專利名稱:導(dǎo)電板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種導(dǎo)電板。
背景技術(shù):
納米碳管(Carbon Nanotube, CNT)是一種由碳原子組成、直徑為納米等級的中空 管狀物,隨著納米碳管的長度、直徑及螺旋方式的變化,納米碳管可呈現(xiàn)出金屬性質(zhì)或半導(dǎo) 體性質(zhì),由于納米碳管的優(yōu)異特性,因此可望在許多不同技術(shù)領(lǐng)域中發(fā)揮重要作用。由于CNT具有導(dǎo)電性,因此陸續(xù)有人嘗試以CNT制作成導(dǎo)電膜。以CNT所制作的導(dǎo) 電膜而言,其制作條件相對制作銦錫氧化物(Indium Tin Oxide, IT0)等透明導(dǎo)電膜要來的 容易,且制作成本相對其他透明導(dǎo)電膜來的低廉。因?yàn)橥该鲗?dǎo)電膜其光學(xué)級穿透度上的需 求,因此以CNT所制作成的透明導(dǎo)電膜需要把CNT本身的密度降低,以達(dá)成較高的穿透度。目前所使用的方式為將生長在晶圓(或其它基材)上的CNT叢集,通過機(jī)械力量 來將晶圓(或其它基材)上的CNT叢集懸空拉伸成一透明狀導(dǎo)電膜。最后將CNT透明導(dǎo)電 膜以微速小心貼到已上膠的基板上,用以將CNT透明導(dǎo)電膜固定在基板上以形成具有導(dǎo)電 功能的導(dǎo)電板。目前隨著液晶顯示器等的發(fā)展,對于大面積的導(dǎo)電板需求也越來越重要,但是這 種將CNT由晶圓(或其它基材)上拉伸成的透明狀導(dǎo)電膜則會受限在晶圓(或其它基材) 的尺寸而使得寬度受限,無法制作出大面積的導(dǎo)電板。
發(fā)明內(nèi)容
為了解決現(xiàn)有技術(shù)中導(dǎo)電板的面積受限的問題,本發(fā)明提供一種面積較大的導(dǎo)電 板?!N導(dǎo)電板,其包括基板、多個導(dǎo)電膜與膠體。其中各導(dǎo)電膜具有多個納米單元, 且膠體用以使導(dǎo)電膜承載在基板上。其中多個導(dǎo)電膜可并排設(shè)置在基板上,也可堆棧在基板上,又可部分重疊設(shè)置在 基板上。本發(fā)明所揭露的一種導(dǎo)電板,通過并排或堆棧等方式將多個導(dǎo)電膜設(shè)置在基板 上,制作出大面積的導(dǎo)電板,并且降低了阻抗,增加最大傳輸電流值。
圖1為本發(fā)明導(dǎo)電板的第一實(shí)施方式示意圖。圖2為本發(fā)明導(dǎo)電板的第二實(shí)施方式示意圖。圖3為本發(fā)明導(dǎo)電板的第三實(shí)施方式示意圖。
具體實(shí)施例方式請參照圖1,圖1為本發(fā)明導(dǎo)電板的第一實(shí)施方式示意圖。
在本實(shí)施方式中,導(dǎo)電板100包括有基板10、膠體20與多個導(dǎo)電膜30。其中多個導(dǎo)電膜30并排設(shè)置在基板10上,且膠體20用以使多個導(dǎo)電膜30承載在基板10上?;?0可為一透明材料基板。透明材料基板可包括玻璃基板、高分子透明材料基 板。其中高分子透明材料基板可為包括有聚甲基丙烯酸甲酯(Polymethylmethacrylate, PMMA)、聚對苯二甲酸乙二酯(Polyethylene Ter印hthalate,PET)或聚碳酸酯樹脂 (Polycarbonate, PC)的基板。但是,在本發(fā)明的基板為高分子透明材料基板的情況下,高 分子透明材料并不以上述例為限,也可為其它高分子透明材料?;?0也可為一不透明材料基板,例如金屬基板、半導(dǎo)體基板、印刷電路板與塑 料基板等。其中塑料基板可為本身具色彩的塑料基板或在透明基板外涂布色彩來形成。導(dǎo)電膜30的形成為先行在晶圓(或其它基材)上生長納米單元叢集,再通過機(jī)械 力量來將晶圓(或其它基材)上的納米單元叢集懸空拉伸成一透明狀導(dǎo)電膜。其中在晶圓 (或其它基材)上生長納米單元叢集的方式可透過電弧放電法(Arc Discharge)、激光蒸發(fā) 法(Laser Vaporization)或有機(jī)氣相沉積法(Chemical Vapor Deposition)等。上述的 基材可以為晶圓、石墨等。上述的納米單元可以為非等向性形狀的納米單元,所謂非等向性 形狀的納米單元為形狀上長度與寬度相異的納米單元,例如是納米碳管等。上述的納米單 元也可為大致呈等向性形狀的納米單元,例如是納米粒子等當(dāng)上述的納米單元中之一受到外部拉力而離開晶圓(或其它基材)時,與該納米 單元鄰近的另一納米單元會因?yàn)榕c該納米單元之間的凡得瓦力的作用而一并被帶離晶圓 (或其它基材)。因此,當(dāng)晶圓(或其它基材)上的多個納米單元中受到外部拉力而離開晶 圓(或其它基材)時,其中每一受到外部拉力的納米單元會串接起多個納米單元以形成一 納米單元束(圖未示),因此可將晶圓(或其它基材)上的多個納米單元以拉伸處理的方 式形成具有多個納米單元束的導(dǎo)電膜30,且導(dǎo)電膜30內(nèi)的多個納米單元束以一特定方向X 排列配置,即導(dǎo)電膜30內(nèi)的多個納米單元大致朝向一特定方向X排列。其中每一納米單元束上會有多個觸須延伸連接其它納米單元束。因此當(dāng)電流流經(jīng) 導(dǎo)電膜30時,沿著特定方向X的方向能流通較大的電流,而當(dāng)電流沿著相異于特定方向X 的方向則僅能流通較小的電流,故所形成的導(dǎo)電膜200具電異向性。所謂的電異向性又稱 導(dǎo)電異向性或稱電阻抗異向性,是在不同方向上具有不同的導(dǎo)電性質(zhì)或電阻抗性質(zhì)。其中膠體20可依固化方式的不同選擇用光固化膠、熱固化膠或光-熱固化 膠。所謂的光固化膠指會受特定波段的光線照射而固化的膠體,例如是紫外線硬化膠 (Ultraviolet glue),而所謂的熱固化膠則指會在某特定溫度范圍以上的環(huán)境中而固化的 膠體,而所謂的光熱固化膠則指需要在某特定溫度范圍以上的環(huán)境中,同時受特定波長的 光線照射而固化的膠體。此外,膠體20也可選用具導(dǎo)電性的膠體,例如是導(dǎo)電高分子膠。在本實(shí)施方式中,先行提供一基板10、膠體20與多個導(dǎo)電膜30。接著將膠體20 形成在基板10上,其中將膠體20形成在基板10上的方法可透過印刷涂布、旋轉(zhuǎn)涂布或滴 定等方式將膠體20形成在基板10上。最后利用膠體20使多個導(dǎo)電膜30承載在基板10 上。將多個導(dǎo)電膜30并排設(shè)置在膠體20背對于基板10的一側(cè)表面附近,通過將多個導(dǎo)電 膜30并排設(shè)置在基板10上可得到大面積的導(dǎo)電板。因而,當(dāng)多個導(dǎo)電膜30承載在基板10 上時,膠體20存在于導(dǎo)電膜30與基板10之間。其中多個導(dǎo)電膜30之間沿著大致平行特 定方向X并排設(shè)置且串接在基板10上。
在本實(shí)施方式中,將多個導(dǎo)電膜30之間以并排且串接的方式設(shè)置在基板10上后, 可先行對多個導(dǎo)電膜30進(jìn)行激光處理。其中對多個導(dǎo)電膜30進(jìn)行激光處理的方式可利用 激光以大致平行于特定方向來回處理多個導(dǎo)電膜30,用以增加其電異向性與透明度,也可 利用激光以大致垂直于特定方向來回處理多個導(dǎo)電膜30,用以增加其透明度。接著再對膠 體20進(jìn)行固化處理。當(dāng)膠體20為光固化膠時,則以特定波段的光線照射使膠體20固化; 當(dāng)膠體20為熱固化膠時,則將膠體20放置在某特定溫度范圍以上的環(huán)境使膠體20固化; 當(dāng)膠體20為光-熱固化膠時,則將膠體20放置在某特定溫度范圍以上的環(huán)境并以特定波 段的光線照射的,使膠體20固化。本實(shí)施方式所揭露的一種導(dǎo)電板100,通過將多個導(dǎo)電膜30之間以并排且串接的 方式設(shè)置在基板10上,可制作出大面積的導(dǎo)電板。圖2為本發(fā)明導(dǎo)電板的第二實(shí)施方式示意圖。請參照圖2,并合并參照第一實(shí)施方式。本實(shí)施方式與第一實(shí)施方式的差別在于多 個導(dǎo)電膜30是部分重疊設(shè)置在基板10上。為了避免晶圓(或其它基材)上的CNT叢集被懸空拉伸成一透明狀導(dǎo)電膜時,在 導(dǎo)電膜的邊緣因?yàn)閮?nèi)聚力等作用而使得導(dǎo)電膜邊緣的中間部位會較導(dǎo)電膜邊緣的兩端部 位內(nèi)縮。因此若將多個導(dǎo)電膜30之間以并排且串接的方式設(shè)置在基板10上,在導(dǎo)電膜30 與導(dǎo)電膜30之間會因?yàn)閷?dǎo)電膜邊緣的中間部位內(nèi)縮而無法相互連接以致形成縫隙。因此本發(fā)明的第二實(shí)施方式將多個導(dǎo)電薄膜30部分重疊設(shè)置在膠體20背對于基 板10的一側(cè)表面附近,通過將多個導(dǎo)電薄膜30部分重疊設(shè)置在基板10上可避免導(dǎo)電膜30 與導(dǎo)電膜30之間會因?yàn)閷?dǎo)電膜邊緣的中間部位內(nèi)縮而無法相互連接以致形成空隙,同時 可得到大面積的導(dǎo)電板。其中多個導(dǎo)電膜30之間沿著大致平行特定方向X部分重疊設(shè)置 在基板10上。在本實(shí)施方式中,將多個導(dǎo)電膜30之間以部分重疊且串接的方式設(shè)置在基板10 上后,可先對多個導(dǎo)電膜30進(jìn)行激光處理。其中對多個導(dǎo)電膜30進(jìn)行激光處理的方式可 參考第一實(shí)施方式。由于導(dǎo)電膜30與導(dǎo)電膜30之間是以部分重疊的方式串接,因此在重 疊的部分相較于其它未重疊部分的透明度會較差,因此可對重疊部分進(jìn)行相較于其它未重 疊部分更多的激光處理過程,以使重疊部分的透明度可大致相近于其它未重疊部分的透明 度。接著再對膠體20進(jìn)行固化處理。其中對多個導(dǎo)電膜30進(jìn)行固化處理的方式可參考第 一實(shí)施方式。本實(shí)施方式所揭露的一種導(dǎo)電板100,通過將多個導(dǎo)電膜30之間以部分重疊且串 接的方式設(shè)置在基板10上,可制作出大面積的導(dǎo)電板。 圖3為本發(fā)明導(dǎo)電板的第三實(shí)施方式示意圖。請參照圖3,并合并參照前述實(shí)施方式。本實(shí)施方式與前述實(shí)施方式的差別在于多 個導(dǎo)電膜30堆棧設(shè)置在基板10上。本實(shí)施方式將多個導(dǎo)電膜30堆棧設(shè)置在膠體20背對于基板10的一側(cè)表面附近, 由于導(dǎo)電膜30由多個納米單元束所組成,因此膠體20可由多個納米單元束之間滲透而將 多個導(dǎo)電膜30固定在膠體20背對于基板10的一側(cè)表面附近。本實(shí)施方式也可在導(dǎo)電膜 30與導(dǎo)電膜30之間另形成膠體20,以通過膠體20來固定導(dǎo)電膜30與導(dǎo)電膜30之間的堆 棧關(guān)系,用以避免形成在基板10上的膠體20無法通過滲透作用而固定多層堆棧的導(dǎo)電膜。通過將多個導(dǎo)電膜30堆棧設(shè)置在基板10上可降低阻抗以增加最大傳輸電流值。其中多個 導(dǎo)電膜30大致朝向同一特定方向X。在本實(shí)施方式中,將多個導(dǎo)電膜30之間以堆棧的方式設(shè)置在基板10上后,可先對 多個導(dǎo)電膜30進(jìn)行激光處理。其中對多個導(dǎo)電膜30進(jìn)行激光處理的方式可參考上述實(shí)施 方式。接著再對膠體20進(jìn)行固化處理。其中對多個導(dǎo)電膜30進(jìn)行固化處理的方式可參考 前述實(shí)施方式。本實(shí)施方式所揭露的一種導(dǎo)電板100,通過將多個導(dǎo)電膜30之間以堆棧的方式設(shè) 置在基板10上,可降低阻抗以增加最大傳輸電流值。 本發(fā)明所揭露的一種導(dǎo)電板,通過并排、部分重疊或堆棧等方式將多個導(dǎo)電膜設(shè) 置在基材上,制作出大面積的導(dǎo)電板,也可降低阻抗以增加最大傳輸電流值。本發(fā)明所揭露的一種導(dǎo)電板的制作方法及其制備系統(tǒng),先行將導(dǎo)電膜設(shè)置在基材 上,再對已設(shè)置在基材上的導(dǎo)電膜進(jìn)行激光等后處理,可提升工藝的生產(chǎn)速度與良率,且工 藝參數(shù)較易控制,同時導(dǎo)電膜可以不間斷的大面積導(dǎo)入。
權(quán)利要求
一種導(dǎo)電板,其包括一基板和一膠體,其特征在于該導(dǎo)電板進(jìn)一步包括多個導(dǎo)電膜,該每個導(dǎo)電膜具有多個納米單元,該膠體使該多個導(dǎo)電膜承載在該基板上。
2.如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電板,其特征在于該多個納米單元朝一特定方向排列。
3.如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電板,其特征在于各該導(dǎo)電膜具電異向性。
4.如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電板,其特征在于該多個納米單元包括呈等向性形狀的納 米單元。
5.如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電板,其特征在于該多個納米單元包括納米碳管。
6.如權(quán)利要求2所述的導(dǎo)電板,其特征在于該多個導(dǎo)電膜并排設(shè)置在該基板上。
7.如權(quán)利要求6所述的導(dǎo)電板,其特征在于該多個導(dǎo)電膜之間沿著平行該特定方向 串接在該基板上。
8.如權(quán)利要求2所述的導(dǎo)電板,其特征在于該多個導(dǎo)電膜堆棧在該基板上。
9.如權(quán)利要求8所述的導(dǎo)電板,其特征在于該多個導(dǎo)電膜的該多個納米單元朝向同一該特定方向。
10.如權(quán)利要求2所述的導(dǎo)電板,其特征在于該多個導(dǎo)電膜部分重疊設(shè)置在該基板上。
11.如權(quán)利要求10所述的導(dǎo)電板,其特征在于該多個導(dǎo)電膜之間沿著平行該特定方 向串接在該基板上。
12.如權(quán)利要求2所述的導(dǎo)電板,其特征在于該多個導(dǎo)電膜經(jīng)過激光處理。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種導(dǎo)電板,該導(dǎo)電板包括一基板、多個導(dǎo)電膜與一膠體。該膠體用以使該導(dǎo)電膜承載在基板上,且各導(dǎo)電膜具有多個納米單元。本發(fā)明通過將多個導(dǎo)電膜設(shè)置在基板上,可制作出大面積的導(dǎo)電板。
文檔編號H01B5/14GK101989469SQ20091030509
公開日2011年3月23日 申請日期2009年7月31日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月31日
發(fā)明者吳志笙, 張智桀, 趙志涵 申請人:群康科技(深圳)有限公司;群創(chuàng)光電股份有限公司