專利名稱：一種改進型工作臺傾角調整結構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體晶片加工設備技術領域，具體為一種改進型工作臺傾角調
整結構。
(二)
背景技術：
現(xiàn)有的工作臺傾角調整結構采用三點式，即分別調整三點高度后定工作臺與水平 面的夾角，調節(jié)時由于要分別調整三點的高度，調整比較復雜，且由于現(xiàn)有調整通過手動調 整，其調整的分辨率低，又由于該調整結構一般位于機床內部，手動調整不方便。

發(fā)明內容針對上述問題，本實用新型提供了一種改進型工作臺傾角調整結構，其調整簡單、 方便，且調整的分辨率高。 其技術方案是這樣的其包括工作臺、吸盤、床身、三個支腳，所述吸盤緊固于所述 工作臺上端面，所述工作臺通過均布于其工作臺法蘭圓周的所述三個支腳連接所述床身， 其特征在于所述三個支腳中其中一個為可調支腳、其余兩個為固定支腳，所述可調支腳的 螺母座下部螺紋連接有傳動螺桿，所述傳動螺桿連接有外部驅動裝置。 其進一步特征在于所述固定支腳包括固定柱、螺套、軸套，所述工作臺法蘭、床 身上均開有支腳的安裝孔，所述固定柱壓裝于所述工作臺法蘭下端面、所述床身上端面間， 所述軸套塞裝于所述工作臺法蘭的安裝孔內，所述軸套下端與所述固定柱的上端面嵌套連 接，裝于所述工作臺法蘭安裝孔內的螺釘緊固連接所述軸套、所述固定柱，所述螺套安裝于 所述床身的安裝孔內，所述螺套的上端面與所述固定柱的下端面嵌套連接，裝于所述床身 安裝孔內的螺釘緊固連接所述螺套、所述固定柱，螺釘緊固連接所述固定柱的下部和所述 床身； 所述可調支腳包括傳動螺桿、螺母座、外部驅動裝置，所述工作臺法蘭、床身上均 開有可調支腳的安裝孔，所述螺母座上部裝于所述工作臺法蘭的安裝孔內，其外露于所述 工作臺法蘭部分通過雙螺母與所述工作臺法蘭并緊，所述螺母座下部外露于所述工作臺法 蘭部分的上端面與所述工作臺法蘭的下端面平面連接，所述傳動螺桿的上端外螺紋與螺母 座下端內螺紋螺紋連接，所述傳動螺桿的下端連接所述外部驅動裝置，所述傳動螺桿的貫 穿所述床身的安裝孔； 所述外部驅動裝置具體為減速機、微型驅動電機，所述傳動螺桿的下端通過聯(lián)軸 器連接所述減速機的輸出端，所述微型驅動電機的輸出端連接所述減速機的輸入端，所述 微型驅動電機連接控制系統(tǒng)； 所述傳動螺桿的中部貫穿軸座，所述軸座安裝于所述床身的安裝孔，螺釘緊固連 接所述軸座、所述床身，所述軸座下部外露于所述床身下端面，支座緊固連接于所述軸座下 部，所述傳動螺桿的下端位于所述支座內部，所述傳動螺桿與所述支座內壁所形成的間隙 內安裝有碟形彈簧，所述碟形彈簧支承于雙螺母，所述雙螺母于所述傳動螺桿螺紋連接，所
3述聯(lián)軸器位于所述支座內部，所述減速機通過螺釘緊固連接于所述支座底部； 螺釘裝于所述螺母座頂部孔槽內，其與所述螺母座內壁所形成的間隙內安裝有蝶
形彈簧。 采用本實用新型的上述結構后，通過外部驅動裝置驅動所述傳動螺桿，所述傳動 螺桿帶動所述螺母座上下調整，進而所述螺母座帶動所述工作臺上下調整，達到調整工作 臺傾角的目的，由于實際調整量一般為0 500iim，調整量非常小，所述兩個固定支腳處的 彈性變形量足以使所述工作臺平面和水平面產(chǎn)生一定的傾角。綜上所述，由于本實用新型 的結構只需調整一個可調支腳，且采用外部驅動裝置進行驅動調整，其調整簡單、方便，且 調整的分辨率高。

圖1是本實用新型的結構主視圖旋轉剖示意圖； 圖2是本實用新型的立體圖示意圖。
具體實施方式見圖1、圖2，本實用新型包括工作臺1、吸盤2、床身25、三個支腳，吸盤2緊固于工 作臺1上端面，工作臺1通過均布于其工作臺法蘭26圓周的三個支腳連接床身，三個支腳 中其中一個為可調支腳4、其余兩個為固定支腳3，可調支腳4的螺母座8下部螺紋連接有 傳動螺桿9，傳動螺桿9連接有外部驅動裝置。固定支腳3包括固定柱21、軸套20、螺套23， 工作臺法蘭26、床身25上均開有支腳的安裝孔，固定柱21壓裝于工作臺法蘭26下端面和 床身25上端面間，軸套20塞裝于工作臺法蘭26的安裝孔內，軸套20下端與固定柱21的 上端面嵌套連接，裝于工作臺法蘭26安裝孔內的螺釘19緊固連接軸套20、固定柱21，螺套 23安裝于床身25的安裝孔內，螺套23的上端面與固定柱21的下端面嵌套連接，裝于床身 25安裝孔內的螺釘24緊固連接螺套23、固定柱24，螺釘22緊固連接固定柱21的下部和床 身25 ;可調支腳4包括傳動螺桿9、螺母座8、外部驅動裝置，工作臺法蘭26、床身25上均開 有可調支腳的安裝孔，螺母座8上部裝于工作臺法蘭26的安裝孔內，其外露于工作臺法蘭 26部分通過雙螺母7與工作臺法蘭26并緊，螺母座8下部外露于工作臺法蘭26部分的上 端面與工作臺法蘭26的下端面平面連接，傳動螺桿9的上端外螺紋與螺母座8下端內螺紋 螺紋連接，連接處的螺距為lmm，傳動螺桿9的下端連接外部驅動裝置，傳動螺桿8貫穿床身 25的安裝孔；外部驅動裝置具體為減速機17、微型驅動電機18，其中減速機17的減速比取 1 : IOO，傳動螺桿9的下端通過聯(lián)軸器16連接減速機17的輸出端，微型驅動電機18的輸 出端連接減速機17的輸入端，微型驅動電機18連接控制系統(tǒng)；傳動螺桿9的中部貫穿軸座 10，軸座10安裝于床身25的安裝孔，螺釘14緊固連接軸座10、床身25，軸座10下部外露 于床身25下端面，支座15緊固連接于軸座10下部，傳動螺桿9的下端位于支座15內部， 傳動螺桿9與支座15內壁所形成的間隙內安裝有碟形彈簧ll，碟形彈簧11支承于雙螺母 12，雙螺母12與傳動螺桿9螺紋連接，聯(lián)軸器16位于支座15內部，減速機17通過螺釘13 緊固連接于支座15底部；螺釘5裝于螺母座8頂部孔槽內，其與螺母座8內壁所形成的間 隙內安裝有蝶形彈簧6。 其工作原理如下微型驅動電機18旋轉帶動減速機17的輸入軸轉動，經(jīng)減速機17減速后從輸出軸輸出，進而帶動傳動螺桿9旋轉，傳動螺桿9通過螺紋連接帶動螺母座8 上升或下降，帶動工作臺1上身或下降，即傳動螺桿9旋轉一周，螺母座8上升或下降一個 螺距，進而完成調整工作臺1的傾角。舉其中一個應用案例為例說明調整的調整量若微型 驅動電機18旋轉36。，減速機17的減速比取1 : 100，則減速機17輸出角度為0.36° ，即 傳動螺桿9旋轉了 0. 001周。傳動螺桿9的上端外螺紋與螺母座8下端內螺紋螺紋連接處 的螺距為lmm，螺母座8上升或下降0. OOl個螺距，即為lym，則輕易實現(xiàn)了微米級的角度 調整。
權利要求一種改進型工作臺傾角調整結構，其包括工作臺、吸盤、床身、三個支腳，所述吸盤緊固于所述工作臺上端面，所述工作臺通過均布于其工作臺法蘭圓周的所述三個支腳連接所述床身，其特征在于所述三個支腳中其中一個為可調支腳、其余兩個為固定支腳，所述可調支腳的螺母座下部螺紋連接有傳動螺桿，所述傳動螺桿連接有外部驅動裝置。
2. 根據(jù)權利要求1所述一種改進型工作臺傾角調整結構，其特征在于所述固定支腳 包括固定柱、螺套、軸套，所述工作臺法蘭、床身上均開有支腳的安裝孔，所述固定柱壓裝于 所述工作臺法蘭下端面、所述床身上端面間，所述軸套塞裝于所述工作臺法蘭的安裝孔內， 所述軸套下端與所述固定柱的上端面嵌套連接，裝于所述工作臺法蘭安裝孔內的螺釘緊固 連接所述軸套、所述固定柱，所述螺套安裝于所述床身的安裝孔內，所述螺套的上端面與所 述固定柱的下端面嵌套連接，裝于所述床身安裝孔內的螺釘緊固連接所述螺套、所述固定 柱，螺釘緊固連接所述固定柱的下部和所述床身。
3. 根據(jù)權利要求2所述一種改進型工作臺傾角調整結構，其特征在于所述可調支腳 包括傳動螺桿、螺母座、外部驅動裝置，所述工作臺法蘭、床身上均開有可調支腳的安裝孔， 所述螺母座上部裝于所述工作臺法蘭的安裝孔內，其外露于所述工作臺法蘭部分通過雙螺 母與所述工作臺法蘭并緊，所述螺母座下部外露于所述工作臺法蘭部分的上端面與所述工 作臺法蘭的下端面平面連接，所述傳動螺桿的上端外螺紋與螺母座下端內螺紋螺紋連接， 所述傳動螺桿的下端連接所述外部驅動裝置，所述傳動螺桿的貫穿所述床身的安裝孔。
4. 根據(jù)權利要求3所述一種改進型工作臺傾角調整結構，其特征在于所述外部驅動 裝置具體為減速機、微型驅動電機，所述傳動螺桿的下端通過聯(lián)軸器連接所述減速機的輸 出端，所述微型驅動電機的輸出端連接所述減速機的輸入端，所述微型驅動電機連接控制 系統(tǒng)。
5. 根據(jù)權利要求4所述一種改進型工作臺傾角調整結構，其特征在于所述傳動螺桿 的中部貫穿軸座，所述軸座安裝于所述床身的安裝孔，螺釘緊固連接所述軸座、所述床身， 所述軸座下部外露于所述床身下端面，支座緊固連接于所述軸座下部，所述傳動螺桿的下 端位于所述支座內部，所述傳動螺桿與所述支座內壁所形成的間隙內安裝有碟形彈簧，所 述碟形彈簧支承于雙螺母，所述雙螺母于所述傳動螺桿螺紋連接，所述聯(lián)軸器位于所述支 座內部，所述減速機通過螺釘緊固連接于所述支座底部。
6. 根據(jù)權利要求5所述一種改進型工作臺傾角調整結構，其特征在于螺釘裝于所述 螺母座頂部孔槽內，其與所述螺母座內壁所形成的間隙內安裝有蝶形彈簧。
專利摘要本實用新型為一種改進型工作臺傾角調整結構。其調整簡單、方便，且調整的分辨率高。其包括工作臺、吸盤、床身、三個支腳，所述吸盤緊固于所述工作臺上端面，所述工作臺通過均布于其工作臺法蘭圓周的所述三個支腳連接所述床身，其特征在于所述三個支腳中其中一個為可調支腳、其余兩個為固定支腳，所述可調支腳的螺母座下部螺紋連接有傳動螺桿，所述傳動螺桿連接有外部驅動裝置。
文檔編號H01L21/683GK201523003SQ20092017876
公開日2010年7月7日 申請日期2009年10月18日 優(yōu)先權日2009年10月18日
發(fā)明者康仁科, 朱祥龍, 蔡英, 郭東明, 顧榮軍 申請人:無錫機床股份有限公司