專利名稱：應(yīng)用用戶界面控制半導(dǎo)體制造裝置的系統(tǒng)與方法
應(yīng)用用戶界面控制半導(dǎo)體制造裝置的系統(tǒng)與方法 相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用 根據(jù)35U. S.C§ 119的規(guī)定，本美國(guó)非臨時(shí)專利申請(qǐng)要求于2008年11月27日提交的申請(qǐng)?zhí)枮?0-2008-0118516的韓國(guó)專利申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)，其全部?jī)?nèi)容通過引用合并于此。
背景技術(shù)：
在此公開的本發(fā)明涉及控制系統(tǒng)，尤其涉及使用用戶界面進(jìn)行半導(dǎo)體制造裝置的控制、監(jiān)測(cè)與管理的系統(tǒng)與方法。 —般而言，生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品需要很多步加工工序。為了控制這些加工工序，就需要在生產(chǎn)線上構(gòu)建各種半導(dǎo)體制造裝置。為了控制各種加工工序，半導(dǎo)體制造裝置擁有一套通過網(wǎng)絡(luò)連接的控制系統(tǒng)。舉例來說，控制系統(tǒng)包括可編程邏輯控制器或計(jì)算機(jī)，該控制系統(tǒng)設(shè)置一套工藝制程，包括工藝條件與工藝流程，用來控制半導(dǎo)體制造裝置。該控制系統(tǒng)監(jiān)控工藝規(guī)程控制的各部分，以管理與工藝相關(guān)的信息。根據(jù)制造工藝，半導(dǎo)體制造裝置包括多種的組件。 一般來說，半導(dǎo)體制造裝置包括加工基板用的加工單元，與運(yùn)輸基板用的運(yùn)輸單元。 半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)通過網(wǎng)絡(luò)傳輸數(shù)據(jù)來控制、監(jiān)測(cè)與管理該半導(dǎo)體制造裝置的各加工工序。 為此目的，控制系統(tǒng)擁有一套控制程序，該控制程序使用用戶界面實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制、監(jiān)測(cè)與管理。其中用戶界面內(nèi)含有多種必要的菜單以對(duì)各個(gè)單元的工藝規(guī)程進(jìn)行設(shè)置、監(jiān)測(cè)與操作。例如，每臺(tái)半導(dǎo)體制造設(shè)備都設(shè)有上百個(gè)菜單，使用者可以應(yīng)用這些菜單，并根據(jù)半導(dǎo)體制造裝置的加工過程控制、監(jiān)測(cè)與分析信息。在載入模式下，用
戶界面可以向最初主屏幕載入許多可操作菜單屏幕。在菜單選擇模式下，用戶界面在所選菜單屏幕的上部區(qū)域顯示多種的信息與子菜單。 在菜單選擇模式下，如果用戶修改的數(shù)據(jù)存在于上級(jí)屏幕中，因?yàn)閺纳霞?jí)屏幕到選擇屏幕做了切換，所以這些修改的數(shù)據(jù)就會(huì)丟失。例如，當(dāng)有多個(gè)界面與創(chuàng)建數(shù)據(jù)相關(guān)時(shí)，為了查明與本數(shù)據(jù)相關(guān)的其它數(shù)據(jù)，在數(shù)據(jù)創(chuàng)建完成之前如果從第一界面切換到另一界面時(shí)，數(shù)據(jù)就會(huì)在創(chuàng)建狀態(tài)下丟失。在這種情況下，使用者會(huì)感到很麻煩，因?yàn)椴坏貌恢匦聞?chuàng)建數(shù)據(jù)。而且無論何時(shí)選擇屏幕時(shí)由于用戶界面獲得、處理與菜單有關(guān)的數(shù)據(jù)，屏幕就被刷新。在這種情況下，屏幕就會(huì)切換而沒有保存編輯或修改狀態(tài)下的數(shù)據(jù)。
同樣，如果用戶已經(jīng)通過用戶界面訪問多個(gè)菜單，即使當(dāng)用戶希望重新訪問已訪問的菜單時(shí)，也必須通過幾步菜單選擇步驟重新選擇希望訪問的菜單位置，以選擇菜單。因此，用戶會(huì)感到很不方便，由于不得不重復(fù)相同的操作以重新訪問已訪問的菜單。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實(shí)施例，提供了使用用戶界面控制半導(dǎo)體制造裝置的系統(tǒng)與方法。 本發(fā)明實(shí)施例，還提供了控制半導(dǎo)體制造裝置的系統(tǒng)與方法，該系統(tǒng)與方法可以
通過導(dǎo)航菜單以歷史順序顯示用戶訪問的菜單、從而方便地控制對(duì)各種菜單的訪問。
本發(fā)明實(shí)施例，還提供了控制半導(dǎo)體制造裝置的系統(tǒng)與方法，該系統(tǒng)與方法可以使用用戶界面以防止屏幕切換中數(shù)據(jù)丟失。 本發(fā)明的控制系統(tǒng)使用用戶界面控制、監(jiān)測(cè)與管理半導(dǎo)體制造裝置。該控制系統(tǒng)提供了基于用戶界面的導(dǎo)航菜單，從而便于在用戶訪問的菜單間切換。 本發(fā)明的部分實(shí)施例中，控制半導(dǎo)體制造裝置的系統(tǒng)包括多個(gè)菜單對(duì)話，用于控制、監(jiān)測(cè)及管理半導(dǎo)體制造裝置。導(dǎo)航菜單，用于顯示用戶訪問的菜單對(duì)話。導(dǎo)航控制器，用于激活導(dǎo)航菜單、記錄與管理該導(dǎo)航菜單。還包括顯示控制器，用于在界面中顯示導(dǎo)航菜單。
其它的實(shí)施例中，導(dǎo)航菜單以菜單條的樣式顯示； 另外的實(shí)施例中，導(dǎo)航菜單放置于界面的上邊區(qū)域，并且按順序提供分別與所述用戶訪問菜單對(duì)話相對(duì)應(yīng)的菜單條。 在另外的實(shí)施例中，所述系統(tǒng)還包括數(shù)據(jù)緩沖器，用于儲(chǔ)存用戶訪問的菜單對(duì)話框中修改的數(shù)據(jù)。 在另外的實(shí)施例中，如果從當(dāng)前訪問菜單對(duì)話框切換到另一個(gè)菜單對(duì)話框而未保
存所述修改數(shù)據(jù)時(shí)，所述導(dǎo)航控制器將所述修改數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到所述數(shù)據(jù)緩沖器中。 在另外的實(shí)施例中，如果從當(dāng)前訪問菜單對(duì)話框切換到另一個(gè)菜單對(duì)話框而未保
存修改數(shù)據(jù)時(shí)，所述導(dǎo)航控制器在菜單切換之前自動(dòng)將所述修改數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到所述數(shù)據(jù)緩沖器中。 在另外的實(shí)施例中，所述導(dǎo)航控制器互不相同地顯示與無修改數(shù)據(jù)的菜單對(duì)話框相對(duì)應(yīng)的菜單條、及與帶有修改數(shù)據(jù)菜單對(duì)話框相對(duì)應(yīng)的菜單條，所述兩種菜單條包含在所述導(dǎo)航菜單中。 在另外的實(shí)施例中，所述系統(tǒng)還包括數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器，用來儲(chǔ)存用于在屏幕中顯示的菜單對(duì)話框與導(dǎo)航菜單的數(shù)據(jù)。 在另外的實(shí)施例中，所述系統(tǒng)還包括用戶界面數(shù)據(jù)處理器，用于從所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器中讀取屏幕顯示數(shù)據(jù)。 在另外的實(shí)施例中，如果用戶選擇了其中一個(gè)菜單對(duì)話框，所述導(dǎo)航控制器向用戶界面數(shù)據(jù)處理器發(fā)送請(qǐng)求信號(hào)，以請(qǐng)求獲取在屏幕中顯示的菜單對(duì)話框的數(shù)據(jù)；且所述用戶界面數(shù)據(jù)處理器響應(yīng)所述請(qǐng)求信號(hào)，從所述數(shù)據(jù)儲(chǔ)存器中讀取屏幕顯示數(shù)據(jù)，并將所讀取的屏幕顯示數(shù)據(jù)提供給所述導(dǎo)航控制器。 在另外的實(shí)施例中，所述顯示驅(qū)動(dòng)器在屏幕的上部區(qū)域顯示當(dāng)前訪問的菜單對(duì)話框及所述導(dǎo)航菜單。 在另外的實(shí)施例中，所述系統(tǒng)還包括下位控制器，所述下位控制器與半導(dǎo)體制造裝置相連；還包括上位控制器，所述上位控制器與所述下位控制器相連；其中，所述下位控制器與所述上位控制器中的至少一個(gè)含有用戶界面應(yīng)用程序。 在另外的實(shí)施例中，所述下位控制器包括客戶工具控制器，所述客戶工具控制器通過內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)連接到半導(dǎo)體制造裝置。 在另外的實(shí)施例中，所述上位控制器包括主機(jī)，所述主機(jī)通過外部網(wǎng)絡(luò)連接到半導(dǎo)體制造裝置，以對(duì)半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。 在本發(fā)明的其它實(shí)施例中，所述控制半導(dǎo)體制造裝置的方法包括加載含有菜單
5的用戶界面，所述菜單用于對(duì)半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行控制、監(jiān)測(cè)與管理；顯示主屏幕，用于選擇其中的一個(gè)菜單；顯示導(dǎo)航菜單，用于將所選菜單以歷史順序記錄在屏幕上。 在一些實(shí)施例中，所述顯示導(dǎo)航菜單包括將所述導(dǎo)航菜單設(shè)置在主屏幕的上部
區(qū)域；以菜單條的樣式顯示所述導(dǎo)航菜單，所述菜單條分別對(duì)應(yīng)用戶選擇的菜單。 在其它的實(shí)施例中，所述顯示導(dǎo)航菜單包括當(dāng)從當(dāng)前訪問的菜單切換到與用戶
選擇的任一菜單相對(duì)應(yīng)的其它菜單時(shí)，在導(dǎo)航菜單中記錄與顯示新的菜單條。
在另外的實(shí)施例中，所述顯示導(dǎo)航菜單包括互不相同地顯示與所選菜單中的包
括用戶修改數(shù)據(jù)的菜單相對(duì)應(yīng)的菜單條、以及與不帶修改數(shù)據(jù)的菜單相對(duì)應(yīng)的菜單條。
在另外的實(shí)施例中，所述顯示導(dǎo)航菜單包括如果修改數(shù)據(jù)已經(jīng)被用戶保存，以與
無修改數(shù)據(jù)的菜單相對(duì)應(yīng)的菜單條相同的顯示方式，顯示與包含修改數(shù)據(jù)的菜單相對(duì)應(yīng)的
菜單條。 在另外的實(shí)施例中，所述方法還包括在菜單切換之前儲(chǔ)存修改數(shù)據(jù)。 在本發(fā)明的另外實(shí)施例中，使用用戶界面，所述用戶界面包含用于控制、監(jiān)測(cè)及管
理半導(dǎo)體制造裝置的菜單的菜單對(duì)話框，控制半導(dǎo)體制造裝置的方法包括加載用戶界面；
顯示菜單對(duì)話框中的主屏幕；激活導(dǎo)航菜單，用于顯示用戶所選的菜單對(duì)話框；和，當(dāng)選擇
一個(gè)或多個(gè)所述菜單對(duì)話框時(shí)，以歷史順序在所述導(dǎo)航菜單中記錄所選菜單對(duì)話框。 在一些實(shí)施例中，所述激活主菜單包括在導(dǎo)航菜單中以菜單條的樣式顯示用戶
訪問的每個(gè)菜單對(duì)話框。 在其它的實(shí)施例中，在所述導(dǎo)航菜單中記錄菜單對(duì)話框與顯示菜單對(duì)話框之間能夠切換屏幕。 在另外的實(shí)施例中，所述方法還包括如果從上級(jí)菜單對(duì)話切換到其中一個(gè)在導(dǎo)航菜單中記錄與顯示的菜單對(duì)話框，則確定修改數(shù)據(jù)是否存在于上級(jí)菜單對(duì)話框中。
在另外的實(shí)施例中，所述方法還包括如果修改數(shù)據(jù)存在于上級(jí)菜單對(duì)話框中，則自動(dòng)存儲(chǔ)所述修改數(shù)據(jù)。 在另外的實(shí)施例中，所述導(dǎo)航菜單互不相同地顯示帶有修改數(shù)據(jù)的所述菜單條、及不帶修改數(shù)據(jù)的菜單條。 在另外的實(shí)施例中，如果修改數(shù)據(jù)已經(jīng)保存，以與無修改數(shù)據(jù)的菜單相對(duì)應(yīng)的菜
單條相同的顯示方式，顯示與包含修改數(shù)據(jù)的菜單相對(duì)應(yīng)的菜單條。 在另外的實(shí)施例中，所述導(dǎo)航菜單在屏幕的上部區(qū)域中顯示


所包含的附圖用于進(jìn)一步闡述本發(fā)明，且合并于于本說明書且組成本說明書的一部分。附解了本發(fā)明的示例性實(shí)施例，與說明書一起用于解釋本發(fā)明的原理。附圖中
圖1是本發(fā)明實(shí)施例用于控制半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)框 圖2是圖1所示的上位控制器或下位控制器的框圖； 圖3是圖2所示的上位控制器或下位控制器的用戶界面應(yīng)用程序的框 圖4是本發(fā)明應(yīng)用導(dǎo)航菜單控制用戶界面過程的流程 圖5是本發(fā)明實(shí)施例的應(yīng)用導(dǎo)航菜單控制用戶界面的過程的流程圖；禾口
圖6A到6E及圖7示出了本發(fā)明實(shí)施例的顯示了導(dǎo)航菜單的用戶界面屏幕。
具體實(shí)施例方式
下文將會(huì)參照附圖更加詳細(xì)地對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說明。然而，本發(fā)明也可以有不同形
式的實(shí)施方式，而不局限于此處所列舉的實(shí)施例。應(yīng)該是，提供這些實(shí)施例以便使本公開徹
底和完全，并將本發(fā)明的范圍完全傳遞給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。因此在附圖中，為了清楚的進(jìn)
行圖示擴(kuò)大了元件或組件的尺寸和形狀。 下文中，將參考附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例。 圖1是本發(fā)明實(shí)施例用于控制半導(dǎo)體制造裝置的控制系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)框 參考圖l，控制系統(tǒng)10使用用戶界面對(duì)半導(dǎo)體制造裝置300進(jìn)行控制、監(jiān)測(cè)與管理。控制系統(tǒng)10通過網(wǎng)絡(luò)20及30將多個(gè)半導(dǎo)體制造裝置連接到至少一個(gè)控制器100/200上。多個(gè)半導(dǎo)體制造裝置300可以執(zhí)行相同的或不同的工序。舉例來說，雖然沒有在圖l中示出，但是半導(dǎo)體制造裝置300可以包含不同的單元，如加工單元，該加工單元用于加工晶圓(或基板)；運(yùn)輸單元，該運(yùn)輸單元用于在各單元間運(yùn)送晶圓。 控制器100/200包括上位控制器100與下位控制器200?？刂破?00/200使用用戶界面控制、監(jiān)測(cè)與管理半導(dǎo)體制造裝置300。 舉例來說，上位控制器100包括主機(jī)，并且通過外部網(wǎng)絡(luò)20連接到多個(gè)下位控制器200。外部網(wǎng)路20包括應(yīng)用協(xié)議、如TCP/IP協(xié)議的通訊網(wǎng)絡(luò)。上位控制器100與下位控制器200通過外部網(wǎng)絡(luò)20交換信息，以遠(yuǎn)程控制半導(dǎo)體制造裝置300。
下位控制器200包括控制器，如可編程邏輯控制器及個(gè)人計(jì)算機(jī)(PC)，并且通過內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)30連接到半導(dǎo)體制造裝置300上。內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)30包括通訊網(wǎng)絡(luò)，如串行通信接口及局域網(wǎng)(LAN)。上位控制器100或下位控制器200可以包括不同的群集工具控制器(CTC)。上位控制器100可以包括故障檢測(cè)與分類(FDC)系統(tǒng)，而下位控制器200可以包含CTC。上位控制器100與下位控制器200使用用戶接口相互交換有關(guān)半導(dǎo)體制造裝置之間的信息，以便控制、監(jiān)測(cè)與管理半導(dǎo)體制造裝置。 圖2是圖1所示上位控制器100或下位控制器200的框圖。 參考圖2，上位控制器100或者下位控制器200包括了典型的計(jì)算機(jī)裝置的組件。舉例來說，上位控制器100或者下位控制器200包含處理器202、內(nèi)存204、存儲(chǔ)器206、接口單元208、輸入單元210及顯示單元212。所述各部件均連接到內(nèi)部總線上。其中，接口單元208連接到內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)30或者外部網(wǎng)絡(luò)20上(見圖1)。下文中，將在下位控制器200的基礎(chǔ)上，對(duì)本發(fā)明的技術(shù)特征進(jìn)行詳細(xì)描述。 具體來說，下位控制器200包括CTC。在此情況下，上位控制器100可以包含另外的CTC或者主機(jī)。 根據(jù)本發(fā)明，存儲(chǔ)器206包括用戶界面(UI)應(yīng)用程序220。 圖3是圖2所示上位控制器或下位控制器的用戶界面應(yīng)用程序220的框圖。 參考圖3，用戶界面應(yīng)用程序220提供導(dǎo)航菜單234，該導(dǎo)航菜單用于以歷史順序
顯示用戶訪問的菜單。另外，用戶界面應(yīng)用程序220包括多個(gè)菜單對(duì)話框228、UI數(shù)據(jù)處
理器222、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器224、導(dǎo)航控制器226、數(shù)據(jù)緩沖器232及顯示驅(qū)動(dòng)器230。 用戶界面應(yīng)用程序220包括第一處理器240，用于處理關(guān)于用戶界面的數(shù)據(jù)；第
二處理器250，用于處理屏幕顯示，以便導(dǎo)航菜單234在屏幕中顯示。具體來說，第一處理器240包括用戶界面數(shù)據(jù)處理器222與數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器224，第二處理器250包括菜單對(duì)話框228、用戶界面數(shù)據(jù)處理器222、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器224、導(dǎo)航控制器226、數(shù)據(jù)緩沖器232、顯示驅(qū)動(dòng)器230及導(dǎo)航菜單234。 菜單對(duì)話框228包含與用于控制、監(jiān)測(cè)與管理半導(dǎo)體制造裝置300的各種菜單有關(guān)的信息。舉例來說，為每一個(gè)半導(dǎo)體制造裝置提供超過一百個(gè)此類菜單，因此也應(yīng)該提供相同數(shù)量的菜單對(duì)話228框，并且各個(gè)菜單對(duì)話228用于用戶界面的屏幕顯示。
用戶界面數(shù)據(jù)處理器222處理用戶界面應(yīng)用程序220的用戶界面的屏幕顯示。用戶界面數(shù)據(jù)處理器222加載用戶界面。而且，用戶界面處理器222在導(dǎo)航控制器226與數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器224之間為用戶界面?zhèn)鬟f數(shù)據(jù)DATA與命令REQ。 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器224儲(chǔ)存多種數(shù)據(jù)與信息，以用于用戶界面應(yīng)用程序220顯示。數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器224儲(chǔ)存信息與數(shù)據(jù)，以用于菜單對(duì)話228及導(dǎo)航菜單234在屏幕上顯示。用戶界面數(shù)據(jù)處理器222將數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到數(shù)據(jù)儲(chǔ)存器224，或者從數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器224中讀取數(shù)據(jù)。
當(dāng)用戶界面數(shù)據(jù)處理器222加載用戶界面時(shí)，導(dǎo)航控制器226在屏幕上激活導(dǎo)航菜單234。在導(dǎo)航菜單234中，導(dǎo)航控制器226以歷史順序記錄、顯示與管理用戶訪問的菜單。舉例來說，導(dǎo)航菜單234在屏幕的一側(cè)區(qū)域內(nèi)以菜單條的樣式顯示，這些菜單條分別與用戶訪問的所述菜單對(duì)話框相對(duì)應(yīng)。 數(shù)據(jù)緩沖器232存儲(chǔ)已修改的、或正在當(dāng)前訪問的菜單對(duì)話框中進(jìn)行編輯的數(shù)據(jù)。 顯示驅(qū)動(dòng)器230顯示通過導(dǎo)航控制器226從數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器224中得到的數(shù)據(jù)。在這里，設(shè)置顯示驅(qū)動(dòng)器230，以在屏幕的上部區(qū)域(最上面的區(qū)域)中顯示導(dǎo)航菜單234、以及菜單對(duì)話框228中當(dāng)前訪問的菜單對(duì)話框。 當(dāng)用戶選擇菜單對(duì)話框228中的其中一個(gè)菜單對(duì)話框時(shí)，用戶界面應(yīng)用程序220從導(dǎo)航控制器226向用戶界面數(shù)據(jù)處理器222傳送請(qǐng)求信號(hào)REQ，以請(qǐng)求獲取在屏幕上顯示所選菜單對(duì)話框的數(shù)據(jù)。用戶界面數(shù)據(jù)處理器222響應(yīng)該請(qǐng)求信號(hào)REQ，從數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器224中讀取用于屏幕顯示的數(shù)據(jù)，并把所讀取的數(shù)據(jù)提供給導(dǎo)航控制器226。相應(yīng)地，導(dǎo)航控制器226向顯示驅(qū)動(dòng)器230傳送所讀取的數(shù)據(jù)、以將所選菜單對(duì)話框顯示在屏幕上，因此所選菜單對(duì)話框就按照選擇順序顯示在屏幕上。在這里，導(dǎo)航菜單234按照選擇順序、以與各選擇菜單對(duì)話框相對(duì)應(yīng)的菜單條的樣式，顯示在屏幕的一側(cè)區(qū)域內(nèi)。同樣，如果需要被儲(chǔ)存的數(shù)據(jù)存在于上級(jí)屏幕中，則在各菜單對(duì)話框228之間的切換之前，導(dǎo)航控制器226控制數(shù)據(jù)自動(dòng)儲(chǔ)存在數(shù)據(jù)緩沖器232中。 圖4是本發(fā)明應(yīng)用導(dǎo)航菜單控制用戶界面過程的流程圖。 參考圖4，在步驟S400中，上位控制器100或者下位控制器200執(zhí)行用戶界面應(yīng)用程序220，以加載用戶界面。舉例來說，顯示單元212顯示用戶應(yīng)用程序220的主屏幕。該主屏幕包括用于控制、監(jiān)測(cè)與管理半導(dǎo)體制造裝置300的多種菜單。在步驟S402中，導(dǎo)航菜單234被激活，并顯示在主屏幕一側(cè)的區(qū)域內(nèi)。在步驟S404中，用戶選擇多種菜單中的其中一個(gè)菜單。被選菜單在包含有導(dǎo)航菜單234的屏幕中顯示。在步驟S406中，當(dāng)重復(fù)進(jìn)行菜單選擇時(shí)，所選的多個(gè)菜單被記錄并以歷史順序顯示在導(dǎo)航菜單234中。
下文中，將根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，參考圖5到圖7詳細(xì)描述控制導(dǎo)航菜單的過程。
圖5是本發(fā)明實(shí)施例的應(yīng)用導(dǎo)航菜單控制用戶界面過程的流程圖。具體來說，圖5示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例、通過用戶界面控制導(dǎo)航菜單的過程。圖6A到6E及圖7示出了本發(fā)明實(shí)施例的顯示了導(dǎo)航菜單的用戶界面屏幕。該菜單控制過程將會(huì)以圖6A到6E及圖7中示出的用戶界面的屏幕為基礎(chǔ)進(jìn)行描述。 參考圖5，在步驟S410中，當(dāng)加載用戶界面后，在步驟S412中顯示如圖6A中示出的主屏幕500。在步驟S414中，導(dǎo)航菜單510被激活，并在主屏幕500的上部區(qū)域中顯示。主屏幕500是菜單對(duì)話228中的其中之一。主屏幕500包括選擇按鈕520，以用于選擇菜單對(duì)話框228中的、其中一個(gè)用于控制、監(jiān)測(cè)與管理半導(dǎo)體制造裝置300的菜單對(duì)話框?？梢赃x擇選擇按鈕520中的一個(gè)按鈕，以輸出圖6E中所示的另一個(gè)子屏幕540，并且多個(gè)其它選擇按鈕542可以在子屏幕540中顯示。子屏幕540也屬于菜單對(duì)話框228。主屏幕500包括顯示區(qū)域502，以用于顯示與選擇按鈕520相對(duì)應(yīng)的各種信息。每一個(gè)用于其它菜單的菜單對(duì)話框都可以包括顯示區(qū)域(圖6A到6E及圖7中的502 508)，以用于顯示各種信息。顯示區(qū)域502 508包括與相應(yīng)的選擇按鈕有關(guān)的各種信息，例如半導(dǎo)體制造裝置300的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)、工作條件、加工情況及特殊單元的圖像。所述各種信息包括可進(jìn)行修改的數(shù)據(jù)。主屏幕500還包括多個(gè)命令按鈕526，以用于執(zhí)行各種命令，這些命令可用于執(zhí)行結(jié)束(END)操作、修改或儲(chǔ)存顯示區(qū)域502中提供的數(shù)據(jù)。同樣，主屏幕包括位于顯示區(qū)域502 —側(cè)的導(dǎo)航菜單510。 在步驟S416中，當(dāng)用戶按下主屏幕500中的其中一個(gè)選擇按鈕522，以選擇步驟S416中的其中一個(gè)菜單時(shí)，如圖6B顯示的所選菜單的菜單對(duì)話框530就顯示在步驟S418中。為控制半導(dǎo)體制造裝置300，該菜單選擇可以重復(fù)數(shù)次，或者可以重復(fù)不同的菜單對(duì)話框。 在步驟S420中，代表上級(jí)主屏幕500的菜單條512被記錄并顯示在導(dǎo)航菜單510中，導(dǎo)航菜單510位于主界面500的上部區(qū)域。導(dǎo)航菜單510以與用戶訪問的各菜單對(duì)話框相對(duì)應(yīng)的菜單條的形式顯示。當(dāng)選擇另一選擇按鈕524，來選擇另一菜單時(shí)，代表上級(jí)顯示菜單對(duì)話框530的菜單條514就會(huì)被記錄并顯示在如圖6C所示的導(dǎo)航菜單510b中。具體來說，用戶訪問的菜單按歷史順序記錄在導(dǎo)航菜單510(510a，510b)中。
在步驟S422中，要決定是否選擇了其它菜單來切換菜單屏幕。具體來說，如圖6C及6D所示，當(dāng)選擇了另一個(gè)菜單時(shí)，菜單控制程序進(jìn)入步驟S424。在步驟S424中，要決定數(shù)據(jù)506a是否要在上級(jí)菜單界面532中修改。如果修改的數(shù)據(jù)506b是當(dāng)前的(be present),菜單控制程序進(jìn)入步驟S426。在步驟S426中，導(dǎo)航控制器226自動(dòng)的將上級(jí)菜單屏幕的修改數(shù)據(jù)506b儲(chǔ)存到數(shù)據(jù)緩沖器232中。在步驟S428中，就會(huì)切換到當(dāng)前選定菜單的菜單屏幕中。 同樣，如圖6E中所示出的，如果選擇了再一個(gè)菜單時(shí)，菜單控制程序進(jìn)入步驟S420，在導(dǎo)航菜單510c中記錄并顯示代表上級(jí)菜單屏幕的菜單條516。這里，導(dǎo)航菜單510c互不相同地顯示代表具有修改數(shù)據(jù)的菜單對(duì)話框的菜單條514a，及與具有已儲(chǔ)存的修改數(shù)據(jù)的菜單對(duì)話框(也就是，沒有修改數(shù)據(jù)的菜單對(duì)話框)相對(duì)應(yīng)的菜單條516。舉例來說，代表具有修正數(shù)據(jù)的菜單對(duì)話框的菜單條514a以不同的顏色，或者以不同的閃動(dòng)方式顯示。 同樣，可選擇導(dǎo)航菜單510c中記錄與顯示的菜單條512 516中的一個(gè)、以切換到相應(yīng)的菜單屏幕。這里，可以按下其中一個(gè)選擇按鈕522以顯示相應(yīng)的子菜單540。子菜
9單540包括多個(gè)其它選擇按鈕542。以與上述同樣的方式，導(dǎo)航控制器226記錄并顯示代表
子菜單540中的選擇菜單542的菜單條516，用來管理導(dǎo)航菜單510c。 同樣，如圖7中所示，代表無存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的菜單對(duì)話框的菜單條518a與518b可以在
導(dǎo)航菜單510d中記錄與顯示。同樣，在此情況下，導(dǎo)航菜單510d中所有的菜單條之間能夠
進(jìn)行屏幕切換。因此，為了防止數(shù)據(jù)丟失，可以選擇代表無存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的菜單對(duì)話框的菜單條
518a與518b，以用來切換相應(yīng)的菜單對(duì)話框，并且可以點(diǎn)擊相應(yīng)的命令按鈕526以存儲(chǔ)修
改數(shù)據(jù)。 如上所述，本發(fā)明的所述控制系統(tǒng)應(yīng)用基于用戶界面的導(dǎo)航菜單，控制、監(jiān)測(cè)與管理半導(dǎo)體制造裝置，從而使不同菜單之間的轉(zhuǎn)換變的容易。 同樣，當(dāng)通過導(dǎo)航菜單切換屏幕時(shí)，所述控制系統(tǒng)自動(dòng)存儲(chǔ)存在于上級(jí)屏幕中的修改數(shù)據(jù)，從而能夠防止數(shù)據(jù)丟失。 同樣，在導(dǎo)航菜單中，所述控制系統(tǒng)顯示帶有用戶修正數(shù)據(jù)的菜單，從而防止能夠數(shù)據(jù)丟失。 同樣，所述控制系統(tǒng)應(yīng)用導(dǎo)航菜單以歷史順序顯示用戶訪問的各種操作相關(guān)菜單，從而使得用戶可以方便地選擇導(dǎo)航菜單中記錄與顯示的要的菜單，而不必重新尋找需要的菜單。 上述公開的主題應(yīng)該被認(rèn)為是例證性的，而不是限制性的，并且所附權(quán)利要求書是為了覆蓋屬于本發(fā)明精神與范圍內(nèi)的所有修改、改進(jìn)及其它實(shí)施例。因此，為了達(dá)到法律允許的最大范圍，本發(fā)明的范圍由下述的權(quán)利要求書及其等效物的最大可允許的解釋來決定，而并不由上文詳細(xì)的描述來限定。
10
權(quán)利要求
一種控制半導(dǎo)體制造裝置的系統(tǒng)，包括多個(gè)菜單對(duì)話框，用于控制、監(jiān)測(cè)及管理半導(dǎo)體制造裝置；導(dǎo)航菜單，用于顯示用戶訪問的菜單對(duì)話框；導(dǎo)航控制器，用于激活導(dǎo)航菜單，并記錄與管理所述導(dǎo)航菜單；和顯示驅(qū)動(dòng)器，用于在屏幕中顯示所述導(dǎo)航菜單。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述導(dǎo)航菜單以菜單條的樣式顯示。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中，所述導(dǎo)航菜單置于屏幕的上部區(qū)域，并且順序地提供分別與用戶訪問的菜單對(duì)話框相對(duì)應(yīng)的菜單條。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，還包括數(shù)據(jù)緩沖器，用于儲(chǔ)存用戶訪問的所述菜單對(duì)話框中修改的數(shù)據(jù)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中，如果從當(dāng)前訪問的菜單對(duì)話框切換到另一個(gè)菜單對(duì)話框而未保存所述修改數(shù)據(jù)時(shí)，所述導(dǎo)航控制器將所述修改數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到所述數(shù)據(jù)緩沖器中。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中，如果從當(dāng)前訪問的菜單對(duì)話框切換到另一個(gè)菜單對(duì)話框而未保存所述修改數(shù)據(jù)時(shí)，所述導(dǎo)航控制器在菜單切換之前自動(dòng)將所述修改數(shù)據(jù)儲(chǔ)存到所述數(shù)據(jù)緩沖器中。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中，所述導(dǎo)航控制器互不相同地顯示與無修改數(shù)據(jù)的菜單對(duì)話框相對(duì)應(yīng)的菜單條、及與帶有修改數(shù)據(jù)的菜單對(duì)話框相對(duì)應(yīng)的菜單條，所述兩種菜單條包含在所述導(dǎo)航菜單中。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，還包括數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器，用來儲(chǔ)存用于在屏幕中顯示的菜單對(duì)話框與導(dǎo)航菜單的數(shù)據(jù)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，還包括用戶界面數(shù)據(jù)處理器，用于從所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器中讀取屏幕顯示數(shù)據(jù)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中，如果用戶選擇了其中一個(gè)菜單對(duì)話框，所述導(dǎo)航控制器向所述用戶界面數(shù)據(jù)處理器發(fā)送請(qǐng)求信號(hào)，以請(qǐng)求獲取在屏幕中顯示的菜單對(duì)話框的數(shù)據(jù)；且所述用戶界面數(shù)據(jù)處理器響應(yīng)所述請(qǐng)求信號(hào)，從所述數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器中讀取屏幕顯示數(shù)據(jù)，并將所讀取的屏幕顯示數(shù)據(jù)提供給所述導(dǎo)航控制器。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述顯示驅(qū)動(dòng)器在屏幕的上部區(qū)域顯示當(dāng)前訪問的菜單對(duì)話框與所述導(dǎo)航菜單。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括下位控制器，所述下位控制器與半導(dǎo)體制造裝置相連；還包括上位控制器，所述上位控制器與所述下位控制器相連，其中，所述上位控制器與所述下位控制器中的至少一個(gè)包含用戶界面應(yīng)用程序。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其中，所述下位控制器包括客戶工具控制器，所述客戶工具控制器通過內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)連接到所述半導(dǎo)體制造裝置。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中，所述上位控制器包括主機(jī)，所述主機(jī)通過外部網(wǎng)絡(luò)連接到半導(dǎo)體制造裝置，以對(duì)所述半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。
15. —種控制半導(dǎo)體制造裝置的方法，包括加載含有菜單的用戶界面，所述菜單用于對(duì)半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行控制、監(jiān)測(cè)與管理；顯示屏幕，用于選擇其中的一個(gè)菜單；且顯示導(dǎo)航菜單，用于將所選菜單以歷史順序記錄在屏幕上。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中，所述顯示導(dǎo)航菜單包括將所述導(dǎo)航菜單設(shè)置在屏幕的上部區(qū)域；禾口以菜單條的樣式顯示所述導(dǎo)航菜單，所述菜單條分別對(duì)應(yīng)用戶選擇的菜單。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中，所述顯示導(dǎo)航菜單包括當(dāng)從當(dāng)前訪問的菜單切換到與用戶選擇的任一菜單相對(duì)應(yīng)的其它菜單時(shí)，在所述導(dǎo)航菜單中記錄與顯示新的菜單條。
18. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中，所述顯示導(dǎo)航菜單包括互不相同地顯示與所選菜單中的包括用戶修改數(shù)據(jù)的菜單相對(duì)應(yīng)的菜單條、以及與不帶修改數(shù)據(jù)的菜單相對(duì)應(yīng)的菜單條。
19. 根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中，所述顯示導(dǎo)航菜單包括如果修改數(shù)據(jù)已被用戶保存，以與無修改數(shù)據(jù)的菜單相對(duì)應(yīng)的菜單條相同的顯示方式、顯示與包含修改數(shù)據(jù)的菜單相對(duì)應(yīng)的菜單條。
20. 根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，還包括，在菜單切換之前儲(chǔ)存修改數(shù)據(jù)。
21. —種使用用戶界面控制半導(dǎo)體制造裝置的方法，所述用戶界面包括用于控制、監(jiān)測(cè)及管理半導(dǎo)體制造裝置的菜單的菜單對(duì)話框，所述方法包括加載用戶界面；顯示菜單對(duì)話框中的屏幕；激活導(dǎo)航菜單，用于顯示用戶所選的菜單對(duì)話框；禾口當(dāng)選擇一個(gè)或多個(gè)所述菜單對(duì)話框時(shí)，以歷史順序在所述導(dǎo)航菜單中記錄所選菜單對(duì)話框。
22. 根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其中，所述激活導(dǎo)航菜單包括在導(dǎo)航菜單中以菜單條的樣式顯示用戶訪問的每個(gè)菜單對(duì)話框。
23. 根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其中，在所述導(dǎo)航菜單中記錄的菜單對(duì)話框與顯示的菜單對(duì)話框之間能夠切換屏幕。
24. 根據(jù)權(quán)利要求23所述的方法，還包括如果從上級(jí)菜單對(duì)話框切換到在導(dǎo)航菜單中記錄與顯示的其中一個(gè)菜單對(duì)話框，則確定修改數(shù)據(jù)是否存在于上級(jí)菜單對(duì)話框中。
25. 根據(jù)權(quán)利要求24所述的方法，還包括如果修改數(shù)據(jù)存在于上級(jí)菜單對(duì)話框中，則自動(dòng)存儲(chǔ)所述修改數(shù)據(jù)。
26. 根據(jù)權(quán)利要求24所述的方法，其中，所述導(dǎo)航菜單互不相同地顯示帶有修改數(shù)據(jù)的所述菜單條、與不帶修改數(shù)據(jù)的所述菜單條。
27. 根據(jù)權(quán)利要求26所述的方法，其中，如果修改數(shù)據(jù)已經(jīng)保存，以與無修改數(shù)據(jù)的菜單條相同的顯示方式，顯示包含修改數(shù)據(jù)的菜單條。
28. 根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其中，所述導(dǎo)航菜單在屏幕的上部區(qū)域中顯示。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種使用用戶界面控制半導(dǎo)體制造裝置的系統(tǒng)與方法。該控制系統(tǒng)連接有至少一個(gè)控制器，該控制器通過網(wǎng)絡(luò)連接到多個(gè)半導(dǎo)體制造裝置上?？刂破靼ㄉ衔豢刂破魅邕h(yuǎn)程控制主機(jī)，和下位控制器如群集工具控制器。該控制器包括用戶界面應(yīng)用程序，以用于控制、監(jiān)視和管理半導(dǎo)體制造裝置。該用戶界面應(yīng)用程序在屏幕的一側(cè)區(qū)域提供導(dǎo)航菜單，以歷史順序顯示用戶訪問的菜單。采用與用戶訪問的菜單相對(duì)應(yīng)的菜單條的方式提供導(dǎo)航菜單。該導(dǎo)航菜單用于在切換到另一菜單之前，自動(dòng)存儲(chǔ)用戶修改的數(shù)據(jù)。用戶訪問的菜單可以通過用戶界面進(jìn)行快速選擇，并且可以防止在用戶訪問的菜單中丟失修改數(shù)據(jù)。
文檔編號(hào)H01L21/02GK101750977SQ20091022626
公開日2010年6月23日 申請(qǐng)日期2009年11月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月27日
發(fā)明者姜棟然, 姜英順 申請(qǐng)人:細(xì)美事有限公司