專利名稱：一種釔鋇銅氧涂層導體前驅膜的制備方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種涂層導體前驅膜的制備方法，尤其是涉及一種釔鋇銅氧涂層導體
前驅膜的制備方法。
背景技術：
YBCO(釔鋇銅氧)涂層導體以其77K下優(yōu)越的高場性能成為替代第一代實用高溫 超導帶材(Bi系帶材)的首選材料。采用低成本涂層導體制備技術三氟乙酸鹽-金屬有機 沉積(TFA-M0D)制備YBCO層是國際上公認的發(fā)展趨勢。美國超導公司(AMSC)和日本超導 研究實驗室(SRL)均在TFA-MOD技術方面獲得了突破，已實現(xiàn)了輥到輥連續(xù)制備，可以批量 生產(chǎn)。人們預期，涂層導體能夠實現(xiàn)在電纜、發(fā)電機、電動機和高磁場磁體等方面的商業(yè)應 用。 低成本TFA-M0D技術制備YBC0薄膜一個重要特點就是要經(jīng)過兩個復雜的熱處理 過程，即在低溫階段的金屬有機鹽的熱分解和在高溫階段的氧化膜外延生長。在低溫階段 金屬有機物會熱分解形成非晶態(tài)或納米晶，同時有機溶劑的揮發(fā)和有機物的分解會引起膜 厚的急劇減小，而襯底產(chǎn)生阻礙非晶多孔網(wǎng)狀結構薄膜的粘性流動將在薄膜中產(chǎn)生很大的 平行于膜面的拉應力，這個拉應力可能使薄膜產(chǎn)生宏觀非均勻性，如薄膜的宏觀裂紋或折 皺。前驅膜的微觀組織形貌極大地影響著YBCO層的成相過程和超導性能。獲得完整表面 形貌的前驅膜是優(yōu)化涂層導體高溫熱處理工藝的前提。 影響前驅膜完整性的因素有涂覆環(huán)境的相對濕度、干濕轉變點溫度、升溫速度、氣 體流速、燒結氣氛、水汽分壓等。西班牙CSIC的Zalamova等人研究發(fā)現(xiàn)，升溫速度和氣體 流速是導致前驅膜出現(xiàn)裂紋和折褶的主要原因，而燒結氣氛是影響薄膜成相不均勻的主要 原因。前人研究了預分解階段升溫速率、氣體流速、燒結氣氛等因素對前驅膜形貌的影響， 我們的研究發(fā)現(xiàn)，涂覆環(huán)境的相對濕度和低溫熱處理階段的水汽分壓也是影響前驅膜完整 性的重要原因。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術問題在于針對上述現(xiàn)有技術中的不足，提供一種釔鋇銅氧 涂層導體前驅膜的制備方法，利用該方法制備出的YBCO(釔鋇銅氧)前驅膜表面光滑、均 勻、無宏(微)觀裂紋、無褶皺和氣泡，具有完整表面形貌，有利于YBCO高溫成相膜成分的 均勻性，從而提高超導性能。 為解決上述技術問題，本發(fā)明采用的技術方案是一種釔鋇銅氧涂層導體前驅膜 的制備方法，其特征在于該方法包括以下步驟 (1)將前驅體乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅在室溫下按原子數(shù)比Y : Ba : Cu =
l:2: 3的比例混合，溶入去離子水中形成溶液，加入適量的三氟乙酸使乙酸釔、乙酸鋇和
乙酸銅充分溶解，在溫度60°C -8(TC條件下回流6-10小時，得到Y、 Ba和Cu三氟乙酸鹽的 混合物，然后加入甲醇在旋轉蒸發(fā)儀上反復減壓蒸餾得純凈的Y、 Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠，在純凈的Y、Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠中加入適量的溶劑無水甲醇和螯合劑丙二酸，得到Y、Ba和Cu三種金屬離子總摩爾濃度為c的釔鋇銅氧前驅液，1. 5《c《2. 0mol/L，所述無水甲醇和丙二酸的體積比為15-20 : 1; (2)在密閉的玻璃罩中通入氬氣或氮氣進行氣體交換，在涂覆環(huán)境溫度低于30°C和涂覆環(huán)境相對濕度低于40%的條件下，將步驟(1)中的釔鋇銅氧前驅液旋涂于已用丙酮超聲清洗過的LaA103單晶基片上，然后將旋涂好的LaA103單晶基片置于管式爐中進行低溫熱處理，低溫熱處理條件為氧氣流速保持為3-20mm/s，室溫條件下通入干燥的氧氣，15(TC開始通入含有水汽的氧氣，水汽分壓為610. 5-1228Pa，從室溫到200°C以3°C /分鐘的升溫速率加熱，在200-25(TC溫區(qū)內(nèi)以0. 14°C /分鐘的升溫速率加熱，在250-40(TC溫區(qū)內(nèi)以1°C /分鐘的升溫速率加熱，40(TC以后停止加熱和通氣，冷卻至室溫，即獲得均勻完整的釔鋇銅氧涂層導體前驅膜。 上述步驟(1)中所述無水甲醇和丙二酸的優(yōu)選體積比為20 : 1。
上述步驟(2)中所述氬氣或氮氣的體積純度均^ 99. 999%。 本發(fā)明與現(xiàn)有技術相比具有以下優(yōu)點本發(fā)明有效控制了影響前驅膜不完整性形貌出現(xiàn)的濕度影響因素，縮短了熱處理的時間，制備出的YBCO前驅膜表面無宏(微)觀裂痕、光滑平整、無褶皺和孔洞、完整，避免了薄膜的宏觀裂紋或褶皺等不完整性薄膜形貌的出現(xiàn)，以保持薄膜宏觀尺度上的均勻完整性。 下面通過實施例，對本發(fā)明的技術方案做進一步的詳細描述。
具體實施方式
實施例1 將前驅體乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅在室溫下按原子數(shù)比Y : Ba : cu=i : 2 : 3
的比例混合，溶入去離子水中形成溶液，加入適量的三氟乙酸使乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅充
分溶解，在溫度6(TC條件下回流10小時，得到Y、 Ba和Cu三氟乙酸鹽的混合物，然后加入甲醇在旋轉蒸發(fā)儀上反復減壓蒸餾得純凈的Y、Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠，在純凈的Y、Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠中加入適量的溶劑無水甲醇和螯合劑丙二酸，得到Y、Ba和Cu三種金屬離子總摩爾濃度為1. 5mol/L的釔鋇銅氧前驅液，所述無水甲醇和丙二酸的體積比為
20 : i。 將Y、 Ba、 Cu三種金屬離子總濃度為1. 5mol/L的YBCO前驅液旋涂于已用丙酮超聲清洗過的LaA103單晶基片上，涂覆條件為環(huán)境溫度低于3(TC和環(huán)境相對濕度為40%，旋涂速度為5000轉/分鐘，旋涂時間為2分鐘。然后將旋涂好的LaA103單晶基片置于管式爐中進行低溫熱處理。熱處理條件為氧氣流速保持為3mm/s，室溫條件下通入干燥的氧氣，15(TC開始通入含有水汽的氧氣，水汽分壓為610. 5Pa ;從室溫到200°C以3°C /分鐘的升溫速率加熱，在200-25(TC溫區(qū)內(nèi)以0. 14°C /分鐘的升溫速率加熱，在250-40(TC溫區(qū)內(nèi)以rc /分鐘的升溫速率加熱，400°C以后停止加熱和通氣，冷卻至室溫。采用該方法制備的YBCO前驅膜完整，表面光滑，無宏(微)觀裂紋，無孔洞。
實施例2 將前驅體乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅在室溫下按原子數(shù)比Y : Ba : cu=i : 2 : 3
的比例混合，溶入去離子水中形成溶液，加入適量的三氟乙酸使乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅充
4分溶解，在溫度7(TC條件下回流9小時，得到Y、Ba和Cu三氟乙酸鹽的混合物，然后加入甲醇在旋轉蒸發(fā)儀上反復減壓蒸餾得純凈的Y、 Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠，在純凈的Y、 Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠中加入適量的溶劑無水甲醇和螯合劑丙二酸，得到Y、Ba和Cu三種金屬離子總摩爾濃度為2. 0mol/L的釔鋇銅氧前驅液，所述無水甲醇和丙二酸的體積比為
15 ! 1。 將Y、Ba、Cu三種金屬離子總濃度為2. Omol/L的YBCO前驅液旋涂于已用丙酮超聲清洗過的LaA103單晶基片上，涂覆條件為環(huán)境溫度低于3(TC和環(huán)境相對濕度為20%，旋涂速度為5000轉/分鐘，旋涂時間為2分鐘。然后將旋涂好的LaA103單晶基片置于管式爐中進行低溫熱處理。熱處理條件氧氣流速保持為3mm/s，室溫條件下通入干燥的氧氣，150°C開始通入含有水汽的氧氣，水汽分壓為610. 5Pa ;從室溫到200°C以3°C /分鐘的升溫速率加熱，在200-25(TC溫區(qū)內(nèi)以0. 14°C /分鐘的升溫速率加熱，在250-40(TC溫區(qū)內(nèi)以1°C /分鐘的升溫速率加熱，400°C以后停止加熱和通氣，冷卻至室溫。采用該方法制備的YBCO前驅膜完整，表面光滑，無宏(微)觀裂紋，無孔洞。
實施例3 將前驅體乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅在室溫下按原子數(shù)比Y : Ba : Cu=l : 2 : 3
的比例混合，溶入去離子水中形成溶液，加入適量的三氟乙酸使乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅充
分溶解，在溫度8(TC條件下回流8小時，得到Y、Ba和Cu三氟乙酸鹽的混合物，然后加入甲醇在旋轉蒸發(fā)儀上反復減壓蒸餾得純凈的Y、 Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠，在純凈的Y、 Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠中加入適量的溶劑無水甲醇和螯合劑丙二酸，得到Y、Ba和Cu三種金屬離子總摩爾濃度為1. 6mol/L的釔鋇銅氧前驅液，所述無水甲醇和丙二酸的體積比為
16 ! 1。 將Y、 Ba、 Cu三種金屬離子總濃度為1. 6mol/L的YBCO前驅液旋涂于已用丙酮超聲清洗過的LaA103單晶基片上，涂覆條件為環(huán)境溫度低于3(TC和環(huán)境相對濕度低于40%，旋涂速度為5000轉/分鐘，旋涂時間為2分鐘。然后將旋涂好的LaA103單晶基片置于管式爐中進行低溫熱處理。熱處理條件氧氣流速保持為3mm/s，室溫條件下通入干燥的氧氣，14(TC開始通入含有水汽的氧氣，水汽分壓為610. 5Pa ;從室溫到200°C以3°C /分鐘的升溫速率加熱，在200-25(TC溫區(qū)內(nèi)以0. 14°C /分鐘的升溫速率加熱，在250-40(TC溫區(qū)內(nèi)以1°C /分鐘的升溫速率加熱，40(TC以后停止加熱和通氣，冷卻至室溫。采用該方法制備的YBCO前驅膜完整，表面光滑，無宏(微)觀裂紋，無孔洞。
實施例4 將前驅體乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅在室溫下按原子數(shù)比Y : Ba : Cu=l : 2 : 3的比例混合，溶入去離子水中形成溶液，加入適量的三氟乙酸使乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅充分溶解，在溫度8(TC條件下回流8小時，得到Y、Ba和Cu三氟乙酸鹽的混合物，然后加入甲醇在旋轉蒸發(fā)儀上反復減壓蒸餾得純凈的Y、 Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠，在純凈的Y、 Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠中加入適量的溶劑無水甲醇和螯合劑丙二酸，得到Y、Ba和Cu三種金屬離子總摩爾濃度為1. 7mol/L的釔鋇銅氧前驅液，所述無水甲醇和丙二酸的體積比為
17 ! 1。 將Y、Ba、Cu三種金屬離子總濃度為1. 7mol/L的YBCO前驅液旋涂于已用丙酮超聲清洗過的LaA103單晶基片上，涂覆條件為環(huán)境溫度低于3(TC和環(huán)境相對濕度低于40%，旋涂速度為5000轉/分鐘，旋涂時間為2分鐘。然后將旋涂好的LaA103單晶基片置于管式 爐中進行低溫熱處理。熱處理條件氣體流速保持為3mm/s，室溫條件下通入干燥的氧氣， 12(TC開始通入含有水汽分壓為610. 5Pa的水汽；從室溫到20(TC以3°C /分鐘的升溫速率 加熱，在200-25(TC溫區(qū)內(nèi)以0. 14°C /分鐘的升溫速率加熱，在250-40(TC溫區(qū)內(nèi)以1°C / 分鐘的升溫速率加熱，400°C以后停止加熱和通氣，冷卻至室溫。采用該方法制備的YBCO前 驅膜完整，表面光滑，無宏(微)觀裂紋，無孔洞。
實施例5 將前驅體乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅在室溫下按原子數(shù)比Y : Ba : Cu=l : 2 : 3 的比例混合，溶入去離子水中形成溶液，加入適量的三氟乙酸使乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅充 分溶解，在溫度8(TC條件下回流8小時，得到Y、Ba和Cu三氟乙酸鹽的混合物，然后加入甲 醇在旋轉蒸發(fā)儀上反復減壓蒸餾得純凈的Y、 Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠，在純凈的Y、 Ba 和Cu的三氟乙酸鹽凝膠中加入適量的溶劑無水甲醇和螯合劑丙二酸，得到Y、Ba和Cu三種 金屬離子總摩爾濃度為1. 8mol/L的釔鋇銅氧前驅液，所述無水甲醇和丙二酸的體積比為
18 ! 1。 將Y、 Ba、 Cu三種金屬離子總濃度為1. 8mol/L的YBCO前驅液旋涂于已用丙酮超 聲清洗過的LaA103單晶基片上，涂覆條件為環(huán)境溫度低于3(TC和環(huán)境相對濕度低于40%， 旋涂速度為5000轉/分鐘，旋涂時間為2分鐘。然后將旋涂好的LaA103單晶基片置于管 式爐中進行低溫熱處理。熱處理條件氧氣流速保持為3mm/s，室溫條件下通入干燥的氧 氣，14(TC開始通入含有水汽的氧氣，水汽分壓為680. 3Pa ;從室溫到200°C以3°C /分鐘的 升溫速率加熱，在200-25(TC溫區(qū)內(nèi)以0. 14°C /分鐘的升溫速率加熱，在250-40(TC溫區(qū)內(nèi) 以rc /分鐘的升溫速率加熱，400°C以后停止加熱和通氣，冷卻至室溫。采用該方法制備的 YBCO前驅膜完整，表面光滑，無宏(微)觀裂紋，無孔洞。
實施例6 將前驅體乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅在室溫下按原子數(shù)比Y : Ba : Cu=l : 2 : 3 的比例混合，溶入去離子水中形成溶液，加入適量的三氟乙酸使乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅充 分溶解，在溫度8(TC條件下回流8小時，得到Y、Ba和Cu三氟乙酸鹽的混合物，然后加入甲 醇在旋轉蒸發(fā)儀上反復減壓蒸餾得純凈的Y、 Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠，在純凈的Y、 Ba 和Cu的三氟乙酸鹽凝膠中加入適量的溶劑無水甲醇和螯合劑丙二酸，得到Y、Ba和Cu三種 金屬離子總摩爾濃度為1. 9mol/L的釔鋇銅氧前驅液，所述無水甲醇和丙二酸的體積比為
19 ! 1。 將Y、 Ba、 Cu三種金屬離子總濃度為1. 9mol/L的YBCO前驅液旋涂于已用丙酮超 聲清洗過的LaA103單晶基片上，涂覆條件為環(huán)境溫度低于3(TC和環(huán)境相對濕度低于40%， 旋涂速度為5000轉/分鐘，旋涂時間為2分鐘。然后將旋涂好的LaA103單晶基片置于管 式爐中進行低溫熱處理。熱處理條件氧氣流速保持為3mm/s，室溫條件下通入干燥的氧 氣，14(TC開始通入含有水汽的氧氣，水汽分壓為1228Pa ;從室溫到200°C以3°C /分鐘的升 溫速率加熱，在200-25(TC溫區(qū)內(nèi)以0. 14°C /分鐘的升溫速率加熱，在250-40(TC溫區(qū)內(nèi)以 1°C /分鐘的升溫速率加熱，40(TC以后停止加熱和通氣，冷卻至室溫。采用該方法制備的 YBCO前驅膜完整，表面光滑，無宏(微)觀裂紋，無孔洞。
實施例7
將前驅體乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅在室溫下按原子數(shù)比Y : Ba : Cu=l : 2 : 3
的比例混合，溶入去離子水中形成溶液，加入適量的三氟乙酸使乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅充
分溶解，在溫度8(TC條件下回流8小時，得到Y、Ba和Cu三氟乙酸鹽的混合物，然后加入甲醇在旋轉蒸發(fā)儀上反復減壓蒸餾得純凈的Y、 Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠，在純凈的Y、 Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠中加入適量的溶劑無水甲醇和螯合劑丙二酸，得到Y、Ba和Cu三種金屬離子總摩爾濃度為2. 0mol/L的釔鋇銅氧前驅液，所述無水甲醇和丙二酸的體積比為
20 : i。 將Y、Ba、Cu三種金屬離子總濃度為2. Omol/L的YBCO前驅液旋涂于已用丙酮超聲清洗過的LaA103單晶基片上，涂覆條件為環(huán)境溫度低于3(TC和環(huán)境相對濕度低于40%，旋涂速度為5000轉/分鐘，旋涂時間為2分鐘。然后將旋涂好的LaA103單晶基片置于管式爐中進行低溫熱處理。熱處理條件氧氣流速保持為10mm/s，室溫條件下通入干燥的氧氣，14(TC開始通入含有水汽的氧氣，水汽分壓為900Pa ;從室溫到200°C以3°C /分鐘的升溫速率加熱，在200-25(TC溫區(qū)內(nèi)以0. 14°C /分鐘的升溫速率加熱，在250-40(TC溫區(qū)內(nèi)以1°C /分鐘的升溫速率加熱，400°C以后停止加熱和通氣，冷卻至室溫。采用該方法制備的YBCO前驅膜完整，表面光滑，無宏(微)觀裂紋，無孔洞。
實施例8 將前驅體乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅在室溫下按原子數(shù)比Y : Ba : Cu=l : 2 : 3的比例混合，溶入去離子水中形成溶液，加入適量的三氟乙酸使乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅充分溶解，在溫度75t:條件下回流8. 5小時，得到Y、Ba和Cu三氟乙酸鹽的混合物，然后加入甲醇在旋轉蒸發(fā)儀上反復減壓蒸餾得純凈的Y、Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠，在純凈的Y、Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠中加入適量的溶劑無水甲醇和螯合劑丙二酸，得到Y、Ba和Cu三種金屬離子總摩爾濃度為1. 75mol/L的釔鋇銅氧前驅液，所述無水甲醇和丙二酸的體積比為
20 : i。 將Y、 Ba、 Cu三種金屬離子總濃度為1. 75mol/L的YBCO前驅液旋涂于已用丙酮超聲清洗過的LaA103單晶基片上，涂覆條件為環(huán)境溫度低于3(TC和環(huán)境相對濕度低于40%，旋涂速度為5000轉/分鐘，旋涂時間為2分鐘。然后將旋涂好的LaA103單晶基片置于管式爐中進行低溫熱處理。熱處理條件氧氣流速保持為20mm/s，室溫條件下通入干燥的氧氣，14(TC開始通入含有水汽的氧氣，水汽分壓為1050Pa ;從室溫到200°C以3°C /分鐘的升溫速率加熱，在200-25(TC溫區(qū)內(nèi)以0. 14°C /分鐘的升溫速率加熱，在250-40(TC溫區(qū)內(nèi)以1°C /分鐘的升溫速率加熱，40(TC以后停止加熱和通氣，冷卻至室溫。采用該方法制備的YBCO前驅膜完整，表面光滑，無宏(微)觀裂紋，無孔洞。 以上實例制得的YBCO前驅膜通過金相顯微鏡(OM)和掃描電鏡(SEM)觀察結果表明，這些前驅膜表面光滑，無宏(微)觀裂紋，無孔洞。對這些完整前驅膜在同樣的高溫熱處理條件下進行熱處理得到成相膜，通過X射線衍射的結果表明，具有很好的c軸織構，無雜相峰出現(xiàn)；掃描電鏡(SEM)觀察結果表明成相膜表面完整，無宏(微)觀裂紋，無空洞；原子力顯微鏡(AFM)觀察結果表明，這些成相膜表面粗糙度小，且無微裂紋和孔洞，對(103) cp掃描，衍射峰半高寬只有1.20° ，說明薄膜的面內(nèi)外延生長良好，薄膜中不存在大角度晶界，采用Jc-Scan Leipzig系統(tǒng)對的臨界電流密度進行了測定，77K時Jc超過2. 0MA/cm2。
以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例，并非對本發(fā)明作任何限制，凡是根據(jù)本發(fā)明技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結構變化，均仍屬于本發(fā)明技 術方案的保護范圍內(nèi)。
權利要求
一種釔鋇銅氧涂層導體前驅膜的制備方法，其特征在于該方法包括以下步驟(1)將前驅體乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅在室溫下按原子數(shù)比Y∶Ba∶Cu＝1∶2∶3的比例混合，溶入去離子水中形成溶液，加入適量的三氟乙酸使乙酸釔、乙酸鋇和乙酸銅充分溶解，在溫度60℃-80℃條件下回流6-10小時，得到Y、Ba和Cu三氟乙酸鹽的混合物，然后加入甲醇在旋轉蒸發(fā)儀上反復減壓蒸餾得純凈的Y、Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠，在純凈的Y、Ba和Cu的三氟乙酸鹽凝膠中加入適量的溶劑無水甲醇和螯合劑丙二酸，得到Y、Ba和Cu三種金屬離子總摩爾濃度為c的釔鋇銅氧前驅液，1.5≤c≤2.0mol/L，所述無水甲醇和丙二酸的體積比為15-20∶1；(2)在密閉的玻璃罩中通入氬氣或氮氣進行氣體交換，在涂覆環(huán)境溫度低于30℃和涂覆環(huán)境相對濕度低于40％的條件下，將步驟(1)中的釔鋇銅氧前驅液旋涂于已用丙酮超聲清洗過的LaAlO3單晶基片上，然后將旋涂好的LaAlO3單晶基片置于管式爐中進行低溫熱處理，低溫熱處理條件為氧氣流速保持為3-20mm/s，室溫條件下通入干燥的氧氣，150℃開始通入含有水汽的氧氣，水汽分壓為610.5-1228Pa，從室溫到200℃以3℃/分鐘的升溫速率加熱，在200-250℃溫區(qū)內(nèi)以0.14℃/分鐘的升溫速率加熱，在250-400℃溫區(qū)內(nèi)以1℃/分鐘的升溫速率加熱，400℃以后停止加熱和通氣，冷卻至室溫，即獲得均勻完整的釔鋇銅氧涂層導體前驅膜。
2. 按照權利要求1所述的一種釔鋇銅氧涂層導體前驅膜的制備方法，其特征在于步 驟(1)中所述無水甲醇和丙二酸的體積比為20 : 1。
3. 按照權利要求1所述的一種釔鋇銅氧涂層導體前驅膜的制備方法，其特征在于步 驟(2)中所述氬氣或氮氣的體積純度均^ 99.999%。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種釔鋇銅氧涂層導體前驅膜的制備方法，將Y、Ba、Cu三種金屬離子總濃度為1.5mol/L≤c≤2.0mol/L的釔鋇銅氧前驅液旋涂于已用丙酮超聲清洗過的LaAlO3單晶基片上，涂覆條件為環(huán)境溫度低于30℃和環(huán)境相對濕度低于40％，然后將旋涂好的LaAlO3單晶基片置于管式爐中進行低溫熱處理，即獲得均勻完整的釔鋇銅氧涂層導體前驅膜。該方法制備的釔鋇銅氧前驅膜完整，表面光滑，無宏(微)觀裂紋，無褶皺和孔洞，有利于YBCO的高溫成相，從而獲得高性能的釔鋇銅氧涂層導體。
文檔編號H01B13/00GK101710502SQ200910219600
公開日2010年5月19日 申請日期2009年12月18日 優(yōu)先權日2009年12月18日
發(fā)明者盧亞鋒, 張云, 張國防, 李成山, 金利華 申請人:西北有色金屬研究院