專利名稱：旋轉(zhuǎn)頭以及使用其夾住基板的方法
旋轉(zhuǎn)頭以及使用其夾住基板的方法 相關(guān)申請的交叉引用 該美國非臨時(shí)專利申請根據(jù)35U. S.C. § 119要求申請日為2008年11月26日、申 請?zhí)?0-2008-0118072的韓國專利申請的優(yōu)先權(quán)，其全部內(nèi)容通過引用合并于此。
背景技術(shù)：
在此公開的本發(fā)明涉及一種基板加工設(shè)備，尤其是，半導(dǎo)體加工工藝中支撐基板 的可旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)頭。 —般而言，半導(dǎo)體器件的制造通過在基板上沉積各種材料形成薄層、并對該薄層 進(jìn)行構(gòu)圖。為此需要多種工藝，這些工藝包括沉積工藝，顯影工藝，蝕刻工藝和清洗工藝。
其中，蝕刻工藝為從基板上去除涂層，清洗工藝為在進(jìn)行完制造半導(dǎo)體器件的一 組工藝之后、從基板的表面上去除雜質(zhì)。蝕刻工藝和清洗工藝根據(jù)工藝類型分為濕法工藝 和干法工藝，濕法工藝分為分批型工藝(batch-type process)和旋轉(zhuǎn)型工藝。
在旋轉(zhuǎn)型工藝中，支撐基板的銷釘部件安裝在旋轉(zhuǎn)頭的上表面上，且該旋轉(zhuǎn)頭是 可旋轉(zhuǎn)的、以旋轉(zhuǎn)由所述銷釘部件支撐的基板?；瘜W(xué)溶液(蝕刻溶液或清洗溶液)通過設(shè) 置為朝向基板上側(cè)的前部噴嘴和設(shè)置為朝向旋轉(zhuǎn)頭的背部噴嘴，供給至該基板的上表面或 下表面，從而通過此加工基板。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供的旋轉(zhuǎn)頭具有簡單的結(jié)構(gòu)，該旋轉(zhuǎn)頭穩(wěn)定地支撐基板。 本發(fā)明還提供設(shè)置有與基板接觸的卡緊銷釘?shù)男D(zhuǎn)頭。 本發(fā)明還提供設(shè)置有與高速基板的側(cè)部穩(wěn)定接觸的卡緊銷釘?shù)男D(zhuǎn)頭。
本發(fā)明實(shí)施例提供的旋轉(zhuǎn)頭，包括支承板；卡緊銷釘，安裝在所述支承板上，以
支撐基板的外側(cè)面；和卡緊銷釘移動裝置，用于沿第二方向移動所述卡緊銷釘，所述第二方
向垂直于從所述支承板的中心指向邊緣的第一方向。 在有些實(shí)施例中，所述支承板為圓形，且所述第一方向?yàn)樗鲋С邪宓膹较颉?
在其它實(shí)施例中，所述卡緊銷釘移動裝置可以包括移動桿，所述移動桿的縱向沿 所述第二方向，且所述移動桿的第一端部與所述卡緊銷釘連接；以及驅(qū)動部件，所述驅(qū)動 部件沿所述第二方向直線移動所述移動桿，以在支撐位置和等候位置之間移動所述卡緊銷 釘。 在其它實(shí)施例中，所述驅(qū)動部件可以包括導(dǎo)向裝置，所述導(dǎo)向裝置連接至各個(gè)所 述移動桿的第二端部，且所述導(dǎo)向裝置具有導(dǎo)向孔；和可旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)板，所述旋轉(zhuǎn)板為環(huán)形 且具有驅(qū)動桿，所述驅(qū)動桿插入所述導(dǎo)向裝置的導(dǎo)向孔中。 在其它實(shí)施例中，所述驅(qū)動部件還包括復(fù)位器，其中當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)、以便所述 驅(qū)動桿向所述導(dǎo)向孔施加接觸負(fù)荷以移動所述卡緊銷釘至等候位置時(shí)，所述復(fù)位器將所述 旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)返回至初始位置，且所述復(fù)位器包括彈性部件，所述彈性部件的第一端與所述 旋轉(zhuǎn)板連接、第二端與所述支承板連接以通過彈力產(chǎn)生回復(fù)力。
在其它的實(shí)施例中，所述旋轉(zhuǎn)板可以具有第一鎖栓，所述彈性部件的第一端固定 至所述第一鎖栓，所述支承板可以具有第二鎖栓，所述彈性部件的第二端固定至所述第二 鎖栓，所述第二鎖栓沿所述支承板的圓周方向與所述第一鎖栓間隔設(shè)置，且當(dāng)所述卡緊銷 釘位于等候位置時(shí)，所述彈性部件保持拉伸狀態(tài)。 在另外的實(shí)施例中，所述驅(qū)動部件還包括輥?zhàn)?，所述棍子可旋轉(zhuǎn)地連接至所述驅(qū) 動桿，且與所述導(dǎo)向孔的內(nèi)表面接觸，所述輥?zhàn)涌捎山饘僦圃臁?在另外的實(shí)施例中，所述導(dǎo)向孔可以具有長度大于所述輥?zhàn)油鈴降莫M槽形狀，以 使與所述導(dǎo)向孔的第一端相接觸的輥?zhàn)友厮鰧?dǎo)向孔移動，然后當(dāng)所述卡緊銷釘在支撐位 置和等候位置之間移動時(shí)，所述輥?zhàn)咏佑|所述導(dǎo)向孔的第二端。 在另外的實(shí)施例中，所述旋轉(zhuǎn)板可以具有沿徑向從所述旋轉(zhuǎn)板的圓周表面伸出的 多個(gè)突出部，所述突出部的數(shù)目對應(yīng)于所述驅(qū)動桿的數(shù)目，且所述驅(qū)動桿分別安裝在所述 突出部上。 在另外的實(shí)施例中，所述驅(qū)動部件還可以包括復(fù)位器，其中當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)、以 使所述驅(qū)動桿向所述導(dǎo)向孔施加接觸負(fù)荷、從而移動所述卡緊銷釘至等候位置時(shí)，所述復(fù) 位器將所述旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)返回至初始位置，所述復(fù)位器可以包括彈性部件，所述彈性部件具 有與所述突出部連接的第一端和與所述支承板連接的第二端，以通過彈力產(chǎn)生回復(fù)力，所 述突出部具有固定所述彈性部件的第一端的第一鎖栓，所述支承板具有固定所述彈性部件 的第二端的第二鎖栓，所述第二鎖栓和第一鎖栓沿所述支承板的圓周方向間隔設(shè)置，且當(dāng) 所述卡緊銷釘位于等候位置時(shí)，所述彈性部件保持拉伸狀態(tài)。 在另外的實(shí)施例中，所述驅(qū)動部件還可以包括形成在所述支承板上的擋塊，當(dāng)所 述旋轉(zhuǎn)板通過所述彈性部件回復(fù)時(shí)，所述擋塊限制形成在所述旋轉(zhuǎn)板上的所述突出部的旋 轉(zhuǎn)范圍。 在更進(jìn)一步的實(shí)施例中，其中每個(gè)所述彈性部件的第一端都與相鄰的一個(gè)所述突 出部連接，所述擋塊可以形成在所述支承板上，以限定不與所述彈性部件接觸的所述突出 部的旋轉(zhuǎn)范圍。 在更進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述卡緊銷釘移動裝置還可以包括接觸保持部件，其中 所述接觸保持部件旋轉(zhuǎn)所述旋轉(zhuǎn)板，以當(dāng)所述卡緊銷釘位于支撐位置時(shí)保持所述傳動桿與 所述導(dǎo)向孔接觸，且當(dāng)所述卡緊銷釘從支撐位置移動至等候位置時(shí)，所述接觸保持部件可 移動至允許所述旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)的位置。 在更一步的實(shí)施例中，當(dāng)所述支承板轉(zhuǎn)動時(shí)，所述接觸保持部件具有用于通過反 向離心力轉(zhuǎn)動所述旋轉(zhuǎn)板的形狀。 在更一步的實(shí)施例中，所述接觸保持部件可以包括第一突出部，所述第一突出部 從所述旋轉(zhuǎn)板的圓周表面突出；和保持桿，所述保持桿安裝在所述支承板上且通過反向離 心力旋轉(zhuǎn)以接觸所述第一突出部，其中所述保持桿包括中間部，所述中間部與所述支承板 連接以隨所述支承板旋轉(zhuǎn)；施壓部，所述施壓部從所述中間部向所述旋轉(zhuǎn)板延伸且推動所 述第一突出部；和導(dǎo)向部，所述導(dǎo)向部從所述中間部在所述支承板的圓周方向上延伸。
在更一步的實(shí)施例中，所述導(dǎo)向部可以比所述施壓部重，且所述導(dǎo)向部和所述施 壓部之間的角度為鈍角。 在更一步的實(shí)施例中，所述旋轉(zhuǎn)板可以具有沿所述旋轉(zhuǎn)板的徑向突出的多個(gè)第二突出部，所述第二突出部的數(shù)目可以對應(yīng)于所述驅(qū)動桿的數(shù)目，所述驅(qū)動桿可以分別安裝 在所述第二突出部上，且所述驅(qū)動部件還可以包括設(shè)置在所述支承板上的擋塊、以限制所 述第一突出部和第二突出部的旋轉(zhuǎn)范圍。 在更一步的實(shí)施例中，所述卡緊銷釘移動裝置還可以包括用于調(diào)整所述卡緊銷釘 支撐位置的距離調(diào)整部件，所述距離調(diào)整部件可以包括傳動軸，所述傳動軸沿所述移動桿 的縱向與所述移動桿軸向?qū)R，所述傳動軸可以具有與所述移動桿的第二端旋轉(zhuǎn)連接的端 部、和具有螺紋的外圓周表面，所述導(dǎo)向裝置可以包括第一本體，所述第一本體與所述傳 動軸螺紋連接；和第二本體，所述第二本體連接至所述第一本體，且與所述移動桿可移動的 接觸以防止所述第一本體相對于所述移動桿轉(zhuǎn)動。 在更一步的實(shí)施例中，所述距離調(diào)整部件還可以包括固定裝置，所述固定裝置設(shè) 在所述傳動軸的、以所述第一本體為基準(zhǔn)的、且與所述移動桿相對的另一端，且與所述傳動 軸螺紋連接。 在更一步的實(shí)施例中，所述卡緊銷釘移動裝置還可以包括導(dǎo)向部件，所述導(dǎo)向部 件安裝在所述支承板上且弓I導(dǎo)所述移動桿沿第二方向移動。 在本發(fā)明的其它實(shí)施例中，所述旋轉(zhuǎn)頭包括支承板；卡緊銷釘，所述卡緊銷釘安 裝在所述支承板上以支撐基板的外側(cè)面；和卡緊銷釘移動裝置，所述卡緊銷釘移動裝置用 于沿第二方向移動所述卡緊銷釘，所述第二方向不同與所述第一方向，所述第一方向?yàn)樗?述支承板的徑向。 在一些實(shí)施例中，所述卡緊銷釘移動裝置可以包括移動桿，所述移動桿長度方向 沿所述第二方向，且所述移動桿的第一端與所述卡緊銷釘連接；以及驅(qū)動部件，所述驅(qū)動部 件沿所述第二方向直線移動所述移動桿，以使所述卡緊銷釘在支撐位置和等候位置之間移 動。 在其它的實(shí)施例中，所述驅(qū)動部件可以包括導(dǎo)向裝置，所述導(dǎo)向裝置分別連接至 所述移動桿的第二端部，且具有導(dǎo)向孔；和可旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)板，所述旋轉(zhuǎn)板為環(huán)形、且具有插 入所述導(dǎo)向裝置的導(dǎo)向孔中的驅(qū)動桿。 在其它的實(shí)施例中，所述驅(qū)動部件還可以包括復(fù)位器，其中當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)、以
使所述驅(qū)動桿向所述導(dǎo)向孔施加接觸負(fù)荷、從而移動所述卡緊銷釘至等候位置時(shí)，所述復(fù)
位器將所述旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)返回至初始位置，所述復(fù)位器包括彈性部件，所述彈性部件具有與
所述旋轉(zhuǎn)板連接的第一端和與所述支承板連接的第二端，以通過彈力產(chǎn)生回復(fù)力。 在其他的實(shí)施例中，所述驅(qū)動部件還可以包括輥?zhàn)樱鲚佔(zhàn)有D(zhuǎn)地連接至所述
傳動桿，且與所述導(dǎo)向孔的內(nèi)表面接觸。 在其它的實(shí)施例中，所述導(dǎo)向孔具有長度大于輥?zhàn)油鈴降莫M槽形狀，以便接觸所 述導(dǎo)向孔第一端的所述輥?zhàn)友厮鰧?dǎo)向孔移動，然后當(dāng)所述卡緊銷釘在支撐位置和等候位 置之間移動時(shí)，所述輥?zhàn)咏佑|所述導(dǎo)向孔的第二端。 在另外的實(shí)施例中，所述旋轉(zhuǎn)板可以具有從所述旋轉(zhuǎn)板的圓周表面沿徑向伸出的 多個(gè)突出部，所述突出部的數(shù)目對應(yīng)于所述驅(qū)動桿的數(shù)目，且所述驅(qū)動桿分別安裝在所述 突出部上。 在另外的實(shí)施例中，所述卡緊銷釘移動裝置還可以進(jìn)一步包括接觸保持部件，其 中當(dāng)所述卡緊銷釘位于支撐位置時(shí)，所述接觸保持部件旋轉(zhuǎn)所述旋轉(zhuǎn)板、以保持所述傳動桿與所述導(dǎo)向孔接觸，且當(dāng)所述卡緊銷釘從支撐位置移動至等候位置時(shí)，所述接觸保持部 件可移動至允許所述旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)的位置。 在另外的實(shí)施例中，所述接觸保持部件可以包括第一突出部，所述第一突出部從
所述旋轉(zhuǎn)板的圓周表面突出；和保持桿，所述保持桿安裝在所述支承板上且通過反向離心
力旋轉(zhuǎn)以接觸所述第一突出部，其中所述保持桿包括中間部，所述中間部與所述支承板連
接以隨所述支承板旋轉(zhuǎn)；施壓部，所述施壓部從所述中間部向所述旋轉(zhuǎn)板延伸且推動所述
第一突出部；和導(dǎo)向部，所述導(dǎo)向部從所述中間部沿所述支承板的圓周方向延伸。 在另外的實(shí)施例中，所述卡緊銷釘移動裝置還可以包括調(diào)整所述卡緊銷釘支撐位
置的距離調(diào)整部件，所述距離調(diào)整部件可以包括傳動軸，所述傳動軸沿所述移動桿的縱向
與所述移動桿軸向?qū)R，所述傳動軸具有與所述移動桿的第二端旋轉(zhuǎn)連接的端部、和具有
螺紋的外圓周表面，所述導(dǎo)向裝置可以包括第一本體，所述第一本體與所述傳動軸螺紋連
接；和第二本體，所述第二本體連接至所述第一本體，且與所述移動桿移動接觸以防止所述
第一本體相對于所述移動桿轉(zhuǎn)動。 在本發(fā)明的其它實(shí)施例中，所述卡緊基板的方法包括在支撐位置和等候位置之 間沿第二方向移動支撐基板外側(cè)面的卡緊銷釘，所述第二方向不同于從支承板的中心指向 圓周的第一方向。 在一些實(shí)施例中，當(dāng)所述卡緊銷釘位于支撐位置時(shí)，所述卡緊銷釘沿所述第二方 向移動，以位于距所述支承板的中心相同距離的位置處。 在其它的實(shí)施例中，所述支承板為圓形，且所述第一方向?yàn)樗鲋С邪宓膹较?，?述第二方向垂直于所述第一方向。


本發(fā)明包括附圖以進(jìn)一步理解本發(fā)明，附圖并入說明書且構(gòu)成該說明書的一部 分。附圖示出了本發(fā)明的示范性實(shí)施例，并與說明一起用于說明本發(fā)明的原理。附圖中
圖1為本發(fā)明實(shí)施例的所述基板加工設(shè)備的平面圖；
圖2為本發(fā)明實(shí)施例的所述外殼的剖視圖；
圖3為圖2所示外殼的垂直切面透視圖；
圖4為本發(fā)明實(shí)施例的所述旋轉(zhuǎn)頭的平面圖；
圖5為沿圖4中I-I線的剖面圖；
圖6為沿圖4中II-II線的剖面圖； 圖7為示出了所述卡緊銷釘移動裝置和所述底板內(nèi)部結(jié)構(gòu)的仰視圖；
圖8為圖7中'A'部分的放大視圖； 圖9A和9B為本發(fā)明實(shí)施例中當(dāng)所述卡緊銷釘在等候位置和支撐位置之間移動 時(shí)，施加在所述卡緊銷釘移動裝置的部件上的力和所述卡緊銷釘移動裝置的部件的移動方 向的示意圖； 圖10為本發(fā)明實(shí)施例中所述接觸保持部利用反向離心力將所述卡緊銷釘與基板 接觸的過程的示意圖； 圖11為本發(fā)明實(shí)施例的所述距離調(diào)整部件操作的示意圖；禾口 圖12A至12E為所述距離調(diào)整部件變換所述卡緊銷釘支撐位置過程的示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面將參照附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。然而，本發(fā)明可以以不同的形式實(shí)施，且本發(fā)明并不受此處公開實(shí)施例的限制。相反的，提供這些實(shí)施例以使得公開徹底和全面，并能向本領(lǐng)域技術(shù)人員充分傳達(dá)本發(fā)明的范圍。同樣的附圖標(biāo)記代表全文中相同的部件。此外，公知功能或結(jié)構(gòu)的詳細(xì)說明被省略，以免使本發(fā)明的主旨產(chǎn)生不必要的模糊。
[實(shí)施例] 下面將介紹本發(fā)明實(shí)施例的設(shè)備，該設(shè)備利用化學(xué)溶液、清洗溶液和干燥氣體清洗基板W。然而，本發(fā)明的精神和范圍并不限于此，因此，本發(fā)明實(shí)施例的旋轉(zhuǎn)頭可以應(yīng)用于多種用于旋轉(zhuǎn)基板W的裝置中，以對基板W進(jìn)行加工，例如蝕刻加工。 圖1為當(dāng)前實(shí)施例中基板加工設(shè)備1的平面圖。參照圖l，基板加工設(shè)備1包括流體供給裝置10，外殼20，提升裝置30，和旋轉(zhuǎn)頭40。該流體供給裝置10向基板W供給用于加工基板的加工溶液或氣體。該旋轉(zhuǎn)頭40在加工過程中支撐和旋轉(zhuǎn)基板W。外殼20防止加工過程中使用的加工溶液和加工過程中產(chǎn)生的煙氣飛濺或泄漏至外部。提升裝置30上下移動外殼20，以改變外殼20和旋轉(zhuǎn)頭40之間的相對高度。 流體供給裝置10包括上部噴嘴部件100a和下部噴嘴部件100b?；錡與旋轉(zhuǎn)頭40的上表面以預(yù)定距離相間隔。上部噴嘴部件100a向位于旋轉(zhuǎn)頭40上的基板W的上表面供給加工溶液或氣體。下部噴嘴部件100b向位于旋轉(zhuǎn)頭40上的基板W的底面供給加工溶液或氣體。下部噴嘴部件100b可以在旋轉(zhuǎn)頭40和基板W之間供給加工溶液或氣體。
該上部噴嘴部件100a包括化學(xué)溶液供給噴嘴120a，清洗溶液供給噴嘴140a，和干燥氣體供給噴嘴160a。該化學(xué)溶液供給噴嘴120a向基板W供給多種類型的化學(xué)溶液。該化學(xué)溶液供給噴嘴120a包括多個(gè)噴射器121，支承桿件122，和桿移動裝置125。噴射器121設(shè)置在外殼20的一側(cè)。噴射器121分別連接至化學(xué)溶液存儲器(未示出)，以從每個(gè)儲存不同類型溶液的化學(xué)溶液存儲器中接收化學(xué)溶液。噴射器121沿預(yù)定方向相互平行。每一噴射器121都包括向上突出的突出部121a。突出部121a的側(cè)面可以具有凹槽(未示出)?；瘜W(xué)溶液可為硫酸、硝酸、氨水、氟酸和其與去離子水的混合物中的一種。每一個(gè)噴射器121的一端均具有排出口。 支撐桿122連接至其中一個(gè)噴射器121，以將噴射器121移動至位于旋轉(zhuǎn)頭40上的基板W的上部。支撐桿122為長桿狀。支撐桿122的縱向垂直于噴射器121的排列方向。支撐桿122的底面具有用于連接噴射器121的支座(未示出)。該支座包括支臂(未示出)，該支臂可插入設(shè)置在噴射器121的突出部121a上的凹槽內(nèi)。該支臂可以從突出部121a的外側(cè)旋轉(zhuǎn)或移動至突出部121a的凹槽。 桿移動裝置125在位于旋轉(zhuǎn)頭40上的基板W的上部位置和噴射器121的上部位置之間、沿著直線移動支撐桿122。桿移動裝置125包括支架123、導(dǎo)軌124、和驅(qū)動器(未示出)。導(dǎo)軌124位于外殼20的另一側(cè)，并沿著與噴射器121的排列相平行的直線延伸。支架123與導(dǎo)軌124連接，從而沿導(dǎo)軌124移動。支撐桿122固定在支架123上。驅(qū)動器提供用于沿直線移動支架123的驅(qū)動力。包括馬達(dá)和螺釘?shù)难b置可以沿直線移動支架123。或者，包括帶、帶輪和馬達(dá)的裝置可以沿直線移動支架123?；蛘?，線性電動機(jī)可以沿直線移動支架123。
清洗溶液供給噴嘴140a設(shè)置在外殼20的又一側(cè)，干燥氣體供給噴嘴160a設(shè)置在外殼20的再一側(cè)。清洗溶液供給噴嘴140a包括噴射器141，支撐桿142和驅(qū)動器144。噴射器141固定至支撐桿142的一端。通過驅(qū)動器144旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸(未示出)固定至支撐桿142的另一端。噴射器141從清洗溶液存儲器(未示出)中接收清洗溶液。干燥氣體供給噴嘴160a大致具有類似于清洗溶液供給噴嘴140a的結(jié)構(gòu)。干燥氣體供給噴嘴160a供給異丙醇和氮?dú)?，這些氣體可以是加熱的。 如圖4和圖5所示，下部噴嘴部件100b包括噴射頭180。噴射頭180包括頭部182和插入部184。頭部182向上凸起，并從旋轉(zhuǎn)頭40向上伸出。頭部182具有多個(gè)排出口 120b、140b和160b，這些排出口噴射多種類型化學(xué)溶液的一種溶液、清洗溶液和干燥氣體如異丙醇蒸氣或氮?dú)?。插入?84的直徑沿其縱向恒定，且小于頭部182下端的直徑。插入部184從頭部182向下延伸。插入部184插入設(shè)置在旋轉(zhuǎn)頭40中心的通孔內(nèi)。
旋轉(zhuǎn)頭40旋轉(zhuǎn)，以便將由上部噴嘴部件100a和下部噴嘴部件100b供給的化學(xué)溶液、清洗溶液和干燥氣體，從該基板W的上表面或下表面的中心分布至邊緣，從而清洗基板W。 圖2是外殼20的剖視圖。圖3是外殼20的垂直切面透視圖。參照圖2和圖3，外殼20具有開口的上部和內(nèi)部空間22，在該內(nèi)部空間22中加工基板W。旋轉(zhuǎn)頭40設(shè)置在內(nèi)部空間22中。用于支撐和旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)頭40的旋轉(zhuǎn)軸42固定在旋轉(zhuǎn)頭40的底面，并穿過外殼20底部的開口從外殼20中伸出。驅(qū)動器44，例如馬達(dá)，固定至旋轉(zhuǎn)軸42上，以向旋轉(zhuǎn)軸42提供轉(zhuǎn)矩。 外殼20用于分離和收集加工中使用的加工溶液，以便重復(fù)利用該加工溶液。外殼20包括多個(gè)收集槽220、240和260，這些收集槽分別收集在加工中使用的不同類型的加工溶液。根據(jù)當(dāng)前實(shí)施例的描述，收集槽220、240和260可以分別指的是內(nèi)側(cè)收集槽、中間收集槽和外側(cè)收集槽。 內(nèi)側(cè)收集槽220具有圍繞旋轉(zhuǎn)頭40的環(huán)狀結(jié)構(gòu)，中間收集槽240具有圍繞內(nèi)側(cè)收集槽220的環(huán)狀結(jié)構(gòu)，外側(cè)收集槽260具有圍繞中間收集槽240的環(huán)狀結(jié)構(gòu)。內(nèi)側(cè)收集槽220、中間收集槽240、和外側(cè)收集槽260分別具有連通外殼20的內(nèi)部空間22的入口 227、247和267。每個(gè)入口 227、247和267都具有環(huán)繞旋轉(zhuǎn)頭40的環(huán)形結(jié)構(gòu)。通過基板W旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力將加工時(shí)向基板W噴射的加工溶液，通過入口 227、247和267導(dǎo)入收集槽220、240和260。外側(cè)收集槽260的入口 267位于中間收集槽240的入口 247的垂直方向的上方，中間收集槽240的入口 247位于內(nèi)側(cè)收集槽220的入口 227的垂直方向的上方。也就是說，內(nèi)側(cè)收集槽220的入口 227，中間收集槽240的入口 247，和外側(cè)收集槽260的入口267相互之間具有不同的高度。 內(nèi)側(cè)收集槽220包括分別具有環(huán)形形狀的外壁222、底壁224、內(nèi)壁226和導(dǎo)流壁228。外壁222包括傾斜壁222a，該傾斜壁222a朝旋轉(zhuǎn)頭40外側(cè)方向向下傾斜；和垂直壁222b，該垂直比222b從傾斜壁222a的下端垂直向下延伸。底壁224從該垂直壁222b的下端沿朝向旋轉(zhuǎn)頭40的方向水平延伸。底壁224的一端和傾斜壁222a的上端位于同一垂直線上。內(nèi)壁226從底壁224的端部垂直向上延伸。內(nèi)壁226的上端延伸至一定位置，該位置與傾斜壁222a的上端具有預(yù)定距離的間隔。內(nèi)壁226和傾斜壁222a之間的垂直空間作為該內(nèi)側(cè)收集槽220的入口 227。
內(nèi)壁226具有多個(gè)環(huán)形排列的開口 223。每一開口 223都具有狹長切口的形狀。開口 223用作排氣孔，從而將引入內(nèi)側(cè)收集槽220中的氣體，通過旋轉(zhuǎn)頭40的下部空間排到外部。排放管225連接至底壁224。導(dǎo)入內(nèi)側(cè)收集槽220中的加工溶液通過排放管225輸出至用于重復(fù)利用該加工溶液的外部系統(tǒng)。 導(dǎo)流壁228包括傾斜壁228a，該傾斜壁228a從內(nèi)壁226的上端沿著朝向旋轉(zhuǎn)頭40外側(cè)的方向向下傾斜；和垂直壁228b，該垂直壁228b從傾斜壁228a的下端垂直向下延伸。垂直壁228b的下端與底壁224以預(yù)定距離相間隔。導(dǎo)流壁228引導(dǎo)從入口 227導(dǎo)入的加工溶液，進(jìn)入由外壁222、底壁224和內(nèi)壁226限定的空間229，因此加工溶液有效地流向該空間229。 中間收集槽240大于內(nèi)側(cè)收集槽220，以使中間收集槽240包圍內(nèi)側(cè)收集槽220。中間收集槽240包括外壁242、底壁244、內(nèi)壁246和突出壁248。中間收集槽240的外壁242、底壁244和內(nèi)壁246大致類似于內(nèi)側(cè)收集槽220的外壁222、底壁224和內(nèi)壁226。在構(gòu)成中間收集槽240的外壁242的傾斜壁242a的上端、和構(gòu)成內(nèi)側(cè)收集槽220的外壁222的傾斜壁222a的上端之間設(shè)有垂直空間。該垂直空間用作中間收集槽240的入口 247。突出壁248從底壁244的端部向下垂直延伸。中間收集槽240的內(nèi)壁246的上端與內(nèi)側(cè)收集槽220底壁224的端部接觸。用于排氣的狹長切口狀排氣孔243沿中間收集槽240的內(nèi)壁246環(huán)形設(shè)置。排氣管245連接至底壁244。導(dǎo)入中間收集槽240的加工溶液通過排放管245輸出至用于重復(fù)利用該加工溶液的外部系統(tǒng)。 外側(cè)收集槽260較中間收集槽240大，以使外側(cè)收集槽260包圍中間收集槽240。外側(cè)收集槽260包括外壁262和底壁264。外側(cè)收集槽260的外壁262與中間收集槽240的外壁242形狀相似。在構(gòu)成外側(cè)收集槽260的外壁262的傾斜壁262a的上端、和構(gòu)成中間收集槽240的外壁242的傾斜壁242a的上端之間設(shè)置有處置空間。該垂直空間作為外側(cè)收集槽260的入口 267。底壁264的形狀近似圓板，且在底壁264的中心設(shè)有開口 266，開口 266中插設(shè)有旋轉(zhuǎn)軸42。排放管265連接至底壁264。導(dǎo)入外側(cè)收集槽260的加工溶液通過排放管265輸出至用于重復(fù)利用該加工溶液的外部系統(tǒng)。外側(cè)收集槽260作為外殼20的外壁。排放管263連接至外側(cè)收集槽260的底壁264。導(dǎo)入外側(cè)收集槽260的氣體通過排放管263排出至外部。通過形成在內(nèi)側(cè)收集槽220的內(nèi)壁226上的排氣孔223、和形成在中間收集槽240的內(nèi)壁246上的排氣孔243排出的氣體，經(jīng)過連接至外側(cè)收集槽260的排放管263排放至外部。排放管263從底壁264向上伸出預(yù)定長度。 提升裝置30沿直線上下移動外殼20。當(dāng)外殼20上下移動時(shí)，外殼20和旋轉(zhuǎn)頭40的相對高度發(fā)生改變。提升裝置30包括支架32、移動軸34和驅(qū)動器36。支架32固定至外殼20的外壁，且通過驅(qū)動器36的驅(qū)動而上下移動的移動軸34固定在支架32上。當(dāng)將基板W裝載至旋轉(zhuǎn)頭40上、或從旋轉(zhuǎn)頭40上卸取時(shí)，外殼20向下移動以便從外殼20的上部露出旋轉(zhuǎn)頭40。當(dāng)進(jìn)行加工時(shí)，外殼20的高度根據(jù)供給基板W的加工溶液的類型進(jìn)行調(diào)整，以便將加工溶液引入至其中一個(gè)預(yù)設(shè)的收集槽220、240和260中。相反地，提升裝置30可以用于上下移動旋轉(zhuǎn)頭40。 以下，將參照圖4至圖6介紹旋轉(zhuǎn)頭40的結(jié)構(gòu)。圖4為旋轉(zhuǎn)頭40的平面圖。圖5為沿圖4中I-I線的剖面圖。圖6為沿圖4中II-II線的剖面圖。旋轉(zhuǎn)頭40包括支承板300、支撐銷釘400，卡緊銷釘500和卡緊銷釘移動裝置600。
支撐銷釘400支撐基板W的底面邊緣以便基板W與支承板300的上表面以預(yù)定距離相間隔。所有的支撐銷釘400都具有相同形狀和相同尺寸。支撐銷釘400包括上部420，該上部420的直徑向下逐漸增加；和下部440，該下部440沿上部420向下延伸且具有恒定直徑。具有外螺紋的螺紋部460位于下部440的下方。止塊部480位于下部440和螺紋部460之間，且該止塊部480的直徑大于下部440和螺紋部460的直徑。螺紋部460旋入支承板300中并且固定。止塊部480的底面與支承板300的上表面緊密接觸。止塊部480限制支撐銷釘400插入支承板300中的長度，以使支撐銷釘400具有相同的高度。
卡緊銷釘500在支承板300的邊緣從支承板300的上表面向上突出。卡緊銷釘500的數(shù)目可以為六個(gè)?？ňo銷釘500支撐基板W的外側(cè)部，以當(dāng)旋轉(zhuǎn)頭40旋轉(zhuǎn)時(shí)防止基板W偏離預(yù)定位置的橫向移動。所有的卡緊銷釘500都具有相同形狀和相同尺寸?？ňo銷釘500包括支撐部520、中間部540、連接部560和止塊部580。支撐部520的直徑從其平坦的上表面開始向下逐漸減小，然后再逐漸增大。因此，支撐部520具有凹陷部522，該凹陷部522在前視圖中向內(nèi)凹陷。凹陷部522與放置在支撐銷釘400上的基板W的外側(cè)部相接觸。中間部540從支撐部520的下端向下延伸，該中間部540的直徑與支撐部520下端的直徑相同。連接部560從支撐部520向下延伸。連接部560具有螺紋孔，以用于與卡緊銷釘移動裝置600連接。止塊部580從中間部540向外延伸，且為環(huán)形。止塊部580與支承板300的上表面緊密接觸，以使卡緊銷釘500以相同的高度伸出。 支承板300包括頂板320和底板340。俯視圖中，頂板320具有大致為圓形的上表面。底板340位于頂板320的下方，并提供容納卡緊銷釘移動裝置600的空間。頂板320具有螺紋孔324以固定支撐銷釘400。頂板320的邊緣具有銷釘孔322以插入卡緊銷釘500。
每一個(gè)銷釘孔322都具有狹長切口形狀。銷釘孔322的縱向垂直于頂板320的徑向。銷釘孔322具有等于或略大于卡緊銷釘500的中間部540的直徑的寬度，和用于引導(dǎo)卡緊銷釘500移動的長度。銷釘孔322的長度可以小于卡緊銷釘500的止塊部580的直徑?；蛘?，銷釘孔322可以為圓形。在這種情況下，銷釘孔322的直徑可以大于卡緊銷釘500的中間部540的直徑，并且小于止塊部580的直徑。頂板320的中心和底板340的中心均具有通孔，以插設(shè)噴射頭180。 卡緊銷釘移動裝置600在支撐位置和等候位置之間移動卡緊銷釘500。該支撐位置是加工期間卡緊銷釘500與基板W的外側(cè)部相接觸時(shí)的位置。該等候位置是卡緊銷釘500提供的大于基板W的空間的位置以將基板W放置在旋轉(zhuǎn)頭40上。因此，支撐位置比等候位置更接近支承板300的中心。 圖7為示出了卡緊銷釘移動裝置600和底板340內(nèi)部結(jié)構(gòu)的仰視圖。圖8是圖7中'A'部分的放大視圖；參照圖6至圖8，卡緊銷釘移動裝置600包括移動桿620、導(dǎo)向部件630和驅(qū)動部件。 移動桿620的數(shù)目等于卡緊銷釘500的數(shù)目。每一個(gè)卡緊銷釘500均連接至一個(gè)移動桿620。移動桿620沿垂直于支承板300徑向的方向設(shè)置在底板340中。如圖6所示，頂板320具有外側(cè)部，該外側(cè)部從頂板320的邊緣向下伸出。頂板320的外側(cè)部具有穿過從外部至內(nèi)部區(qū)域的孔329?？?29連通位于頂板320中的銷釘孔322。移動桿620的外端位于孔329中，且該外端具有螺紋孔628?？ňo銷釘500的連接部560的下端和移動桿620的外端通過螺釘590彼此固定
導(dǎo)向構(gòu)件630設(shè)置在每個(gè)移動桿620的移動路徑上，以將移動桿620引導(dǎo)在與支 承板300的徑向相垂直的方向上?；瑒虞S承可以用作導(dǎo)向構(gòu)件630，且其固定在支承板300 上。 驅(qū)動部件沿與支承板300徑向相垂直的方向移動該移動桿620，從而使卡緊銷釘 500在等候位置和支撐位置之間移動。驅(qū)動部件包括導(dǎo)向裝置710、旋轉(zhuǎn)板720、旋轉(zhuǎn)板驅(qū)動 器730和復(fù)位器740。 導(dǎo)向裝置710與移動桿620的第二端連接，以使導(dǎo)向裝置710設(shè)置在移動桿620 的與卡緊銷釘500相對的另一側(cè)。導(dǎo)向裝置710包括第一本體712和第二本體714。第一 本體712可以具有'□'形狀，并可以面向移動桿620的端部表面和移動桿620的側(cè)表面。 面向移動桿620的端部表面的第一部712a與距離調(diào)整部件780的傳動軸782螺釘連接，該 距離調(diào)整部件780將在以后描述。面向移動桿620的側(cè)表面的第二部712b具有沿著移動 桿620的縱向設(shè)置的槽形導(dǎo)向孔713。第二本體714與第一本體712的第二部712b的端部 連接，以形成具有'□'形狀的導(dǎo)向裝置710。第二本體714具有孔715。第二本體714通 過插入孔715中的螺釘716可移動的與移動桿620連接。相對的移動桿620的連接表面和 第二本體714的連接表面可以包括不能夠彼此相對旋轉(zhuǎn)的表面。也就是說，相對的移動桿 620的連接表面和第二本體714的連接表面可以包括平面。 旋轉(zhuǎn)板720近似為環(huán)形，且包括第一突出部722和第二突出部726，這些突出部從 旋轉(zhuǎn)板720的外側(cè)圓周表面向外突出。第一突出部722將隨后描述。第二突出部726的數(shù) 目等于移動桿620的數(shù)目。第二突出部726分別設(shè)置在與移動桿620相對應(yīng)的位置上。傳 動桿723沿與第二突出部726的平面相垂直的方向安裝。輥?zhàn)?24與傳動桿723可旋轉(zhuǎn)的 連接。輥?zhàn)?24插入在導(dǎo)向裝置710的導(dǎo)向孔713中，且可與導(dǎo)向孔713的內(nèi)表面接觸。輥 子724可以包括金屬軸承。 當(dāng)卡緊銷釘500在支撐位置和等候位置之間移動時(shí)，與導(dǎo)向孔713的一端相接處 的輥?zhàn)?24沿導(dǎo)向孔713移動，并然后與導(dǎo)向孔713的另一端相接觸。也就是說，當(dāng)輥?zhàn)?24 在導(dǎo)向孔713的兩端之間移動時(shí)、卡緊銷釘500沒有移動，而當(dāng)輥?zhàn)?24接觸導(dǎo)向孔713的 一端且向?qū)蚩?13施加接觸負(fù)荷時(shí)、卡緊銷釘500移動。為此，槽形導(dǎo)向孔713的長度可 以大于輥?zhàn)?24的外徑。 旋轉(zhuǎn)板驅(qū)動器730沿第一旋轉(zhuǎn)方向82旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)板720，且復(fù)位器740沿與第一轉(zhuǎn) 動方向82相反的第二旋轉(zhuǎn)方向84旋轉(zhuǎn)該旋轉(zhuǎn)板720。轉(zhuǎn)動柱體(未示出)可以用作旋轉(zhuǎn) 板驅(qū)動器730，以通過預(yù)定角度旋轉(zhuǎn)該旋轉(zhuǎn)板720。轉(zhuǎn)動柱體的旋轉(zhuǎn)軸(未示出)與圓周上 具有齒的第一齒輪部件732連接，第一齒輪部件732與具有內(nèi)齒的第二齒輪部件734嚙合。 第二齒輪部件734固定至旋轉(zhuǎn)板720。 復(fù)位器740將通過旋轉(zhuǎn)板驅(qū)動器730驅(qū)動旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)板720復(fù)位至初始位置。提 供彈力以作為回復(fù)力的彈性部件，如彈簧可以用作復(fù)位器740。旋轉(zhuǎn)板720具有固定彈簧的 第一端部的第一鎖栓728，支承板300的底板340具有固定彈簧的第二端部的第二鎖栓。
第一鎖栓728可以設(shè)在其中一個(gè)臨近的第二突出部726上。第二鎖栓729可以設(shè) 在與第一鎖栓728相對應(yīng)的底板340的區(qū)域上。復(fù)位器740的數(shù)目可以與第一鎖栓728的 數(shù)目或第二鎖栓729的數(shù)目相對應(yīng)。 支承板300具有擋塊342。當(dāng)復(fù)位器740回復(fù)旋轉(zhuǎn)板720時(shí)，擋塊342限制在旋轉(zhuǎn)板720上形成的第二突出部726的旋轉(zhuǎn)范圍。擋塊342的數(shù)目對應(yīng)于第二突出部726的數(shù) 目?；蛘?，擋塊342的數(shù)目對應(yīng)于未連接至復(fù)位器740的第二突出部726的數(shù)目。
圖9A和9B為示出了當(dāng)卡緊銷釘500在等候位置和支撐位置之間移動時(shí)，施加在 卡緊銷釘移動裝置600部件上的力、和卡緊銷釘移動裝置600的部件的移動方向的示意圖。
參照圖9A，當(dāng)旋轉(zhuǎn)板驅(qū)動器730沿第一旋轉(zhuǎn)方向82轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)板720時(shí)，輥?zhàn)?24 沿導(dǎo)向孔713移動，以沿移動桿620的縱向推動導(dǎo)向裝置710。然后，與導(dǎo)向裝置710連接 的移動桿620沿直線移動，將卡緊銷釘500從支撐位置移動至等待位置。此時(shí)，復(fù)位器740 的彈簧被拉伸。此后，參照圖9B，當(dāng)驅(qū)動力從旋轉(zhuǎn)板驅(qū)動器730上去除時(shí)，復(fù)位器740的彈 力沿第二旋轉(zhuǎn)方向84轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)板720，且輥?zhàn)?24反向移動以拉動導(dǎo)向裝置710。然后，連 接至導(dǎo)向裝置710的移動桿620移動，將卡緊銷釘500從等待位置移動至支撐位置。根據(jù) 當(dāng)前實(shí)施例，當(dāng)卡緊銷釘500位于支撐位置時(shí)，彈簧處于平衡狀態(tài)。因此，即使當(dāng)旋轉(zhuǎn)板驅(qū) 動器730未能在加工中起作用時(shí)，卡緊銷釘500也可以穩(wěn)定地支撐基板W。
當(dāng)旋轉(zhuǎn)頭40高速轉(zhuǎn)動時(shí)，離心力可以將卡緊銷釘500移動至支承板300的外圍。 因此，在加工中卡緊銷釘500不能牢固地支撐基板W。當(dāng)旋轉(zhuǎn)頭40轉(zhuǎn)動時(shí)，接觸保持部件 760在支撐位置處持續(xù)地使卡緊銷釘500與基板W的外側(cè)部相接觸。 接觸保持部件760包括從旋轉(zhuǎn)板720突出的第一突出部722，和保持桿762。第一 突出部722位于旋轉(zhuǎn)板720上的與保持桿762相對應(yīng)的位置處。保持桿762沿第二旋轉(zhuǎn)方 向84推動第一突出部722，以使得當(dāng)旋轉(zhuǎn)頭40轉(zhuǎn)動時(shí)，防止卡緊銷釘500由于反向離心力 而移動至等候位置。擋塊342限制第一突出部722的旋轉(zhuǎn)范圍。 例如，保持桿762具有利用通過旋轉(zhuǎn)頭40的旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的反向離心力推動第一突出 部722的形狀再次參照圖7，保持桿762包括中間部762a、施壓部762b和導(dǎo)向部762c。中 間部762a通過軸銷761與支承板300連接，因此可關(guān)于支承板300旋轉(zhuǎn)。施壓部762b從中 間部762a以預(yù)定方向延伸，導(dǎo)向部762c從中間部762a延伸出，以與施壓部762b之間形成 鈍角。施壓部762b和導(dǎo)向部762c分別具有桿狀外形。當(dāng)旋轉(zhuǎn)頭40轉(zhuǎn)動時(shí)，施壓部762b沿 第二旋轉(zhuǎn)方向84推動第一突出部722。當(dāng)旋轉(zhuǎn)頭40旋轉(zhuǎn)時(shí)，導(dǎo)向部762c引導(dǎo)施壓部762b 至第一突出部722。 導(dǎo)向部762c可以比施壓部762b重。在俯視圖中，導(dǎo)向部762c的寬度大于施壓部 762b的寬度。導(dǎo)向部762c的一端可以具有比施壓部762b厚的部分。 圖10為示出了連接保持部760利用反向離心力將卡緊銷釘500與基板W接觸的 過程的示意圖。 參照圖10，當(dāng)卡緊銷釘500移到支撐位置，且旋轉(zhuǎn)頭40轉(zhuǎn)動時(shí)，導(dǎo)向部762c由于 反向離心力沿與第二旋轉(zhuǎn)方向84相反的方向轉(zhuǎn)動。因?yàn)槭翰?62b固定至導(dǎo)向部762c， 因此施壓部762b隨導(dǎo)向部762c轉(zhuǎn)動。也就是說，施壓部762b由于反向離心力向第一突出 部722轉(zhuǎn)動，以便沿第二旋轉(zhuǎn)方向84推動第一突出部722。因此，當(dāng)旋轉(zhuǎn)頭40轉(zhuǎn)動時(shí)，卡緊 銷釘500持續(xù)地與基板W的外側(cè)部接觸。 如上所述，由于接觸保持部件760利用由于旋轉(zhuǎn)頭40旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的反向離心力推 動第一突出部722，因此不需要用于轉(zhuǎn)動接觸保持部件760的額外驅(qū)動器，從而使得結(jié)構(gòu)簡 化。或者，接觸保持部件760也可以包括額外驅(qū)動器，以沿第二旋轉(zhuǎn)方向84推動第一突出 部722。
根據(jù)在基板W上使用的前序工藝的類型，基板W的直徑可以發(fā)生變化。例如，當(dāng)將 使用在基板W上的熱處理工藝作為前序工藝時(shí)，基板W膨脹以改變直徑。此時(shí)，距離調(diào)整部 件780響應(yīng)基板W的直徑變化，可以調(diào)整卡緊銷釘500的位置以支撐基板W。
再次參照圖8，距離調(diào)整部件780包括傳動軸782，該傳動軸782沿移動桿620的縱 向與移動桿620的軸向?qū)R。傳動軸782的一端與移動桿620的第二端部可旋轉(zhuǎn)的連接。 在傳動軸782的外側(cè)圓周表面上形成有螺紋。傳動軸782與導(dǎo)向裝置710的第一本體712 螺紋連接。固定裝置784，設(shè)在以第一本體712為基準(zhǔn)的、與移動桿620相對的傳動軸782 的另一端，且與傳動軸782螺紋連接。 圖11為示出了距離調(diào)整部件780的操作的示意圖。參照圖11，當(dāng)傳動軸782沿順 時(shí)針方向轉(zhuǎn)動時(shí)，移動桿620和卡緊銷釘500在朝向支承板300外側(cè)的方向上沿直線移動。 相反的，當(dāng)傳動軸782逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)動時(shí)，移動桿620和卡緊銷釘500沿相反的方向直線移 動。因此，可以調(diào)整用于支撐基板W的卡緊銷釘500的位置。 圖12A至12E為距離調(diào)整部件780調(diào)整卡緊銷釘500的支撐位置過程的示意圖。 在下文中，將參照圖12A至12E說明距離調(diào)整部件780調(diào)整卡緊銷釘500支撐位置的過程。
參照圖12A，固定裝置784在傳動軸782上與第一本體712以間隔設(shè)置。由于固 定裝置784與傳動軸782螺紋連接，因此固定裝置784通過轉(zhuǎn)動該固定裝置784可以與第 一本體712間隔設(shè)置。然后，松開連接導(dǎo)向裝置710的第二本體714和移動桿620的螺釘 716。 參照圖12B，沿順時(shí)針方向轉(zhuǎn)動傳動軸782。當(dāng)螺釘從傳動軸782向移動桿620移 動時(shí)，順時(shí)針方向?yàn)楦鶕?jù)右手定則的旋轉(zhuǎn)方向。 參照圖12C，當(dāng)傳動軸782轉(zhuǎn)動時(shí)，傳動軸782、移動桿620和卡緊銷釘500沿從傳 動軸782向移動桿620的方向移動。因?yàn)閷?dǎo)向裝置710的第一本體712與傳動軸782螺紋 連接，且第一本體712的旋轉(zhuǎn)被限定，因此當(dāng)傳動軸782轉(zhuǎn)動時(shí)，傳動軸782沿軸向移動。
當(dāng)卡緊銷釘500移動以改變其支撐位置之后，參照圖12D，旋入螺釘716以將導(dǎo)向 裝置710的第二本體714固定至移動桿620。 參照圖12E，固定裝置784轉(zhuǎn)動，以與導(dǎo)向裝置710的第一本體712處于面接觸，因 此防止第一本體712的移動。 根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，在支承板旋轉(zhuǎn)期間，施加在卡緊銷釘?shù)碾x心力作用被最小 化，以便更穩(wěn)定地支撐基板。 根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，當(dāng)卡緊銷釘支撐基板的外側(cè)部時(shí)，所有的卡緊銷釘都與該 外側(cè)部接觸。因此，基板的位置是穩(wěn)定的，防止力集中在所有卡緊銷釘?shù)囊徊糠稚稀?
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，即使當(dāng)基板高速轉(zhuǎn)動時(shí)，所述卡緊銷釘仍然保持在與基板 的外側(cè)部的接觸位置上。 上述公開的內(nèi)容是基于說明性的，而非限制，且附加權(quán)利要求意圖覆蓋所有落入 本發(fā)明真實(shí)精神和范圍內(nèi)的此類修改、改進(jìn)、以及其他的實(shí)施例。因此，為最大限度被法律 所允許，本發(fā)明的范圍由下述權(quán)利要求和其等效的最寬許可解釋來決定，并不受前面詳細(xì) 說明的約束和限制。
權(quán)利要求
一種旋轉(zhuǎn)頭，包括支承板；卡緊銷釘，安裝在所述支承板上，以支撐基板的外側(cè)面；和卡緊銷釘移動裝置，用于沿第二方向移動所述卡緊銷釘，所述第二方向垂直于從所述支承板的中心指向邊緣的第一方向。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述支承板為圓形，且所述第一方向?yàn)樗鲋С邪宓膹较颉?br> 3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述卡緊銷釘移動裝置包括移動桿，所述移動桿的縱向沿所述第二方向，且所述移動桿的第一端與所述卡緊銷釘連接；和驅(qū)動部件，所述驅(qū)動部件沿所述第二方向直線移動所述移動桿，以在支撐位置和等候位置之間移動所述卡緊銷釘。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述驅(qū)動部件包括導(dǎo)向裝置，所述導(dǎo)向裝置連接至各個(gè)所述移動桿的第二端部，且具有導(dǎo)向孔；禾口可旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)板，所述旋轉(zhuǎn)板為環(huán)形且具有驅(qū)動桿，所述驅(qū)動桿插入所述導(dǎo)向裝置的導(dǎo)向孔中。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述驅(qū)動部件還包括復(fù)位器，其中當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)、以便所述驅(qū)動桿向所述導(dǎo)向孔施加接觸負(fù)荷以移動所述卡緊銷釘至等候位置時(shí)，所述復(fù)位器將所述旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)返回至初始位置，且所述復(fù)位器包括彈性部件，所述彈性部件的第一端與所述旋轉(zhuǎn)板連接、第二端與所述支承板連接以通過彈力產(chǎn)生回復(fù)力。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述旋轉(zhuǎn)板具有第一鎖栓，所述彈性部件的第一端固定至所述第一鎖栓，所述支承板具有第二鎖栓，所述彈性部件的第二端固定至所述第二鎖栓，所述第二鎖栓沿所述支承板的圓周方向與第一鎖栓間隔設(shè)置，且且當(dāng)所述卡緊銷釘位于等候位置時(shí)，所述彈性部件保持拉伸狀態(tài)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述驅(qū)動部件還包括輥?zhàn)?，所述棍子可旋轉(zhuǎn)地連接至所述驅(qū)動桿，且與所述導(dǎo)向孔的內(nèi)表面接觸。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述導(dǎo)向孔具有長度大于所述輥?zhàn)油鈴降莫M槽形狀，以使與所述導(dǎo)向孔的第一端相接觸的輥?zhàn)友厮鰧?dǎo)向孔移動，然后當(dāng)所述卡緊銷釘在支撐位置和等候位置之間移動時(shí)，所述輥?zhàn)咏佑|所述導(dǎo)向孔的第二端。
9. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述旋轉(zhuǎn)板具有沿徑向從所述旋轉(zhuǎn)板的圓周表面伸出的多個(gè)突出部，所述突出部的數(shù)目對應(yīng)于所述驅(qū)動桿的數(shù)目，且所述驅(qū)動桿分別安裝在所述突出部上。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述驅(qū)動部件還包括復(fù)位器，其中當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)、以使所述驅(qū)動桿向所述導(dǎo)向孔施加接觸負(fù)荷、從而移動所述卡緊銷釘至等候位置時(shí)，所述復(fù)位器將所述旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)返回至初始位置，所述復(fù)位器包括彈性部件，所述彈性部件具有與所述突出部連接的第一端和與所述支承板連接的第二端，以通過彈力產(chǎn)生回復(fù)力，所述突出部具有固定所述彈性部件的第一端的第一鎖栓，所述支承板具有固定所述彈性部件的第二端的第二鎖栓，所述第二鎖栓和第一鎖栓沿所述支承板的圓周方向間隔設(shè)置，且當(dāng)所述卡緊銷釘位于等候位置時(shí)，所述彈性部件保持拉伸狀態(tài)。
11. 據(jù)權(quán)利要求io所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述驅(qū)動部件還包括形成在所述支承板上的擋塊，當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)板通過所述彈性部件回復(fù)時(shí)，所述擋塊限制形成在所述旋轉(zhuǎn)板上的所述突出部的旋轉(zhuǎn)范圍。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，每個(gè)所述彈性部件的第一端都與相鄰的一個(gè)所述突出部連接，且所述擋塊形成在所述支承板上，以限制不與所述彈性部件接觸的所述突出部的旋轉(zhuǎn)范圍。
13. 據(jù)權(quán)利要求4所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述卡緊銷釘移動裝置還包括接觸保持部件，其中所述接觸保持部件旋轉(zhuǎn)所述旋轉(zhuǎn)板，以當(dāng)所述卡緊銷釘位于支撐位置時(shí)保持所述傳動桿與所述導(dǎo)向孔接觸，且當(dāng)所述卡緊銷釘從支撐位置移動至等候位置時(shí)，所述接觸保持部件可移動至允許所述旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)的位置。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，當(dāng)所述支承板轉(zhuǎn)動時(shí)，所述接觸保持部件具有用于通過反向離心力轉(zhuǎn)動所述旋轉(zhuǎn)板的形狀。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述接觸保持部件包括第一突出部，所述第一突出部從所述旋轉(zhuǎn)板的圓周表面突出；和保持桿，所述保持桿安裝在所述支承板上且通過反向離心力旋轉(zhuǎn)以接觸所述第一突出部，其中所述保持桿包括中間部，所述中間部與所述支承板連接以隨所述支承板旋轉(zhuǎn)；施壓部，所述施壓部從所述中間部向所述旋轉(zhuǎn)板延伸且推動所述第一突出部；和導(dǎo)向部，所述導(dǎo)向部從所述中間部在所述支承板的圓周方向上延伸。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述導(dǎo)向部比所述施壓部重。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述導(dǎo)向部和所述施壓部之間的角度為鈍角。
18. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述旋轉(zhuǎn)板具有沿所述旋轉(zhuǎn)板的徑向突出的多個(gè)第二突出部，所述第二突出部的數(shù)目對應(yīng)于所述驅(qū)動桿的數(shù)目，所述驅(qū)動桿分別安裝在所述第二突出部上，且所述驅(qū)動部件還包括設(shè)置在所述支承板上的擋塊、以限制所述第一突出部和第二突出部的旋轉(zhuǎn)范圍。
19. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述卡緊銷釘移動裝置還包括用于調(diào)整所述卡緊銷釘支撐位置的距離調(diào)整部件，所述距離調(diào)整部件包括傳動軸，所述傳動軸沿所述移動桿的縱向與所述移動桿軸向?qū)R，所述傳動軸具有與所述移動桿的第二端旋轉(zhuǎn)連接的端部、和具有螺紋的外圓周表面，所述導(dǎo)向裝置包括第一本體，所述第一本體與所述傳動軸螺紋連接；禾口第二本體，所述第二本體連接至所述第一本體，且與所述移動桿可移動地接觸以防止所述第一本體相對于所述移動桿轉(zhuǎn)動。
20. 根據(jù)權(quán)利要求19所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述距離調(diào)整部件還包括固定裝置，設(shè)在所述傳動軸的、以所述第一本體為基準(zhǔn)的、且與所述移動桿相對的另一端，且與所述傳動軸螺紋連接。
21. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述卡緊銷釘移動裝置還包括導(dǎo)向部件，所述導(dǎo)向部件安裝在所述支承板上且弓I導(dǎo)所述移動桿沿第二方向移動。
22. —種旋轉(zhuǎn)頭，包括支承板；卡緊銷釘，所述卡緊銷釘安裝在所述支承板上以支撐基板的外側(cè)面；禾口卡緊銷釘移動裝置，所述卡緊銷釘移動裝置用于沿第二方向移動所述卡緊銷釘，所述第二方向不同于所述第一方向，所述第一方向?yàn)樗鲋С邪宓膹较颉?br> 23. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述卡緊銷釘移動裝置包括移動桿，所述移動桿的長度方向沿所述第二方向，且所述移動桿的第一端與所述卡緊銷釘連接；禾口驅(qū)動部件，所述驅(qū)動部件沿所述第二方向直線移動所述移動桿，以使所述卡緊銷釘在支撐位置和等候位置之間移動。
24. 根據(jù)權(quán)利要求23所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述驅(qū)動部件包括導(dǎo)向裝置，所述導(dǎo)向裝置分別連接至所述移動桿的第二端部，且具有導(dǎo)向孔；禾口可旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)板，所述旋轉(zhuǎn)板為環(huán)形、且具有插入所述導(dǎo)向裝置的導(dǎo)向孔中的驅(qū)動桿。
25. 根據(jù)權(quán)利要求24所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述驅(qū)動部件還包括復(fù)位器，其中當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)、以使所述驅(qū)動桿向所述導(dǎo)向孔施加接觸負(fù)荷、從而移動所述卡緊銷釘至等候位置時(shí)，所述復(fù)位器將所述旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)返回至初始位置，所述復(fù)位器包括彈性部件，所述彈性部件具有與所述旋轉(zhuǎn)板連接的第一端和與所述支承板連接的第二端，以通過彈力產(chǎn)生回復(fù)力。
26. 根據(jù)權(quán)利要求24所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述驅(qū)動部件還包括輥?zhàn)?，所述輥?zhàn)有D(zhuǎn)地連接至所述傳動桿，且與所述導(dǎo)向孔的內(nèi)表面接觸。
27. 根據(jù)權(quán)利要求26所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述導(dǎo)向孔具有長度大于輥?zhàn)油鈴降莫M槽形狀，以便與所述導(dǎo)向孔第一端接觸的所述輥?zhàn)友厮鰧?dǎo)向孔移動，然后當(dāng)所述卡緊銷釘在支撐位置和等候位置之間移動時(shí)，所述輥?zhàn)咏佑|所述導(dǎo)向孔的第二端。
28. 根據(jù)權(quán)利要求24所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述旋轉(zhuǎn)板具有從所述旋轉(zhuǎn)板的圓周表面沿徑向伸出的多個(gè)突出部，所述突出部的數(shù)目對應(yīng)于所述驅(qū)動桿的數(shù)目，且所述驅(qū)動桿分別安裝在所述突出部上。
29. 根據(jù)權(quán)利要求24所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述卡緊銷釘移動裝置還包括接觸保持部件，其中當(dāng)所述卡緊銷釘位于支撐位置時(shí)，所述接觸保持部件旋轉(zhuǎn)所述旋轉(zhuǎn)板以保持所述傳動桿與所述導(dǎo)向孔接觸，且當(dāng)所述卡緊銷釘從支撐位置移動至等候位置時(shí)，所述接觸保持部件可移動至允許所述旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)的位置。
30. 根據(jù)權(quán)利要求29所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述接觸保持部件包括第一突出部，所述第一突出部從所述旋轉(zhuǎn)板的圓周表面突出；和保持桿，所述保持桿安裝在所述支承板上且通過反向離心力旋轉(zhuǎn)以接觸所述第一突出部，其中所述保持桿包括中間部，所述中間部與所述支承板連接以隨所述支承板旋轉(zhuǎn)；施壓部，所述施壓部從所述中間部向所述旋轉(zhuǎn)板延伸且推動所述第一突出部；禾口導(dǎo)向部，所述導(dǎo)向部從所述中間部沿所述支承板的圓周方向延伸。
31. 根據(jù)權(quán)利要求24所述的旋轉(zhuǎn)頭，其中，所述卡緊銷釘移動裝置還包括調(diào)整所述卡緊銷釘支撐位置的距離調(diào)整部件，所述距離調(diào)整部件包括傳動軸，所述傳動軸沿所述移動桿的縱向與所述移動桿軸向?qū)R，所述傳動軸具有與所述移動桿的第二端旋轉(zhuǎn)連接的端部、和具有螺紋的外圓周表面，所述導(dǎo)向裝置包括第一本體，所述第一本體與所述傳動軸螺紋連接；禾口第二本體，所述第二本體連接至所述第一本體，且與所述移動桿移動接觸以防止所述第一本體相對于所述移動桿轉(zhuǎn)動。
32. —種卡緊基板的方法，所述方法包括在支撐位置和等候位置之間沿第二方向移動支撐基板外側(cè)面的卡緊銷釘，所述第二方向不同于從支承板的中心指向圓周的第一方向。
33. 根據(jù)權(quán)利要求32所述的方法，其中，當(dāng)所述卡緊銷釘位于支撐位置時(shí)，所述卡緊銷釘沿所述第二方向移動，以位于距所述支承板的中心相同距離的位置處。
34. 根據(jù)權(quán)利要求32所述的方法，其中，所述支承板為圓形，且所述第一方向?yàn)樗鲋С邪宓膹较颉?br> 35. 根據(jù)權(quán)利要求34所述的方法，其中，所述第二方向垂直于所述第一方向。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種旋轉(zhuǎn)頭?？ňo銷釘，安裝在支承板上以支撐基板的外側(cè)面，并沿與所述支承板的徑向垂直的方向移動。在所述支承板旋轉(zhuǎn)期間，施加在所述卡緊銷釘?shù)碾x心力作用被最小化，以便更穩(wěn)定地支撐基板。
文檔編號H01L21/687GK101740452SQ20091022419
公開日2010年6月16日 申請日期2009年11月26日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月26日
發(fā)明者李澤燁 申請人:細(xì)美事有限公司