專利名稱：軟著陸擴散設備的爐門控制機構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體設備，進一步是指用于半導體器件工藝中參雜設備-軟著 陸擴散設備的爐門控制機構。
背景技術：
軟著陸擴散設備是利用氮氣攜帶參雜物(如P0CL3)在高溫下、封閉潔凈的石英管 參雜硅片中的一種設備。為了工藝過程更加潔凈，采用了軟著陸閉管擴散；該工藝開始后， SIC槳(送料機構)自動退出，爐門自動關閉。爐門機構由三個氣缸控制，其中兩個氣缸用 來推進管爐門，另外一個氣缸為爐門旋轉氣缸；氣缸前端裝有換向電磁閥，當氣缸總進氣斷 氣、斷電時候，汽缸的位置是不確定的，也可能因為人為原因導致氣缸不在原來的位置 ’突 然來氣或來電時，不知道此時送料機構的位置在哪里。因此爐門機構與送料機構的邏輯關 系要控制得準，否則存在SIC槳未退出，就關爐門而砸槳等事故。已有的爐門機構一般是軟 件控制，但在硬件以及人為原因和突發(fā)事件方面未做考慮，存在安全隱患。

實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是，針對現(xiàn)有技術存在的缺陷，提出一種軟著陸擴 散設備的爐門控制機構，它可以提高爐門機構的安全性，進而提升設備的整體性能。本實用新型的技術方案是，所述軟著陸擴散設備的爐門控制機構包括總氣路管道 和至少有一組氣缸，每組氣缸有三只氣缸；總氣路管道上裝有一個壓力檢測開關，該壓力檢 測開關的檢測信號輸出端同PC機的信號輸入端連接；由所述PC機控制的通斷電磁閥的兩 端口分別同總氣路管道和中瀉式三位五通換向閥的氣源進氣端口相接；每個氣缸前裝有一 個ASP控制閥，所述中瀉式三位五通換向閥的兩出口分別分兩路，一路相互串接在ASP控制 閥的對方先導進氣口上，另一路接ASP控制閥的進氣口。以下對本實用新型做出進一步說明。圖1為用于四管擴散設備的爐門控制機構，因而有四組爐門控制機構。參見圖1，本實用新型所述軟著陸擴散設備的爐門控制機構包括總氣路管道1和 至少有一組氣缸，每組氣缸有三只氣缸7 ；總氣路管道1上裝有一個壓力檢測開關2，該壓力 檢測開關2的檢測信號輸出端同PC機的信號輸入端連接；由所述PC機控制的通斷電磁閥 5的兩端口分別同總氣路管道1和中瀉式三位五通換向閥6的氣源進氣端口相接；參見圖 2，每個氣缸7前裝有一個ASP控制閥8，所述三位五通換向閥6的兩出口分別分兩路，一路 相互串接在ASP控制閥的對方先導進氣口上，另一路接ASP控制閥8的進氣口。本實用新型中，在總氣路管道1前加一個壓力檢測開關2，用以檢測是否有氣體； 當無氣體時候，信號傳到PC機，再由PC機控制氣路每管的通斷電磁閥5關閉，待來氣后再 有信號傳到PC機，由PC機將所有氣缸信號檢測、復位后再打開通斷電磁閥5。保證了設備 的安全，斷電時候，通斷電磁閥5(常閉)自動關閉，待來電后處理方式也相同。如圖2，在氣 缸兩進氣口增加ASP回路，ASP控制閥必須由氣源驅動(先導進氣口通氣)才能打開，所以在將通入氣缸進氣口的氣體分兩路，一路進氣缸，另外一路串到氣缸出氣口一側的ASP控 制閥的先導進氣口，彼此之間相互串接；當按急停時候，氣缸前的換向電磁閥斷電，處于中 位，此時，進氣口關閉，同時出氣口也因為控制氣路斷氣而斷開，因此氣缸急停。同樣，氣缸 從另外一頭進氣，結果也一樣。松開急停開關，氣缸也不會動，對前進氣缸而言，氣缸停的很 穩(wěn)，但是對旋轉氣缸(帶負載的15KG)同樣的效果。本實用新型在實際運行時，擴散設備的爐門控制系統(tǒng)利用檢測信號(氣壓、斷電 等)，在對氣缸通氣時候，進行氣缸位置檢測并進行主動復位，從而使氣缸停在原來的位置， 不會有不可預知的破壞性運動，當有其他因素引起氣缸破壞性活動時，可采用ASP回路控 制方式對正在運動的氣缸急停，ASP回路控制原理就是在按下急停那一刻起，關掉進氣口與 出氣口，將氣體都堵在氣缸中，從而使氣缸停住，減少了設備自身的損失，提升設備的整體 性能，更好地滿足了太陽能電池工藝線上摻雜設備-擴散設備發(fā)展的需要。由以上可知，本實用新型為一種軟著陸擴散設備的爐門控制機構，它可以有效提 高爐門機構的安全性，防止爐門意外事故發(fā)生，進而提升設備的整體性能。

圖1是本實用新型有四組氣缸的實施例總體結構示意圖；圖2是圖1中ASP回路控制氣缸的原理圖。在圖中1-總氣路管道， 2-壓力檢測開關， 3-控制線路，4-減壓閥，5-通斷電磁閥，6-三位五通換向閥，7-氣缸，8-ASP控制閥。
具體實施方式
如圖1所示，對于有4管的擴散設備來說，就有4套獨立的爐門控制系統(tǒng)，在4管 總的總氣路管道1上裝有壓力檢測開關2和減壓閥4，之后設4組氣缸，每組氣缸有三只氣 缸(其中兩只氣缸用來推進管爐門，另一只氣缸為爐門旋轉氣缸)每組一個控制氣路的通 斷電磁閥5，一個三位五通換向閥(中瀉式3位5通先導換向閥)6 ；參見圖2，每個氣缸7上 都裝有一個ASP控制閥8，該ASP控制閥8的一個進氣口同所述三位五通換向閥6 —個口相 連接，ASP控制閥8的先導進氣口與三位五通換向閥6另外一個口相連，相互串接。
權利要求一種軟著陸擴散設備的爐門控制機構，包括總氣路管道(1)和至少有一組氣缸，每組氣缸有三只氣缸(7)；其特征是，總氣路管道(1)上裝有一個壓力檢測開關(2)，該壓力檢測開關(2)的檢測信號輸出端同PC機的信號輸入端連接；由所述PC機控制的通斷電磁閥(5)的兩端口分別同總氣路管道(1)和中瀉式三位五通換向閥(6)的氣源進氣端口相接；每個氣缸(7)前裝有一個ASP控制閥(8)，所述三位五通換向閥(6)的兩出口分別分兩路，一路相互串接在ASP控制閥的對方先導進氣口上，另一路接ASP控制閥(8)的進氣口。
專利摘要一種軟著陸擴散設備的爐門控制機構，包括總氣路管道(1)和至少有一組氣缸，每組氣缸有三只氣缸(7)；總氣路管道(1)上裝有一個壓力檢測開關(2)，該壓力檢測開關(2)的檢測信號輸出端同PC機的信號輸入端連接；由所述PC機控制的通斷電磁閥(5)的兩端口分別同總氣路管道(1)和中瀉式三位五通換向閥(6)的氣源進氣端口相接；每個氣缸(7)前裝有一個ASP控制閥(8)，所述三位五通換向閥(6)的兩出口分別分兩路，一路相互串接在ASP控制閥的對方先導進氣口上，另一路接ASP控制閥(8)的進氣口。它可有效防止意外事件的發(fā)生，提升設備的整體性能。
文檔編號H01L31/18GK201605353SQ20092025965
公開日2010年10月13日 申請日期2009年12月14日 優(yōu)先權日2009年12月14日
發(fā)明者李克 申請人:中國電子科技集團公司第四十八研究所