專利名稱：分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及硅片生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒。
背景技術(shù)：
目前硅片在傳送過(guò)程中存在跑偏或者定位不準(zhǔn)確的情況，造成機(jī)械臂在放入硅 片盒時(shí)有偏差，而由于現(xiàn)采用的硅片盒尺寸較小，與硅片配合性高(多采用行業(yè)內(nèi)常用的 “125盒”)，機(jī)械臂微小的偏差將導(dǎo)致硅片不能準(zhǔn)確放入硅片盒中，而卡在硅片盒邊上，于是 在機(jī)械臂將硅片從緩存區(qū)中的硅片盒中提出時(shí)，卡在硅片盒邊上的硅片容易被壓傷，壓碎， 從而降低了成品率。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為了解決上述技術(shù)的不足而提供的一種具有導(dǎo)向功能，確保 機(jī)械臂將硅片放入硅片盒中的分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型所設(shè)計(jì)的分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒，它主要包括用于 存放硅片的盒體，該盒體的盒壁上設(shè)有斜面。硅片盒的尺寸可稍大于硅片尺寸，當(dāng)機(jī)械臂產(chǎn) 生微小的偏差時(shí)，硅片仍能落入硅片盒內(nèi)，而通過(guò)斜面的導(dǎo)向作用可準(zhǔn)確落入硅片盒的指 定位置，保證后道工序的順利進(jìn)行。硅片盒可采用行業(yè)內(nèi)常用的“156盒”。優(yōu)選的方案是所述的斜面為設(shè)置在盒壁上的導(dǎo)向壁面。將導(dǎo)向壁面與硅片盒做成 一體式。為了硅片放入后能更好地定位，優(yōu)選的方案還可以是所述的導(dǎo)向壁面至少一個(gè)下 方設(shè)有垂直壁，并通過(guò)垂直壁與盒底相連。硅片盒的形狀可以為矩形。可以為一到四個(gè)導(dǎo) 向壁面的下方設(shè)有垂直壁。垂直壁可形成相對(duì)規(guī)則、固定的空間。優(yōu)選的方案再可以是所述盒體內(nèi)設(shè)有底盒，該底盒壁由與所述垂直壁配合的直盒 壁和與所述導(dǎo)向壁面直接配合的斜盒壁組成。底盒可用于存放硅片，也可方便下一步工序 的進(jìn)行。為了更好地進(jìn)行下一步工序，所述底盒壁由三面直盒壁和一面斜盒壁構(gòu)成，底盒 可非常方便地進(jìn)行包裝。所述斜面還可為與盒壁相連接的傾斜的導(dǎo)向板。本實(shí)用新型所得到的分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，有效避免機(jī)械臂偏差致使 硅片不能放入硅片盒中的現(xiàn)象，同時(shí)有效減小壓碎概率，大大提高了成品率，同時(shí)也降低了 生產(chǎn)成本。

圖1是實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是實(shí)施例2的分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒的剖視圖；圖3是實(shí)施例3的分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒的剖視圖；[0014]圖4是實(shí)施例3底盒的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中盒體1、導(dǎo)向壁面2、盒壁3、垂直壁4、底盒5、直盒壁6、斜盒壁7。
具體實(shí)施方式
下面通過(guò)實(shí)施例結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。實(shí)施例1如圖1所示，本實(shí)施例所描述的分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒，它主要包括用于存放硅片 的矩形盒體1，盒壁3上的導(dǎo)向壁面2。本實(shí)施例所得到的分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，有效避免機(jī)械臂偏差致使硅 片不能放入盒體1中的現(xiàn)象，同時(shí)有效減小壓碎概率，大大提高了成品率，同時(shí)也降低了生 產(chǎn)成本。實(shí)施例2如圖2所示，本實(shí)施例所描述的分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒，與實(shí)施例1不同的是所述的 導(dǎo)向壁面2下設(shè)有垂直壁4。實(shí)施例3如圖3、4所示，本實(shí)施例所描述的分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒，與實(shí)施例2不同的是三個(gè) 導(dǎo)向壁面2下設(shè)有垂直壁4，另一個(gè)導(dǎo)向壁面2為斜面直接與盒底相連，盒體1內(nèi)設(shè)有底盒 5，該底盒5壁由與所述垂直壁4配合的直盒壁6和與所述導(dǎo)向壁面2直接配合的斜盒壁7 組成，即底盒壁由三面直盒壁6和一面斜盒壁7構(gòu)成。
權(quán)利要求一種分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒，它主要包括用于存放硅片的盒體(1)，其特征是該盒體(1)的盒壁(3)上設(shè)有斜面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒，其特征是所述的斜面為設(shè)置在盒壁 ⑶上的導(dǎo)向壁面(2)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒，其特征是所述的導(dǎo)向壁面(2)至少一 個(gè)下方設(shè)有垂直壁(4)，并通過(guò)垂直壁(4)與盒底相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒，其特征是所述盒體(1)內(nèi)設(shè)有底盒(5)，該底盒壁由與所述垂直壁(4)配合的直盒壁(6)和與所述導(dǎo)向壁面(2)直接配合的斜 盒壁(7)組成。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒，其特征是所述底盒壁由三面直盒壁(6)和一面斜盒壁(7)構(gòu)成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒，其特征是所述斜面為與盒壁(3)相連 接的傾斜的導(dǎo)向板。
專利摘要本實(shí)用新型所公開(kāi)的分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒，它主要包括用于存放硅片的盒體，該盒體的盒壁上設(shè)有斜面。本實(shí)用新型所得到的分揀機(jī)緩存區(qū)硅片盒，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，有效避免機(jī)械臂偏差致使硅片不能放入硅片盒中的現(xiàn)象，同時(shí)有效減小壓碎概率，大大提高了成品率，同時(shí)也降低了生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)H01L21/673GK201655770SQ200920314229
公開(kāi)日2010年11月24日 申請(qǐng)日期2009年11月6日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月6日
發(fā)明者沈凱鋒, 翟金權(quán) 申請(qǐng)人:浙江百力達(dá)太陽(yáng)能有限公司