專利名稱：一種晶圓移動裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體集成電路制造領(lǐng)域，特別涉及一種晶圓移動裝置。
背景技術(shù)：
進行晶圓切割時，同一切割機通常能夠滿足對多種不同尺寸晶圓的切割，如對8 寸和12寸的晶圓切割。當需要從對8寸晶圓的切割切換到對12寸晶圓的切割時，需要更 換和調(diào)整切割機中的一些相關(guān)部件，如晶圓切割吸盤、晶圓清洗吸盤和晶圓移動裝置等。 晶圓移動裝置用于固定吸附晶圓，將晶圓運輸至切割機內(nèi)的不同部件處，實施對 晶圓的不同處理。請參閱圖l，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的晶圓移動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖l所 示，現(xiàn)有技術(shù)的晶圓移動裝置是活動式的，包括兩個晶圓吸盤架1和連桿2，連桿2穿過晶 圓吸盤架1中間的通孔，使兩個晶圓吸附架1對稱分布于連桿2的兩端，每個晶圓吸盤架1 的兩端具有吸盤安裝孔3，用于安裝吸附晶圓的吸盤。當需要切割小尺寸晶圓如8寸晶圓 時，需手動將兩個晶圓吸盤架1調(diào)整到8寸框架位置；而當需要切割大尺寸晶圓如12寸晶 圓時，則需手動將晶圓吸盤架1調(diào)整到12寸框架位置。在調(diào)整晶圓吸盤架1時，需先將晶 圓吸盤架下方的固定螺絲擰松，然后用手將晶圓吸盤架1移至相應(yīng)尺寸的框架位置，然后 再將晶圓吸盤架1的固定螺絲擰緊，固定晶圓吸盤架1。由于切割機內(nèi)的可操作空間狹小， 手動調(diào)整晶圓吸盤架的位置極為不便，且調(diào)整的距離精度很難掌握。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種晶圓移動裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)的晶圓 移動裝置手動調(diào)整晶圓吸盤架位置時極為不便，且調(diào)整的距離精度很難掌握的問題。 為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種晶圓移動裝置，包括晶圓吸盤架和連 桿，所述晶圓吸盤架為兩個，所述晶圓吸盤架對稱固定于所述連桿的兩端，所述晶圓吸盤架 包括固定架、兩個吸盤臂和限位桿；所述吸盤臂的一端具有限位孔，另一端具有吸盤安裝 孔，所述兩個吸盤臂具有限位孔的一端分別固定于所述固定架的兩端，且所述吸盤臂在所 述固定架上可以以其限位孔為支點進行旋轉(zhuǎn)；所述限位桿的兩端分別固定于所述兩個吸盤 臂上。 可選的，所述吸盤臂通過在其限位孔內(nèi)安裝的螺絲固定于所述固定架上。 可選的，所述限位桿的兩端具有限位槽，每一限位槽內(nèi)安裝有限位螺絲，通過所述
限位螺絲將所述限位桿的兩端分別固定于所述兩個吸盤臂上。 可選的，所述限位桿兩端的限位槽內(nèi)安裝的限位螺絲之間通過限位彈簧連接。 本實用新型提供的晶圓移動裝置只需手動旋轉(zhuǎn)兩個晶圓吸附架即可方便快捷的 調(diào)整兩個晶圓吸盤架間的距離，使得該晶圓移動裝置適合不同尺寸的晶圓，且能夠準確的 將晶圓吸盤架調(diào)整到適合相應(yīng)晶圓尺寸的位置。
圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的晶圓移動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本實用新型的晶圓移動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3為本實用新型的晶圓吸盤架的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本 實用新型的具體實施方式
做詳細的說明。 本實用新型所述的晶圓移動裝置可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的制造領(lǐng)域，并且 可以利用多種替換方式實現(xiàn)，下面是通過較佳的實施例來加以說明，當然本實用新型并不 局限于該具體實施例，本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員所熟知的一般的替換無疑地涵蓋在本實用 新型的保護范圍內(nèi)。 其次，本實用新型利用示意圖進行了詳細描述，在詳述本實用新型實施例時，為了
便于說明，示意圖不依一般比例局部放大，不應(yīng)以此作為對本實用新型的限定。 請參閱圖2，圖2為本實用新型的晶圓移動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本實
用新型的晶圓移動裝置包括晶圓吸盤架4和連桿5，所述晶圓吸盤架4為兩個，對稱固定于
所述連桿5的兩端。 請參看圖3，圖3為本實用新型的晶圓吸盤架的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖3所示，本實用 新型的晶圓吸盤架包括固定架6、兩個吸盤臂7和限位桿8 ;所述吸盤臂7的一端具有限位 孔9，另一端具有吸盤安裝孔10，所述兩個吸盤臂7通過其限位孔9內(nèi)安裝的螺絲分別固定 于所述固定架6的兩端，且所述吸盤臂7以其限位孔9為支點可在所述固定架6上進行旋 轉(zhuǎn)；所述限位桿8的兩端具有限位槽ll，每一限位槽11內(nèi)安裝有限位螺絲12，所述限位桿 8的兩端通過所述限位螺絲12分別固定于所述兩個吸盤臂7上，所述限位桿8兩端的限位 槽11內(nèi)安裝的限位螺絲12之間通過限位彈簧13連接。 請同時參看圖2和圖3，由于晶圓吸盤架4上，所述兩個吸盤臂7以其限位孔9為 支點可在所述固定架6上進行旋轉(zhuǎn)，同時在所述限位桿8上的限位槽11和所述限位彈簧13 的共同作用下對所述兩個吸盤臂7的旋轉(zhuǎn)角度進行了限制，使所述兩個吸盤臂7向右或向 左旋轉(zhuǎn)一定角度后即得到固定。當晶圓移動裝置的兩個晶圓吸盤架4以相對的方向旋轉(zhuǎn)固 定時，則兩個晶圓吸附架4之間的距離適用于小尺寸晶圓的吸附傳送；當晶圓移動裝置的 兩個晶圓吸盤架4以相向的方向旋轉(zhuǎn)固定時，則兩個晶圓吸附架4之間的距離適用于大尺 寸晶圓的吸附傳送。因此，在對本實用新型的晶圓移動裝置進行調(diào)整以適應(yīng)不同尺寸的晶 圓時，只需手動旋轉(zhuǎn)兩個晶圓吸附架即可，且能夠準確的將晶圓吸盤架4調(diào)整到適合相應(yīng) 晶圓尺寸的位置。 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及 其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求一種晶圓移動裝置，包括晶圓吸盤架和連桿，所述晶圓吸盤架為兩個，其特征在于，所述晶圓吸盤架對稱固定于所述連桿的兩端，所述晶圓吸盤架包括固定架、兩個吸盤臂和限位桿；所述吸盤臂的一端具有限位孔，另一端具有吸盤安裝孔，所述兩個吸盤臂具有限位孔的一端分別固定于所述固定架的兩端，且所述吸盤臂在所述固定架上可以以其限位孔為支點進行旋轉(zhuǎn)；所述限位桿的兩端分別固定于所述兩個吸盤臂上。
2. 如權(quán)利要求1所述的晶圓移動裝置，其特征在于，所述吸盤臂通過在其限位孔內(nèi)安 裝的螺絲固定于所述固定架上。
3. 如權(quán)利要求1所述的晶圓移動裝置，其特征在于，所述限位桿的兩端具有限位槽，每 一限位槽內(nèi)安裝有限位螺絲，通過所述限位螺絲將所述限位桿的兩端分別固定于所述兩個 吸盤臂上。
4. 如權(quán)利要求1所述的晶圓移動裝置，其特征在于，所述限位桿兩端的限位槽內(nèi)安裝 的限位螺絲之間通過限位彈簧連接。
專利摘要本實用新型提供一種晶圓移動裝置，包括晶圓吸盤架和連桿，所述晶圓吸盤架為兩個，所述晶圓吸盤架對稱固定于所述連桿的兩端，所述晶圓吸盤架包括固定架、兩個吸盤臂和限位桿；所述吸盤臂的一端具有限位孔，另一端具有吸盤安裝孔，所述兩個吸盤臂具有限位孔的一端分別固定于所述固定架的兩端，且所述吸盤臂在所述固定架上可以以其限位孔為支點進行旋轉(zhuǎn)；所述限位桿的兩端分別固定于所述兩個吸盤臂上。該晶圓移動裝置能夠準確的將晶圓吸盤架調(diào)整到適合相應(yīng)晶圓尺寸的位置。
文檔編號H01L21/304GK201532943SQ200920212170
公開日2010年7月21日 申請日期2009年11月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月10日
發(fā)明者李剛, 鄭鵬飛 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司