專利名稱：具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，尤其涉及一種可以應(yīng)用 在多層印刷電路板、液晶顯示器面板、薄膜太陽(yáng)能電池及觸控面板等物品的基板濕制程設(shè) 備上的復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有多層印刷電路板、液晶顯示器面板、薄膜太陽(yáng)能電池及觸控面板等基板的濕 式清洗設(shè)備，如圖1及圖2所示，具有設(shè)置在機(jī)臺(tái)10上方的一擺動(dòng)機(jī)構(gòu)20，并結(jié)合有噴洗 裝置30及一驅(qū)動(dòng)裝置40，使擺動(dòng)機(jī)構(gòu)20可于機(jī)臺(tái)10上直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)；其中，該擺動(dòng)機(jī)構(gòu) 20由軸承座201、軸桿202、橫梁203及框架204組成，其于機(jī)臺(tái)10相對(duì)內(nèi)側(cè)面固設(shè)有復(fù)數(shù) 組軸承座201，相互對(duì)稱的軸承座201軸心可供一軸桿202樞設(shè)，該軸桿202的一端以一橫 梁203結(jié)合，該橫梁203再結(jié)合有框架204，故可借由驅(qū)動(dòng)裝置40帶動(dòng)框架204而使擺動(dòng) 機(jī)構(gòu)20呈直線往返運(yùn)動(dòng)，進(jìn)一步使噴洗裝置30針對(duì)輸入機(jī)臺(tái)10內(nèi)的基板施行清洗。但， 上述現(xiàn)有的擺動(dòng)機(jī)構(gòu)20只能被驅(qū)動(dòng)裝置40帶動(dòng)作直線往返運(yùn)動(dòng)，為了能全面清洗基板，必 需在擺動(dòng)機(jī)構(gòu)20上結(jié)合有多數(shù)組排列的噴洗裝置30，再分別接上水閥301、水管302等組 件，如此導(dǎo)致其結(jié)構(gòu)繁瑣、維護(hù)工作麻煩、成本增加，亟待加以改進(jìn)。因此，如何發(fā)明出一種 具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，以使復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)可以產(chǎn)生直線往復(fù)移動(dòng)及往復(fù)滾轉(zhuǎn) 運(yùn)動(dòng)，針對(duì)各種基板進(jìn)行多向全面清洗，將是本實(shí)用新型所欲積極提供之處。
發(fā)明內(nèi)容有鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的缺憾，發(fā)明人有感其未臻于完善，遂竭其心智悉心研究克 服，憑其從事該項(xiàng)產(chǎn)業(yè)多年的累積經(jīng)驗(yàn)，進(jìn)而研發(fā)出一種具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè) 備，以期達(dá)到結(jié)構(gòu)精簡(jiǎn)、可調(diào)整噴洗角度與速率及多向全面清洗的目的。本實(shí)用新型的主要目的在提供一種具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其借著機(jī) 臺(tái)、噴洗機(jī)構(gòu)、滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置及直線驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)改良，致使該噴洗機(jī)構(gòu)可以直線往復(fù)移 動(dòng)及往復(fù)滾轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，以針對(duì)輸入機(jī)臺(tái)的基板進(jìn)行噴洗作業(yè)，進(jìn)而達(dá)到結(jié)構(gòu)精簡(jiǎn)、可調(diào)整噴洗 角度與速率及多向全面清洗的目的。為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備實(shí)施內(nèi)容包含有 一機(jī)臺(tái)，一結(jié)合在機(jī)臺(tái)上的噴洗機(jī)構(gòu)，一帶動(dòng)噴洗機(jī)構(gòu)往復(fù)滾轉(zhuǎn)的滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，及一帶動(dòng) 噴洗機(jī)構(gòu)往復(fù)移動(dòng)的直線驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于該噴洗機(jī)構(gòu)具有一組以上結(jié)合在機(jī)臺(tái)一 側(cè)的第一軸承座，一組以上結(jié)合在機(jī)臺(tái)另一側(cè)與第一軸承座相對(duì)應(yīng)的第二軸承座，及一支 以上結(jié)合在第一軸承座與第二軸承座之間的管路；該管路前、后端各別設(shè)有一能夠軸向移 動(dòng)及滾轉(zhuǎn)結(jié)合第一軸承座與第二軸承座的軸桿，該管路的管身結(jié)合有一個(gè)以上的噴嘴；及 該滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置具有一組以上結(jié)合在機(jī)臺(tái)一側(cè)的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，一結(jié)合在驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的主驅(qū)動(dòng)組 件，及一結(jié)合在管路前端軸桿的從驅(qū)動(dòng)組件。借此，本實(shí)用新型具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，可經(jīng)由該直線驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)噴洗機(jī)構(gòu)的管路呈直線往復(fù)移動(dòng)，同時(shí)借該滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)噴洗機(jī)構(gòu)的管路呈往復(fù)滾 轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，因此當(dāng)輸入清洗液進(jìn)入該管路之后，即可經(jīng)由管路的噴嘴針對(duì)輸入機(jī)臺(tái)的基板進(jìn) 行多面向的清洗作業(yè)，進(jìn)而達(dá)到結(jié)構(gòu)精簡(jiǎn)、可調(diào)整噴洗角度與速率及多向全面清洗的功效。

圖1為現(xiàn)有基板清洗設(shè)備的立體圖。圖2為現(xiàn)有基板清洗設(shè)備的俯視圖。圖3為本實(shí)用新型較佳具體實(shí)施例的組合立體圖。圖4為本實(shí)用新型較佳具體實(shí)施例的局部組合立體圖。圖5為本實(shí)用新型較佳具體實(shí)施例的應(yīng)用狀態(tài)俯視圖。圖6為本實(shí)用新型另一較佳具體實(shí)施例的組合立體圖。圖7為本實(shí)用新型另一較佳具體實(shí)施例的局部組合立體圖。主要組件符號(hào)說(shuō)明1... 機(jī)臺(tái)[0016]11.. 固定座[0017]12.. 底座[0018]2....噴洗機(jī)構(gòu)[0019]21...第一軸承座[0020]22...第二軸承座[0021]23...管路[0022]24.. 軸桿[0023]25...噴嘴[0024]26.. 橫桿[0025]27...框架[0026]3....滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置[0027]31...驅(qū)動(dòng)馬達(dá)[0028]32...主驅(qū)動(dòng)組件[0029]33...從驅(qū)動(dòng)組件[0030]4....直線驅(qū)動(dòng)裝置
具體實(shí)施方式
為充分了解本實(shí)用新型的目的、特征及功效，現(xiàn)通過(guò)下述具體的實(shí)施例，并配合附 的圖，對(duì)本實(shí)用新型做一詳細(xì)說(shuō)明，說(shuō)明如后如圖3及圖4所示，本實(shí)用新型具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其較佳的具體 實(shí)施例包含有一機(jī)臺(tái)1，一結(jié)合在機(jī)臺(tái)1上的噴洗機(jī)構(gòu)2，一帶動(dòng)噴洗機(jī)構(gòu)2往復(fù)滾轉(zhuǎn)的滾 轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置3，及一帶動(dòng)噴洗機(jī)構(gòu)2往復(fù)移動(dòng)的直線驅(qū)動(dòng)裝置4，其主要結(jié)構(gòu)改良在于該噴洗機(jī)構(gòu)2，如圖5所示，其具有一組以上結(jié)合在機(jī)臺(tái)1 一側(cè)的第一軸承座21， 一組以上結(jié)合在機(jī)臺(tái)1另一側(cè)與第一軸承座21相對(duì)應(yīng)的第二軸承座22，及一支以上結(jié)合在 第一軸承座21與第二軸承座22之間的管路23，該管路23的前、后端各別設(shè)有一能夠軸向
4移動(dòng)及滾轉(zhuǎn)狀結(jié)合在第一軸承座21與第二軸承座22的軸桿24，該管路23的管身并結(jié)合有 一個(gè)以上的噴嘴25 ；以及該滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置3，具有一組以上結(jié)合在機(jī)臺(tái)1 一側(cè)的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)31，一結(jié)合在驅(qū)動(dòng) 馬達(dá)31的主驅(qū)動(dòng)組件32，及一結(jié)合在管路23前端軸桿24的從驅(qū)動(dòng)組件33，以利用驅(qū)動(dòng)馬 達(dá)31帶動(dòng)主驅(qū)動(dòng)組件32，再使主驅(qū)動(dòng)組件32帶動(dòng)從驅(qū)動(dòng)組件33、軸桿24及管路23產(chǎn)生 往復(fù)滾轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，借此組成本實(shí)用新型具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備。如圖3及圖4所示，本實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施例更包含該管路23前端的軸桿 24延伸到機(jī)臺(tái)1外側(cè)，該滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置3的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)31并結(jié)合在機(jī)臺(tái)1外側(cè)，而從驅(qū)動(dòng)組 件33結(jié)合在機(jī)臺(tái)1外側(cè)的軸桿24端部。為了使該滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置3得以結(jié)合在機(jī)臺(tái)1外側(cè)， 本實(shí)用新型機(jī)臺(tái)1外側(cè)可設(shè)有一固定座11，該固定座11結(jié)合有一可調(diào)整位置的底座12，借 此將滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置3的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)31結(jié)合在底座12上。又，本實(shí)用新型該管路23的后端結(jié) 合有一橫桿26，橫桿26結(jié)合有一框架27，該框架27與所述直線驅(qū)動(dòng)裝置4結(jié)合，如此就能 借由直線驅(qū)動(dòng)裝置4帶動(dòng)噴洗機(jī)構(gòu)2的框架27、橫桿26及管路23作直線往復(fù)移動(dòng)，另借由 滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置3帶動(dòng)噴洗機(jī)構(gòu)2的管路23往復(fù)滾轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。另者，本實(shí)用新型滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置 3的主驅(qū)動(dòng)組件32與從驅(qū)動(dòng)組件33可為具有螺紋結(jié)構(gòu)的渦桿與渦輪或齒輪或其它型式的 傳動(dòng)組件，且其結(jié)合方式可為主驅(qū)動(dòng)組件32與從驅(qū)動(dòng)組件33平行相互結(jié)合，或如圖6及圖 7所示，將驅(qū)動(dòng)馬達(dá)31直立結(jié)合在底座12上，使主驅(qū)動(dòng)組件32與從驅(qū)動(dòng)組件33垂直相互結(jié)合。再如圖3及圖5所示，本實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施例更包含該噴洗機(jī)構(gòu)2具有兩 組結(jié)合在機(jī)臺(tái)1 一側(cè)的第一軸承座21，兩組結(jié)合在機(jī)臺(tái)1另一側(cè)與第一軸承座21相對(duì)應(yīng)的 第二軸承座22，及兩支各別結(jié)合在第一軸承座21與第二軸承座22之間的管路23，各管路 23前、后端同樣分別結(jié)合有軸桿24，且各管路23前端的軸桿24分別與一滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置3 結(jié)合。又，該兩支管路23的前、后端之間可分別跨置結(jié)合有一橫桿26，其后端的橫桿26中 央并結(jié)合所述的一框架27，該框架27與所述直線驅(qū)動(dòng)裝置4結(jié)合，如此借由直線驅(qū)動(dòng)裝置 4帶動(dòng)噴洗機(jī)構(gòu)2的框架27、橫桿26及管路23呈直線往復(fù)移動(dòng)，也可以分別借由滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng) 裝置3帶動(dòng)噴洗機(jī)構(gòu)2的管路23往復(fù)滾轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備應(yīng)用實(shí)施時(shí)，作為多層印刷電路 板、液晶顯示器面板、薄膜太陽(yáng)能電池及觸控面板的濕制程設(shè)備之一。其進(jìn)行噴洗作業(yè)的方 式如圖5所示，利用該直線驅(qū)動(dòng)裝置4帶動(dòng)噴洗機(jī)構(gòu)2的框架27、橫桿26及管路23直線 往復(fù)移動(dòng)，同時(shí)利用該滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置3的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)31帶動(dòng)主驅(qū)動(dòng)組件32，并使主驅(qū)動(dòng)組件 32再帶動(dòng)從驅(qū)動(dòng)組件33、軸桿24及管路23產(chǎn)生往復(fù)滾轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，因此當(dāng)輸入清洗液進(jìn)入管 路23之后，即可經(jīng)由管路23的噴嘴25噴出清洗液，在直線往復(fù)移動(dòng)及往復(fù)滾轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)中針 對(duì)輸入機(jī)臺(tái)1的基板進(jìn)行多面向的清洗作業(yè)，而且該滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置3可以依照實(shí)際應(yīng)用需 求設(shè)定成獨(dú)立運(yùn)作，亦可依照實(shí)際需求調(diào)整其帶動(dòng)管路23滾轉(zhuǎn)的角度及頻率。如上所述，本實(shí)用新型完全符合專利三要件新穎性、進(jìn)步性和產(chǎn)業(yè)上的可利用 性。以新穎性和進(jìn)步性而言，本實(shí)用新型通過(guò)機(jī)臺(tái)1、噴洗機(jī)構(gòu)2、滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置3及直線驅(qū) 動(dòng)裝置4的結(jié)構(gòu)改良，致使噴洗機(jī)構(gòu)2可以直線往復(fù)移動(dòng)及往復(fù)滾轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，以針對(duì)輸入的基 板進(jìn)行噴洗，進(jìn)而達(dá)到結(jié)構(gòu)精簡(jiǎn)、可調(diào)整噴洗角度及多向全面清洗的效用。就產(chǎn)業(yè)上的可利 用性而言，利用本實(shí)用新型所衍生的產(chǎn)品，當(dāng)可充分滿足目前市場(chǎng)的需求。[0039] 本實(shí)用新型在上文中已以較佳實(shí)施例提供，但本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解的是，該實(shí) 施例僅用于描繪本實(shí)用新型，而不應(yīng)解讀為限制本實(shí)用新型的范圍。應(yīng)注意的是，凡是與該 實(shí)施例等效的變化與置換，均應(yīng)設(shè)為涵蓋于本實(shí)用新型的范疇內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù) 范圍當(dāng)以下文的權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其包含一機(jī)臺(tái)，一結(jié)合在機(jī)臺(tái)上的噴洗機(jī)構(gòu)，一帶動(dòng)噴洗機(jī)構(gòu)往復(fù)滾轉(zhuǎn)的滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，及一帶動(dòng)噴洗機(jī)構(gòu)往復(fù)移動(dòng)的直線驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于該噴洗機(jī)構(gòu)具有一組以上結(jié)合在機(jī)臺(tái)一側(cè)的第一軸承座，一組以上結(jié)合在機(jī)臺(tái)另一側(cè)與第一軸承座相對(duì)應(yīng)的第二軸承座，及一支以上結(jié)合在第一軸承座與第二軸承座之間的管路；該管路前、后端各別設(shè)有一能夠軸向移動(dòng)及滾轉(zhuǎn)狀結(jié)合第一軸承座與第二軸承座的軸桿，該管路的管身并結(jié)合有一個(gè)以上的噴嘴；以及該滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置具有一組以上結(jié)合在機(jī)臺(tái)一側(cè)的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，一結(jié)合在驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的主驅(qū)動(dòng)組件，及一結(jié)合在管路前端軸桿的從驅(qū)動(dòng)組件。
2.如權(quán)利要求1所述具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其特征在于，該管路前端的 軸桿延伸到機(jī)臺(tái)外側(cè)，該滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)結(jié)合在機(jī)臺(tái)外側(cè)，該從驅(qū)動(dòng)組件結(jié)合在 機(jī)臺(tái)外側(cè)的軸桿端部。
3.如權(quán)利要求2所述具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其特征在于，該機(jī)臺(tái)外側(cè)設(shè) 有一固定座，該固定座結(jié)合有一底座，該滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)結(jié)合在底座上。
4.如權(quán)利要求1所述具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其特征在于，該管路的后端 結(jié)合有一橫桿，該橫桿結(jié)合有一框架，該框架與直線驅(qū)動(dòng)裝置結(jié)合，該直線驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)框 架、橫桿及管路呈直線往復(fù)移動(dòng)。
5.如權(quán)利要求1所述具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其特征在于，該噴洗機(jī)構(gòu)具 有兩組結(jié)合在機(jī)臺(tái)一側(cè)的第一軸承座，兩組結(jié)合在機(jī)臺(tái)另一側(cè)與第一軸承座相對(duì)應(yīng)的第二 軸承座，及兩支各別結(jié)合在第一軸承座與第二軸承座之間的管路。
6.如權(quán)利要求5所述具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其特征在于，該兩支管路的 后端之間跨置結(jié)合有一橫桿，該橫桿中央結(jié)合有一框架，該框架與一直線驅(qū)動(dòng)裝置結(jié)合，該 直線驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)框架、橫桿及管路呈直線往復(fù)移動(dòng)。
7.如權(quán)利要求5所述具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其特征在于，該兩支管路的 前端之間跨置結(jié)合有一橫桿。
8.如權(quán)利要求1所述具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其特征在于，該主驅(qū)動(dòng)組件 與從驅(qū)動(dòng)組件平行相互結(jié)合。
9.如權(quán)利要求1所述具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其特征在于，該主驅(qū)動(dòng)組件 與從驅(qū)動(dòng)組件垂直相互結(jié)合。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，其包含一機(jī)臺(tái)、一噴洗機(jī)構(gòu)、一滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置及一直線驅(qū)動(dòng)裝置，主要是該噴洗機(jī)構(gòu)具有結(jié)合在機(jī)臺(tái)二側(cè)的軸承座，及結(jié)合在二軸承座之間的管路，該管路的管身并結(jié)合有噴嘴；以及該滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置具有驅(qū)動(dòng)馬達(dá)、主驅(qū)動(dòng)組件及從驅(qū)動(dòng)組件。借此，本實(shí)用新型具復(fù)向噴洗機(jī)構(gòu)的基板濕制程設(shè)備，可利用直線驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)噴洗機(jī)構(gòu)直線往復(fù)移動(dòng)，并利用滾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)噴洗機(jī)構(gòu)往復(fù)滾轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而針對(duì)輸入機(jī)臺(tái)的基板進(jìn)行噴洗。
文檔編號(hào)H01L21/00GK201558827SQ20092029319
公開日2010年8月25日 申請(qǐng)日期2009年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月15日
發(fā)明者何瑞竹, 劉素珍, 周坤麟, 藍(lán)文正, 郭先立, 高自強(qiáng) 申請(qǐng)人:敘豐企業(yè)股份有限公司