專(zhuān)利名稱(chēng)：集成電路dc矯正器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型集成電路DC矯正器屬于集成電路制造領(lǐng)域。 技術(shù)背景目前集成電路制造中使用的DC矯正器，效率及精度低，在生產(chǎn)過(guò)程中更換產(chǎn)品需 要下線來(lái)進(jìn)行操作，更換零部件也需要下線進(jìn)行，影響生產(chǎn)線的工作，其主要有兩種1、機(jī)械 變形類(lèi)是采用反機(jī)械力，來(lái)達(dá)到矯正料帶效果。但在更換品種拆裝復(fù)雜、耗時(shí)。2、釋放應(yīng) 力類(lèi)是采用多點(diǎn)折彎使料帶達(dá)到臨屈服狀態(tài)，來(lái)達(dá)到矯正料帶效果。但在調(diào)節(jié)上較為復(fù) 雜，不同品種差異較大。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于避免現(xiàn)有技術(shù)的不足之處而提供一種操作簡(jiǎn)單，效率高的 DC矯正器。本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下措施來(lái)達(dá)到的，集成電路DC矯正器是由懸臂鎖緊 土夬，鎖緊座，上限位鎖緊塊，調(diào)節(jié)支架，固定塊，下限位鎖緊塊，調(diào)節(jié)螺栓，固定把手，導(dǎo)向軸， 彈簧，導(dǎo)向柱，固定夾塊，頂座，滑塊，上限位，下限位，上支架，下支架，底座，滾珠軸承組成， 底座是下模座，頂座是上模座，懸臂鎖緊塊安裝在頂座上，鎖緊座安裝在底座上，上限位鎖 緊塊安裝在導(dǎo)向軸上，調(diào)節(jié)支架安裝在上限位上，固定塊安裝在頂座上，下限位鎖緊塊安裝 在底座上，調(diào)節(jié)螺拴安裝在固定塊上，調(diào)節(jié)螺拴與調(diào)節(jié)支架和下限位鎖緊塊裝配，固定把手 安裝在固定夾塊上，固定夾塊安裝在頂座上，導(dǎo)向軸安裝在懸臂鎖緊塊上，彈簧與上支架連 接裝配，導(dǎo)向柱安裝在底座上，固定夾塊安裝在頂座上，滑塊與上支架連接，上限位安裝在 導(dǎo)向軸上，下限位安裝在導(dǎo)向軸上，上支架安裝在滑塊上，上支架和導(dǎo)向軸裝配，下支架安 裝在底座上，下支架和導(dǎo)向軸裝配，懸臂鎖緊塊與導(dǎo)向軸連接，懸臂鎖緊塊和上限位裝配， 鎖緊座與導(dǎo)向軸連接，鎖緊座和下限位裝配，調(diào)節(jié)支架與調(diào)節(jié)螺拴連接裝配，固定塊和調(diào)節(jié) 支架裝配，固定塊與調(diào)節(jié)螺拴連接裝配，下限位鎖緊塊與下限位裝配，固定夾塊通過(guò)調(diào)節(jié)螺 拴裝配，彈簧安裝在導(dǎo)向柱上，導(dǎo)向柱與上支架連接裝配，固定夾塊與調(diào)節(jié)螺拴連接裝配， 滑塊和導(dǎo)向軸裝配，上限位與軸承連接裝配，下限位與軸承連接裝配。工作原理和連接關(guān)系將料帶從上下小徑滾珠軸承中間穿過(guò)，根據(jù)料帶卷彎情況， 通過(guò)調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)螺絲調(diào)整上面小徑滾珠軸承高度，使上下小徑滾珠軸承對(duì)料帶產(chǎn)生一定的調(diào)整 力度，料帶在送料馬達(dá)的牽引下，料帶從上下小徑滾珠軸承中間通過(guò)，料帶因受到滾珠軸承調(diào) 整作用，使料帶即受反向機(jī)械力而且內(nèi)應(yīng)力也得于釋放，從而達(dá)到矯正料帶效果。(最好能表 達(dá)集成電路DC矯正器組成部分的工作關(guān)系，這里表達(dá)的沒(méi)有體現(xiàn)，各個(gè)不見(jiàn)的工作關(guān)系，)本實(shí)用新型機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)單，容易維護(hù)。

附圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
3[0008]附圖2是附圖1的側(cè)視圖。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。圖中懸臂鎖緊塊1，鎖緊座2，上限位鎖緊塊3，調(diào)節(jié)支架4，固定塊5，下限位鎖緊 塊6，調(diào)節(jié)螺拴7，固定把手8，懸臂鎖緊塊9，導(dǎo)向軸10，彈簧11，導(dǎo)向柱12，鎖緊座13，固定 夾塊14，頂座15，滑塊16，上限位17，下限位18，上支架19，下支架20，底座21，如附圖1、附圖2所示，本實(shí)用新型由懸臂鎖緊塊1，鎖緊座2，上限位鎖緊塊3，調(diào) 節(jié)支架4，固定塊5，下限位鎖緊塊6，調(diào)節(jié)螺拴7，固定把手8，懸臂鎖緊塊9，導(dǎo)向軸10，彈簧 11，導(dǎo)向柱12，鎖緊座13，固定夾塊14，頂座15，滑塊16，上限位17，下限位18，上支架19， 下支架20，底座21組成，頂座15是上模座，底座21是下模座，鎖緊座1安裝在底座與導(dǎo)向 軸連接和下限位裝配，懸臂鎖緊塊2安裝在頂座與導(dǎo)向軸連接和上限位裝配，上限位鎖緊 塊3安裝在導(dǎo)向軸連接和軸承裝配，調(diào)節(jié)支架4安裝在上限位與調(diào)節(jié)螺拴連接和軸承裝配， 固定塊5安裝在頂座與調(diào)節(jié)螺拴連接和調(diào)節(jié)支架裝配，下限位鎖緊塊6安裝在底座與調(diào)節(jié) 螺拴連接和下限位裝配，調(diào)節(jié)螺拴7安裝在固定塊與調(diào)節(jié)支架和調(diào)節(jié)鎖緊塊裝配，固定把 手8安裝在固定夾塊與頂座連接和連接調(diào)節(jié)螺拴裝配，懸臂鎖緊塊9安裝在安裝在頂座與 導(dǎo)向軸連接和上限位裝配，導(dǎo)向軸10安裝在鎖緊與限位連接和軸承裝配，彈簧11安裝在導(dǎo) 向柱與上支架連接裝配，導(dǎo)向柱12安裝底座與上支架連接裝配，鎖緊座13安裝在底座與導(dǎo) 向軸連接和下限位裝配，固定夾塊14安裝在頂座與調(diào)節(jié)螺拴連接裝配，滑塊16安裝在調(diào)節(jié) 螺拴與上支架連接和導(dǎo)向軸裝配，上限位17安裝在導(dǎo)向軸與軸承連接裝配，下限位18安裝 在導(dǎo)向軸與軸承連接裝配，上支架19安裝在滑塊與軸承連接和導(dǎo)向軸裝配，下支架20安裝 在底座與軸承連接和導(dǎo)向軸裝配，懸臂鎖緊塊1安裝在頂座15上，鎖緊座2安裝在底座21 上，上限位鎖緊塊3安裝在導(dǎo)向軸上，調(diào)節(jié)支架4安裝在上限位上，固定塊5安裝在頂座15 上，下限位鎖緊塊6安裝在底座21上，調(diào)節(jié)螺拴7安裝在固定塊上，調(diào)節(jié)螺拴7與調(diào)節(jié)支架 和下限位鎖緊塊裝配，固定把手安裝在固定夾塊上，固定夾塊安裝在頂座上，懸臂鎖緊塊9 安裝在頂座上，懸臂鎖緊塊1與導(dǎo)向軸10連接，懸臂鎖緊塊1和上限位17裝配，鎖緊座13 安裝在底座21鎖緊座與導(dǎo)向軸連接，鎖緊座和下限位裝配，導(dǎo)向軸10安裝在懸臂鎖緊塊9 上，彈簧11與上支架連接裝配，導(dǎo)向柱12安裝在底座上，固定夾塊14安裝在頂座上，滑塊 16與上支架連接，上限位17安裝在導(dǎo)向軸上，下限位18安裝在導(dǎo)向軸上，上支架19安裝在 滑塊上，上支架和導(dǎo)向軸裝配，下支架20安裝在底座上，下支架和導(dǎo)向軸裝配，懸臂鎖緊塊 1與導(dǎo)向軸10連接，懸臂鎖緊塊1和上限位17裝配，鎖緊座2與導(dǎo)向軸連接，鎖緊座2和 下限位18裝配，調(diào)節(jié)支架4與調(diào)節(jié)螺拴連接裝配，固定塊5和調(diào)節(jié)支架裝配，固定塊5與調(diào) 節(jié)螺拴連接裝配，下限位鎖緊塊6與下限位裝配，固定夾塊通過(guò)調(diào)節(jié)螺拴裝配。與導(dǎo)向軸上 限位連接，通過(guò)軸承裝配，彈簧11安裝在導(dǎo)向柱上，導(dǎo)向柱12與上支架連接裝配，固定夾塊 14與調(diào)節(jié)螺拴連接裝配，滑塊16和導(dǎo)向軸裝配，上限位17與軸承連接裝配，下限位與軸承 連接裝配。
權(quán)利要求一種集成電路DC矯正器，由懸臂鎖緊塊，鎖緊座，上限位鎖緊塊，調(diào)節(jié)支架，固定塊，下限位鎖緊塊，調(diào)節(jié)螺拴，固定把手，導(dǎo)向軸，彈簧，導(dǎo)向柱，固定夾塊，頂座，滑塊，上限位，下限位，上支架，下支架，底座組成，底座是下模座，頂座是上模座，其特征是懸臂鎖緊塊安裝在頂座上，鎖緊座安裝在底座上，上限位鎖緊塊安裝在導(dǎo)向軸上，調(diào)節(jié)支架安裝在上限位上，固定塊安裝在頂座上，下限位鎖緊塊安裝在底座上，調(diào)節(jié)螺拴安裝在固定塊上，固定把手安裝在固定夾塊上，固定夾塊安裝在頂座上，導(dǎo)向軸安裝在懸臂鎖緊塊上，彈簧與上支架連接裝配，導(dǎo)向柱安裝在底座上，固定夾塊安裝在頂座上，滑塊與上支架連接，上限位安裝在導(dǎo)向軸上，下限位安裝在導(dǎo)向軸上，上支架安裝在滑塊上，上支架和導(dǎo)向軸裝配，下支架安裝在底座上，下支架和導(dǎo)向軸裝配。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路DC矯正器，其特征是懸臂鎖緊塊與導(dǎo)向軸連接，懸 臂鎖緊塊和上限位裝配，鎖緊座與導(dǎo)向軸連接，鎖緊座和下限位裝配，調(diào)節(jié)支架與調(diào)節(jié)螺拴 連接裝配，調(diào)節(jié)螺拴與調(diào)節(jié)支架和下限位鎖緊塊裝配，固定塊和調(diào)節(jié)支架裝配，固定塊與調(diào) 節(jié)螺拴連接裝配，下限位鎖緊塊與下限位裝配，固定夾塊通過(guò)調(diào)節(jié)螺拴裝配，彈簧安裝在導(dǎo) 向柱上，導(dǎo)向柱與上支架連接裝配，固定夾塊與調(diào)節(jié)螺拴連接裝配，滑塊和導(dǎo)向軸裝配，上 限位與軸承連接裝配，下限位與軸承連接裝配。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型集成電路DC矯正器屬于集成電路制造領(lǐng)域，DC矯正器是由懸臂鎖緊塊，鎖緊座，上限位鎖緊塊，調(diào)節(jié)支架，固定塊，下限位鎖緊塊，調(diào)節(jié)螺拴，固定把手，導(dǎo)向軸，彈簧，導(dǎo)向柱，固定夾塊，頂座，滑塊，上限位，下限位，上支架，下支架，底座組成，懸臂鎖緊塊安裝在頂座上，鎖緊座安裝在底座上，上限位鎖緊塊安裝在導(dǎo)向軸上，調(diào)節(jié)支架安裝在上限位上，固定塊安裝在頂座上，下限位鎖緊塊安裝在底座上，固定夾塊安裝在頂座上，導(dǎo)向軸安裝在懸臂鎖緊塊上，彈簧與上支架連接裝配，導(dǎo)向柱安裝在底座上，滑塊與上支架連接，上支架安裝在滑塊上，上支架和導(dǎo)向軸裝配，下支架安裝在底座上，本實(shí)用新型機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)單，容易維護(hù)。
文檔編號(hào)H01L21/00GK201608163SQ20092026524
公開(kāi)日2010年10月13日 申請(qǐng)日期2009年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月11日
發(fā)明者朱偉勇 申請(qǐng)人:廣州豐江微電子有限公司