專利名稱：同步傳輸裝置及具有該裝置的直線傳輸系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種直線型生產(chǎn)設備的同步傳輸裝置，更具體地涉及一種應用于 直線型有機發(fā)光顯示設備和直線型薄膜太陽能生產(chǎn)設備的同步傳輸裝置及具有該裝置的 直線傳輸系統(tǒng)。
背景技術：
在半導體加工行業(yè)，集成電路等小尺寸的半導體器件的制造通常采用集群型 (cluster) 生產(chǎn)系統(tǒng)，如附圖一所示，利用多個具有周向伸縮機械手的輸送室502呈多邊形 形狀，并在輸送室502的周圍設有多個處理室，其成膜工序單元具有向各處理室輸送基板 的輸送室504 ；將基板送入輸送室的基板送入口 ；清洗基板的清洗室505 ；在基板上成膜的 多個成膜室503以及后期的封裝室506、干燥室507、成品輸送室508等，這些處理室通過多 個閘門閥配置在輸送室的周圍等結構。由于這種設備腔體結構不宜過大、各腔室間抽放真空時間久、頻繁開啟腔體使膜 材逸出，導致其具有不適應大面積基板成膜、鍍膜材料利用率低、生產(chǎn)周期長等問題，因此 直線型(inline)半導體制造設備就被提出了。直線型的半導體生產(chǎn)設備，將多個具有可 獨立控制真空度的成膜室呈直線地設置在同一真空容器內，且不需要這些成膜室間的閘門 閥，在各處理室，在不同的條件下，可執(zhí)行達到各自目的的規(guī)定的處理。成膜時，基板通過連 續(xù)輸送基板的輸送裝置在多個成膜室的上方連續(xù)輸送同時形成膜，以此來縮短基板輸送和 調整真空度的時間，進而縮短生產(chǎn)時間。一般采用的直線傳輸裝置為采用多個沿基片縱向平行布置的帶有多個滾輪的傳 動軸，利用所述傳動軸上的滾輪與基片的摩擦力帶動基片在整個制程中行進，同時也對基 片具有支撐作用；隨著基片尺寸的不斷變大，如非晶硅薄膜太陽能電池板用的玻璃基片已 有IlOOmmX 1400mm的尺寸，再如，IXD液晶顯示的基片尺寸IOOOmmX 1200mm也已廣見，這 樣為了傳動軸的尺寸就要設計的更長，因此其直徑與長度比值將會更小，同時這種傳動軸 的方式設計通常為兩端支撐，基于上述原因，容易因為基片重量及基片制程中的受力，如基 片清洗時的流體沖擊力、基片鍍膜時粒子撞擊力等導致長而窄的傳動軸過載變形，影響制 程效果，為了避免這一問題的出現(xiàn)，專利申請?zhí)枮镃N200410039014.0的“一種用于平面顯 示器的基片加工系統(tǒng)中的基片傳輸設備”提出了一種有效的解決辦法；另外一種常見的基片直線傳輸方式類似于上述的傳輸方式，在基板的縱向方向上 平行排布多條采用硅膠等材質制成的輥輪，通過輥輪的支撐及基片與輥輪間的摩擦力將基 片傳入、傳出直線制程裝置。上述兩種方式均可應用于大氣環(huán)境和真空環(huán)境，當應用到真空環(huán)境時還需要在動 力源與傳輸裝置之間添加如磁流體等真空密封裝置。在基片傳輸過程中，尤其是顯示器件 的基片鍍膜制程中，因為顯示器件的膜層一般為通過掩膜板形成的圖案化膜層，且膜層厚 度僅為幾μ m(可參見專利申請?zhí)枮镃N200810026550. 5的“一種直線型有機發(fā)光顯示器制 造系統(tǒng)”的本申請人的另外一個專利)，所以必須保證在制程過程中的基片不跑偏。[0007]上述現(xiàn)有技術的基板傳遞都利用基板與傳輸裝置間的摩擦力進行，除上述一些問題外，還存在使被傳輸?shù)幕宄霈F(xiàn)劃痕、破損問題，尤其是顯示裝置的基板薄而且表面光潔 度要求高，同時在基板傳輸過程中導向不明顯，容易出現(xiàn)跑偏等現(xiàn)象，如果在鍍膜制程中出 現(xiàn)基板跑偏現(xiàn)象那么圖案化的膜層就不能完整的形成，影響成品率。同時，如果傳輸裝置應 用真空系統(tǒng)內，如果出現(xiàn)基片破損或裝置本身故障，將很難維修和維護，同時摩擦力的存在 避免不了會出現(xiàn)磨屑，影響真空環(huán)境的清潔度。因此，有必要提供一種整體結構緊湊、傳輸平穩(wěn)、準直度高、維修方便且具有較高 清潔度的同步傳輸裝置及具有該裝置的直線傳輸系統(tǒng)。

實用新型內容本實用新型的目的之一是提供一種整體結構緊湊、維修方便、清潔度高且傳輸平 穩(wěn)、準直度高的同步傳輸裝置。本實用新型的另一目的是提供一種傳輸平穩(wěn)、準直且穩(wěn)定性高的直線傳輸系統(tǒng)。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術方案為提供一種包括用于承載器件的承載 體、定位導向軌道、基座、滑動機構及若干相互對應的驅動機構和傳動機構，所述驅動機構 與所述傳動機構連接，所述傳動機構與所述基座樞接，所述傳動機構分布于所述承載體的 一側且與所述承載體嚙合，所述定位導向軌道平行地鋪設于所述基座兩側并位于所述承載 體下方，所述滑動機構呈滾輪結構，所述滑動機構設置在所述承載體上并與所述定位導向 軌道滑動地卡合連接。其中，所述定位導向軌道具有第一軌道面與第二軌道面，所述第一軌道面與所述 第二軌道面連接并相互垂直，兩所述軌道的第一軌道面位于同一平面上，兩所述軌道的第 二軌道面相互平行，所述滑動機構位于兩所述第二軌道面之間。所述第一軌道面用于導向 所述承載體的前進傳輸，所述第二軌道面用于定位所述承載體，從而使承載體在傳輸過程 中平穩(wěn)、準直地前進。較佳地，呈滾輪結構的所述滑動機構包括相互間隔交錯設置并對稱分布在所述承 載體兩側的第一滾輪與第二滾輪，所述滑動機構還包括第一滾輪軸與第二滾輪軸，所述第 一滾輪軸固定在所述承載體上并與所述第一滾輪樞接，所述第二滾輪軸固定在所述承載體 上并與所述第二滾輪樞接，所述第一滾輪軸的軸向平行于所述第一軌道面，所述第二滾輪 軸的軸向平行于所述第二軌道面，所述第一滾輪與所述第一軌道面接觸，所述第二滾輪與 所述第二軌道面接觸。所述第一滾輪使承載體承載在所述定位導向軌道上并沿所述第一軌 道面直線前進，通過第二滾輪與第二軌道面的接觸，使承載體定位在兩第二軌道面之間而 不會跑偏。較佳地，所述第一滾輪及第二滾輪均為彈性塑膠的滾輪。所述彈性塑膠防滑、耐磨 性強，使傳輸更平穩(wěn)。較佳地，所述傳動機構包括若干相互對應的傳動齒輪、傳動軸、同步帶及帶輪，相 互對應的所述傳動軸的一端與所述基座樞接，所述傳動軸的另一端固定相互對應的傳動齒 輪及帶輪，若干所述傳動軸中的一個還與所述驅動機構固定連接，所述傳動軸相互平行且 位于同一直線上，相鄰的傳動軸上的帶輪由所述同步帶連接，所述承載體設有與所述傳動 齒輪相嚙合的齒條。所述傳動機構將驅動機構的圓周運動轉化為所述承載體的直線運動，通過齒輪與齒條的嚙合，齒輪與同步帶的配合將驅動機構的動力傳遞到承載體上，從而使 承載體向前行進，實現(xiàn)傳輸承載器件。其中，所述同步帶為鍥形帶。通過鍥形帶實現(xiàn)傳動齒 輪之間的同步，使傳輸更為平穩(wěn)連貫。同樣較佳地，所述驅動機構為帶有波箱的直流伺服電機，所述電機設置相同的轉 向和轉速，直流伺服電機響應速度快、精度高，能將輸入的控制電壓信號平穩(wěn)快速轉換為機 械輸出量，為直線傳輸系統(tǒng)提供平穩(wěn)動力，所述電機具有相同的轉向和轉速，相互之間的電 機步調一致，使傳輸平穩(wěn)連貫。相應地，本實用新型提供了一種直線傳輸系統(tǒng)，包括同步傳輸裝置、可編程邏輯控 制器及若干傳感接收器，所述同步傳輸裝置包括用于承載器件的承載體、定位導向軌道、基 座、滑動機構及若干相互對應的驅動機構和傳動機構，所述驅動機構安裝于所述基座上，所 述驅動機構與所述傳動機構連接，所述傳動機構與所述基座樞接，所述傳動機構分布于所 述承載體的一側且與所述承載體嚙合，所述定位導向軌道平行地鋪設于所述基座兩側并位 于所述承載體下方，所述滑動機構呈滾輪結構，所述滑動機構設置在所述承載體上并與所 述定位導向軌道滑動地卡合連接，所述承載體沿前進方向的前端及后端分別固定設有與所 述傳感接收器配合的第一傳感發(fā)射器與第二傳感發(fā)射器，所述第一傳感發(fā)射器及第二傳感 發(fā)生器發(fā)射位置信號，所述傳感接收器等間距的安裝于所述基座上，所述傳動機構相應設 置在相鄰的兩傳感接收器之間，相鄰兩所述傳動機構的距離小于所述承載體沿前進方向的 長度，所述可編程邏輯控制器分別與所述傳感接收器及所述驅動機構電連接，所述傳感接 收器接收與其最鄰近的第一傳感發(fā)射器或第二傳感發(fā)射器發(fā)射的位置信號并反饋給可編 程邏輯控制器，所述可編程邏輯控制器控制所述驅動機構的工作狀態(tài)。較佳地，所述傳感接收器為光纖傳感器，利用光纖靈敏、精確、適應性強、小巧和智 能化的特點，更有效快速的獲取并反饋承載體的位置信息。在本實用新型的一個實施例中，所述直線傳輸系統(tǒng)具有至少兩個承載體，相鄰兩 所述承載體的距離大于兩相鄰的所述驅動機構的距離，防止相鄰承載體相互碰撞，影響傳 輸進程。較佳地，所述直線傳輸系統(tǒng)還包括自鎖控制裝置，所述自鎖控制裝置分別與所述 驅動機構電連接，所述自鎖控制裝置控制連續(xù)分布的三個所述驅動機構中的兩個驅動機構 與剩余的另一驅動機構具有不同的工作狀態(tài)，通過對連續(xù)分布的三個所述驅動機構的監(jiān)測 控制，防止相鄰承載體相互碰撞，實現(xiàn)長距離的自動化控制直線傳輸。其中，所述自鎖控制 裝置由繼電器組成，繼電器不僅使用壽命長，可靠性高且靈敏度高，控制功率小，電磁兼容 性好，能快速轉換控制驅動機構的工作狀態(tài)。與現(xiàn)有技術相比，由于本實用新型的同步傳輸裝置的驅動機構與傳動機構連接， 傳動機構樞接在基座上，該傳動機構分布于承載體的一側且與所述承載體嚙合，定位導向 軌道平行地鋪設于基座兩側并位于所述承載體下方，滑動機構設置在所述承載體上并與所 述定位導向軌道滑動地卡合連接，其結構簡單緊湊，維修與維護方便，通過承載體承載需要 傳輸?shù)钠骷?，驅動機構為同步傳輸裝置提供動力，通過傳動機構與承載體的嚙合傳遞動力 使承載體向前行進，承載體上設置的滑動機構使所述承載體沿所述定位導向軌道滑動傳 輸，而定位導向軌道同時約束定位承載體的行進路徑，從而使器件實現(xiàn)平穩(wěn)的直線傳輸，且 整個過程準直度高，同時應用于真空系統(tǒng)時不會因裝置本身而帶來污染源，具有較高清潔度。相應地，本實用新型的直線傳輸系統(tǒng)也能保持器件直線傳輸平穩(wěn)、準直度高地傳輸。
圖1為現(xiàn)有的集束型生產(chǎn)系統(tǒng)的結構示意圖。圖2為本實用新型的同步傳輸裝置的平面示意圖。圖3為圖2所示同步傳輸裝置的部分放大示意圖。圖4為沿圖3中A-A線的剖視圖。圖5為本實用新型的同步傳輸裝置的傳動機構的結構示意圖。圖6為本實用新型直線傳輸系統(tǒng)的原理示意圖。 圖7為本實用新型直線傳輸系統(tǒng)的原理方框圖。
具體實施方式
為了詳細說明本實用新型的技術內容、構造特征，以下結合實施方式并配合附圖 作進一步說明，其中不同圖中相同的標號代表相同的部件。參考圖2-4，本實用新型公開了 一種同步傳輸裝置10，包括用于承載器件的承載體110、定位導向軌道120、基座130、滑動 機構140及若干相互對應的驅動機構和傳動機構160，所述驅動機構與所述傳動機構160連 接，所述傳動機構160與所述基座130樞接，所述傳動機構160分布于所述承載體110的一 側且與所述承載體110嚙合，所述定位導向軌道120平行地鋪設于所述基座130兩側并位 于所述承載體110下方，所述滑動機構140呈滾輪結構，所述滑動機構140設置在所述承載 體110上并與所述定位導向軌道120滑動地卡合連接。其結構簡單緊湊，維修與維護方便， 具有較高清潔度。通過承載體110承載整個傳輸過程中需要傳輸?shù)钠骷?圖未示)，驅動機 構為同步傳輸裝置10提供動力，通過傳動機構160與承載體110的嚙合傳遞動力使承載體 110向前行進，承載體110上設置的滑動機構140使所述承載體110沿所述定位導向軌道 120滑動傳輸，定位導向軌道120置于所述承載體110上，方便所述承載體110沿所述定位 導向軌道120行進。所述定位導向軌道120同時對承載體110的行進路徑進行定位約束， 從而使器件實現(xiàn)平穩(wěn)的直線傳輸，控制其具有高準直度。所述同步傳輸裝置10應用于真空 系統(tǒng)時不會因裝置本身而帶來污染源，適用于各種直線型生產(chǎn)設備的基片傳輸，尤其適用 于有機發(fā)光顯示設備和直線型薄膜太陽能生產(chǎn)設備的基片傳輸。參考圖4，所述定位導向軌道120具有第一軌道面121與第二軌道面122，所述第 一軌道面121與所述第二軌道面122連接并相互垂直，兩所述定位導向軌道120的第一軌 道面121位于同一平面上，兩所述第二軌道面122相互平行，所述滑動機構140位于兩所述 第二軌道面122之間。所述第一軌道面121用于導向所述承載體110的前進傳輸，所述第 二軌道面122用于定位所述承載體110，從而使承載體110在傳輸過程中平穩(wěn)、準直地前進。配合參考圖3及圖4，呈滾輪結構的所述滑動機構140包括相互間隔交錯設置并對 稱分布在所述承載體Iio兩側的第一滾輪141與第二滾輪142，所述滑動機構122還包括第 一滾輪軸143與第二滾輪軸144，所述第一滾輪軸143通過鎖緊螺釘145固定在所述承載體 110上并與所述第一滾輪141樞接，所述第二滾輪軸144固定在所述承載體110上并與所述 第二滾輪142樞接，所述第一滾輪軸143的軸向平行于所述第一軌道面121，所述第二滾輪 軸144的軸向平行于所述第二軌道面122，所述第一滾輪141與所述第一軌道面121接觸，所述第二滾輪142與所述第二軌道面122接觸。所述第一滾輪141使承載體110承載在所 述定位導向軌道120上并沿所述第一軌道面121直線前進，通過第二滾輪141與第二軌道 面122的接觸，使承載體110定位在兩第二軌道面122之間而不會跑偏。較佳地，所述第一 滾輪141及第二滾輪142均為彈性塑膠的滾輪。所述彈性塑膠的第一滾輪141及第二滾輪 142具有防滑、耐磨性強的性能，使傳輸更平穩(wěn)，所述滾輪具有軸承，通過軸承與滾輪軸的配 合，使?jié)L輪繞所述滾輪軸自由旋轉?？梢岳斫獾?，所述滑動機構140與定位導向軌道120可 以采用滑槽滑塊配合的形式卡合滑動連接，實現(xiàn)對承載體110的導向定位。
較佳地，所述驅動機構為帶有波箱的直流伺服電機150，所述同步傳輸裝置10的 多個所述電機150具有相同的轉向和轉速，直流伺服電機響應速度快、精度高，能將輸入的 控制電壓信號平穩(wěn)快速轉換為機械輸出量，為直線傳輸系統(tǒng)提供平穩(wěn)動力，可以理解地，所 述驅動機構亦可采用步進電機或兩者的結合，所述電機需設置相同的轉向和轉速，相互之 間的電機保持步調一致，使傳輸平穩(wěn)連續(xù)。參考圖5，在本實用新型的實施例中，所述傳動機構160包括四個相互對應的傳動 齒輪161、傳動軸162、同步帶163及帶輪164，相互對應的所述傳動軸162的一端與所述基 座130樞接，所述傳動軸162的另一端固定相互對應的傳動齒輪161及帶輪164，若干所述 傳動軸162中的一個還與所述直流伺服電機150固定連接，所述傳動軸162相互平行且位 于同一直線上，相鄰的傳動軸162上的帶輪164由所述同步帶163連接，所述承載體110設 有與所述傳動齒輪161相嚙合的齒條116。較佳地，所述同步帶163為鍥形帶。通過鍥形帶 實現(xiàn)傳動齒輪161之間的同步，使傳輸更為平穩(wěn)連續(xù)。所述傳動機構160將直流伺服電機 150的圓周運動轉化為所述承載體110的直線運動，所述直流伺服電機150帶動其一傳動軸 162旋轉，通過相應的帶輪164跟同步帶163的配合使其他傳動軸162同步轉動，通過傳動 齒輪161與齒條116的嚙合使承載體110向前行進，實現(xiàn)傳輸承載器件?？梢岳斫獾?，齒輪 傳動為優(yōu)選的鏈接方式，本實用新型的傳動機構還可采用渦輪蝸桿傳動、帶輪皮帶傳動，所 述傳動機構用于鏈接所述直流伺服電機150與所述承載體110，將所述驅動機構150的動 力傳遞到所述承載體110且能夠將所述驅動機構150的圓周運動轉化為所述承載體110的 直線運動。所述傳動機構160亦可以分步在承載體110的兩側，通過在兩側同時與承載體 110嚙合推動所述承載體110前進。以下對本實用新型的同步傳輸裝置的工作原理作進一步闡述直流伺服電機150 工作時，通過傳動軸162驅動固定在所述傳動軸162上的傳動齒輪161，所述傳動齒輪161 通過與所述承載體110上的齒條116的嚙合推動所述承載體110前進，其他傳動齒輪161在 帶輪164和同步帶163的配合作用下同步運轉，分別與齒條116嚙合，推動承載體110向前 行進。所述滑動機構140的第一滾輪141緊貼所述第一軌道面121使所述承載體110沿所 述第一軌道面121行進，同時第二滾輪142緊貼所述第二軌道面122使所述承載體110限 位在兩所述第二軌道面122之間滑行。所述同步傳輸裝置10結構簡單緊湊，維修與維護方 便，能有效實現(xiàn)器件的平穩(wěn)地直線傳輸，且整個過程準直度高，應用于真空系統(tǒng)時不會因裝 置本身而帶來污染源，具有較高清潔度。本實用新型的直線傳輸系統(tǒng)，包括所述同步傳輸裝置10、可編程邏輯控制器30及 若干傳感接收器20，所述承載體110沿前進方向的前端及后端分別固定設有與所述傳感接 收器20配合的第一傳感發(fā)射器111與第二傳感發(fā)射器112(如圖6所示)，所述第一傳感發(fā)射器111及第二傳感發(fā)生器112發(fā)射位置信號。如圖2所示，所述傳感接收器20等間距 的安裝于所述基座130上且排列成一條直線，所述傳動機構160相應設置在相鄰的兩傳感 接收器20之間，相鄰兩所述傳動機構160的距離小于所述承載體110沿前進方向的長度， 從而使傳動機構160得以與所述承載體110連貫嚙合。所述可編程邏輯控制器30分別與 所述傳感接收器20及所述直流伺服電機150電連接，所述傳感接收器20接收與其最鄰近 的第一傳感發(fā)射器111或第二傳感發(fā)射器112發(fā)射的位置信號并反饋給可編程邏輯控制器 30，所述可編程邏輯控制器30控制所述直流伺服電機150的工作狀態(tài)。所述可編程邏輯控 制器30、多個直流伺服電機150、傳感接收器20、傳感發(fā)射器111、112構成閉合自反饋控制 回路，通過可編程邏輯控制器30接收信號、分析、發(fā)送相應信號，控制器件的平穩(wěn)傳輸，實 現(xiàn)自動化控制。所述直線傳輸系統(tǒng)機構簡單、傳輸平穩(wěn)、準直度高、安裝和維修都比較方便， 可應用于大氣環(huán)境中的器件傳輸，也可應用于真空系統(tǒng)中進行器件傳輸，且應用真空環(huán)境 中能夠盡量減少來自系統(tǒng)本身帶給真空環(huán)境的污染源，具有較高清潔度。較佳地，所述傳感接收器20為光纖傳感器，利用光纖靈敏、精確、適應性強、小巧 和智能化的特點，更有效快速的獲取并反饋承載體的位置信息，所述傳感接收器20亦可以 采用限位開關或采用兩者的結合。在本實用新型的一個實施例中，所述直線傳輸系統(tǒng)具有至少兩個承載體110，相鄰 兩所述承載體110的距離大于兩相鄰的所述傳動機構160的距離，以防止相鄰承載體110 相互碰撞，影響傳輸進程。較佳地，所述直線傳輸系統(tǒng)還包括自鎖控制裝置40，所述自鎖控 制裝置40分別與所述直流伺服電機150電連接，所述自鎖控制裝置40控制連續(xù)分布的任 意三個所述直流伺服電機中的兩個電機與剩余的另一電機具有不同的工作狀態(tài)，通過對連 續(xù)分布的三個所述直流伺服電機的監(jiān)測控制，防止相鄰承載體相互碰撞，實現(xiàn)長距離的自 動化控制直線傳輸。其中，所述自鎖控制裝置由繼電器組成，繼電器不僅使用壽命長，可靠 性高且靈敏度高，控制功率小，電磁兼容性好，能快速轉換控制直流伺服電機的工作狀態(tài)。配合參考圖6及圖7，本實用新型的直線傳輸系統(tǒng)的原理及控制方法如下所述所 述基座130的一側由前端沿承載體110前進方向等間距地依次設置有第一傳感接收器201、 第二傳感接收器202、第三傳感接收器203...及第η個傳感接收器，相應地，每兩相鄰傳感 接收器之間按順序依次設置有第一電機1501、第二電機1502、第三電機1503...及第(η_1) 個電機，其中，η為大于等于2的任意自然數(shù)。承載體110剛進入定位導向軌道120上時，第 一傳感接收器201接收到來自第一傳感發(fā)射器111的位置信號并反饋給可編程邏輯控制器 30，可編程邏輯控制器30相應發(fā)送指令給位于所述第一傳感接收器201的前端的第一電機 1501，使第一電機1501處于工作狀態(tài)，通過傳動軸162帶動傳動齒輪161轉動，所述承載體 110由于側邊設有齒條116，通過齒條116與齒輪161的嚙合使所述承載體110沿所述定位 導向軌道120前進，并在所述定位導向軌道120的定位與導向作用下直線平穩(wěn)地行進。當 所述承載體110行進至兩傳動機構之間的區(qū)域時即到達與第一傳感接收器201相鄰的第二 傳感接收器202可接收傳感信號的區(qū)域內時，第二傳感接收器202接收到第一傳感器發(fā)射 器111發(fā)送的位置信號并將該位置信號反饋給可編程邏輯控制器30，可編程邏輯控制器30 相應發(fā)送指令給位于傳感接收器202的前端的第二電機1502，開啟第二電機1502使其處于 工作狀態(tài)，從而使所述承載體110連續(xù)地向前行進。 同理，當傳感接收器203接收到位置信 號時，反饋位置信號給可編程邏輯控制器30使其前方的第三電機1503工作。隨著所述承載體Iio的不斷向前行進，不同位置上的傳感接收器20陸續(xù)接收到來自設置在所述承載體 110上的傳感發(fā)射器111、112發(fā)射的位置信號，然后反饋位置信號給可編程邏輯控制器30， 可編程邏輯控制器30根據(jù)接收到的位置信號控制位于反饋所述位置信號的相應傳感接收 器的前方的電機工作。而同時隨著承載體110的向前行進，傳感接收器20相應接收到第二 傳感發(fā)射器112發(fā)送的位置信號，并將接收到的位置信號反饋給可編程邏輯控制器30，可 編程邏輯控制器30根據(jù)接收到的位置信號控制位于反饋所述位置信號的相應傳感接收器 20的后方的電機暫停工作。例如，第二傳感接收器202接收到第二傳感發(fā)射器112發(fā)射的 位置信號，再次反饋給可編程邏輯控制器30，可編程邏輯控制器30相應發(fā)送指令給位于第 二傳感接收器202的后方的第一電機1501，使第一電機1501停止工作，當?shù)谌齻鞲薪邮掌?203接收到第二傳感發(fā)射器112發(fā)射的位置信號，再次反饋給可編程邏輯控制器30，可編程 邏輯控制器30相應發(fā)送指令給位于傳感接收器203的后方的第二電機1502，使第二電機 1502停止工作。通過傳感接收發(fā)射器的相互配合，實現(xiàn)系統(tǒng)的自動化控制，節(jié)省時間同時減 少成本。 當所述直線傳輸系統(tǒng)上具有至少兩個承載體110時即同時傳輸多個器件時，相鄰 兩所述承載體110的距離應大于相鄰兩所述傳動機構160的距離，以防止相鄰承載體110 相互碰撞，影響傳輸進程。具體控制方法為當所述可編程邏輯控制器30檢測到來自同 一傳感接收器20的狀態(tài)信號次數(shù)為奇數(shù)時，發(fā)送信號至位于該傳感接收器20前方的電機 150使所述電機150處于工作狀態(tài)；當所述可編程邏輯控制器30檢測到同一傳感接收器20 的狀態(tài)信號次數(shù)為偶數(shù)時，發(fā)送信號至位于該傳感接收器20后方的電機150，使所述電機 150處于停止狀態(tài)。為了防止相鄰承載體110相互碰撞，所述直線傳輸控制方法還包括提 供一個自鎖控制裝置40的步驟，所述自鎖控制裝置40由繼電器組成并與所述直流伺服電 機150電連接，所述自鎖控制裝置40通過繼電器控制連續(xù)分布的三個電機中的兩個電機與 剩余的另一電機具有不同的工作狀態(tài)，即通過繼電器限制任意相鄰的三個電機不能同時運 轉，同時，所述三個電機中首尾兩個電機也不能同時運轉，保證兩相鄰承載體110間至少有 兩電機間隔的距離。通過對連續(xù)分布的三個所述電機的監(jiān)測控制，防止相鄰承載體110相 互碰撞，從而實現(xiàn)長距離的自動化控制直線傳輸。設置在同步傳輸裝置10最前端的第一個 傳感接收器201及最尾端的第η個傳感接收器，由于其相應的后方及相應的前方無相對設 置有電機，當可編程邏輯控制器30收到第一個傳感接收器201的位置信號時只需對位于傳 感接收器201的后方的電機1501發(fā)送信號控制其工作狀態(tài)，當可編程邏輯控制器30收到 最尾端的第η個傳感接收器的位置信號時只需對位于該傳感接收器前方的最后一個電機 即第(η-1)個電機發(fā)送信號控制其工作狀態(tài)。所述電機150、相應的傳動機構160、傳感接 收器20等的數(shù)量根據(jù)實際需要設置。以上所揭露的僅為本實用新型的較佳實例而已，當然不能以此來限定本實用新型 之權利范圍，因此依本實用新型權利要求所作的等同變化，仍屬于本實用新型所涵蓋的范圍。
權利要求一種同步傳輸裝置，其特征在于，包括用于承載器件的承載體、定位導向軌道、基座、滑動機構及若干相互對應的驅動機構和傳動機構，所述驅動機構與所述傳動機構連接，所述傳動機構與所述基座樞接，所述傳動機構分布于所述承載體的一側且與所述承載體嚙合，所述定位導向軌道平行地鋪設于所述基座兩側并位于所述承載體下方，所述滑動機構呈滾輪結構，所述滑動機構設置在所述承載體上并與所述定位導向軌道滑動地卡合連接。
2.如權利要求1所述的同步傳輸裝置，其特征在于，所述定位導向軌道具有第一軌道 面與第二軌道面，所述第一軌道面與所述第二軌道面連接并相互垂直，兩所述軌道的第一 軌道面位于同一平面上，兩所述軌道的第二軌道面相互平行，所述滑動機構位于兩所述第 二軌道面之間。
3.如權利要求2所述的同步傳輸裝置，其特征在于，呈滾輪結構的所述滑動機構包括 相互間隔交錯設置并對稱分布在所述承載體兩側的第一滾輪與第二滾輪，所述滑動機構還 包括第一滾輪軸與第二滾輪軸，所述第一滾輪軸固定在所述承載體上并與所述第一滾輪樞 接，所述第二滾輪軸固定在所述承載體上并與所述第二滾輪樞接，所述第一滾輪軸的軸向 平行于所述第一軌道面，所述第二滾輪軸的軸向平行于所述第二軌道面，所述第一滾輪與 所述第一軌道面接觸，所述第二滾輪與所述第二軌道面接觸。
4.如權利要求3所述的同步傳輸裝置，其特征在于，所述第一滾輪及第二滾輪均為彈 性塑膠的滾輪。
5.如權利要求1所述的同步傳輸裝置，其特征在于，所述傳動機構包括若干相互對應 的傳動齒輪、傳動軸、同步帶及帶輪，相互對應的所述傳動軸的一端與所述基座樞接，所述 傳動軸的另一端固定相互對應的傳動齒輪及帶輪，若干所述傳動軸中的一個還與所述驅動 機構固定連接，所述傳動軸相互平行且位于同一直線上，相鄰的傳動軸上的帶輪由所述同 步帶連接，所述承載體設有與所述傳動齒輪相嚙合的齒條。
6.如權利要求5所述的同步傳輸裝置，其特征在于，所述同步帶為鍥形帶。
7.如權利要求1所述的同步傳輸裝置，其特征在于，所述驅動機構為帶有波箱的直流 伺服電機，所述電機設置相同的轉向和轉速。
8.一種直線傳輸系統(tǒng)，其特征在于，包括同步傳輸裝置、可編程邏輯控制器及若干傳感 接收器，所述同步傳輸裝置包括用于承載器件的承載體、定位導向軌道、基座、滑動機構及 若干相互對應的驅動機構和傳動機構，所述驅動機構安裝于所述基座上，所述驅動機構與 所述傳動機構連接，所述傳動機構與所述基座樞接，所述傳動機構分布于所述承載體的一 側且與所述承載體嚙合，所述定位導向軌道平行地鋪設于所述基座兩側并位于所述承載體 下方，所述滑動機構呈滾輪結構，所述滑動機構設置在所述承載體上并與所述定位導向軌 道滑動地卡合連接，所述承載體沿前進方向的前端及后端分別固定設有與所述傳感接收器 配合的第一傳感發(fā)射器與第二傳感發(fā)射器，所述第一傳感發(fā)射器及第二傳感發(fā)生器發(fā)射位 置信號，所述傳感接收器等間距的安裝于所述基座上，所述傳動機構相應設置在相鄰的兩 傳感接收器之間，相鄰兩所述傳動機構的距離小于所述承載體沿前進方向的長度，所述可 編程邏輯控制器分別與所述傳感接收器及所述驅動機構電連接，所述傳感接收器接收與其 最鄰近的第一傳感發(fā)射器或第二傳感發(fā)射器發(fā)射器的位置信號并反饋給可編程邏輯控制 器，所述可編程邏輯控制器控制所述驅動機構的工作狀態(tài)。
9.如權利要求8所述的直線傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述傳感接收器為光纖傳感器。
10.如權利要求8所述的直線傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述直線傳輸系統(tǒng)具有至少兩個 承載體，相鄰兩所述承載體的距離大于兩相鄰的所述傳動機構的距離。
11.如權利要求8所述的直線傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述直線傳輸系統(tǒng)還包括自鎖控 制裝置，所述自鎖控制裝置分別與所述驅動機構電連接，所述自鎖控制裝置控制連續(xù)分布 的三個所述驅動機構中的兩個驅動機構與剩余的另一驅動機構具有不同的工作狀態(tài)。
12.如權利要求11所述的直線傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述自鎖控制裝置由繼電器組成。
專利摘要本實用新型公開了一種直線傳輸系統(tǒng)的同步傳輸裝置，包括用于承載器件的承載體、定位導向軌道、基座、滑動機構及若干相互對應的驅動機構和傳動機構，驅動機構與所述傳動機構連接，所述傳動機構與基座樞接，所述傳動機構分布于承載體的一側且與承載體嚙合，所述定位導向軌道平行地鋪設于基座兩側并位于承載體下方，所述滑動機構呈滾輪結構，所述滑動機構設置在承載體上并與所述定位導向軌道滑動地卡合連接。所述同步傳輸裝置整體結構緊湊、維修與維護方便、具有較高清潔度，且整個傳輸過程平穩(wěn)、準直度高。本實用新型還公開了一種能夠保證器件的平穩(wěn)、高準直度地傳輸且具有較高穩(wěn)定性的直線傳輸系統(tǒng)。
文檔編號H01L21/00GK201611649SQ200920274208
公開日2010年10月20日 申請日期2009年12月1日 優(yōu)先權日2009年12月1日
發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良, 雷振宇 申請人:東莞宏威數(shù)碼機械有限公司