專利名稱：：激光加工方法、激光加工裝置及太陽能電池板制造方法
技術領域：
：本發(fā)明涉及一種使用激光束(laserbeam)對薄膜等進行加工的激光加工方法、激光加工裝置及太陽能電池板(solarpanel)制造方法，特別是涉及一種制作太陽能電池板時所進行的激光劃線(laserscribing)加工處理的主掃描軸的可動距離得到大幅改善的激光加工方法、激光加工裝置及太陽能電池板制造方法。
背景技術：
：以前，在太陽能電池板的制造步驟中，是在透光性基板(玻璃基板)上依次形成透明電極層、半導體層、及金屬層，并在形成后的各步驟中利用激光束將各層加工為帶狀從而完成太陽能電池板模塊(module)。當以此方式來制造太陽能電池板模塊時，要利用激光束在玻璃基板上的薄膜上以例如約IOmm間距而形成劃割線(scribeline)。所述劃割線由線寬約為30μm、線與線的間隔約為30μπι的3條線而構(gòu)成。利用激光束來形成劃割線時，通常是將激光束照射在以固定速度移動的玻璃基板上。由此，可形成深度及線寬穩(wěn)定的劃割線。圖1是表示搭載著玻璃基板的平臺(stage)的移動速度(是指激光束與平臺之間的相對的移動速度)與時間的關系的圖。如圖1所示，從平臺移動開始直到達到規(guī)定速度vO(穩(wěn)定區(qū)域)為止需要時間t0。從平臺速度達到規(guī)定速度vO開始，利用激光束來執(zhí)行加工處理(劃割線形成處理)，并在時間tl前結(jié)束加工，且使平臺減速后停止。關于此種太陽能電池板的制造方法，已知有如日本專利特開2007-098404號公報(以下稱作專利文獻1)、日本專利特開2006-054255號公報(以下稱作專利文獻2)所記載的方法。專利文獻1中記載了伴隨移動機構(gòu)的移動而利用激光束來對玻璃基板上的薄膜進行加工的方法。專利文獻2中記載了根據(jù)激光光束的直徑與重復頻率(repetitionfrequency)的積(product)來規(guī)定劃割線加工時的XY臺(XYtable)的移動速度的方法。然而，所述以前的文獻中完全未提及到用于提高劃割線的加工速度也就是提高節(jié)拍時間(tacttime)的方法，因此直到劃割線加工時的平臺達到規(guī)定速度vO為止的加速時間、和從加工結(jié)束開始直到停止為止的減速時間相對于節(jié)拍時間均為較大的值，從而存在節(jié)拍時間延長且產(chǎn)量(throughput)降低的問題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是鑒于上述問題，而提供一種能夠縮短激光束加工時的節(jié)拍時間且提高整體的產(chǎn)量及主掃描軸的可動距離的激光加工方法、激光加工裝置及太陽能電池板制造方法。本發(fā)明的激光加工方法的第一特征為一種激光加工方法，一邊使激光束相對于工件(work)進行相對移動，一邊將激光束照射至工件上，由此對工件實施規(guī)定的加工，在所述相對的移動的速度為固定速度的情況下及在此固定速度的前后使所述移動速度進行加減速的情況下，相應于所述相對的移動的速度而對所述激光束的激光頻率及激光功率進行控制，從而進行激光加工。以前，是由保持著工件的平臺進行移動，并從達到固定速度VO(穩(wěn)定區(qū)域)開始，將激光束照射至工件上而進行激光加工處理的，因此，在平臺達到固定速度為止的時間內(nèi)及激光加工處理結(jié)束后直到平臺停止為止的期間內(nèi)并不進行激光加工處理。而本發(fā)明則是在平臺以固定速度移動的前后的時間內(nèi)，也就是在平臺達到固定速度為止的加速時及直到平臺停止為止的減速時這兩段時間內(nèi)或其中一段時間內(nèi)進行激光加工處理。此時，相應于平臺的移動速度來對激光加工處理時的激光功率及激光頻率進行控制。例如，在平臺速度逐漸加速而達到固定速度vO為止的加速時，是以如下方式進行控制的，S卩，相應于平臺速度的增大而將激光頻率逐漸增大，并且將最大限度受到抑制的激光功率逐漸解除。另一方面，在直到平臺速度停止為止的減速時是以如下方式進行控制的，即，相應于平臺速度的減少而將激光頻率逐漸減小，并且將激光功率的抑制值逐漸增大，從而進行激光加工處理。由此，可縮短激光束加工時的節(jié)拍時間，并提高整體的產(chǎn)量及主掃描軸的可動距離。本發(fā)明的激光加工方法的第二特征如所述第一特征所記載的激光加工方法，在將所述固定速度下的激光功率設為100%的情況下，相應于所述移動速度而將所述加減速時上升為100%以上的激光功率抑制為所述100%并予以輸出。上述激光加工方法是在將平臺速度為固定速度VO時的激光功率設為100%的情況下，相應于平臺速度，而將平臺速度逐漸加速并達到固定速度VO為止的加速時及平臺速度從固定速度開始減速并直到停止為止的減速時的激光功率抑制為100%。本發(fā)明的激光加工方法的第三特征如所述第一特征或第二特征所記載的激光加工方法，使用表示所述移動速度與功率控制值的關系的功率轉(zhuǎn)換表，來將所述移動速度轉(zhuǎn)換為所述功率控制值，并相應于所述功率控制值而對所述激光束的激光功率進行抑制并予以輸出，所述功率轉(zhuǎn)換表是基于表示所述激光束的激光頻率與激光功率的關系的曲線而作成。激光束的激光頻率與激光功率的關系為圖5A所示的曲線LP，且顯示出如下特性在激光頻率為20kHz附近，激光功率達到大致最大的值LPmax，而在激光頻率為IOOkHz附近，激光功率成為穩(wěn)定的值LPmin。因此，可根據(jù)曲線LP而計算出即便在激光頻率小于IOOkHz時也可將激光功率抑制成與激光頻率IOOkHz時相同的激光功率值LPmin的值(功率控制值曲線LPC)，從而使用與激光頻率(平臺速度)相對應的功率控制值來對激光功率進行抑制并予以輸出。由此，即便在激光頻率較低的情況下，激光功率也會成為固定的值，從而可進行穩(wěn)定的激光加工。本發(fā)明的激光加工裝置的第一特征為一種激光加工裝置，一邊使激光束相對于由保持單元所保持的工件進行相對移動，一邊將激光束照射至工件上，由此對工件實施規(guī)定的加工，所述激光加工裝置包括控制單元，該控制單元在所述相對的移動的速度為固定速度的情況下及在此固定速度的前后使所述移動速度進行加減速的情況下，相應于所述移動速度而對所述激光束的激光頻率及激光功率進行控制，從而進行激光加工。此激光加工裝置的發(fā)明與所述激光加工方法的第一特征相對應。本發(fā)明的激光加工裝置的第二特征如所述第一特征所記載的激光加工裝置，所述控制單元以如下方式進行控制在將所述固定速度下的激光功率設為100%的情況下，相應于所述移動速度而將所述加減速時上升為100%以上的激光功率抑制為所述100%并予以輸出。本發(fā)明的激光加工裝置的第三特征如-所述第一特征或第二特征所記載的激光加工裝置，所述控制單元以如下方式進行控制使用表示所述移動速度與功率控制值的關系的功率轉(zhuǎn)換表，來將所述移動速度轉(zhuǎn)換為所述功率控制值，并相應于所述功率控制值而對所述激光束的激光功率進行抑制并予以輸出，所述功率轉(zhuǎn)換表是基于表示所述激光束的激光頻率與激光功率的關系的曲線而作成。本發(fā)明的太陽能電池板制造方法的特征在于使用所述第一特征至第三特征中任一特征所記載的激光加工方法、或所述第一特征至第三特征中任一特征所記載的激光加工裝置，來制造太陽能電池板。所述太陽能電池板制造方法是使用所述激光加工方法或所述激光加工裝置中的任一個，來制造太陽能電池板。[發(fā)明的效果]根據(jù)本發(fā)明，具有可縮短激光束加工時的節(jié)拍時間，且可提高整體的產(chǎn)量及主掃描軸的可動距離的效果。綜上所述，本發(fā)明的激光加工方法可縮短激光束加工時的節(jié)拍時間且大幅提高整體的產(chǎn)量。在平臺以固定速度移動的前后的時間內(nèi)，也就是在平臺達到固定速度為止的加速時及直到平臺停止為止的減速時這兩段時間內(nèi)或其中一段時間內(nèi)進行激光加工處理。此情況下，相應于平臺的移動速度來對激光加工處理時的激光功率及激光頻率進行控制。例如，在平臺速度逐漸加速而達到固定速度vO為止的加速時以如下方式來控制相應于平臺速度的增大而將激光頻率逐漸增大，且將最大限度受到抑制的激光功率逐漸解除。另一方面，在直到平臺速度停止為止的減速時以如下方式進行控制相應于平臺速度的減少而將激光頻率逐漸減小，且將激光功率的抑制值逐漸增大，以進行激光加工處理。本發(fā)明在技術上有顯著的進步，并具有明顯的積極效果，誠為一新穎、進步、實用的新設計。上述說明僅是本發(fā)明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。圖1是表示搭載著玻璃基板的平臺的移動速度與時間的關系的圖。圖2是表示本發(fā)明的一實施形態(tài)的激光加工裝置的概略構(gòu)成的圖。圖3是表示控制裝置的處理的詳細情況的框圖。圖4是用于說明本發(fā)明的劃線處理的動作的圖，且是表示搭載著玻璃基板的平臺的移動速度與時間關系的圖。圖5A、圖5B是用于說明圖3的功率轉(zhuǎn)換單元的動作的圖，圖5A是表示激光頻率與激光功率的關系的圖，圖5B是表示圖3的功率轉(zhuǎn)換單元中所內(nèi)置的功率轉(zhuǎn)換表的一例的圖。1工件10基座20=XY臺30滑動框架31底板33、35反射鏡40激光產(chǎn)生裝置50光學系統(tǒng)構(gòu)件60對準相機裝置70線性編碼器80:控制裝置81分支單元82頻率計測單元83功率轉(zhuǎn)換單元84激光控制器LP、LPC曲線LPmax激光功率最大值LPmin激光功率穩(wěn)定值t0t5:時間v0、vl:平臺速度具休實施方式為更進一步闡述本發(fā)明為達成預定發(fā)明目的所采取的技術手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的激光加工方法、激光加工裝置及太陽能電池板制造方法其具體實施方式、結(jié)構(gòu)、步驟、特征及其功效，詳細說明如后。以下，根據(jù)附圖來說明本發(fā)明的實施形態(tài)。圖2是表示本發(fā)明的一實施形態(tài)的激光加工裝置的概略構(gòu)成的圖。所述激光加工裝置進行太陽能電池板制造裝置的激光束加工處理(激光劃線(laserscribe))步驟。圖2的太陽能電池板制造裝置包括基座10、XY臺20、激光產(chǎn)生裝置40、光學系統(tǒng)構(gòu)件50、對準相機(alignmentcamera)裝置60、線性編碼器(linearencoder)70、控制裝置80及檢測光學系統(tǒng)構(gòu)件等?；?0上設置著XY臺20，所述XY臺20在基座10上沿著X軸方向及Y軸方向(XY平面)而受到驅(qū)動控制。XY臺20受到控制而朝向X方向及Y方向移動。另外，作為XY臺20的驅(qū)動單元，使用的是滾珠絲杠(ballscrew)或線性電動機(linearmotor)等，此處省略了它們的圖示。在XY臺20的上側(cè)保持著作為激光加工的對象的工件1。而且，在基座10上設置著滑動框架(slideframe)30，所述滑動框架30—邊保持光學系統(tǒng)構(gòu)件一邊朝向Y軸方向滑動驅(qū)動。XY臺20構(gòu)成為將Z軸作為旋轉(zhuǎn)軸而可朝向θ方向旋轉(zhuǎn)。另外，在能夠利用滑動框架30來充分確保Y軸方向的移動量的情況下，XY臺20也可構(gòu)成為只進行X軸方向的移動。此時，XY臺20也可以是X軸臺的構(gòu)成?；瑒涌蚣?0安裝在設置于基座10上的四角的移動臺上?；瑒涌蚣?0受到該移動臺的控制而朝向Y軸方向移動。在底板31與移動臺之間設置著防振(Vibration-free)構(gòu)件(未圖示)。在滑動框架30的底板31上設置著激光產(chǎn)生裝置40、光學系統(tǒng)構(gòu)件50、控制裝置80及檢測光學系統(tǒng)構(gòu)件。光學系統(tǒng)構(gòu)件50由面鏡(mirror)或透鏡(lens)的組合而構(gòu)成，用于將激光產(chǎn)生裝置40中所產(chǎn)生的激光束分割為4系列并引導至XY臺20上的工件1上。另外，激光束的分割數(shù)并不限于4系列，只要是2系列或2系列以上即可。對準相機裝置60是在XY臺20上且取得工件1的兩端部(X軸方向的前后緣部)附近的圖像。所述對準相機裝置60所取得的圖像被輸出至控制裝置80?？刂蒲b置80將來自所述對準相機裝置60的圖像與工件1的標識(Identification，ID)數(shù)據(jù)一起存儲在數(shù)據(jù)庫單元中，以用于以后的工件1的對準處理。線性編碼器70由設置在XY臺20的X軸移動臺的側(cè)面上的標尺(scale)構(gòu)件與檢測部而構(gòu)成。線性編碼器70由設置在XY臺20的X軸移動臺的側(cè)面的標尺構(gòu)件與檢測部而構(gòu)成。線性編碼器70的檢測信號被輸出至控制裝置80?？刂蒲b置80根據(jù)來自線性編碼器70的檢測信號而對XY臺20的X軸方向的移動速度(移動頻率)進行檢測，并對激光產(chǎn)生裝置40的輸出(激光頻率)進行控制。如圖2所示，光學系統(tǒng)構(gòu)件50設置在底板31的下表面?zhèn)取Ｓ糜趯募す猱a(chǎn)生裝置40射出的激光束引導至光學系統(tǒng)構(gòu)件50的反射鏡33、35設置在底板31上。從激光產(chǎn)生裝置40射出的激光束在反射鏡33的作用下朝向反射鏡35反射，反射鏡35將來自反射鏡33的反射激光束經(jīng)由設置在底板31上的插通孔而引導至光學系統(tǒng)構(gòu)件50。另外，對于從激光束產(chǎn)生裝置40射出的激光束而言，只要是從設置在底板31的插通孔而從上側(cè)導入至光學系統(tǒng)構(gòu)件50的構(gòu)成，則任一種構(gòu)成均可。例如，也可將激光產(chǎn)生裝置40設置于插通孔的上側(cè)，并經(jīng)由插通孔而直接將激光束引導至光學系統(tǒng)構(gòu)件50。圖3是表示控制裝置80的處理的詳細情況的框圖?？刂蒲b置80由分支單元81、頻率計測單元82、功率轉(zhuǎn)換單元83及激光控制器84而構(gòu)成。分支單元81將線性編碼器70的檢測信號(時鐘脈沖(clockpulse))分支后而輸出至后段的頻率計測單元82及激光控制器84中。頻率計測單元82根據(jù)由分支單元81所分支的線性編碼器70的檢測信號，來對頻率也就是XY臺20的移動速度ν進行計測并輸出至功率轉(zhuǎn)換單元83。功率轉(zhuǎn)換單元83基于功率轉(zhuǎn)換表，并根據(jù)來自頻率計測單元82的頻率(移動速度)而將激光產(chǎn)生裝置40的功率控制值輸出至激光控制器84。激光控制器84根據(jù)從功率轉(zhuǎn)換單元83輸出的功率控制值來對激光產(chǎn)生裝置40的功率進行控制，并且根據(jù)由分支單元81所分支的線性編碼器70的檢測信號來對激光產(chǎn)生裝置40的激光振蕩頻率(oscillatoryfrequency)進行控制。圖4是用于說明本發(fā)明的劃線處理的動作的圖，且是表示搭載著玻璃基板的XY臺20的移動速度(平臺速度)與時間的關系的圖。本實施形態(tài)中，如圖4所示，XY臺20開始移動，并在達到速度Vl的時刻t2將激光束照射至工件1上，從而開始進行激光加工也就是劃線處理。接著，直到平臺速度達到vO(穩(wěn)定區(qū)域)的時刻t3為止，進行使激光頻率及激光功率均與平臺速度同步的平臺同步加工處理。然后，在從時刻t3開始到時刻t4為止的期間內(nèi)，平臺速度穩(wěn)定為vO(穩(wěn)定區(qū)域)，因此，與以前同樣，在此期間進行將激光頻率為100kHz、激光功率為LPmin的激光束照射至工件1上的通常的劃線處理。而且，在從時刻t4開始到時刻t5為止的期間內(nèi)，與上述同樣，進行使激光頻率及激光功率與平臺速度同步的平臺同步加工處理。圖5A、圖5B是用于說明圖3的功率轉(zhuǎn)換單元的動作的圖，圖5A是表示激光頻率與激光功率的關系的圖，圖5B是表示圖3的功率轉(zhuǎn)換單元中所內(nèi)置的功率轉(zhuǎn)換表的一例。如圖5A所示，激光產(chǎn)生裝置40的輸出即激光功率，如曲線LP所示，顯示出如下特性在激光頻率為20kHz附近達到大致最大的值LPmax，在激光頻率為IOOkHz附近則成為穩(wěn)定的值LPmin。也就是，激光功率根據(jù)激光頻率而以曲線LP所示的方式發(fā)生改變。因此，本實施形態(tài)中，如圖4所示，在從時刻t2開始到時刻t3為止的期間、及從時刻t4開始到時刻t5為止的期間的平臺同步加工處理期間內(nèi)，將激光頻率及激光功率控制成根據(jù)平臺速度而發(fā)生改變。在從時刻t2開始到時刻t3為止的期間內(nèi)，平臺速度從vl開始逐漸加速而達到v0，在從時刻t4開始到時刻t5為止的期間內(nèi)，平臺速度從v0開始逐漸減速而達到vl，因此，本實施形態(tài)中，如圖4所示，以平臺速度Vl且激光頻率約20kHz而開始進行劃線處理，然后逐漸根據(jù)平臺速度的增大而使激光頻率增大，并同時進行劃線處理。此時，如圖5A所示，顯示出隨著激光頻率以IOOkHz為基準而逐漸減小，激光功率會逐漸變大的特性。因此，當以平臺速度vO且使用激光頻率約50kHz的激光束來進行劃線處理時，在平臺速度vl的時點(timepoint)激光功率較大，且平臺速度比v0時慢一半，因此激光照射至工件1的照射時間也延長。結(jié)果，劃割線的加工的深度會大于通常的加工深度，從而存在無法形成所需形狀的劃割線的問題。本實施形態(tài)中，使用如圖5B所示的功率轉(zhuǎn)換表，在從時刻t2開始到時刻t3為止的期間、及從時刻t4開始到時刻t5為止的期間的平臺同步加工處理期間內(nèi)，根據(jù)所述功率轉(zhuǎn)換表來對激光功率進行控制(抑制)。所述功率轉(zhuǎn)換表由如下的曲線而構(gòu)成，即，將激光頻率IOOkHz時的激光功率控制值設為100%，隨著激光頻率逐漸減小而抑制激光功率。在實際使用時，是將平臺速度vO的加工頻率設為100%，并對功率轉(zhuǎn)換表再次進行計算。因此，功率轉(zhuǎn)換單元83在激光頻率小于等于IOOkHz的情況下，依據(jù)功率轉(zhuǎn)換表的曲線LPC而將功率控制值輸出至激光控制器84。激光控制器84對激光功率進行可變控制后，而將激光束照射至工件1上。由此，從時刻t2開始到時刻t3為止的期間及從時刻t4開始到時刻t5為止的期間的平臺同步加工處理期間內(nèi)所照射至工件1的激光束的功率，與從時刻t3開始到時刻t4為止的通常的加工期間內(nèi)的激光束的功率成為相同的值，從而可形成所需形狀的劃割線。這樣，在從時刻t2開始到時刻t3為止的期間及從時刻t4開始到時刻t5為止的期間內(nèi)可進行劃線處理，因此可縮短劃線處理所需的時間及主掃描軸的可動距離。在上述的實施形態(tài)中，是對從形成著薄膜的工件1的表面照射激光束而在薄膜上形成劃割線(槽)的情況進行了說明，也可從工件1的背面照射激光束，并在工件表面的薄膜上形成劃割線。上述的實施形態(tài)中是以太陽能電池板制造裝置為例而進行說明，但本發(fā)明也可適用于電致發(fā)光(Electroluminescence，EL)面板制造裝置、EL面板修正裝置、平板顯示(flatplatedisplay,FPD)修正裝置等的進行激光加工的裝置。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術人員，在不脫離本發(fā)明技術方案范圍內(nèi)，當可利用上述揭示的方法及技術內(nèi)容作出些許的更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術方案的范圍內(nèi)。權利要求一種激光加工方法，一邊使激光束相對于工件進行相對移動，一邊將激光束照射至工件上，由此對工件實施規(guī)定的加工，所述激光加工方法的特征在于在所述相對的移動的速度為固定速度的情況下及在此固定速度的前后使所述移動速度進行加減速的情況下，相應于所述相對的移動的速度而對所述激光束的激光頻率及激光功率進行控制，從而進行激光加工。2.根據(jù)權利要求1所述的激光加工方法，其特征在于在將所述固定速度下的激光功率設為100%的情況下，相應于所述移動速度而將所述加減速時上升為100%以上的激光功率抑制為所述100%并予以輸出。3.根據(jù)權利要求1或2所述的激光加工方法，其特征在于使用表示所述移動速度與功率控制值的關系的功率轉(zhuǎn)換表，來將所述移動速度轉(zhuǎn)換為所述功率控制值，并相應于所述功率控制值而對所述激光束的激光功率進行抑制并予以輸出，所述功率轉(zhuǎn)換表是基于表示所述激光束的激光頻率與激光功率的關系的曲線而作成。4.一種激光加工裝置，一邊使激光束相對于由保持單元所保持的工件而進行相對移動，一邊將激光束照射至工件上，由此對工件實施規(guī)定的加工，所述激光加工裝置的特征在于包括控制單元，所述控制單元在所述相對的移動的速度為固定速度的情況下及在此固定速度的前后所述移動速度進行加減速的情況下，相應于所述移動速度而對所述激光束的激光頻率及激光功率進行控制，從而進行激光加工。5.根據(jù)權利要求4所述的激光加工裝置，其特征在于所述控制單元以如下方式進行控制，即，在將所述固定速度下的激光功率設為100%的情況下，相應于所述移動速度而將所述加減速時上升為100%以上的激光功率抑制為所述100%并予以輸出。6.根據(jù)權利要求4或5所述的激光加工裝置，其特征在于所述控制單元以如下方式進行控制使用表示所述移動速度與功率控制值的關系的功率轉(zhuǎn)換表，來將所述移動速度轉(zhuǎn)換為所述功率控制值，并相應于所述功率控制值而對所述激光束的激光功率進行抑制并予以輸出，所述功率轉(zhuǎn)換表是基于表示所述激光束的激光頻率與激光功率的關系的曲線而作成。7.一種太陽能電池板制造方法，其特征在于使用根據(jù)權利要求1至3中任一項所述的激光加工方法、或根據(jù)權利要求4至6中任一項所述的激光加工裝置，來制造太陽能電池板。全文摘要本發(fā)明是有關于一種激光加工方法、激光加工裝置及太陽能電池板制造方法。該激光加工方法可縮短激光束加工時的節(jié)拍時間且大幅提高整體的產(chǎn)量。在平臺以固定速度移動的前后的時間內(nèi)，也就是在平臺達到固定速度為止的加速時及直到平臺停止為止的減速時這兩段時間內(nèi)或其中一段時間內(nèi)進行激光加工處理。此情況下，相應于平臺的移動速度來對激光加工處理時的激光功率及激光頻率進行控制。例如，在平臺速度逐漸加速而達到固定速度為止的加速時以如下方式來控制相應于平臺速度的增大而將激光頻率逐漸增大，且將最大限度受到抑制的激光功率逐漸解除。另一方面，在直到平臺速度停止為止的減速時以如下方式進行控制相應于平臺速度的減少而將激光頻率逐漸減小，且將激光功率的抑制值逐漸增大，以進行激光加工處理。文檔編號H01L31/18GK101804516SQ20091021583公開日2010年8月18日申請日期2009年12月30日優(yōu)先權日2009年2月13日發(fā)明者井崎良,片桐賢司,荒木正樹申請人:株式會社日立高科技