專利名稱：用于將基板引入處理室的系統(tǒng)和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基板處理系統(tǒng)，特別涉及用在基板處理系統(tǒng)中以方便傳送基板的監(jiān)視 系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
平板顯示器可包括液晶顯示器、等離子顯示板、有機發(fā)光二極管以及其它類似器 件。這些平板顯示器可以利用包括處理室、加載鎖定真空室和傳送室的真空處理設(shè)備來制 造。 處理室處理基板的表面，例如，通過在真空中使用等離子、熱能或類似物而進(jìn)行蝕 刻處理。加載鎖定真空室從外側(cè)接收未處理基板，并將處理后的基板排放到外側(cè)，同時在大 氣狀態(tài)和真空狀態(tài)之間進(jìn)行交替。當(dāng)將基板引入處理室和由處理室排放時，傳送室可以用 作中間保持地點。為此，傳送室可以布置在處理室和加載鎖定真空室之間。正確排序和傳 送基板進(jìn)出處理室，對于確保正確處理基板和防止基板在傳送過程中受損是重要的。


下面將參照附圖描述本發(fā)明的實施方式，在附圖中以相同的附圖標(biāo)記表示類似的 元件。在附圖中 圖1A和1B是代表性處理室的剖視圖，其中圖1A示出了抬升銷的升高狀態(tài)，圖1B 示出了抬升銷的降低狀態(tài)； 圖2A和2B是圖1A和1B中所示代表性處理室中安置的基板的俯視圖，其中圖2A 示出了基板的破裂狀態(tài)，圖2B示出了基板的錯誤加載狀態(tài)；
圖3是用于制造平板顯示器的代表性設(shè)備的俯視圖； 圖4是處理室的剖視圖，根據(jù)這里在廣泛意義上描述的第一實施方式的利用抬升 銷判斷是否存在基板的裝置可被采用于此；
圖5是圖4中的部分'A'的放大圖； 圖6是根據(jù)這里在廣泛意義上描述的第二實施方式的利用抬升銷判斷是否存在 基板的裝置的局部剖視圖； 圖7是根據(jù)這里在廣泛意義上描述的第三實施方式的利用抬升銷判斷是否存在 基板的裝置的局部剖視圖； 圖8是根據(jù)這里在廣泛意義上描述的一個實施方式的通過利用抬升銷判斷是否 存在基板的裝置來引入基板并且檢測所引入基板狀態(tài)的方法的流程圖；
圖9是處理室的剖視圖，其中根據(jù)這里在廣泛意義上描述的第四實施方式的利用 抬升銷判斷是否存在基板的裝置可被采用于此；
圖IOA和10B是圖9中的部分'B'的放大圖，其中圖10A示出了抬升銷不發(fā)生位 移的狀態(tài)，圖10B示出了抬升銷發(fā)生位移的狀態(tài)； 圖IIA和IIB是根據(jù)這里在廣泛意義上描述的第五實施方式的利用抬升銷判斷是 否存在基板的裝置的剖視圖； 圖12A-12D是代表性位移檢測裝置的剖視圖，其可被用在圖9所示的利用抬升銷 判斷是否存在基板的裝置中； 圖13A-13D是各種位移檢測裝置的剖視圖，它們可被用在圖ll所示的利用抬升銷 判斷是否存在基板的裝置中； 圖14是用于通過圖9或圖11中所示的利用抬升銷判斷是否存在基板的裝置來引 入基板并且檢測所引入基板狀態(tài)的方法的流程圖； 圖15是平板顯示器制造設(shè)備的剖視圖，其中，根據(jù)這里在廣泛意義上描述的第六 實施方式的用于判斷閘門閥開閉的裝置可被采用于此；
圖16是圖15所示的閘門閥檢測裝置的放大圖； 圖17是圖15所示的閘門閥檢測裝置的沿著箭頭A'所示的方向所作的剖視圖；
圖18是根據(jù)這里在廣泛意義上描述的第七實施方式的用于判斷閘門閥開閉的裝 置的局部剖視圖； 圖19是根據(jù)這里在廣泛意義上描述的第八實施方式的用于判斷閘門閥開閉的裝 置的局部剖視圖； 圖20是根據(jù)這里在廣泛意義上描述的第九實施方式的用于判斷閘門閥開閉的裝 置的局部剖視圖；以及 圖21是代表性傳送機器人的透視圖。
具體實施例方式
下面參看本發(fā)明的各種實施方式，它們的例子顯示在附圖中。盡可能地在所有附 圖和說明書中用相同的附圖標(biāo)記表示相同或相似的部件。 圖1A和1B是代表性實施方式的處理室的剖視圖。處理室可包括室ll，其在側(cè)壁 中具有閘門縫(gate slit)llg，以使得基板可以被引入室ll或從室ll排出，安裝于室ll 的上部區(qū)域中的上側(cè)電極組件12，安置在上側(cè)電極組件12下面的下側(cè)電極組件13，安裝于 下側(cè)電極組件13中的多個抬升銷14，以及同時升降所述多個抬升銷14的抬升機構(gòu)15。如 有必要，閘門縫和閘門閥也可以配備給傳送室和/或加載鎖定真空室。
閘門縫llg可以通過閘門閥llv而被開閉。待處理基板可以布置在下側(cè)電極組件 13的上表面或"臺面"上。抬升機構(gòu)15可包括銷板16，其上固定著相應(yīng)抬升銷14的下端， 以及以滾珠絲杠驅(qū)動方式升降銷板16的滾珠絲杠17和電機18。 為將基板引入處理室，在加載鎖定真空室(未示出)中處于待用狀態(tài)的傳送機器 人(未示出)可被致動?；蹇梢员槐３衷谙聜?cè)電極組件13(以下稱作"臺面")上方，如 顯示于圖1A，并且抬升銷14可以通過抬升機構(gòu)15而被抬升。然后，當(dāng)抬升銷14被充分抬 升后，傳送機器人可以將基板安置在升高的抬升銷14上并移出室11，并且抬升銷14可以被 降低。如顯示于圖1B，一旦被完全降低，抬升銷14即完全撤入臺面13中并且不再突伸到臺 面13的上表面上方，而基板由臺面13支撐。
當(dāng)基板的表面處理完成后，抬升銷14可以被抬升以從臺面13升高基板，傳送機器 人的臂可以移動到基板下面的位置。之后，隨著抬升銷14下降，基板可以在傳送機器人移 出室11時支靠在傳送機器人的臂上，以從室11排放基板。在如前所述的處理室中，連續(xù)引 入基板容易持續(xù)進(jìn)行，除非處理過程被手工中斷。因此，如果基板被引入室11中以便處理， 并且另一基板已經(jīng)安置在室11處，則傳送機器人的臂和先前引入的基板可能相互干涉，有 可能損壞一或兩個基板。 為了解決這一問題，室11可包括檢測窗(未示出)，以允許從外側(cè)觀察室11的內(nèi) 部。然而，室11的內(nèi)部可能照明不佳，或未照明，因此可能難以確實地證實基板是否存在于 室11中。另外，每次為將被引入室11的新基板實施視頻檢測室11的內(nèi)部以檢查基板是否 存在是耗時的并且可能導(dǎo)致制造過程緩慢。 如果不執(zhí)行視頻檢測，或檢測不精確，基板可能會在破裂狀態(tài)下被引入室11，如顯 示于圖2A，或者，取決于傳送機器人的狀態(tài)，所引入的基板可能被錯誤地加載，如顯示于圖 2B。如果破裂或錯位的基板被引入室ll，處理操作可能被實施于最終被廢棄的基板。
圖3是用于制造平板顯示器的代表性設(shè)備的俯視圖，所述設(shè)備可包括加載鎖定真 空室(load lock chamber) l，具有閘門縫22和閘門閥24的處理室(process chamber) 2， 傳送室3，傳送機器人4，和導(dǎo)向件5。傳送機器人4可包括機器人本體42，其在驅(qū)動裝置產(chǎn) 生的驅(qū)動力作用下沿著導(dǎo)向件5移動，以及手部44，其配備給機器人本體42，以接收將被傳 送的基板。 為將基板引入處理室2以便處理，閘門閥24可以被打開以敞開閘門縫22。傳送 機器人4可以被加載鎖定真空室1中的基板加載并沿著導(dǎo)向件5朝向處理室2移動，并且 可以通過閘門縫22進(jìn)入處理室2。然后，傳送機器人4可以卸載基板并且返回至傳送室3。 在處理過程中，閘門閥24和閘門縫22可以保持關(guān)閉。 如前所述，當(dāng)將基板引入處理室2時，閘門閥24需要被打開以敞開閘門縫22。然 而，如果閘門閥24由于例如故障或誤操作而保持關(guān)閉，則由于如前所述設(shè)備的構(gòu)造和檢測 能力，這種狀態(tài)可能不被識別出來。因此，通過傳送機器人4而被傳送進(jìn)入處理室2的基板 可能碰撞到閘門閥24，有可能損壞基板、傳送機器人4和/或閘門閥24。
為解決這些問題，如顯示于圖4和5，處理室可包括室51，其可以提供真空空間以 用于基板的表面處理，分別可以彼此面對面地安裝在室51內(nèi)的上側(cè)區(qū)域和下側(cè)區(qū)域的上 側(cè)電極組件52和下側(cè)電極組件53，可以通過下側(cè)電極組件53豎直升降的多個抬升銷54， 可以同時升高和同時降低所述多個抬升銷54的銷抬升機構(gòu)55，以及利用抬升銷54和相關(guān) 的銷抬升機構(gòu)55來判斷基板是否已經(jīng)存在于室51中的裝置60。室51可以具有位于其一 個側(cè)壁中的閘門縫51g，基板可以通過該閘門縫被引入室51或從室51排出。閘門縫51g可 以通過閘門閥51v而被開閉。波紋管59可以在室51和銷抬升機構(gòu)55的一部分之間包圍 抬升銷54，以在室51中維持真空狀態(tài)。 上側(cè)電極組件52可包括噴頭(未示出)用于噴射處理氣體，以用于基板的表面處 理。下側(cè)電極組件53可以用作可在其上安置所引入的基板的卡盤頭，因此下側(cè)電極組件53 的接收表面可以被稱作"臺面"。下側(cè)電極組件53可包括銷孔53h，相應(yīng)抬升銷54可以通 過銷孔而被抬升和降低。銷孔53h可以沿豎直方向延伸，或沿著與抬升銷54的定向相對應(yīng) 的方向延伸。銷孔53h可以以規(guī)則的間隔靠近下側(cè)電極組件53(以下稱作"臺面")的邊緣提供。取決于抬升銷54的數(shù)量和位置，以及基板所需的定位、支撐和運動，銷孔53h的數(shù)量 和位置可以變化。 銷抬升機構(gòu)55可包括銷板56，可以在其上固定相應(yīng)抬升銷54的下端，以及驅(qū)動裝 置，用于升降銷板56。圖4中所示的驅(qū)動裝置包括滾珠絲杠57，其連接著銷板56，以及電機 58，其用于沿兩個方向(順時針和逆時針)旋轉(zhuǎn)滾珠絲杠57。其它用于驅(qū)動裝置的部件也 是可以構(gòu)想出來的。 用于判斷是否存在基板的裝置60可包括基板檢測裝置61，判斷裝置62和通知裝 置63。當(dāng)抬升銷54被升高而從臺面53伸出并且支撐基板時，基板檢測裝置61可以檢測基 板負(fù)載是否作用在抬升銷54上?；鍣z測裝置61可以以下述方式構(gòu)造，即當(dāng)其檢測到基 板負(fù)載作用在抬升銷54上時，相應(yīng)的檢測結(jié)果，或檢測信號，從基板檢測裝置61輸出到判 斷裝置62。為了便于基本上立即輸出這樣的信號，判斷裝置62可以電連接至基板檢測裝置 61。 基板檢測裝置61可包括傳感器，其安裝在將被帶到與基板接觸的抬升銷54中的 一些或全部的相應(yīng)上端，并且在基板負(fù)載作用在抬升銷54上時將被基板負(fù)載致動。當(dāng)傳感 器接收基板負(fù)載時，傳感器可以由基板負(fù)載致動，并且輸出相應(yīng)的檢測信號至判斷裝置62。 例如，推壓式開關(guān)可以被構(gòu)造成使得，當(dāng)推壓式開關(guān)被推壓時，電連接被機械地建立。作為 可選方式，電接觸傳感器或電氣檢測與基板之間接觸的電應(yīng)變儀可以被采用。
判斷裝置62可以從基板檢測裝置61也就是傳感器接收檢測信號，并因此而判斷 是否存在基板。判斷裝置62可包括控制裝置，用于控制平板顯示器制造設(shè)備的操作。當(dāng)如 前所述判斷出基板存在于室51中時，控制裝置可以輸出相應(yīng)的控制信號，從而使得可電連 接至控制裝置的通知裝置63可被致動。相反，如果判斷出沒有基板存在于室51中，則控制 裝置可以輸出相應(yīng)的控制信號，從而使得待處理基板可以被引入室51中。通過這種方式， 控制裝置可以控制平板顯示器制造設(shè)備的操作。 在控制裝置的控制下，通知裝置63可以通知工人基板是否存在。通知裝置63可 包括，例如，警示燈63w或監(jiān)視器，用于視頻通知，揚聲器63s或蜂鳴器，用于聲頻通知，或如 有必要，包括其它裝置。類似地，視頻通知裝置和聲頻通知裝置可以被一起使用。
警示燈63w的設(shè)置數(shù)量可以對應(yīng)于傳感器61的數(shù)量(抬升銷54的數(shù)量，如果每 個抬升銷54具有一個傳感器61的話)，從而使得，當(dāng)每個傳感器61輸出檢測信號時，控制 裝置可以響應(yīng)于檢測信號而接通相應(yīng)的警示燈63w。在這一方面，由于傳感器61安裝在每 個相應(yīng)抬升銷54上的事實，如果室51中基板負(fù)載不均勻分布并且因此不作用在所有抬升 銷54上，則可以判斷出基板局部破裂，或者在基板負(fù)載不作用在所有的抬升銷54上的情況 下判斷出基板被錯誤加載。結(jié)果，可以確定所引入的基板是否處在正確狀態(tài)。
如顯示于圖6，根據(jù)第二實施方式的利用抬升銷判斷是否存在基板的裝置可包括 分別安裝在抬升銷54下端的基板檢測裝置61A，以便被安置在抬升銷54與其支撐結(jié)構(gòu)例如 銷板56之間。作為可選方式，支撐結(jié)構(gòu)可包括其它構(gòu)成元件，只要它們沿著基板負(fù)載作用 在抬升銷54上的作用線安置以支撐抬升銷54即可。 如顯示于圖7，在根據(jù)第三實施方式的利用抬升銷判斷是否存在基板的裝置中，每 個抬升銷54B可包括上側(cè)銷54u，其安置在上側(cè)位置，以及下側(cè)銷54d，其安置在上側(cè)銷54u 下面。因此，整體上看，每個抬升銷54B可以具有被劃分為上下側(cè)部分結(jié)構(gòu)的?；鍣z測裝置61B可以布置在抬升銷54B的以這種方式劃分的上側(cè)銷54u和下側(cè)銷54d之間。基板檢
測裝置61B可以安裝在下側(cè)銷54d的上端，或安裝在上側(cè)銷54u的下端。 下面將參照圖8描述一種使用根據(jù)第一至第三實施方式的用于判斷是否存在基
板的裝置中的任何一個來引入基板并且檢測所引入基板的狀態(tài)的方法。 在正常操作中，抬升銷54可以被降低并且插入銷孔53h，從而使得其上端不從臺
面53伸出。為將加載鎖定真空室中處于待用狀態(tài)的基板引入室51，并將基板加載到臺面
53上以便處理，所述多個抬升銷54可以利用來自銷抬升機構(gòu)55(S1)的驅(qū)動力而同時升起
以接收基板，并且然后降低至它們的初始位置。 基板檢測裝置61的傳感器通過檢測基板負(fù)載是否作用在抬升銷54上而檢測基板是否安置在抬升銷54上，并且將檢測結(jié)果傳送到控制裝置(S2)。如果來自至少一個傳感器的檢測信號輸入到控制裝置，則控制裝置判斷出基板存在(S3)。相反，如果沒有檢測信號從傳感器輸入，則控制裝置判斷出沒有基板存在(S4)。 當(dāng)基板的存在被確定后(S3)，控制裝置輸出控制信號并且啟動通知裝置63(S13)。工人可以基于通知識別基板的存在，并且可以采取后續(xù)的所需行動。在這種情況下，如果在室51中檢測到當(dāng)前存在基板，控制裝置可以進(jìn)一步被構(gòu)造成防止引入新的基板。作為可選方式，或者作為附加，處理過程可以前進(jìn)至判斷是否負(fù)載作用在所有抬升銷54上(S7)，以確定被檢測基板的狀態(tài)。 當(dāng)判斷出不存在基板后(S4)，傳送機器人可以被驅(qū)動以弓|入待處理基板，并將基
板放置在臺面53上(S5)。抬升銷54可以被抬升以從傳送機器人接收新引入的基板，并且
然后降低至初始位置(S6)。在抬升銷54接收基板后，傳送機器人可以移出室51。 傳感器檢測基板負(fù)載是否作用在所有抬升銷54上，而控制裝置從傳感器接收檢
測結(jié)果(S7)。如果沒有從每個傳感器接收到檢測信號，則控制裝置判斷出相應(yīng)的基板的一
部分破裂(見圖2A)，或者基板被錯誤加載(見圖2B) (S8)。相反，如果檢測信號被從所有
傳感器輸入，則控制裝置判斷出基板沒有破裂并且基板已被正確加載(S9)。 如果判斷出基板處于不正確狀態(tài)時(S8)，控制裝置輸出信號以啟動通知裝置
63(S13)，以便通知工人這種狀況。因此，工人可以識別基板狀態(tài)，并且可以采取適宜的行
動?？刂蒲b置可以進(jìn)一步被構(gòu)造成中斷執(zhí)行后續(xù)過程，直至工人采取修正行動。 相反，如果判斷出基板處在正確狀態(tài)(S9)，基板的表面處理被執(zhí)行(S10)。如果表
面處理完成，已經(jīng)完全經(jīng)歷表面處理的基板通過下述方式而被排出，即升高抬升銷54，將傳
送機器人引入室51，降低抬升銷54，將傳送機器人移出室51 (S11)。設(shè)備然后既可以處理另
一基板，也可以結(jié)束處理(S12)。 根據(jù)第四實施方式的處理室和利用抬升銷判斷是否存在基板的裝置，如顯示于圖9和10A-10B，可包括室151，閘門縫151g，閘門閥151v，上側(cè)電極組件152，臺面153，銷孔153h，多個抬升銷154A，銷抬升機構(gòu)155，銷板156，滾珠絲杠157，電機158，波紋管159，和用于判斷是否存在基板的裝置160。在這些構(gòu)成元件中，室151、閘門縫151g、閘門閥151v、上側(cè)電極組件152、臺面153、銷孔153h、銷抬升機構(gòu)155、銷板156、滾珠絲杠157、電機158和波紋管159類似于前面描述的那些，并且因此省略對其詳細(xì)描述。 所述多個抬升銷154A可以具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中，取決于基板是否放置在臺面153上，抬升銷154A的突伸高度被改變并且抬升銷154A被移位。每個抬升銷154A可包括
7本體和彈性支撐本體的彈性元件E1。在特定實施方式中，每個彈性元件E1可以是螺旋彈簧，其安裝在抬升銷154A的本體下端，安置在抬升銷154A的本體和銷板156之間。螺旋彈簧還可以提供支撐結(jié)構(gòu)，用于支撐抬升銷154A。 如果在基板放置在臺面153上的狀態(tài)下銷抬升機構(gòu)155被啟動并且每個抬升銷154A被升高，則彈性元件E1通過基板負(fù)載而被壓縮，如顯示于圖IOB，并且同圖IOA所示在沒有基板放置在臺面153上的狀態(tài)下抬升銷154A被升高時相比，抬升銷154A的突伸高度減小。彈性元件E1可以具有這樣的強度，從而使得其通過基板負(fù)載而被壓縮，但是當(dāng)沒有基板放置在臺面153上時，不會被抬升銷154A的本體的負(fù)載壓縮。彈性元件E1可以是圖中所示的螺旋彈簧，橡膠，海綿，或其它適宜的構(gòu)件。 抬升銷154A的位移結(jié)構(gòu)顯示于圖10A和IOB。在圖10A中，沒有基板放置在臺面153上，抬升銷154A被升高，Hl表示相應(yīng)的抬升銷154A的突伸高度。在圖10B中，基板放置在臺面153上，抬升銷154A被升高，H2表示相應(yīng)的抬升銷154A的突伸高度。
用于判斷是否存在基板的裝置160，如顯示于圖9，可包括位移檢測裝置161A，判斷裝置164和通知裝置165。 每個位移檢測裝置161A檢測是否彈性元件El被基板壓縮而使得抬升銷154A的突伸高度從抬升銷154A由臺面153伸出的完全升高位置改變一段預(yù)定高度。當(dāng)檢測到抬升銷154A被移位后，相應(yīng)的檢測結(jié)果(相應(yīng)的檢測信號)從位移檢測裝置161A被傳送至判斷裝置164。為了實現(xiàn)基本上立即傳送該信號，判斷裝置164可以電連接至位移檢測裝置161A。 位移檢測裝置161A檢測所有相應(yīng)抬升銷154A的位移。位移檢測裝置161A可以分別沿著用于壓縮彈性元件E1的力起作用的作用線安裝，從而在彈性元件E1被壓縮時被所述力致動，并且抬升銷154A的本體和銷板156之間的間隔減小。位移檢測裝置161A可以以下述方式包括傳感器，從而使得，當(dāng)傳感器接收所述力時，傳感器被所述力致動并且輸出檢測信號至判斷裝置164。 在特定實施方式中，每個傳感器可以安裝在銷板156上并且插入構(gòu)成彈性元件El
的螺旋彈簧中，以便被安置在抬升銷154A的本體和銷板156之間。其它安裝方式也是可
以構(gòu)想出來的，并且每個傳感器被沿著作用線安置從而每個傳感器可以接收作用力就足夠
了。例如，致動臂可以設(shè)置在抬升銷154A的本體下部，從而垂直于抬升銷154A升降的方向
延伸，并且傳感器可以安裝在銷板156上，從而被安置在致動臂和銷板156之間。 前面描述的傳感器可以是，例如，推壓式開關(guān)，其被構(gòu)造成使得，當(dāng)推壓式開關(guān)被
推壓時(被抬升銷154A的本體)，電連接可以被以機械方式形成。作為可選方式，電氣檢測
基板和抬升銷154A的本體之間的接觸的電接觸傳感器或電應(yīng)變儀可以被使用。 判斷裝置164從位移檢測裝置161A也就是傳感器接收檢測信號，并且判斷是否存
在基板。判斷裝置164可包括控制裝置，用于控制平板顯示器制造設(shè)備的操作。 當(dāng)判斷出基板存在于室151中時，控制裝置可以輸出相應(yīng)的控制信號，從而使得
可電連接至控制裝置的通知裝置165被致動。相反，如果判斷出沒有基板存在于室151中，
控制裝置可以輸出相應(yīng)的控制信號，從而使得待處理基板可以被引入室151。通過這種方
式，控制裝置控制平板顯示器制造設(shè)備的操作。 在控制裝置的控制下，通知裝置165可以通知工人基板是否存在。通知裝置165可以是，例如，警示燈165w或監(jiān)視器，用于視頻通知，或揚聲器165s或蜂鳴器，用于聲頻通知。其它部件也是可以構(gòu)想出來的，并且視頻通知裝置和聲頻通知裝置可以被一起使用。
通知基板是否存在可以以一定數(shù)量的警示燈165w實施，警示燈數(shù)量的對應(yīng)于傳感器的數(shù)量(也就是說抬升銷154A的數(shù)量)。因此，當(dāng)任何一個傳感器輸出檢測信號時，控制裝置可以響應(yīng)于檢測信號接通相應(yīng)的警示燈165w。如果位移不發(fā)生在所有抬升銷154A(并且一或多個警示燈165w未點亮)，則即使基板被安置在室151中，也可以判斷出基板可能局部破損和/或錯誤加載，因為基板負(fù)載沒有作用在一或多個抬升銷154A上。因此，可以判斷基板是否在室151中處在正確狀態(tài)。 根據(jù)第五實施方式的利用抬升銷判斷是否存在基板的裝置，如顯示于圖11，可包括多個抬升銷154B，它們每個具有上側(cè)銷154u，安置在上側(cè)銷154u下面并且在下端固定至銷板156的下側(cè)銷154d，和彈性元件E2，其安裝在上側(cè)銷154u或下側(cè)銷154d上，以便被安置在下側(cè)銷154d和上側(cè)銷154u之間，并且彈性支撐上側(cè)銷154u。 彈性元件E2可以是螺旋彈簧，橡膠，海綿，或其它適宜的彈性部件。與圖9-10B所示彈性元件El的方式相同，彈性元件E2可以具有足夠的強度，以便被基板負(fù)載壓縮，但是不被上側(cè)銷154u的負(fù)載壓縮。 將基板放置在臺面153上的狀態(tài)下抬升銷154B的突伸高度H2與基板沒有放置在臺面153上的狀態(tài)下的突伸高度H1相比，對于下側(cè)銷154d，突伸高度沒有變化，然而，對于上側(cè)銷154u，突伸高度被改變并且發(fā)生位移。 位移檢測裝置161B可以執(zhí)行類似于圖9-10B所示位移檢測裝置161A的功能。每個位移檢測裝置161B可以安裝在上側(cè)銷154u或下側(cè)銷154d上，以適宜的端部插入螺旋彈簧彈性元件E2，以便被安置在上側(cè)銷154u和下側(cè)銷154d之間。 在可選實施方式中，抬升銷154B可以被以這樣的方式構(gòu)造，即在抬升銷154B被分為上側(cè)銷154u和下側(cè)銷154d的點(位置)總是位于室151外側(cè)。通過如此構(gòu)造，當(dāng)抬升銷154B處于升高狀態(tài)時，通過如前所述在下側(cè)銷154d上提供致動臂(未示出)，位移檢測裝置161B可以被安裝在致動臂和銷板156之間。 與這里在廣泛意義上描述的第四實施方式一起使用的位移檢測裝置的各種實施方式示出于圖12A-12D。如顯示于圖12A，每個位移檢測裝置162A可包括光發(fā)射傳感器F1和光接收傳感器R1。光發(fā)射傳感器F1或光接收傳感器R1 二者之一可以安裝在抬升銷154A的本體，二者中的另一可以安裝在銷孔153h的壁上。光接收傳感器R1從光發(fā)射傳感器F1接收信號。為此，光發(fā)射傳感器Fl和光接收傳感器Rl可以布置成當(dāng)抬升銷154A被升高時彼此相對。如果光發(fā)射傳感器F1和光接收傳感器R1以這種方式安裝，光發(fā)射傳感器F1和光接收傳感器R1可以隨著抬升銷154A被升高輸出，并且接收信號，而不論基板是否存在。出于這一原因，通過光發(fā)射傳感器F1和光接收傳感器R1分別輸出和接收信號可以只在抬升銷154A升高時被允許。作為可選方式，可以只在控制裝置已經(jīng)從位移檢測裝置162A接收信號后至少預(yù)定時間內(nèi)作出相應(yīng)的判斷。 如顯示于圖12B，光發(fā)射傳感器F1和光接收傳感器R1中的任何一個可以被安置在銷板156上方預(yù)定高度處，而非在銷孔153h的壁上。支架BR可以可被設(shè)置，以將光發(fā)射傳感器Fl或光接收傳感器Rl保持在距離銷板156的預(yù)定高度。 如顯示于圖12C，光發(fā)射傳感器Fl和光接收傳感器Rl可以安置于銷孔153h的壁
9的相對兩側(cè)中，抬升銷154A夾在它們之間。信號傳送孔T1可以延伸通過抬升銷154A，從而 使得光發(fā)射傳感器Fl和光接收傳感器Rl在對準(zhǔn)傳送孔Tl時可以交換信號。因此，當(dāng)抬升 銷154A被升高時，光發(fā)射傳感器Fl輸出的信號可以穿過信號傳送孔Tl并被光接收傳感器 Rl接收。 如顯示于圖12D，位移檢測裝置163A可包括光發(fā)射傳感器F1，光接收傳感器R1和 反射板P1。光發(fā)射傳感器F1可以輸出信號至反射板P1，光接收傳感器R1可以接收被反射 板P1反射的信號。反射板P1可以安裝在抬升銷154A上，并且光發(fā)射傳感器F1和光接收 傳感器R1可以均安裝在銷孔153h的壁中。光發(fā)射傳感器F1可以被安置成使得，在抬升銷 發(fā)生位移時154A時，信號被朝向反射板P1傳送，并且光接收傳感器R1可以被安置成使得， 在抬升銷發(fā)生位移時154A時，由光發(fā)射傳感器F1發(fā)射并被反射板P1反射的信號可以被光 接收傳感器R1接收。 與這里在廣泛意義上描述的第五實施方式一起使用的位移檢測裝置的各種實施 方式示出于圖13A-13D。這些實施方式可包括光發(fā)射傳感器F2，光接收傳感器R2和反射板 P2，類似于前面參照圖12A-12D討論的。 如顯示于圖13A，每個位移檢測裝置162B可包括光發(fā)射傳感器F2和光接收傳感器 R2。光發(fā)射傳感器F2或光接收傳感器R2 二者之一可以安裝在抬升銷154B的上側(cè)銷154u 上，二者中的另一可以安裝在銷孔153h的壁上，從而使得光發(fā)射傳感器F2和光接收傳感器 R2在抬升銷154B升高時安置在彼此相對的位置。 如顯示于圖13B，前面描述的光發(fā)射傳感器F2和光接收傳感器R2之一可以通過支 架BR保持在距離銷板156的預(yù)定高度處，而非在銷孔153h的壁中。 如顯示于圖13C，前面描述的光發(fā)射傳感器F2和光接收傳感器R2可以均安置在銷 孔153h的壁的相對兩側(cè)，抬升銷154B夾在它們之間。信號傳送孔T2可以延伸通過上側(cè)銷 154u，從而使得光發(fā)射傳感器F2和光接收傳感器R2在抬升銷154B升高并且信號傳送孔Tl 對準(zhǔn)它們時可以交換信號。 如顯示于圖13D，位移檢測裝置163B可包括光發(fā)射傳感器F2，光接收傳感器R2和 反射板P2。反射板P2可以安裝在上側(cè)銷154u上，并且光發(fā)射傳感器F2和光接收傳感器 R2可以安裝在銷孔153h的壁上。光發(fā)射傳感器F2可以被安置成使得，在位移發(fā)生于抬升 銷154B時，信號被朝向反射板P2傳送，光接收傳感器R2可以被安置成使得，在位移發(fā)生于 抬升銷154B時，被反射板P2反射的信號可以被光接收傳感器R2接收。
下面將參照圖14來描述使用根據(jù)這里在廣泛意義上描述的第四實施方式或第五 實施方式的用于判斷是否存在基板的裝置來引入基板并且檢測所引入基板的狀態(tài)的方法。
舉例來說，根據(jù)第四實施方式的用于判斷是否存在基板的裝置(包括若干形式的 位移檢測裝置)和根據(jù)第五實施方式的用于判斷是否存在基板的裝置(也包括若干形式的 位移檢測裝置)可以類似地用于圖8所示的引入基板并且檢測所引入基板的狀態(tài)方法。為 了簡化討論，本方法借助于根據(jù)第四實施方式的用于判斷是否存在基板的裝置將被描述。 然而，可以理解，該方法還可以被實施于第五實施方式。 在正常操作中，抬升銷154A可以被降低并且插入銷孔153h，從而使得其上端不從 臺面153伸出。為了將加載鎖定真空室中處于待用狀態(tài)的基板引入室151中，并將基板加 載到臺面153上以便處理，利用來自銷抬升機構(gòu)155的驅(qū)動力，所述多個抬升銷154A可以同時升起以接收基板，并且然后降低至它們的初始位置(S101)。 在這一過程中，在抬升銷154A升高時，位移檢測裝置161A的傳感器可以而檢測基 板是否安置在抬升銷154A上，并且彈性元件E1通過基板負(fù)載而被壓縮以引起抬升銷154 位移，控制裝置可以從傳感器接收檢測結(jié)果(S102)。如果來自至少一個傳感器的檢測信號 輸入到控制裝置，控制裝置可以判斷基板存在(S103)。相反，如果沒有檢測信號從傳感器輸 入，控制裝置判斷不存在基板(S104)。 當(dāng)基板的存在被確定后(S103)，控制裝置輸出控制信號并且啟動通知裝置 165(S113)。工人可以基于通知識別基板的存在，并且可以采取所需的行動。在這種情況 下，控制裝置可以進(jìn)一步被構(gòu)造成，如果檢測到室151中當(dāng)前存在有基板，則防止引入新的 基板。作為可選方式，或者作為附加，處理過程可以前進(jìn)至判斷是否位移發(fā)生于每個抬升銷 154A(S107)，以確定被檢測基板的狀態(tài)。 當(dāng)判斷出不存在基板后(S104)，傳送機器人可以被驅(qū)動以引入待處理基板，并將 基板安置在臺面153上(S105)。抬升銷154A可以被抬升以在其上接收從傳送機器人新引 入的基板，并且然后降低至它們的初始位置(S106)。在抬升銷154A接收基板后，傳送機器 人可以移出室151。 傳感器檢測是否位移發(fā)生于抬升銷154A，控制裝置從傳感器接收檢測結(jié)果 (S107)。如果沒有從每個傳感器都接收到檢測信號，則控制裝置判斷出相應(yīng)的基板的一部 分破裂(見圖2A)和/或基板被錯誤加載(見圖2B) (S108)。相反，如果檢測信號被從所有 傳感器接收，則控制裝置判斷出基板沒有破裂，并且基板的加載已被正確執(zhí)行(S109)。
如果判斷出基板處于不正確狀態(tài)(S108)，控制裝置輸出信號以啟動通知裝置 165(S13)，以便通知工人這種狀況。因此，工人可以識別基板狀態(tài)，并且可以采取適宜的修 正行動?？刂蒲b置可以進(jìn)一步被構(gòu)造成中斷后續(xù)的處理，直至修正行動已被執(zhí)行。
相反，如果判斷出基板處在正確狀態(tài)(S109)，基板的表面處理被執(zhí)行(SllO)。如 果表面處理完成，已經(jīng)完全經(jīng)歷表面處理的基板通過下述方式而被排出，即升高抬升銷 154A，將傳送機器人引入室151，降低抬升銷154A，將傳送機器人移出室151 (S111)。設(shè)備然 后既可以處理另一基板，也可以結(jié)束處理操作(S112)。 圖15是一種平板顯示器制造設(shè)備的剖視圖，其中根據(jù)這里在廣泛意義上描述的 第六實施方式的用于判斷閘門閥開閉的裝置可被采用。 設(shè)備可包括加載鎖定真空室260，其從外側(cè)接收未處理基板并儲存它，或者接收處 理后的基板并將其排放至外側(cè)。設(shè)備可以還包括處理室270，其從加載鎖定真空室260接 收未處理基板并對其進(jìn)行處理，并且處理室的一個側(cè)壁中限定出閘門縫272，其通過閘門閥 274被打開和關(guān)閉，用作基板的門道。設(shè)備可以還包括傳送室280，其設(shè)置在處理室270和 加載鎖定真空室260之間，傳送機器人290，設(shè)置在傳送室280中，以在加載鎖定真空室260 和處理室270之間往復(fù)移動，并且將基板從加載鎖定真空室260傳送至處理室270或從處 理室270傳送至加載鎖定真空室260，導(dǎo)向件G-1，其引導(dǎo)傳送機器人290精確運動，以及用 于判斷閘門閥274開閉的裝置300。 加載鎖定真空室260和傳送室280可以通過傳送通道P_l相連，處理室270和傳 送室280可以通過傳送通道P-2相連。基板的門道可以被限定在加載鎖定真空室260和傳 送室280之間，以類似于閘門縫272的方式使用，并且門(閘門閥)可以安裝于門道中，以
11打開和關(guān)閉門道。 處理室270可以被構(gòu)造成在真空狀態(tài)下實施基板的表面處理。處理可以使用等離 子、熱能或類似物而被實施。另外，處理室270的閘門閥274可以從處理室270外側(cè)打開和 關(guān)閉閘門縫272。閘門閥274可以是旋轉(zhuǎn)型的，其一端鉸接著處理室270，以通過樞轉(zhuǎn)而打 開和關(guān)閉閘門縫272，或者是豎直運動型的，其中閘門閥274線性移動以打開和關(guān)閉閘門縫 272。閘門閥274可以被驅(qū)動裝置(未示出)致動。 傳送機器人290可包括機器人本體292，其在導(dǎo)向件G-1上移動，手部294，其連接 著機器人本體292，并且其上分別放置著將被傳送的基板，和驅(qū)動裝置(未示出)，其提供用 于移動機器人本體292的驅(qū)動力。 用于判斷閘門閥274開閉的裝置300可包括閘門閥檢測裝置310A，判斷裝置320 和通知裝置330。閘門閥檢測裝置310A可以檢測閘門閥274被打開以敞開閘門縫272還是 被關(guān)閉以封閉閘門縫272。閘門閥檢測裝置310A可以被構(gòu)造成使得，當(dāng)閘門閥274的關(guān)閉 被檢測到時，相應(yīng)的檢測結(jié)果(檢測信號)可以基本上立即從閘門閥檢測裝置310A輸出至 判斷裝置320，判斷裝置電連接著閘門閥檢測裝置310A。 如顯示于圖16和17，閘門閥檢測裝置310A可包括反射板312a和光學(xué)傳感器模 塊。反射板312a可以安裝在閘門閥274外側(cè)(面對著傳送室280的表面)。光學(xué)傳感器模 塊可以輸出信號(光)至反射板312a，并且接收被反射板312a反射的信號。光學(xué)傳感器模 塊可包括光發(fā)射傳感器314a和光接收傳感器316a。 光發(fā)射傳感器314a輸出信號至反射板312a，光接收傳感器316a接收由光發(fā)射傳 感器314a輸出并被反射板312a反射的信號。為了實現(xiàn)這一點，光學(xué)傳感器模塊可以被安 置在與反射板312a相對的位置。因此，光學(xué)傳感器模塊可以安裝在導(dǎo)向件G-1上，該導(dǎo)向 件如前所述引導(dǎo)傳送機器人290的運動。光發(fā)射傳感器314a和光接收傳感器316a可以被 安裝成不干涉?zhèn)魉蜋C器人290在導(dǎo)向件G-1上的運動。反射板312a和光學(xué)傳感器模塊的 安裝位置可以調(diào)轉(zhuǎn)，其中反射板312a安裝在導(dǎo)向件G-l上，光學(xué)傳感器模塊安裝在閘門閥 274上。 如前所述，判斷裝置320從閘門閥檢測裝置310A接收檢測結(jié)果并且判斷閘門閥 274處于打開狀態(tài)還是關(guān)閉狀態(tài)。判斷裝置320可包括控制裝置，用于控制平板顯示器制造 設(shè)備的操作。 當(dāng)控制裝置從閘門閥檢測裝置310A接收指示閘門閥274被關(guān)閉的檢測結(jié)果后，控 制裝置輸出相應(yīng)的控制信號，從而使得可電連接至控制裝置的通知裝置330可被致動。當(dāng) 則控制裝置判斷出閘門閥274打開時，控制裝置輸出相應(yīng)的控制信號，從而使得儲存在加 載鎖定真空室260中且未被處理的基板可以被傳送機器人290傳送并被引入處理室270。
在控制裝置的控制下，通知裝置330可以通知工人閘門閥274是打開還是關(guān)閉的。 通知裝置330可包括警示燈332 (其例如可以被接通以指示閘門閥274的打開，以及被斷開 以指示閘門閥274的關(guān)閉，反之亦然)?；蛘?，用于視頻通知的監(jiān)視器可被采用，或者用于聲 頻通知的揚聲器334 (其例如可以不產(chǎn)生聲音以指示閘門閥274的打開，以及產(chǎn)生聲音以指 示閘門閥274的關(guān)閉，反之亦然)或蜂鳴器可被采用。作為附加措施，視頻通知裝置和聲頻 通知裝置可被一起采用。 根據(jù)第七實施方式的用于判斷閘門閥開閉的裝置，如顯示于圖18，可包括閘門閥檢測裝置310B，其包括安裝在閘門閥274外側(cè)的光發(fā)射傳感器314b和安裝在導(dǎo)向件G_l上 的光接收傳感器316b。光發(fā)射傳感器314b可以輸出信號(光)，光接收傳感器316b可以 接收由光發(fā)射傳感器314b輸出的信號。因此，光發(fā)射傳感器314b和光接收傳感器316b可 以被安裝成彼此相對，并且它們的安裝位置可以調(diào)轉(zhuǎn)。 根據(jù)第八實施方式的用于判斷閘門閥開閉的裝置，如顯示于圖19，可包括閘門閥 檢測裝置310C，其包括安裝在閘門閥274外側(cè)的光發(fā)射傳感器314c和設(shè)置在傳送機器人 290上并被安置成與光發(fā)射傳感器314c相對的光接收傳感器316c。光接收傳感器316c可 以安裝在傳送機器人290的手部294的遠(yuǎn)端。光發(fā)射傳感器314c和光接收傳感器316c的 安裝位置可以調(diào)轉(zhuǎn)，并且光接收傳感器316c不是必須安裝在手部294上。將光接收傳感器 316c安裝在傳送機器人290以便能夠與光發(fā)射傳感器314c交換信號并且因此而不阻礙傳 送機器人290的操作就足夠了 。 盡管根據(jù)第八實施方式的用于判斷閘門閥開閉的裝置被解釋為第七實施方式的 結(jié)構(gòu)的改型，但第八實施方式也可以通過改變第六實施方式的結(jié)構(gòu)進(jìn)行解釋。在這種情況 下，反射板或光學(xué)傳感器模塊二者之一可以安裝在閘門閥274上，二者中另一可以安裝在 傳送機器人290上。 根據(jù)第九實施方式的用于判斷閘門閥開閉的裝置，如顯示于圖20，可包括閘門閥 檢測裝置310D，其包括由支架B-1保持的傳感器。該傳感器可以沿著用于關(guān)閉閘門閥274 的力施加的作用線安裝，從而被所述力致動。當(dāng)所述力施加至傳感器時，傳感器因此而被致 動，并且輸出檢測信號至判斷裝置320(見圖15)。傳感器可以被安裝在閘門閥274上方以 便在閘門閥274被關(guān)閉時接觸閘門閥274的上表面。傳感器不是必須以這種方式安裝，而 是將傳感器安裝成位于所述作用線上并因此而承受作用力就足夠了。例如，推壓式開關(guān)可 以被構(gòu)造成使得，當(dāng)推壓式開關(guān)被閘門閥274推壓時，電連接被以機械方式產(chǎn)生。作為可選 方式，用于電氣檢測與閘門閥274之間接觸的電接觸傳感器或電應(yīng)變儀可以被采用。
圖21是代表性傳送機器人的透視圖，其包括設(shè)置在機器人本體和機器人手部之 間的臂。臂可以被構(gòu)造成收折和展開，如圖21中的陰影線所示。在根據(jù)第六至第八實施方 式的用于判斷閘門閥開閉的裝置中，閘門閥檢測裝置的構(gòu)成元件可以安裝在傳送機器人的 機器人本體、手部或臂上。 下面描述使用根據(jù)這里在廣泛意義上描述的一個實施方式的用于判斷閘門閥開 閉的裝置來將基板引入處理室的方法。舉例來說，根據(jù)第六實施方式的裝置和根據(jù)其它實 施方式的裝置可以類似地用于所述引入基板方法。下面，借助于根據(jù)第六實施方式的裝置 來描述所述方法。 在正常操作中，閘門閥274保持關(guān)閉，閘門縫272維持于關(guān)閉狀態(tài)。用于判斷閘門 閥開閉的裝置300判斷閘門閥274是打開還是關(guān)閉的，并將此指示給工人。
如果閘門閥274被關(guān)閉，由閘門閥檢測裝置310A的光發(fā)射傳感器314a輸出的信 號被指向安裝在閘門閥274的反射板312a。該信號通過反射板312a被反射，并被光接收 傳感器316a接收。此時，閘門閥檢測裝置310A輸出相應(yīng)的檢測結(jié)果至判斷裝置320。判 斷裝置320接收檢測結(jié)果，判斷出閘門閥274被關(guān)閉，并且輸出相應(yīng)的控制信號至通知裝置 330。通知裝置330通知工人閘門閥274被關(guān)閉。 如果需要將待處理基板引入處理室270并且處理基板，則閘門閥274可以被打開，例如，通過驅(qū)動裝置的驅(qū)動力被降低。如果閘門閥274由于例如故障或誤操作而不能被打 開，則用于判斷閘門閥開閉的裝置300通知工人閘門閥274仍然關(guān)閉。工人可以然后精確 地識別閘門閥274的打開或關(guān)閉狀態(tài)，并且可以采取必要的修正行動。在這種情況下，判斷 裝置320可以進(jìn)一步被構(gòu)造成防止引入基板，直至修正行動已被執(zhí)行。
隨著閘門閥274被打開，反射板312a的位置相對于打開的閘門閥274改變，反射 板312a不能反射光發(fā)射傳感器314a的輸出信號，光接收傳感器316a不能接收來自光發(fā)射 傳感器314a的信號。結(jié)果，用于判斷閘門閥開閉的裝置300通知工人閘門閥274打開。
當(dāng)通過裝置300判斷出閘門閥274打開時，傳送機器人290執(zhí)行引入程序，如下所 述。 傳送機器人290沿著導(dǎo)向件G-l移動至加載鎖定真空室260。在加載鎖定真空室 260中，待處理基板安置在手部294上，并且然后傳送機器人290沿著導(dǎo)向件G-l移動至處 理室270。傳送機器人290通過閘門縫272進(jìn)入處理室270，裝載在手部294上的基板在處 理室270中卸載，并且傳送機器人290返回其在傳送室280中的初始位置。當(dāng)傳送機器人 290移出處理室270后，閘門閥274被關(guān)閉，例如，通過驅(qū)動裝置的驅(qū)動力而被升高，在處理 室270中執(zhí)行基板處理。 這里提供了一種借助于抬升銷判斷基板是否存在的裝置，其中檢測基板負(fù)載是否 作用在抬升銷上，并且基于檢測結(jié)果判斷是否存在基板，從而工人可以快速且方便地證實 基板是否存在。 這里提供了一種判斷借助于抬升銷判斷基板是否存在的裝置，其中抬升銷的突伸 高度基于是否存在基板而發(fā)生變化，是否位移發(fā)生于抬升銷被檢測，并且基于檢測結(jié)果判 斷是否存在基板，從而工人可以快速且方便地證實基板是否存在。 這里以實施例的方式在廣泛意義上描述的用于判斷是否存在基板的裝置可包括
多個抬升銷，它們被安裝成通過由其上放置基板的臺面所限定的銷孔而抬升和降低，從而
在基板被引入室時使得抬升銷升高；基板檢測裝置，用于檢測升高的抬升銷是否承載著基
板；以及判斷裝置，用于從基板檢測裝置接收檢測結(jié)果并且判斷是否存在基板。 基板檢測裝置可以檢測基板負(fù)載是否作用在抬升銷上。 基板檢測裝置可包括傳感器，其沿著基板負(fù)載作用于抬升銷的至少一條作用線安 裝，以便被基板負(fù)載致動。作為可選方式，基板檢測裝置可包括傳感器，它們沿著基板負(fù)載 作用于抬升銷的各作用線安裝，以便被基板負(fù)載致動。 傳感器可以安裝在將被帶到與基板接觸的抬升銷上端，或者可以被安裝在抬升銷 和抬升銷支撐結(jié)構(gòu)之間。作為可選方式，每個抬升銷可以分為上側(cè)銷和下側(cè)銷，每個傳感器 可以被安裝在上側(cè)銷和下側(cè)銷之間。 各抬升銷可以具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中它們的突伸高度基于抬升銷是否承載基板而 變化，并且基板檢測裝置可包括位移檢測裝置，其檢測各抬升銷的突伸高度是否變化。
位移檢測裝置可以檢測至少一個抬升銷的位移，或者可以分別檢測所有抬升銷的 位移。 彈性元件可以被安裝在每個抬升銷和抬升銷支撐結(jié)構(gòu)之間。位移檢測裝置可包括 沿著基板負(fù)載壓縮彈性元件的每條作用線安裝的傳感器，所述壓縮導(dǎo)致減小抬升銷和抬升 銷支撐結(jié)構(gòu)之間的距離，以便被基板負(fù)載致動。
在特定實施方式中，位移檢測裝置可以還包括光發(fā)射傳感器，和用于從光發(fā)射傳 感器接收信號的光接收傳感器。光發(fā)射傳感器和光接收傳感器二者中的一個傳感器可以安 裝在抬升銷上，另一個傳感器可以被安置成在抬升銷發(fā)生位移時與前一個傳感器相對。
在可選實施方式中，位移檢測裝置可包括光發(fā)射傳感器，和用于從光發(fā)射傳感器 接收信號的光接收傳感器。光發(fā)射傳感器和光接收傳感器可以被安置成彼此相對，而抬升 銷夾在它們之間。信號傳送孔可以被抬升銷限定，從而使得在抬升銷發(fā)生位移時光接收傳 感器可以從光發(fā)射傳感器接收信號。 在可選實施方式中，位移檢測裝置可包括反射板，用于輸出信號至反射板的光發(fā) 射傳感器，和用于接收從光發(fā)射傳感器輸出并被反射板反射的信號的光接收傳感器。反射 板可以安裝在抬升銷上。光發(fā)射傳感器和光接收傳感器可以被安裝成在抬升銷發(fā)生位移時 輸出信號至反射板，并且然后接收反射信號。 每個抬升銷可以分為上側(cè)銷和下側(cè)銷，彈性元件可以被安裝在上側(cè)銷和下側(cè)銷之 間。 位移檢測裝置可包括沿著基板負(fù)載壓縮彈性元件的每條作用線安裝的傳感器，所 述壓縮導(dǎo)致減小上側(cè)銷和下側(cè)銷之間的距離，以便被基板負(fù)載致動。 在可選實施方式中，位移檢測裝置可以還包括光發(fā)射傳感器和用于從光發(fā)射傳感 器接收信號的光接收傳感器。光發(fā)射傳感器和光接收傳感器二者中的一個傳感器可以安裝 在抬升銷的上側(cè)銷上，另一個傳感器可以被安置成在抬升銷發(fā)生位移時與前一個傳感器相 對。 在可選實施方式中，位移檢測裝置可包括光發(fā)射傳感器，和用于從光發(fā)射傳感器 接收信號的光接收傳感器。光發(fā)射傳感器和光接收傳感器可以被安置成彼此相對，而抬升 銷的上側(cè)銷夾在它們之間，并且信號傳送孔可以由抬升銷的上側(cè)銷限定，從而使得光接收 傳感器可以在抬升銷發(fā)生位移時從光發(fā)射傳感器接收信號。 在可選實施方式中，位移檢測裝置可包括反射板，用于輸出信號至反射板的光發(fā) 射傳感器，和用于接收從光發(fā)射傳感器輸出并被反射板反射的信號的光接收傳感器。反射 板可以安裝在抬升銷的上側(cè)銷上。光發(fā)射傳感器和光接收傳感器可以被安裝成在抬升銷發(fā) 生位移時輸出信號至反射板，并且然后接收反射信號。 判斷裝置可包括控制裝置，并且本發(fā)明的裝置可以進(jìn)一步包括通知裝置，用于在 控制裝置的控制下指示是否存在基板。 在這里根據(jù)實施方式在廣泛意義上描述的一種用于判斷是否存在基板的裝置中，
基板負(fù)載是否作用在抬升銷上通過基板檢測裝置和判斷裝置而被檢測，并且基于檢測結(jié)果
判斷是否存在基板，這可以提供下述優(yōu)點，即是否存在基板可以被快速且方便地確定。 這里提供了用于將基板引入室中的方法，其中可以利用判斷是否存在基板的裝
置，以檢測負(fù)載和位移，并且僅在室中沒有存在另一基板時才允許將基板引入室，從而可以
在另一基板存在于室中的情況下防止基板被引入室，并且可以防止室中的另一基板由于與
傳送機器人干涉而破裂。 這里以實施例的方式在廣泛意義上描述的用于將基板引入室的方法可包括利用 判斷是否存在基板的裝置判斷基板是否存在于臺面上；以及當(dāng)判斷出沒有基板存在于臺面 上時將待處理基板傳送到臺面上。
所述方法可以還包括在判斷出基板存在于臺面上時指示基板的存在。 在這里以實施例的方式在廣泛意義上描述的一種用于將基板引入室的方法中，其
使用了判斷是否存在基板的裝置，由于只在通過判斷裝置判斷出沒有基板存在于室中時基
板才可以被引入室，因此可以防止在另一基板存在于室中的情況下引入基板。結(jié)果，可以防
止室中的另 一基板由于與傳送機器人干涉而破裂。 —種用于檢測基板方法被提供，其中使用了判斷是否存在基板的裝置以檢測負(fù) 載，基板負(fù)載是否作用在所有抬升銷上被檢測，并且如果基板負(fù)載不作用于至少一個抬升 銷，則判斷出基板的一部分破裂或基板被錯誤加載，因而所引入基板的狀態(tài)可以容易地檢 測到。 這里以實施例的方式在廣泛意義上描述的一種使用負(fù)載檢測型裝置檢測基板以 判斷是否存在基板的方法可包括在基板被引入室時檢測基板的負(fù)載是否作用在所有抬升 銷上；以及基于所引入的基板的負(fù)載是否作用在所有抬升銷上的檢測結(jié)果來判斷基板破裂 狀態(tài)或基板的錯誤加載狀態(tài)。 所述方法可以還包括在判斷出基板破裂或被錯誤加載時指示基板破裂狀態(tài)或基 板的錯誤加載狀態(tài)。 在這里根據(jù)實施方式在廣泛意義上描述的一種用于檢測基板的方法中，在檢測基
板負(fù)載是否作用在抬升銷上，所有抬升銷可以分別被檢測，并且如果至少一個抬升銷不輸
入檢測結(jié)果，則可以判斷出基板的一部分破裂或基板被錯誤加載并且因此基板負(fù)載不作用
于至少一個抬升銷，因而所引入基板的(正確或不正確)狀態(tài)可以容易地檢測到。 —種用于檢測基板的方法被提供，其中可以使用這里以實施例的方式在廣泛意義
上描述的用于判斷是否存在基板的裝置以檢測位移，是否所有抬升銷發(fā)生位移可被檢測，
并且如果至少一個抬升銷中不發(fā)生位移，則可以判斷出基板的一部分破裂或基板被錯誤加
載，因而所引入基板的狀態(tài)可以容易地檢測到。 —種使用這里以實施例的方式在廣泛意義上描述的位移檢測型裝置來檢測基板 以判斷是否存在基板的方法被提供，其可包括在基板被引入室時檢測基板是否使所有抬升 銷位移；以及基于是否所有抬升銷由于所引入的基板而發(fā)生位移的檢測結(jié)果判斷基板的破 裂狀態(tài)或基板的錯誤加載狀態(tài)。 所述方法可以還包括，當(dāng)判斷出基板破裂或被錯誤加載時，指示基板破裂狀態(tài)或 基板的錯誤加載狀態(tài)。 在這里根據(jù)實施方式在廣泛意義上描述的一種用于檢測基板的方法中，在檢測抬
升銷是否發(fā)生位移時，所有抬升銷可以分別被檢測，并且如果至少一個抬升銷不輸入檢測
結(jié)果，則可以判斷出基板的一部分破裂或者基板被錯誤加載，并且因此基板負(fù)載不作用于
至少一個抬升銷，因而所引入基板的(正確或不正確)狀態(tài)可以容易地檢測到。 —種用于判斷閘門閥開閉的裝置被提供，其中閘門閥的狀態(tài)被檢測，并且基于檢
測結(jié)果確定閘門閥是否可以被打開或關(guān)閉，這可以提供下述優(yōu)點，即工人可以快速且方便 地證實閘門閥的開閉。 這里以實施例的方式在廣泛意義上描述的一種用于判斷閘門閥開閉的裝置可包 括閘門閥檢測裝置，用于檢測閘門閥的打開狀態(tài)或關(guān)閉狀態(tài)，以便打開和關(guān)閉室的閘門縫； 以及判斷裝置，用于從閘門閥檢測裝置接收檢測結(jié)果并且判斷閘門閥的開閉。
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閘門閥檢測裝置可包括光發(fā)射傳感器，和用于接收從光發(fā)射傳感器輸出的信號的 光接收傳感器。光發(fā)射傳感器和光接收傳感器二者中的一個傳感器可以安裝在閘門閥上， 另一個傳感器可以被安置成與前一個傳感器相對。 閘門閥檢測裝置可包括反射板，和用于輸出信號至反射板和接收被反射板反射的 信號的光學(xué)傳感器模塊。反射板和光學(xué)傳感器模塊二者之一可以安裝在閘門閥上，二者中 另一可以被安置成與第一個相對。 在特定實施方式中，安裝在閘門閥上的閘門閥檢測裝置之一可以布置在閘門閥外 側(cè)，另一閘門閥檢測裝置可以安裝在傳送機器人上，機器人用于傳送基板以將基板引入室 中和從室排出基板。 在可選實施方式中，安裝在閘門閥上的閘門閥檢測裝置之一，可以布置在閘門閥 外側(cè)，另一閘門閥檢測裝置可以安裝在導(dǎo)向件上，導(dǎo)向件引導(dǎo)傳送機器人運動以將基板引 入室中和從室排出基板。 閘門閥檢測裝置可包括沿著作用線安裝的傳感器，用于關(guān)閉閘門閥的力沿著該作 用線作用于閘門閥，閘門閥被所述力致動，以關(guān)閉閘門閥。 判斷裝置可包括控制裝置；并且本發(fā)明的裝置可以還包括通知裝置，用于在控制 裝置的控制下指示閘門閥的開閉。 在這里根據(jù)實施方式在廣泛意義上描述的一種用于判斷閘門閥開閉的裝置中，可 以提供下述優(yōu)點，即由于使用閘門閥檢測裝置可檢測閘門閥的開閉，并且基于檢測結(jié)果可 以確定閘門閥是打開還是關(guān)閉的，并且然后作出指示，因此閘門閥的開閉可以快速且方便 地證實，并且閘門閥的(打開和關(guān)閉)狀態(tài)可以精確地識別出來。 —種用于將基板引入室的方法被提供，其中使用了這里以實施例的方式在廣泛意 義上描述的用于判斷閘門閥開閉的裝置，并且只在閘門閥被打開時基板可以被引入室，因 而可以在閘門閥關(guān)閉時防止基板被引入，從而可以防止基板和將基板置于其上的傳送機器 人由于與閘門閥碰撞而受損。 這里以實施例的方式在廣泛意義上描述的一種用于將基板引入室的方法可包括 使用用于判斷閘門閥開閉的裝置判斷是否閘門閥是打開還是關(guān)閉的；以及當(dāng)判斷出閘門閥 被打開時，將待處理基板傳送到室中。 所述方法可以還包括，當(dāng)判斷出閘門閥被關(guān)閉時，指示閘門閥的關(guān)閉。 在這里根據(jù)實施方式在廣泛意義上描述的一種用于將基板引入室的方法中，使用
了用于判斷閘門閥開閉的裝置，可以提供下述優(yōu)點，即由于只在通過判斷裝置判斷出閘門
閥被打開時基板可以被引入，因此可以在閘門閥關(guān)閉時防止待處理基板被引入室，從而可
以防止基板和將基板置于其上的傳送機器人碰撞到閘門閥，由此防止基板、傳送機器人和
閘門閥受損。 本說明中涉及的"一個實施方式"、"實施方式"、"代表性實施方式"、"特定實施方 式"、"可選實施方式"等任何一種措辭意味著結(jié)合實施例描述的特定特征、結(jié)構(gòu)或特性包含 在這里在廣泛意義上描述的至少一個實施方式中。在本說明書中各處出現(xiàn)的上述措辭并不 一定意味著指的是同一實施方式。另外，當(dāng)結(jié)合任何實施方式描述特定特征、結(jié)構(gòu)或特性 時，應(yīng)當(dāng)解讀為，在本領(lǐng)域技術(shù)人員所能預(yù)期的范圍內(nèi)，這些特定特征、結(jié)構(gòu)或特性可以實 施于其它實施方式。
盡管前面參照一定數(shù)量的代表性實施例描述了本發(fā)明的實施方式，但應(yīng)理解，本 領(lǐng)域技術(shù)人員所能構(gòu)想出的其它改型和實施方式也應(yīng)落入本申請的精神和范圍內(nèi)。特別地 講，在本說明書及其附圖以及權(quán)利要求書限定的范圍內(nèi)可以對組成元件和/或結(jié)構(gòu)作出各 種改型和修改。除了組成元件和/或結(jié)構(gòu)的改型和修改，它們的等同替換對于本領(lǐng)域技術(shù) 人員而言也可清楚地理解。
權(quán)利要求
一種與用于處理基板的處理室一起使用的裝置，所述裝置包括閘門閥傳感器，其被構(gòu)造成檢測用于打開或關(guān)閉處理室中開口的閘門閥的位置并且輸出相應(yīng)的信號；判斷裝置，其被構(gòu)造成從閘門閥傳感器接收信號，以判斷閘門閥處于相對于處理室中開口的打開還是關(guān)閉位置，并且輸出相應(yīng)的信號；以及通知裝置，其被構(gòu)造成從所述判斷裝置接收信號，并且提供閘門閥位置的視頻和聲頻指示中的至少一種。
2. 如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，閘門閥傳感器包括光發(fā)射傳感器和光接收傳感器， 其中光發(fā)射傳感器和光接收傳感器彼此相對地安裝，光發(fā)射傳感器和光接收傳感器中的一 個安裝在閘門閥上，另一個安裝在至少部分地位于處理室中的導(dǎo)向件上，其中導(dǎo)向件被構(gòu) 造成弓I導(dǎo)傳送機器人進(jìn)出處理室的運動。
3. 如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，閘門閥傳感器包括光發(fā)射傳感器和光接收傳感器， 其中光發(fā)射傳感器和光接收傳感器彼此相對地安裝，光發(fā)射傳感器和光接收傳感器中的一 個安裝在閘門閥上，另一個安裝在傳送機器人上，所述傳送機器人被構(gòu)造成傳送基板進(jìn)出 處理室。
4. 如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，閘門閥傳感器包括光發(fā)射傳感器、光接收傳感器和 反射板，其中反射板安裝在閘門閥上，光發(fā)射傳感器和光接收傳感器安裝成與反射板相對， 從而使得光發(fā)射傳感器發(fā)出的光被反射板接收并反射，并且被反射板反射的信號被光接收 傳感器接收。
5. 如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，閘門閥傳感器包括推壓式開關(guān)、電觸點開關(guān)或電應(yīng) 變儀，其靠近閘門閥連接著處理室，其中閘門閥傳感器響應(yīng)于與閘門閥的接觸而被致動。
6. —種用于將基板引入處理室的方法，所述方法包括 判斷用于打開和關(guān)閉處理室中開口的閘門閥的位置；以及 在判斷出閘門閥打開時，將基板傳送至處理室。
7. 如權(quán)利要求6所述的方法，其中，判斷閘門閥位置包括檢測閘門閥的運動，并且基于 檢測到的運動判斷閘門閥的位置。
8. 如權(quán)利要求6所述的方法，還包括提供關(guān)于閘門閥位置的通知，所述通知采用視頻 和聲頻指示器中的至少一種形式。
全文摘要
提供了一種用于將基板引入處理室的系統(tǒng)和方法。半導(dǎo)體或平板顯示器的制造設(shè)備的臺面上是否存在基板可以通過用于加載和卸載基板抬升銷來確定，從而可以防止引入另一基板，并且基板的破裂狀態(tài)或錯誤加載狀態(tài)可以被檢測。閘門閥的開閉也可以被確定，并且可以在閘門閥關(guān)閉時防止將基板引入處理室。
文檔編號H01L21/677GK101714503SQ200910224518
公開日2010年5月26日 申請日期2007年10月25日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月29日
發(fā)明者李仁宅 申請人:愛德牌工程有限公司