專利名稱：半導體專用設備用晶向調整裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體專用設備用晶向調整裝置。
背景技術：
半導體專用設備在對晶片進行加工的過程中，由于晶片加工工藝的要求，需要對 設備進行晶向調整。常見的晶向調整裝置采用的是螺栓直接拉動調整裝置和直線滑塊式調 整裝置，上述幾種裝置在實際應用中分別存在一定的不足，如結構較復雜、外形尺寸較大、 成本較高、壽命較短等。

發(fā)明內容本實用新型的目的是為克服上述現有技術中的不足之外而提供一種結構緊湊、調
整方便、成本較低、安裝簡單的半導體專用設備用晶向調整裝置。 本實用新型采用如下技術方案 本實用新型包括縱向調整系統、橫向調整系統和底座，其中，縱向調整系統的縱向 擺動板后端設鉸軸與底座鉸接，其螺旋傳動升降調節(jié)機構中的連接柱上端與縱向擺動板的 中底部鉸接，調節(jié)旋鈕和調節(jié)螺桿分別與連接柱的中下部螺紋連接，與鎖板一起夾持調節(jié) 旋鈕的壓板與鎖板固定，鎖板與支架板間設鉸軸鉸接，支架板與連接板固定，連接板與底座 固定，水平刻度盤與縱向擺動板固定，與水平刻度盤相對的水平刻度指示盤與底座固定；橫 向調整系統的橫向擺動板后端設鉸軸與縱向擺動板鉸接，橫向調節(jié)機構中的拉板設鉸軸與 橫向擺動板前端鉸接，水平調節(jié)塊設鉸軸與縱向調節(jié)板鉸接，與水平調節(jié)塊一起夾持調節(jié) 螺桿的壓板與水平調節(jié)塊固定，調節(jié)螺桿與拉板間螺紋連接并構成橫向調節(jié)的螺旋傳動 副，橫向刻度盤與橫向擺動板固定，與橫向刻度盤相對的橫向刻度指示盤與縱向擺動板固 定。 本實用新型所說螺旋傳動升降調節(jié)機構中的連接柱上端與縱向擺動板的中底部 鉸接是連接柱上端與一壓蓋間設鉸軸鉸接，壓蓋與縱向擺動板固定。 本實用新型所說橫向調整系統中的拉板設有鎖緊頂絲，鎖緊頂絲的外端與一鎖緊 手把固定連接。 本實用新型的有益效果 本實用新型是一種結構簡單實用、操作方便和安全可靠的晶蕭向調整裝置。由于 采用了多個鉸接機構，實現了結構簡單緊湊，體積小，同時由于縱向調整系統和橫向調整系 統中分別采用了螺桿鎖緊機構和頂絲鎖緊機構，提高了整個裝置的可靠性和安全性，且成 本較低，降低了設備制造和用戶的使用成本。本實用新型是一種理想的用于對晶片進行加 工的半導體專用設備的晶向調整裝置。

附圖1為本實用新型一種實施例的軸測結構示意3[0011] 附圖2是圖1所示實施例的內部結構剖視示意圖。 在附圖中1底座、2鉸軸、3橫向刻度指示盤、4橫向刻度盤、5鉸軸、6橫向擺動板、 7水平調節(jié)塊、8鉸軸、9拉板、10鎖緊手把、11壓板、12鉸軸、13調節(jié)螺桿、14水平刻度盤、 15水平刻度指示盤、16縱向擺動板、17鉸軸、18連接柱、19壓蓋、20連接板、21支架板、22 鉸軸、23鎖板、24調節(jié)旋鈕、25調節(jié)螺桿、26壓板。
具體實施方式參見附圖1、2，本實用新型的構成中包括縱向調整系統、橫向調整系統和底座，所 說縱向調整系統的縱向擺動板16后端設鉸軸2與底座1鉸接，其螺旋傳動升降調節(jié)機構中 的連接柱18上端與縱向擺動板16的中底部鉸接，調節(jié)旋鈕24和調節(jié)螺桿25分別與連接柱 18的中下部螺紋連接，與鎖板23 —起夾持調節(jié)旋鈕24的壓板26與鎖板23固定，鎖板23 與支架板21間設鉸軸22鉸接，支架板21與連接板20固定，連接板20與底座1固定，水平 刻度盤14與縱向擺動板16固定，與水平刻度盤14相對的水平刻度指示盤15與底座1固 定；橫向調整系統的橫向擺動板6后端設鉸軸5與縱向擺動板16鉸接，橫向調節(jié)機構中的 拉板9設鉸軸8與橫向擺動板6前端鉸接，水平調節(jié)塊7設鉸軸12與縱向調節(jié)板16鉸接， 與水平調節(jié)塊7 —起夾持調節(jié)螺桿13的壓板1與水平調節(jié)塊7固定，調節(jié)螺桿13與拉板 9間螺紋連接并構成橫向調節(jié)的螺旋傳動副，橫向刻度盤4與橫向擺動板6固定，與橫向刻 度盤4相對的橫向刻度指示盤3與縱向擺動板16固定。 所說螺旋傳動升降調節(jié)機構中的連接柱18上端與縱向擺動板16的中底部鉸接是
連接柱18上端與一壓蓋19間設鉸軸17鉸接，壓蓋19與縱向擺動板16固定。 所說橫向調整系統中的拉板9設有鎖緊頂絲，鎖緊頂絲的外端與一鎖緊手把10固
定連接。 在縱向調整系統的調整過程中，順時針旋轉調節(jié)旋鈕24，通過連接柱18的螺紋連 接，可以實現連接柱18向下運動，由于連接柱18與壓蓋19通過鉸軸17轉動連接，壓蓋19 固定在縱向擺動板16上，可以實現縱向擺動板16繞鉸軸2轉動，通過縱向刻度盤4和縱向 刻度指示盤3可以達到所需要的角度，然后旋轉供鎖定的調節(jié)螺桿25，并鎖緊。同樣可以逆 時針旋轉調節(jié)旋鈕，達到所需要的角度。由于調節(jié)旋鈕24被鎖板23和壓板26夾持，故其 只能轉動而不能上下竄動。 在橫向調整系統的調節(jié)過程中，順時針旋轉調節(jié)螺桿13，通過與拉板9的螺紋連 接，可以實現拉板9向外運動，由于拉板9與橫向擺動板6通過鉸軸8鉸接，可以實現橫向 擺動板6繞鉸軸5轉動，通過橫向刻度盤4和橫向刻度指示盤3可以達到所需要的角度，然 后旋轉鎖緊手把10，并靠頂絲鎖緊拉板9。同樣可以逆時針旋轉調節(jié)螺桿13，達到所需的角度。 在壓板11和水平調節(jié)塊7的夾持下，螺桿13只能作旋轉運動而不能產生軸向竄 動。
權利要求一種半導體專用設備用晶向調整裝置，其特征是它包括縱向調整系統、橫向調整系統和底座，其中，縱向調整系統的縱向擺動板(16)后端設鉸軸(2)與底座(1)鉸接，其螺旋傳動升降調節(jié)機構中的連接柱(18)上端與縱向擺動板(16)的中底部鉸接，調節(jié)旋鈕(24)和調節(jié)螺桿(25)分別與連接柱(18)的中下部螺紋連接，與鎖板(23)一起夾持調節(jié)旋鈕(24)的壓板(26)與鎖板(23)固定，鎖板(23)與支架板(21)間設鉸軸(22)鉸接，支架板(21)與連接板(20)固定，連接板(20)與底座(1)固定，水平刻度盤(14)與縱向擺動板(16)固定，與水平刻度盤(14)相對的水平刻度指示盤(15)與底座(1)固定；橫向調整系統的橫向擺動板(6)后端設鉸軸(5)與縱向擺動板(16)鉸接，橫向調節(jié)機構中的拉板(9)設鉸軸(8)與橫向擺動板(6)前端鉸接，水平調節(jié)塊(7)設鉸軸(12)與縱向調節(jié)板(16)鉸接，與水平調節(jié)塊(7)一起夾持調節(jié)螺桿(13)的壓板(11)與水平調節(jié)塊(7)固定，調節(jié)螺桿(13)與拉板(9)間螺紋連接并構成橫向調節(jié)的螺旋傳動副，橫向刻度盤(4)與橫向擺動板(6)固定，與橫向刻度盤(4)相對的橫向刻度指示盤(3)與縱向擺動板(16)固定。
2. 根據權利要求1所述的半導體專用設備用晶向調整裝置，其特征是所說螺旋傳動升降調節(jié)機構中的連接柱(18)上端與縱向擺動板(16)的中底部鉸接是連接柱(18)上端與一壓蓋(19)間設鉸軸(17)鉸接，壓蓋(19)與縱向擺動板(16)固定。
3. 根據權利要求1所述的半導體專用設備用晶向調整裝置，其特征是所說橫向調整系統中的拉板(9)設有鎖緊頂絲，鎖緊頂絲的外端與一鎖緊手把(10)固定連接。
專利摘要本實用新型涉及一種半導體專用設備用晶向調整裝置，它包括縱向調整系統、橫向調整系統和底座，由于采用了多個鉸接機構，實現了結構簡單緊湊，體積小，同時由于縱向調整系統和橫向調整系統中分別采用了螺桿鎖緊機構和頂絲鎖緊機構，提高了整個裝置的可靠性和安全性，且成本較低，降低了設備制造和用戶的使用成本。本實用新型是一種理想的用于對晶片進行加工的半導體專用設備的晶向調整裝置。本實用新型是一種結構簡單實用、操作方便和安靠的晶向調整裝置。
文檔編號H01L21/68GK201490171SQ20092010463
公開日2010年5月26日 申請日期2009年9月11日 優(yōu)先權日2009年9月11日
發(fā)明者王仲康, 衣忠波 申請人:中國電子科技集團公司第四十五研究所