專利名稱：一種半導(dǎo)體高溫?zé)釘U(kuò)散舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種擴(kuò)散舟，特別涉及一種在半導(dǎo)體生產(chǎn)中用于承載硅片 的擴(kuò)散舟。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體工業(yè)中，擴(kuò)散是摻雜的重要工藝過程，在此過程中需采用擴(kuò)散舟 作為在高溫擴(kuò)散時裝載硅片的工具，因此擴(kuò)散舟須具有耐高溫、導(dǎo)熱系數(shù)高、 熱膨脹系數(shù)小、耐磨性能好、高純度等特性。
現(xiàn)有技術(shù)中，擴(kuò)散舟的結(jié)構(gòu)如附圖1 2所示，由矩形底板l、兩個端板2、 兩根固定棒3組成，固定棒3焊接于矩形底板1的長邊部，端板2焊接于矩形 底板l的短邊部。這種擴(kuò)散舟可同時對數(shù)百片硅片同時進(jìn)行高溫擴(kuò)散，兩根固 定棒3用來支撐硅片，兩個端板2前后擋住硅片起固定作用?，F(xiàn)有擴(kuò)散舟從材 質(zhì)上分有兩類純碳化硅舟、純石英舟。雖然純石英舟價格為1000人民幣左 右，具有價格優(yōu)勢，但是純石英舟的熔點較低，往往會造成純石英舟接觸硅片 的邊緣，從而粘在一起，增加破片的幾率。而純碳化硅舟在熔點、導(dǎo)熱系數(shù)、 熱膨脹系數(shù)等參數(shù)上雖然都優(yōu)于純石英舟，不會造成粘邊問題，但是價格約為 6000人民幣，增加了產(chǎn)品的成本。
為此，如何有效克服現(xiàn)有擴(kuò)散舟的粘邊問題且降低產(chǎn)品的成本是本實用新 型研究的問題。 發(fā)明內(nèi)容
本實用新型提供一種半導(dǎo)體高溫?zé)釘U(kuò)散舟，其目的是要解決擴(kuò)散舟的粘邊 問題且降低產(chǎn)品的成本。
為達(dá)到上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是 一種半導(dǎo)體高溫?zé)釘U(kuò)散 舟，包括一矩形底板、兩個端板、兩根固定棒，所述兩根固定棒的內(nèi)側(cè)各平行 設(shè)有一根碳化硅棒，這兩碳化硅棒的內(nèi)側(cè)面設(shè)有供與硅片邊緣接觸配合的凹弧 形支撐作用面。
上述技術(shù)方案中的有關(guān)內(nèi)容解釋如下
1、 上述方案中，所述兩碳化硅棒的內(nèi)側(cè)面設(shè)有供與硅片邊緣接觸配合的 凹弧形支撐作用面，使得碳化硅棒支撐住硅片，保證硅片正下方與矩形底板間 留有空隙，兩者不接觸。
2、 上述方案中，所述的矩形底板、兩個端板、兩根固定棒材質(zhì)上可采用熔點低價廉的材料，較佳是采用石英。
由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點
1、 由于此擴(kuò)散舟在原有的石英舟基礎(chǔ)上設(shè)置兩根碳化硅棒，而石英舟價
格約為1000人民幣，兩根碳化硅棒價格約為幾百人民幣，因此顯著地降低了
產(chǎn)品成本。
2、 由于硅片由碳化硅棒支撐，從而避免了與石英材質(zhì)的矩形底板和固定 棒接觸，因此解決了擴(kuò)散舟的粘邊問題。


附圖1為現(xiàn)有擴(kuò)散舟的主視全剖示意圖； 附圖2為附圖1的俯視示意圖； 附圖3為本實用新型的主視全剖示意圖； 附圖4為附圖3的俯視示意以上附圖中1、矩形底板；2、端板；3、固定棒；4、碳化硅棒；5、凹 弧形支撐作用面；6、硅片。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進(jìn)一步描述
實施例參見附圖2 3所示， 一種半導(dǎo)體高溫?zé)釘U(kuò)散舟，主要由矩形底 板l、兩個端板2、兩根固定棒3、兩根碳化硅棒4組成。兩根固定棒3截面 為圓形，焊接于矩形底板1的兩長邊側(cè)，兩個端板2焊接于矩形底板1的兩短 邊側(cè)。所述兩根固定棒3的內(nèi)側(cè)各平行設(shè)有一根碳化硅棒4,這兩碳化硅棒4 的內(nèi)側(cè)面設(shè)有供與硅片6邊緣接觸配合的凹弧形支撐作用面5,見附圖3。凹 弧形支撐作用面5支撐著硅片6,保證硅片6底部與矩形底板1間有空隙，避 免了硅片6邊緣與矩形底板1的接觸，即使用時，硅片6僅與兩碳化硅棒4 接觸，碳化硅棒4熔點高，避免出現(xiàn)粘邊現(xiàn)象，從而矩形底板l、兩個端板2、 兩根固定棒3可釆用一般石英材料制作即可。
上述實施例只為說明本實用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點，其目的在于讓熟悉此 項技術(shù)的人士能夠了解本實用新型的內(nèi)容并據(jù)以實施，并不能以此限制本實用 新型的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本實用新型精神實質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵 蓋在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1、一種半導(dǎo)體高溫?zé)釘U(kuò)散舟，包括一矩形底板(1)、兩個端板(2)、兩根固定棒(3)，其特征在于所述兩根固定棒(3)的內(nèi)側(cè)各平行設(shè)有一根碳化硅棒(4)，這兩碳化硅棒(4)的內(nèi)側(cè)面設(shè)有供與硅片(6)邊緣接觸配合的凹弧形支撐作用面(5)。
專利摘要一種半導(dǎo)體高溫?zé)釘U(kuò)散舟，包括一矩形底板(1)、兩個端板(2)、兩根固定棒(3)，其特征在于所述兩根固定棒(3)的內(nèi)側(cè)各平行設(shè)有一根碳化硅棒(4)，這兩碳化硅棒(4)的內(nèi)側(cè)面設(shè)有供與硅片(6)邊緣接觸配合的凹弧形支撐作用面(5)。本實用新型利用兩根碳化硅棒來支撐硅片，避免硅片與矩形底板接觸，從而解決擴(kuò)散舟的粘邊問題且降低產(chǎn)品的成本。
文檔編號H01L21/673GK201383494SQ20092004163
公開日2010年1月13日 申請日期2009年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月30日
發(fā)明者薛列龍, 顧國紅 申請人:蘇州固锝電子股份有限公司