過(guò)中間傳送機(jī)構(gòu)與多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分連接，制絨部分觸摸屏直接固定在上料機(jī)構(gòu)的上料臺(tái)處；所述的多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分包括第二機(jī)架、酸洗槽、第二沖洗槽、第二清洗槽、慢拉槽、慢拉機(jī)構(gòu)、N2烘干槽、下料機(jī)構(gòu)，酸洗部分觸摸屏；其中酸洗槽、第二清洗槽、第二清洗槽、慢拉槽、N2烘干槽直接固定在第二機(jī)架上，機(jī)械臂通過(guò)圓導(dǎo)軌固定在第二機(jī)架上，并能通過(guò)圓導(dǎo)軌左右移動(dòng)實(shí)現(xiàn)提籃的運(yùn)送功能，第二機(jī)架一端通過(guò)中間傳送機(jī)構(gòu)與制絨部分連接，另一端與下料機(jī)構(gòu)連接，酸洗部分觸摸屏固定在下料機(jī)構(gòu)的下料臺(tái)處。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨設(shè)備，其特征在于，所述微機(jī)控制系統(tǒng)分多晶制絨和多晶酸洗控制兩個(gè)子系統(tǒng)，分別由微機(jī)和人機(jī)界面管理、控制，這兩個(gè)子系統(tǒng)均是由人機(jī)界面和微機(jī)通訊來(lái)管理數(shù)據(jù)和控制設(shè)備各功能，多晶制絨和多晶酸洗既可獨(dú)立控制各自部分功能又具有相互通訊來(lái)協(xié)能信號(hào)處理來(lái)連接機(jī)械手、輸送機(jī)相互傳遞完成制造工藝的流程；兩個(gè)子系統(tǒng)都設(shè)有手動(dòng)和自動(dòng)模式，手動(dòng)模式是用于設(shè)備各功能調(diào)試、自動(dòng)模式用于正常設(shè)備使用。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨設(shè)備，其特征在于，所述微機(jī)控制系統(tǒng)，其中微機(jī)控制指令來(lái)源(l)從觸摸屏收到生產(chǎn)前設(shè)定的數(shù)據(jù)；(2)從觸摸屏收到生產(chǎn)前設(shè)定的數(shù)據(jù)；微機(jī)根據(jù)指令處理數(shù)據(jù)，執(zhí)行各功能正常運(yùn)轉(zhuǎn)，并對(duì)報(bào)警信息反饋到人機(jī)界面上顯示處理對(duì)策。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨設(shè)備，其特征在于，所述慢拉機(jī)構(gòu)采用伺服電機(jī)實(shí)現(xiàn)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨設(shè)備，其特征在于，所述第一機(jī)架一端設(shè)有多晶制絨部分操作盒，所述第二機(jī)架一端設(shè)有多晶酸洗部分操作盒。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨設(shè)備，其特征在于，所述第二機(jī)架上設(shè)有后抽風(fēng)，該后抽風(fēng)位于酸洗槽后面。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨設(shè)備，其特征在于，所述多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分還設(shè)有與去多孔硅槽連接的冷凝系統(tǒng)和補(bǔ)液系統(tǒng)。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨設(shè)備，其特征在于，所述補(bǔ)液系統(tǒng)，包括儲(chǔ)液槽、管路系統(tǒng)、稱量槽、混液槽、隔膜泵、流量計(jì)、氣控閥；儲(chǔ)液槽與分別稱量槽、混液槽連接，稱量槽、混液槽相連，其中儲(chǔ)液槽與稱量槽之間依次設(shè)有隔膜泵、管路系統(tǒng)，儲(chǔ)液槽與混液槽之間設(shè)置氣控閥；稱量槽、混液槽相連，兩者之間設(shè)有流量計(jì)。全文摘要本發(fā)明公開一種多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨設(shè)備，包括多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分、多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分和微機(jī)控制系統(tǒng)，所述多晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分、多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分均連接到微機(jī)控制系統(tǒng)，微機(jī)控制系統(tǒng)對(duì)晶硅太陽(yáng)能電池片制絨部分、多晶硅太陽(yáng)能電池片酸洗部分進(jìn)行單獨(dú)的控制或者協(xié)調(diào)控制。本發(fā)明可以減少二次污染，改善工作環(huán)境，提高生產(chǎn)效率；其次解決國(guó)外技術(shù)的壟斷，為國(guó)產(chǎn)設(shè)備應(yīng)用提供條件。文檔編號(hào)H01L31/18GK101719530SQ20091019485公開日2010年6月2日申請(qǐng)日期2009年8月31日優(yōu)先權(quán)日2009年8月31日發(fā)明者周柏林,大石滿,范對(duì)堂,袁佩君申請(qǐng)人:上?？苽ミ_(dá)超聲波科技有限公司