專利名稱：零件安裝裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于向液晶顯示器用或等離子體顯示器用的玻璃基板等其緣部具有 安裝區(qū)域的基板安裝各種零件的零件安裝裝置及方法。
背景技術(shù)：
在液晶顯示器面板(LCD :Liquid Crystal Display)及等離子體顯示器面 板(PDP =Plasma Display Panel)中，通過(guò)向設(shè)置于其玻璃基板的緣部的安裝區(qū)域安裝 TCP (Tape Carrier Package)零件、COF (Chip On Film)零件、COG (Chip On Glass)零件、 撓性印刷基板(FPC基板)、其他電子零件、機(jī)械零件、光學(xué)零件等零件，來(lái)制造顯示器裝置。目前，已知有下述零件安裝方法。例如作為向基板101的長(zhǎng)邊側(cè)和短邊側(cè)的兩個(gè) 緣部102a、102b的多個(gè)安裝區(qū)域(安裝位置)103安裝零件105的方法，利用圖22所示的 示意說(shuō)明圖進(jìn)行說(shuō)明。在圖22中，當(dāng)搬入基板101時(shí)，首先，進(jìn)行ACF粘貼工序，將各向異 性導(dǎo)電薄膜(以下記為ACF(Anisotropically-Conductive Film)) 104粘貼于構(gòu)成用于與 零件的電極進(jìn)行電接合的電極的基板101的各安裝區(qū)域103上。其次，進(jìn)行零件暫時(shí)壓接 工序，將零件105配置在粘貼于基板101的各安裝區(qū)域103的ACF104上進(jìn)行暫時(shí)壓接。接 著，進(jìn)行正式壓接工序，通過(guò)對(duì)分別暫時(shí)壓接于基板101的長(zhǎng)邊側(cè)和短邊側(cè)的安裝區(qū)域103 的零件105施加按壓力和熱量，將零件105壓接固定(即，正式壓接)，并且將零件105的電 極和基板101的電極進(jìn)行電連接。通過(guò)實(shí)施這些工序來(lái)安裝零件105，之后，將基板101向 下道工序的裝置搬出。實(shí)施這種零件安裝工序的零件安裝裝置具有如下結(jié)構(gòu)，其具備ACF粘貼裝置，其 實(shí)施ACF粘貼工序；零件暫時(shí)壓接裝置，其實(shí)施零件暫時(shí)壓接工序；零件正式壓接裝置，其 對(duì)長(zhǎng)邊側(cè)及短邊側(cè)的緣部實(shí)施零件正式壓接工序；輸送裝置，其在這些作業(yè)裝置間(即， ACF粘貼裝置、零件暫時(shí)壓接裝置、及零件正式壓接裝置之間)輸送基板。另外，在各作業(yè)裝 置中具備作業(yè)單元，其分別進(jìn)行規(guī)定的作業(yè)；移動(dòng)裝置，其將由輸送裝置供給的基板接收 于基板保持部，將基板的各安裝區(qū)域定位于作業(yè)單元的作業(yè)位置(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。在這種現(xiàn)有零件安裝裝置中，將平板狀的基板以其平板面處于水平的狀態(tài)進(jìn)行輸 送。在各作業(yè)裝置中也構(gòu)成為，在由基板保持部從下方支承基板的大致中央部的狀態(tài)下，通 過(guò)移動(dòng)裝置進(jìn)行基板的移動(dòng)及定位，在作業(yè)單元中，在將基板的緣部載置支承于支承臺(tái)上 的狀態(tài)下，對(duì)緣部的安裝區(qū)域的上表面進(jìn)行規(guī)定的作業(yè)。另外，已知有如下裝置，即，在輸送顯示器面板用的玻璃基板等大型薄板狀工件之 際，將基板置于大致垂直姿勢(shì)，利用輥列可移動(dòng)驅(qū)動(dòng)地支承其下端緣，且利用在與基板背面 之間形成有由靜壓氣體構(gòu)成的流體膜的飄浮腔，從背面?zhèn)蕊h浮支承基板的高度方向中央 部，并且從氣體噴嘴向基板表面?zhèn)妊匦毕路较驀娚錃饬?，由此以非接觸狀態(tài)且穩(wěn)定的姿勢(shì) 輸送板面(例如，參照專利文獻(xiàn)2)。另外，在向印刷基板安裝零件的安裝裝置中，已知有如下裝置，S卩，以減小水平設(shè) 置面積且不翻轉(zhuǎn)基板就能向兩面安裝的方式，分別沿導(dǎo)軌移動(dòng)自如地支承基板的上下側(cè)緣，使設(shè)置于移動(dòng)裝置的卡合部件與基板的后端卡合來(lái)移動(dòng)驅(qū)動(dòng)基板，并且在規(guī)定位置使 定位銷與設(shè)置于基板的定位孔嵌合將基板定位，從基板的表面?zhèn)葘⒉迦氩考迦耄门渲?于背面?zhèn)鹊乃梨i機(jī)構(gòu)進(jìn)行固定(例如，參照專利文獻(xiàn)3)。專利文獻(xiàn)1 (日本)特許第3781604號(hào)說(shuō)明書專利文獻(xiàn)2 (日本)特開(kāi)2004-123254號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 (日本)實(shí)公平2-9599號(hào)公報(bào)近年來(lái)，顯示器面板用基板的大型化的傾向更加顯著。因此，如專利文獻(xiàn)1及圖22 所示，在向基板的緣部安裝零件的零件安裝裝置中，在用輸送裝置將基板以水平姿勢(shì)輸送 且用各作業(yè)裝置將水平姿勢(shì)的基板的緣部定位于規(guī)定位置進(jìn)行規(guī)定作業(yè)的結(jié)構(gòu)中，存在裝 置結(jié)構(gòu)大型化且設(shè)備的設(shè)置面積大之類的問(wèn)題。另外，存在用于應(yīng)對(duì)零件安裝的高精度要 求的設(shè)備成本隨著各機(jī)械設(shè)備的大型化而進(jìn)一步上升之類的問(wèn)題。另外，由于基板薄型化、或一方面大型化另一方面其板厚變薄，因此，在輸送水平 姿勢(shì)的基板中進(jìn)行基板的移動(dòng)、定位的情況下，基板越遠(yuǎn)離支承的部分(例如，基板的中央 部分)越會(huì)因自重而下垂。這種情況下，在基板的移動(dòng)、定位時(shí)，為了避免基板和周圍的部 件發(fā)生干涉、或?qū)崿F(xiàn)高精度的位置識(shí)別，需要進(jìn)行修正基板下垂的定位等動(dòng)作。因此，存在 如下問(wèn)題較多地耗費(fèi)基板的移動(dòng)、定位所需要的時(shí)間，妨礙提高零件安裝的生產(chǎn)節(jié)拍。另外，專利文獻(xiàn)2中公開(kāi)了如下結(jié)構(gòu)，即，通過(guò)將基板以大致垂直姿勢(shì)輸送來(lái)降低 輸送裝置的設(shè)置面積，另外，能夠?qū)τ诨宓闹芫壊慷圆粫?huì)與輸送裝置以外的部件接觸 又不會(huì)產(chǎn)生蠕動(dòng)地輸送基板。但是，在專利文獻(xiàn)2公開(kāi)的基板的輸送方法中，僅公開(kāi)了輸送 基板的情況，關(guān)于零件安裝裝置相對(duì)于基板的上述問(wèn)題的解決方法，專利文獻(xiàn)2中既未公 開(kāi)也沒(méi)有啟示。另外，專利文獻(xiàn)3在向印刷基板安裝零件的零件安裝裝置中，公開(kāi)了將該印刷基 板置于垂直姿勢(shì)來(lái)安裝零件的結(jié)構(gòu)。但是，在專利文獻(xiàn)3中，只不過(guò)公開(kāi)了用導(dǎo)軌支承印 刷基板的上下兩側(cè)緣而輸送，且在其輸送路徑上的規(guī)定位置進(jìn)行定位而進(jìn)行零件安裝的方 法。因此，專利文獻(xiàn)3公開(kāi)的零件安裝裝置僅限定于對(duì)如印刷基板那樣面剛性高的基板進(jìn) 行零件安裝及輸送，并不能應(yīng)用于在緣部安裝零件的基板。即，對(duì)于能夠應(yīng)用于向顯示器面 板用的基板等因大型且薄而面剛性低的基板的緣部以高精度安裝零件那樣的零件安裝裝 置的技術(shù)，專利文獻(xiàn)3中既未公開(kāi)也沒(méi)有啟示。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于解決上述課題，提供一種零件安裝裝置及方法，其能夠高 精度地向LCD及PDP等為代表的面剛性低的薄型基板、或大型基板的緣部安裝零件，并且能 夠提高零件安裝的生產(chǎn)率。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的結(jié)構(gòu)如下所述。根據(jù)本發(fā)明的第一方式，提供一種零件安裝裝置，具備輸送裝置，其對(duì)平板狀的基板以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)進(jìn)行吸附保持，將所吸附保持的 基板在沿其平板面的方向上輸送，并且在沿基板的輸送方向設(shè)定的多個(gè)基板交接位置進(jìn)行 基板的交接；多個(gè)作業(yè)裝置，其分別對(duì)應(yīng)于輸送裝置的多個(gè)基板交接位置而配置，并在作業(yè)位置對(duì)安裝零件的安裝區(qū)域進(jìn)行用于零件安裝的作業(yè)處理，其中，所述安裝區(qū)域設(shè)置于從輸 送裝置接收到的實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)的基板的緣部，各作業(yè)裝置具備基板保持部，其在輸送裝置的基板交接位置，對(duì)至少除實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)的基板的 下方側(cè)緣部的安裝區(qū)域以外的基板的平板面進(jìn)行吸附保持；保持部移動(dòng)裝置，其使基板保持部移動(dòng)，以將實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)的基板定位于輸送 裝置的基板交接位置和作業(yè)位置；承載部件，其能夠在支承位置和從支承位置退避的退避位置之間移動(dòng)，所述支承 位置是從定位于作業(yè)位置的基板的緣部的安裝區(qū)域的相反側(cè)的面即基板的背面?zhèn)戎С性?安裝區(qū)域的位置；以及作業(yè)單元，其從定位于作業(yè)位置的基板的緣部的安裝區(qū)域一側(cè)即基板的表面?zhèn)葘?duì) 該安裝區(qū)域進(jìn)行作業(yè)處理。根據(jù)本發(fā)明的第二方式，提供一種如第一方式所述的零件安裝裝置，在各作業(yè)裝 置中，保持部移動(dòng)裝置是使基板保持部在輸送裝置的基板交接位置和位于基板交接位 置下方側(cè)的作業(yè)位置之間升降的保持部升降裝置，作業(yè)單元在作業(yè)位置對(duì)設(shè)置于實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)的基板的下方側(cè)緣部的安裝區(qū)域 進(jìn)行作業(yè)處理。根據(jù)本發(fā)明的第三方式，提供一種如第二方式所述的零件安裝裝置，其中，輸送裝 置具備多個(gè)基板輸送單元，所述多個(gè)基板輸送單元沿著在沿基板的平板面的方向上連續(xù)的 單一的輸送路徑，在基板的交接位置之間相互獨(dú)立地往復(fù)移動(dòng)，各基板輸送單元具備吸附保持實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)的基板的背面?zhèn)鹊妮斔陀没灞?持部。根據(jù)本發(fā)明的第四方式，提供一種如第三方式所述的零件安裝裝置，其中，輸送裝 置的各基板交接位置與在沿基板的平板面的方向上連續(xù)的單一的輸送路徑在水平方向上 相間隔而定位，各基板輸送單元具備水平方向進(jìn)退移動(dòng)裝置，所述水平方向進(jìn)退移動(dòng)裝置使輸送 用基板保持部在輸送路徑和基板交接位置之間沿水平方向進(jìn)退移動(dòng)。根據(jù)本發(fā)明的第五方式，提供一種如第四方式所述的零件安裝裝置，其中，各基板 輸送單元具備旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置使輸送用基板保持部繞與基板的平板面正交的旋轉(zhuǎn) 軸旋轉(zhuǎn)移動(dòng)。根據(jù)本發(fā)明的第六方式，提供一種如第二方式所述的零件安裝裝置，其中，多個(gè)作 業(yè)裝置包括接合部件粘貼裝置，其向基板的安裝區(qū)域粘貼接合部件；零件暫時(shí)壓接裝置， 其經(jīng)由粘貼于基板的安裝區(qū)域的接合部件暫時(shí)壓接零件；以及零件正式壓接裝置，其將暫 時(shí)壓接于基板的安裝區(qū)域的零件邊加熱邊加壓而安裝零件。根據(jù)本發(fā)明的第七方式，提供一種如第六方式所述的零件安裝裝置，其中，零件暫 時(shí)壓接裝置具備識(shí)別裝置，其在以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)定位于作業(yè)位置的基板的安裝區(qū)域的位置或?qū)?質(zhì)上相當(dāng)于安裝區(qū)域的位置，識(shí)別基板的安裝區(qū)域及零件的位置；
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控制裝置，其對(duì)保持部升降裝置、承載部件、作業(yè)單元、及識(shí)別裝置進(jìn)行動(dòng)作控制，控制裝置以如下方式對(duì)保持部升降裝置、承載部件、作業(yè)單元、及識(shí)別裝置進(jìn)行動(dòng) 作控制，即，利用保持部升降裝置，使基板從基板交接位置下降，將基板的下方側(cè)緣部定位 于作業(yè)位置，利用識(shí)別裝置，從基板的背面?zhèn)茸R(shí)別基板的安裝區(qū)域的位置，之后，利用升降 裝置，使基板暫時(shí)退避上升到作業(yè)位置的上方，接著，利用作業(yè)單元，將要暫時(shí)壓接的零件 定位于零件的暫時(shí)壓接位置，利用識(shí)別裝置識(shí)別零件的位置后，使零件從暫時(shí)壓接位置退 避移動(dòng)，之后，利用升降裝置使基板下降而再次定位于作業(yè)位置，并且使承載部件移動(dòng)到從 基板的背面?zhèn)戎С谢宓陌惭b區(qū)域的位置，之后，利用作業(yè)單元，以所識(shí)別的基板的安裝區(qū) 域和零件的位置彼此一致的方式對(duì)零件進(jìn)行位置修正，從而將零件暫時(shí)壓接于基板的安裝 區(qū)域。根據(jù)本發(fā)明的第八方式，提供一種如第六方式所述的零件安裝裝置，其中，零件暫 時(shí)壓接裝置具備識(shí)別裝置，其在以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)定位于作業(yè)位置的基板的安裝區(qū)域的位置或?qū)?質(zhì)上相當(dāng)于安裝區(qū)域的位置，識(shí)別基板的安裝區(qū)域及零件的位置；控制裝置，其對(duì)保持部升降裝置、承載部件、作業(yè)單元、及識(shí)別裝置進(jìn)行動(dòng)作控制，控制裝置以如下方式對(duì)保持部升降裝置、承載部件、作業(yè)單元、及識(shí)別裝置進(jìn)行動(dòng) 作控制，即，利用作業(yè)單元，將要暫時(shí)壓接的零件定位于零件的暫時(shí)壓接位置，利用識(shí)別裝 置識(shí)別零件的位置后，使零件從暫時(shí)壓接位置退避移動(dòng)，之后，利用保持部升降裝置使基板 從基板交接位置下降，將基板的下方側(cè)緣部定位于作業(yè)位置，且使承載部件移動(dòng)到從背面 側(cè)支承基板的安裝區(qū)域的位置，之后，利用識(shí)別裝置，從基板的背面?zhèn)茸R(shí)別基板的安裝區(qū)域 的位置，之后，利用作業(yè)單元，以所識(shí)別的基板的安裝區(qū)域和零件的位置彼此一致的方式對(duì) 零件進(jìn)行位置修正，從而將零件暫時(shí)壓接于基板的安裝區(qū)域。根據(jù)本發(fā)明的第九方式，提供一種如第一 八方式中任一方式所述的零件安裝裝 置，其中，還具備隔斷裝置，所述隔斷裝置在輸送裝置和各作業(yè)裝置之間，禁止在兩裝置之 間的物體的移動(dòng)。根據(jù)本發(fā)明的第十方式，提供一種零件安裝方法，具備輸送工序，其利用輸送裝置，對(duì)平板狀的基板以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)進(jìn)行吸附保持，將 所吸附保持的基板在沿其平板面的方向上輸送，并且在沿基板的輸送方向設(shè)定的多個(gè)基板 交接位置進(jìn)行基板的交接；作業(yè)工序，其利用分別對(duì)應(yīng)于多個(gè)基板交接位置而配置的作業(yè)裝置，在作業(yè)位置 對(duì)安裝零件的安裝區(qū)域進(jìn)行用于零件安裝的作業(yè)處理，其中，所述安裝區(qū)域設(shè)置于實(shí)質(zhì)上 垂直姿勢(shì)的基板的下方側(cè)緣部，各作業(yè)工序包括第一作業(yè)工序，其在輸送裝置的基板交接位置，對(duì)至少除實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)的基板 的下方側(cè)緣部的安裝區(qū)域以外的基板的平板面進(jìn)行吸附保持，并以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)將基板 定位在位于基板交接位置下方的作業(yè)位置；第二作業(yè)工序，其使承載部件向定位于作業(yè)位置的基板的安裝區(qū)域的相反側(cè)的面 即背面移動(dòng)，并從基板的表面?zhèn)葘?duì)處于由承載部件從基板的背面?zhèn)戎С谢宓陌惭b區(qū)域的 狀態(tài)的基板的安裝區(qū)域進(jìn)行作業(yè)處理。
根據(jù)本發(fā)明的零件安裝裝置，由于以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)處理基板，因此，能夠減小裝 置結(jié)構(gòu)及其設(shè)置面積，并能夠大幅度地將設(shè)備成本低廉化。另外，由于將基板從輸送裝置交 接于作業(yè)裝置進(jìn)行安裝作業(yè)，因此，無(wú)需特別提高輸送裝置的精度，并且，即使基板為薄型 或大型且面剛性小，也無(wú)需設(shè)置用于確保平面度的復(fù)雜機(jī)構(gòu)，也無(wú)需進(jìn)行用于確保平面度 的動(dòng)作。因此，在基板的輸送中及對(duì)基板進(jìn)行作業(yè)處理之際，能夠維持基板的平面度，并且 能夠用簡(jiǎn)單的裝置結(jié)構(gòu)以高位置精度安裝零件。根據(jù)本發(fā)明的零件安裝方法，由于以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)處理基板，因此，能夠減小為 實(shí)施零件安裝方法而所需的裝置結(jié)構(gòu)及其設(shè)置面積，能夠大幅度地將設(shè)備成本低廉化。另 外，由于將基板從輸送裝置交接于作業(yè)裝置進(jìn)行安裝作業(yè)，因此，無(wú)需特別提高輸送裝置的 精度，并且，即使基板為薄型或大型且面剛性小，也無(wú)需設(shè)置用于確保平面度的復(fù)雜機(jī)構(gòu)， 也無(wú)需進(jìn)行用于確保平面度的動(dòng)作。因此，在基板的輸送中及對(duì)基板進(jìn)行作業(yè)處理之際，能 夠維持基板的平面度，并且能夠用簡(jiǎn)單的裝置結(jié)構(gòu)以高位置精度安裝零件。


本發(fā)明的上述方式和特征根據(jù)與針對(duì)附圖的優(yōu)選實(shí)施方式相關(guān)的下述記載而明 確。在附圖中，圖IA是表示本發(fā)明第一實(shí)施方式的零件安裝裝置的基本結(jié)構(gòu)的概念圖(俯視 圖)；圖IB是表示第一實(shí)施方式的變形例的零件安裝裝置的基本結(jié)構(gòu)的概念圖(俯視 圖)；圖2是表示第一實(shí)施方式的零件安裝工序的立體圖；圖3是第一實(shí)施方式的零件安裝裝置所具備的輸送裝置的主視圖；圖4是表示第一實(shí)施方式的零件安裝裝置的整體概要結(jié)構(gòu)的立體圖；圖5是表示第一實(shí)施方式的零件安裝裝置的概要結(jié)構(gòu)的俯視圖；圖6A是第一實(shí)施方式的零件安裝裝置的ACF粘貼裝置的結(jié)構(gòu)和動(dòng)作的說(shuō)明圖，是 對(duì)將基板定位于作業(yè)位置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的側(cè)視圖；圖6B是第一實(shí)施方式的零件安裝裝置的ACF粘貼裝置的結(jié)構(gòu)和動(dòng)作的說(shuō)明圖，是 對(duì)支承基板的緣部并粘貼ACF的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的側(cè)視圖；圖7A是表示第一實(shí)施方式的零件安裝裝置的ACF粘貼裝置的動(dòng)作工序的圖，是表 示輸送裝置和ACF粘貼裝置之間的基板的交接工序的側(cè)視圖；圖7B是表示第一實(shí)施方式的零件安裝裝置的ACF粘貼裝置的動(dòng)作工序的圖，是表 示ACF粘貼工序的側(cè)視圖；圖8A是表示第一實(shí)施方式的零件安裝裝置的零件暫時(shí)壓接裝置的動(dòng)作工序的 圖，是表示輸送裝置和零件暫時(shí)壓接裝置之間的基板的交接工序的側(cè)視圖；圖8B是表示第一實(shí)施方式的零件安裝裝置的零件暫時(shí)壓接裝置的動(dòng)作工序的 圖，是表示零件暫時(shí)壓接工序的側(cè)視圖；圖9是第一實(shí)施方式的零件安裝裝置提供的正式壓接裝置的側(cè)視圖；圖10是第一實(shí)施方式的正式壓接裝置的正式壓接單元的側(cè)視圖；圖IlA是表示第一實(shí)施方式的零件安裝裝置的正式壓接裝置的動(dòng)作工序的圖，是
9表示輸送裝置和正式壓接裝置之間的基板的交接工序的側(cè)視圖；圖IlB是表示第一實(shí)施方式的零件安裝裝置的正式壓接裝置的動(dòng)作工序的圖，是 表示壓接工序的側(cè)視圖；圖12A是表示該第一實(shí)施方式的零件安裝工序中的基板狀態(tài)的側(cè)視圖；圖12B是表示現(xiàn)有例的零件安裝工序中的基板狀態(tài)的側(cè)視圖；圖13是表示第一實(shí)施方式的零件安裝裝置的基板旋轉(zhuǎn)動(dòng)作時(shí)的狀態(tài)的主視圖；圖14是本發(fā)明第二實(shí)施方式的零件安裝裝置的正式壓接裝置的立體圖；圖15是第二實(shí)施方式的零件安裝裝置的正式壓接裝置所具備的正式壓接單元的 側(cè)視圖；圖16是第二實(shí)施方式的正式壓接裝置的變形結(jié)構(gòu)例的正式壓接單元的側(cè)視圖；圖17是第二實(shí)施方式的正式壓接裝置中的正式壓接單元的動(dòng)作工序的時(shí)間圖；圖18A是表示本發(fā)明第三實(shí)施方式的零件安裝裝置所具備的正式壓接裝置的圖， 是表示通常動(dòng)作狀態(tài)的側(cè)視圖；圖18B是表示本發(fā)明第三實(shí)施方式的零件安裝裝置的正式壓接裝置的圖，是表示 使隔斷裝置動(dòng)作的狀態(tài)的側(cè)視圖；圖19A是對(duì)本發(fā)明第四實(shí)施方式的零件安裝裝置的一個(gè)使用方式的例子進(jìn)行說(shuō) 明的俯視圖；圖19B是對(duì)與圖19A不同的使用方式的例子進(jìn)行說(shuō)明的俯視圖；圖20是將本發(fā)明的零件安裝裝置應(yīng)用于經(jīng)由安裝于基板緣部的零件而在基板上 進(jìn)一步安裝印刷電路基板的工序中的例子的側(cè)視圖；圖21A是表示經(jīng)由安裝于基板緣部的零件而安裝印刷電路基板的現(xiàn)有例的圖，是 安裝有印刷電路基板的狀態(tài)的俯視圖；圖21B是表示經(jīng)由安裝于基板緣部的零件而安裝印刷電路基板的現(xiàn)有例的圖，是 安裝有印刷電路基板的狀態(tài)的主視圖；圖22是表示現(xiàn)有例的對(duì)水平基板安裝零件的零件安裝工序的立體圖。
具體實(shí)施例方式在繼續(xù)本發(fā)明的記述之前，在附圖中，對(duì)于相同的零件標(biāo)注相同的參照符號(hào)。下面，參照?qǐng)D1 圖21，對(duì)將本發(fā)明應(yīng)用于在IXD及PDP玻璃基板等基板上安裝 TCP及COF等零件的零件安裝裝置的各實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。(第一實(shí)施方式)首先，參照?qǐng)D1 圖13對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的零件安裝裝置進(jìn)行說(shuō)明。在圖1A、圖IB及圖2中，該第一實(shí)施方式的安裝對(duì)象即基板1例如將一個(gè)邊長(zhǎng)為 數(shù)IOOmm 2000mm左右的長(zhǎng)方形且0. 5 0. 7mm左右厚度的兩塊玻璃板貼合而形成為平 板狀。在基板1中，彼此相鄰的長(zhǎng)邊和短邊的兩個(gè)緣部2a、2b是所貼合的玻璃板中僅一塊 玻璃板突出的部分，在各自的緣部2a、2b中的一塊玻璃板的表面配置有安裝零件的區(qū)域即 多個(gè)安裝區(qū)域3。在各安裝區(qū)域3隔開(kāi)間隔配置有多個(gè)連接電極部，所述連接電極部通過(guò)透 明電極即許多連接電極以細(xì)微間隙并聯(lián)配置而形成。當(dāng)將該基板1搬入零件安裝裝置10 時(shí)，以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)被輸送裝置11吸附保持的基板1在以沿基板1的平板面的方向?yàn)檩斔头较虻妮斔途€Ila上進(jìn)行輸送(輸送工序)。這種平板狀的基板1也可以稱為例如“面 板基板”或“面板”。在零件安裝裝置10中，在由輸送裝置11輸送基板1期間，依次進(jìn)行如下工序，即， ACF粘貼工序，其在設(shè)置于基板1的緣部2a、2b的各安裝區(qū)域3粘貼接合部件即各向異性導(dǎo) 電薄膜(以下，稱為ACF) 4 ；零件暫時(shí)壓接工序，其經(jīng)由粘貼于各安裝區(qū)域3的ACF4 JfTCP 等零件5加熱加壓而暫時(shí)壓接于各安裝區(qū)域3 ；零件正式壓接工序，其以比零件暫時(shí)壓接工 序高的溫度和壓力將暫時(shí)壓接的零件5加熱加壓，將基板1的連接電極和零件5的連接電 極相互連接，并在該狀態(tài)下使ACF4固化，從而將零件5固定于基板1。在零件安裝裝置10 中，通過(guò)進(jìn)行上述各作業(yè)工序，將零件5安裝于基板1的緣部2a、2b的各安裝區(qū)域3，并搬出 安裝有零件5的基板1。另外，在圖IA及圖2中，在不同的工序中進(jìn)行暫時(shí)壓接于長(zhǎng)邊側(cè)的 緣部2a的零件5的正式壓接、和暫時(shí)壓接于短邊側(cè)的緣部2b的零件5的正式壓接，但也可 以代替這種情況，如圖IB所示，在單一工序中進(jìn)行對(duì)暫時(shí)壓接于長(zhǎng)邊側(cè)的緣部2a及短邊側(cè) 的緣部2b的零件5的正式壓接。為了執(zhí)行如上所述的各安裝工序，零件安裝裝置10以沿著沿基板1的平板面的方 向即輸送裝置11的輸送方向(X軸方向)相互鄰接的方式配置有如下裝置(參照?qǐng)D1A)， 即ACF粘貼裝置12，其進(jìn)行ACF粘貼作業(yè)；零件暫時(shí)壓接裝置13，其進(jìn)行零件暫時(shí)壓接作 業(yè)；正式壓接裝置14、15，其對(duì)基板1的長(zhǎng)邊側(cè)的緣部2a和短邊側(cè)的緣部2b分別進(jìn)行零件 的正式壓接作業(yè)。另外，也可以是如下情況，即，代替圖IA的正式壓接裝置14、15，將對(duì)基 板1的長(zhǎng)邊側(cè)的緣部2a及短邊側(cè)的緣部2b進(jìn)行零件正式壓接作業(yè)的單一的正式壓接裝置 14(參照?qǐng)D1B)裝設(shè)于零件安裝裝置10。另外，在圖IA及圖IB中，參照符號(hào)16所示的裝 置是零件暫時(shí)壓接裝置13具備的零件供給裝置。另外，在以下的說(shuō)明中，在對(duì)ACF粘貼裝 置12、零件暫時(shí)壓接裝置13以及正式壓接裝置14、15通用的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明時(shí)，有時(shí)簡(jiǎn)單地 稱為作業(yè)裝置12 15。另外，在該第一實(shí)施方式中，ACF粘貼作業(yè)、零件暫時(shí)壓接作業(yè)、及 正式壓接作業(yè)為用于將零件5安裝于基板1的作業(yè)處理的一個(gè)例子。如圖3 圖5所示，在輸送裝置11中，沿構(gòu)成輸送線Ila的連續(xù)的單一輸送路徑 構(gòu)成部件17，分別對(duì)應(yīng)于作業(yè)裝置12 15設(shè)有可彼此獨(dú)立地往復(fù)移動(dòng)的多個(gè)基板輸送單 元18。在基板的搬入位置和與各作業(yè)裝置12 15對(duì)向的位置即基板交接位置和基板的搬 出位置之間，各基板輸送單元18與其他基板輸送單元18可以獨(dú)立地往復(fù)移動(dòng)。如圖7A、圖7B、圖8A、圖8B、及圖9所示，各基板輸送單元18具備輸送用基板保 持部19，其對(duì)基板1以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)進(jìn)行吸附保持；升降裝置20，其將輸送用基板保持部 19沿上下方向即垂直方向移動(dòng)及定位；水平方向進(jìn)退移動(dòng)裝置21，其使輸送用基板保持部 19向作業(yè)裝置沿水平方向(即，Y軸方向)進(jìn)行進(jìn)退動(dòng)作，以將輸送用基板保持部19所吸 附保持的基板1相對(duì)于各作業(yè)裝置12 15進(jìn)行交接；旋轉(zhuǎn)裝置22，其使輸送用基板保持 部19繞水平軸心(即，繞與基板1的平板面正交的旋轉(zhuǎn)軸)至少以大致90度的旋轉(zhuǎn)角度 范圍正反旋轉(zhuǎn)。在圖7A、圖7B、圖8A、圖8B、及圖9中，參照符號(hào)17a是輔助導(dǎo)向部件，所述 輔助導(dǎo)向部件與輸送線Ila平行地配置于輸送路徑構(gòu)成部件17的下部，支承并引導(dǎo)基板輸 送單元18的下部以確保其沿輸送方向移動(dòng)自如。各作業(yè)裝置12 15具備基板保持部23，所述基板保持部23對(duì)從基板輸送單元 18交接來(lái)的實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)的基板1，吸附至少除其緣部2a、2b的安裝區(qū)域3以外的平板面而進(jìn)行保持。另外，如圖6A所示，各作業(yè)裝置12 15具備保持部升降裝置(保持部移 動(dòng)裝置的一個(gè)例子)24，所述保持部升降裝置24以如下方式使基板保持部23升降，S卩，使該 基板保持部23吸附保持的基板1從自基板輸送單元18接收的實(shí)線所示的基板交接位置下 降到其下方的假想線(雙點(diǎn)劃線)所示的作業(yè)位置進(jìn)行定位，在作業(yè)處理結(jié)束后，上升到相 對(duì)于基板輸送單元18的基板交接位置。下面，對(duì)各作業(yè)裝置12 15的各自固有的結(jié)構(gòu)和 動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。首先，參照?qǐng)D4、圖6A、圖6B、圖7A、及圖7B對(duì)ACF粘貼裝置12的結(jié)構(gòu)及動(dòng)作進(jìn)行 說(shuō)明。如圖6B所示，ACF粘貼裝置12具備通過(guò)組合承載部件25和粘貼頭26而構(gòu)成的多 個(gè)ACF粘貼單元(作業(yè)單元的一個(gè)例子)27。所述承載部件25能夠在支承位置(圖6B的 實(shí)線位置)和從支承位置退避的退避位置(圖6B的假想線(雙點(diǎn)劃線)位置)之間移動(dòng)， 所述支承位置是從定位于作業(yè)位置的基板1的下方側(cè)緣部2a或2b的安裝區(qū)域3的相反側(cè) 的面即基板1的背面?zhèn)戎С性摪惭b區(qū)域3的位置。所述粘貼頭26從定位于作業(yè)位置的基 板1的安裝區(qū)域3側(cè)即基板1的表面?zhèn)认鄬?duì)于該安裝區(qū)域3粘貼ACF4。如圖4所示，作為 多個(gè)ACF粘貼單元27，例如在圖示例子中，ACF粘貼裝置12對(duì)應(yīng)于長(zhǎng)邊緣部2a的安裝區(qū)域 3的數(shù)量裝設(shè)有三臺(tái)ACF粘貼單元27。另外，在ACF粘貼裝置12中，各ACF粘貼單元27沿 基板1的緣部2a、2b(即，沿X軸方向)分別獨(dú)立或分別通過(guò)獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)而移動(dòng)自如地支承 于直線導(dǎo)向件28，通過(guò)直線電動(dòng)機(jī)(未圖示)，使配置于直線導(dǎo)向件28上的多個(gè)ACF粘貼 單元27移動(dòng)，通過(guò)變更各自的配置間隔及位置而能夠進(jìn)行定位。在該ACF粘貼裝置12中，如圖6A及圖7A所示，當(dāng)將基板1從輸送裝置11接收于 基板保持部23時(shí)，如圖6B及圖7B所示，使基板1下降到作業(yè)位置而定位，在使ACF粘貼單 元27動(dòng)作而從基板1的安裝區(qū)域3的背面?zhèn)戎С杏诔休d部件25的狀態(tài)下，利用粘貼頭26 從表面?zhèn)葘CF4粘貼于安裝區(qū)域3。此時(shí)，在該第一實(shí)施方式中，如圖3及圖4所示，利用 以分別與各安裝區(qū)域3對(duì)向的方式進(jìn)行了移動(dòng)及定位的多個(gè)ACF粘貼單元27，一次性或依 次將ACF4對(duì)準(zhǔn)三個(gè)安裝區(qū)域3而粘貼于基板1的一緣部即長(zhǎng)邊側(cè)的緣部2a。之后，使基板 保持部23從作業(yè)位置上升到基板交接位置，將基板1交接于輸送裝置11的輸送用基板保 持部19，通過(guò)由旋轉(zhuǎn)裝置22使輸送用基板保持部19旋轉(zhuǎn)90度，使基板1的另一緣部即短 邊側(cè)的緣部2b位于下方側(cè)。與此同時(shí)，使升降裝置20動(dòng)作，使該下方側(cè)的緣部2b位于用 于向基板保持部23交接基板1的基板交接位置的規(guī)定高度位置。之后，再如圖6A及圖7A 所示，將基板1從輸送裝置11交接于基板保持部23，如圖6B及圖7B所示，使基板1下降 到作業(yè)位置而定位，與相對(duì)于緣部2a粘貼ACF4的粘貼動(dòng)作同樣地，將ACF4粘貼于緣部2b 的安裝區(qū)域3。此時(shí)，在該第一實(shí)施方式中，由于基板1的短邊側(cè)的緣部2b具有兩個(gè)安裝 區(qū)域3，因此，使三個(gè)ACF粘貼單元27內(nèi)的兩個(gè)對(duì)向配置于各安裝區(qū)域3，剩余的ACF粘貼 單元27在其側(cè)方位置以不與基板1干涉的方式退避而不進(jìn)行動(dòng)作。在這種狀態(tài)下，使兩個(gè) ACF粘貼單元27動(dòng)作而粘貼ACF4，之后，使基板保持部23上升到相對(duì)于輸送用基板保持部 19的基板交接位置，將基板1交接于輸送裝置11側(cè)的輸送用基板保持部19。之后，為了基 板1向下道工序輸送的輸送姿勢(shì)，在輸送裝置11中，通過(guò)旋轉(zhuǎn)裝置22使輸送用基板保持部 19恢復(fù)旋轉(zhuǎn)90度，并且向下一零件暫時(shí)壓接裝置13輸送基板1。接著，參照?qǐng)D4、圖5、圖8A、及圖8B對(duì)零件暫時(shí)壓接裝置13的結(jié)構(gòu)及動(dòng)作進(jìn)行說(shuō) 明。零件暫時(shí)壓接裝置13裝設(shè)有可動(dòng)臺(tái)29，所述可動(dòng)臺(tái)29配置在定位于作業(yè)位置的基板
121的下方側(cè)的緣部2a或2b的安裝區(qū)域3的背面?zhèn)?，在沿基?的下方側(cè)的緣部2a或2b的 方向上移動(dòng)，從而可定位于基板1的各安裝區(qū)域3的位置。在該可動(dòng)臺(tái)29上搭載有承載 部件30，其能夠在從安裝區(qū)域3的背面?zhèn)戎С谢?的緣部2a或2b的支承位置和從支承 位置退避的退避位置之間進(jìn)退移動(dòng)，且由石英等透明部件形成；識(shí)別裝置即一對(duì)識(shí)別照相 機(jī)31，其通過(guò)透明的承載部件30來(lái)識(shí)別設(shè)置于安裝區(qū)域3及零件5的各自的規(guī)定位置處的 位置標(biāo)記(未圖示)。另外，在零件暫時(shí)壓接裝置13中，在基板1的下方側(cè)的緣部2a或2b 的表面?zhèn)妊b設(shè)有零件暫時(shí)壓接單元(作業(yè)單元的一個(gè)例子)32，所述零件暫時(shí)壓接單元32 將由零件供給裝置16供給的零件5 (5a、5b)暫時(shí)壓接在定位于作業(yè)位置的基板1的緣部2a 或2b的各安裝區(qū)域3。零件暫時(shí)壓接單元32具備零件供給裝置16，其進(jìn)行安裝于基板1的安裝區(qū)域3 的零件5的供給；暫時(shí)壓接頭35，其保持從零件供給裝置16供給的零件5，經(jīng)由ACF4將零 件5加熱、加壓而暫時(shí)壓接于位于作業(yè)位置的基板1的下方側(cè)的緣部2a或2b的安裝區(qū)域 3。零件供給裝置16具備零件交接部38，所述零件交接部38配置為可將從后述的帶狀零件 集合體取出的零件5交接于暫時(shí)壓接頭35，該零件交接部38位于作業(yè)位置的下方側(cè)。另 外，零件暫時(shí)壓接單元32具備雙軸機(jī)器人33，所述雙軸機(jī)器人33使暫時(shí)壓接頭35在沿基 板1的下方側(cè)的緣部2a或2b的方向即X軸方向、和鉛直方向即Z軸方向上移動(dòng)。通過(guò)該 雙軸機(jī)器人33使暫時(shí)壓接頭35沿X軸方向移動(dòng)，由此，能夠?qū)簳r(shí)壓接頭35相對(duì)于基板1 的下方側(cè)的緣部2a或2b的各自的安裝區(qū)域3定位。另外，通過(guò)該雙軸機(jī)器人33使暫時(shí)壓 接頭35沿Z軸方向移動(dòng)，由此，能夠使暫時(shí)壓接頭35在位于作業(yè)位置的狀態(tài)的基板1的下 方側(cè)的緣部2a或2b的各自的安裝區(qū)域3和零件供給裝置16的零件交接部38之間升降。 另外，暫時(shí)壓接頭35可繞沿垂直于基板1的平板面的方向即Y軸方向配置的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。 這樣，通過(guò)使暫時(shí)壓接頭35能夠沿各方向移動(dòng)，能夠?qū)⒐┙o到零件交接部38的零件5保持 于暫時(shí)壓接頭35，對(duì)零件5的位置進(jìn)行精度良好地位置修正，將零件5加熱、加壓而暫時(shí)壓 接于位于作業(yè)位置的基板1的緣部2a或2b的安裝區(qū)域3。零件供給裝置16具備零件供給單元36a，其供給向基板1的長(zhǎng)邊側(cè)(源極側(cè))的 緣部2a安裝的零件5a;零件供給單元36b，其供給向短邊側(cè)(柵極側(cè))的緣部2b安裝的零 件5b。零件供給單元36a和零件供給單元36b以使零件暫時(shí)壓接單元32的雙軸機(jī)器人33 的下端部處于大致中央的方式對(duì)稱地配置于X軸方向的兩側(cè)，在從后述的各帶狀零件集合 體取出零件5a、5b的位置，以彼此對(duì)向的方式配置有零件取出部37a、37b。另外，零件供給 裝置16還裝設(shè)有移送頭39，所述移送頭39將由各零件取出部37a、37b取出的零件5 (5a、 5b)移送到零件交接部38。零件供給單元36a、36b分別具備卷繞有將多個(gè)零件5(5a、5b) 保持于保持帶的帶狀零件集合體的供給卷盤40、和回收由零件取出部37a、37b取出了零件 5(5a、5b)后的保持帶的卷取卷盤41，通過(guò)將帶狀零件集合體依次間歇進(jìn)給到零件取出部 37a、37b而能夠取出零件5 (5a、5b)。移送頭39被構(gòu)成為，吸附保持由任一零件取出部37a、 37b取出的零件5(5a、5b)，向零件交接部38移動(dòng)并交接于零件交接部38。零件交接部38 將所供給的零件5(5a、5b)吸附保持到交接于暫時(shí)壓接頭35。在該零件暫時(shí)壓接裝置13中，如圖8A所示，當(dāng)在基板交接位置將基板1從輸送裝 置11的輸送用基板保持部19接收于基板保持部23時(shí)，如圖8B所示，通過(guò)保持部升降裝置 24，使基板1從基板交接位置下降到作業(yè)位置而定位。之后，在由承載部件30從基板1的安裝區(qū)域3的背面?zhèn)戎С谢?的狀態(tài)下，通過(guò)零件暫時(shí)壓接單元32的暫時(shí)壓接頭35，從 表面?zhèn)葘⒘慵?加熱、加壓而暫時(shí)壓接于安裝區(qū)域3。詳細(xì)而言，當(dāng)基板1定位于作業(yè)位置 時(shí)，利用識(shí)別照相機(jī)31，從基板1的安裝區(qū)域3的背面?zhèn)雀呔鹊刈R(shí)別安裝區(qū)域3的基板1 的平板面方向的位置(即，XZ平面內(nèi)的位置)，之后，通過(guò)保持部升降裝置24將基板1從作 業(yè)位置暫時(shí)退避上升到上方。需要說(shuō)明的是，此時(shí)，也可以在承載部件30移動(dòng)到支承作業(yè) 位置的基板1的支承位置而將基板1的安裝區(qū)域3的基板1的厚度方向的位置限制到暫時(shí) 壓接時(shí)的位置即支承位置的狀態(tài)下，利用識(shí)別照相機(jī)31，識(shí)別基板1的安裝區(qū)域3的位置。 接著，通過(guò)零件暫時(shí)壓接單元32的暫時(shí)壓接頭35，使暫時(shí)壓接于安裝區(qū)域3的零件5移動(dòng) 到暫時(shí)壓接位置，由識(shí)別照相機(jī)31高精度地識(shí)別零件5的位置，之后，通過(guò)暫時(shí)壓接頭35， 使零件5從暫時(shí)壓接位置暫時(shí)退避移動(dòng)。接著，通過(guò)保持部升降裝置24，將基板1再次定位 于作業(yè)位置，基于之先識(shí)別的安裝區(qū)域3的位置信息和零件5的位置信息，以兩位置彼此一 致的方式，由暫時(shí)壓接頭35修正零件5的位置，通過(guò)暫時(shí)壓接頭35將零件5加熱加壓而暫 時(shí)壓接于基板1的安裝區(qū)域3。零件5向基板1的安裝區(qū)域3的暫時(shí)壓接順序不局限于這種方法，可以采用其他 各種方法。例如，也可以為按照后述的動(dòng)作順序進(jìn)行如下的動(dòng)作，所述動(dòng)作為通過(guò)保持部 升降裝置24，使基板1從基板交接位置下降到作業(yè)位置而定位，在由承載部件30從基板1 的安裝區(qū)域3的背面?zhèn)戎С谢?的狀態(tài)下，通過(guò)零件暫時(shí)壓接單元32的暫時(shí)壓接頭35， 從表面?zhèn)葘⒘慵?暫時(shí)壓接。所述動(dòng)作順序?yàn)槭紫龋ㄟ^(guò)暫時(shí)壓接頭35，使暫時(shí)壓接于安 裝區(qū)域3的零件5移動(dòng)到暫時(shí)壓接位置，利用識(shí)別照相機(jī)31，高精度地識(shí)別零件5的位置， 之后，通過(guò)暫時(shí)壓接頭35，使零件5從暫時(shí)壓接位置暫時(shí)退避移動(dòng)。之后，通過(guò)保持部升降 裝置24，使基板1的下方側(cè)的緣部2a或2b從基板交接位置下降到作業(yè)位置，且使承載部件 30移動(dòng)到支承基板1的安裝區(qū)域3的背面?zhèn)鹊奈恢?，利用識(shí)別照相機(jī)31，從安裝區(qū)域3的 背面?zhèn)雀呔鹊刈R(shí)別安裝區(qū)域3的基板1的平板面方向的位置。需要說(shuō)明的是，此時(shí)，也可 以在安裝區(qū)域3的位置識(shí)別后，由承載部件30從基板1的安裝區(qū)域3的背面?zhèn)戎С性摪惭b 區(qū)域3。接著，基于已識(shí)別的安裝區(qū)域3的位置信息和零件5的位置信息，以兩位置彼此一 致的方式，由暫時(shí)壓接頭35修正零件5的位置，通過(guò)暫時(shí)壓接頭35將零件5加熱、壓接而 暫時(shí)壓接于基板1的安裝區(qū)域3。通過(guò)設(shè)為這種動(dòng)作順序，能夠消減在基板1的安裝區(qū)域3 的位置識(shí)別后由保持部升降裝置24使基板1暫時(shí)向上方退避上升的時(shí)間、和再次向作業(yè)位 置定位的時(shí)間。這樣，當(dāng)完成零件5相對(duì)于緣部的一個(gè)安裝區(qū)域3的暫時(shí)壓接時(shí)，使搭載有承載部 件30及識(shí)別照相機(jī)31的可動(dòng)臺(tái)29和零件暫時(shí)壓接單元32移動(dòng)到與下一安裝區(qū)域3對(duì)向 的位置，按照上述的順序進(jìn)行零件暫時(shí)壓接動(dòng)作。需要說(shuō)明的是，零件暫時(shí)壓接單元32和 可動(dòng)臺(tái)29雖然設(shè)為分體，但也可以構(gòu)成為一體而移動(dòng)到對(duì)應(yīng)于基板1的安裝區(qū)域3的位 置。重復(fù)該動(dòng)作直到首先完成零件5 (5a)相對(duì)于基板1的一緣部即長(zhǎng)邊側(cè)的緣部2a的所 有安裝區(qū)域3的暫時(shí)壓接。接著，使基板保持部23從作業(yè)位置上升到基板交接位置，將基 板1交接于輸送裝置11側(cè)的輸送用基板保持部19，通過(guò)旋轉(zhuǎn)裝置22，使輸送用基板保持部 19旋轉(zhuǎn)90度，成為基板1的另一緣部即短邊側(cè)的緣部2b位于下方側(cè)的狀態(tài)。之后，以基板 1的下方側(cè)的緣部2b位于基板交接位置的規(guī)定高度位置的方式使升降裝置20動(dòng)作。接著， 如圖8A所示，在基板交接位置，將基板1再次從輸送裝置11交接于基板保持部23，如圖8B
14所示，使基板1下降到作業(yè)位置而定位，與上述的順序同樣地，將零件5 (Sb)暫時(shí)壓接于基 板1的短邊側(cè)的緣部2b的所有安裝區(qū)域3。之后，使基板保持部23從作業(yè)位置上升到基板 交接位置，將基板1交接于輸送裝置11的輸送用基板保持部19。之后，為了基板1向下道 工序輸送的輸送姿勢(shì)，在輸送裝置11中，通過(guò)旋轉(zhuǎn)裝置22使輸送用基板保持部19恢復(fù)旋 轉(zhuǎn)90度，并且向下一正式壓接裝置14輸送基板1。接著，參照?qǐng)D4、圖5、圖9、圖10、圖11A、及圖IlB對(duì)正式壓接裝置14的結(jié)構(gòu)及動(dòng) 作進(jìn)行說(shuō)明。如圖4、圖5所示，正式壓接裝置14具備由承載部件43和正式壓接頭44的組 合構(gòu)成的多個(gè)正式壓接單元(作業(yè)單元的一個(gè)例子)42。所述承載部件43能夠在支承位 置和從支承位置退避的退避位置之間移動(dòng)，所述支承位置是從定位于作業(yè)位置的基板1的 下方側(cè)的緣部2a的安裝區(qū)域3的背面?zhèn)戎С性摪惭b區(qū)域3的位置。所述正式壓接頭44對(duì) 暫時(shí)壓接于基板1的安裝區(qū)域3的零件5，以比暫時(shí)壓接高的溫度和壓力進(jìn)行加熱、加壓而 壓接(正式壓接)。如圖4所示，作為多個(gè)正式壓接單元42，例如，在圖示的例子中，正式壓 接裝置14與基板1的長(zhǎng)邊側(cè)緣部2a的安裝區(qū)域3的數(shù)量相對(duì)應(yīng)地裝設(shè)有三臺(tái)正式壓接單 元42。另外，在正式壓接裝置14中，這些正式壓接單元42沿基板1的緣部2a (即，沿X軸 方向)分別獨(dú)立或分別通過(guò)獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)而移動(dòng)自如地支承于直線導(dǎo)向件45，通過(guò)直線電動(dòng) 機(jī)(未圖示)，使配置于直線導(dǎo)向件45上的多個(gè)正式壓接單元42移動(dòng)，通過(guò)變更各自的配 置間隔及位置而能夠進(jìn)行定位。利用圖9、圖10、圖11A、及圖IlB對(duì)正式壓接裝置14的更具體的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。 各正式壓接單元42具備移動(dòng)支承臺(tái)46，所述移動(dòng)支承臺(tái)46可沿著沿基板1的平板面的方 向即直線導(dǎo)向件45的方向(即，X軸方向)分別獨(dú)立或分別通過(guò)獨(dú)立的驅(qū)動(dòng)而移動(dòng)及定位。 在移動(dòng)支承臺(tái)46的上部搭載有承載部件43，其從定位于作業(yè)位置的基板1的下方側(cè)緣部 2a的安裝區(qū)域3的背面?zhèn)戎С性摪惭b區(qū)域3 ；正式壓接頭44，其對(duì)暫時(shí)壓接于表面?zhèn)鹊牧?件5進(jìn)行加熱、加壓。承載部件43在支承位置和退避位置之間可沿Y軸方向進(jìn)退移動(dòng)，正 式壓接頭44通過(guò)滑動(dòng)導(dǎo)向件47可相對(duì)于承載部件43(即，沿Y軸方向)進(jìn)退移動(dòng)。在移 動(dòng)支承臺(tái)46的下部以位于正式壓接頭44的下方的方式配置有氣缸裝置48，其活塞桿前端 48a和正式壓接頭44的與基板1的緣部2a側(cè)相反側(cè)的后端44a可轉(zhuǎn)動(dòng)地連結(jié)于擺動(dòng)聯(lián)桿 49的上下端，所述擺動(dòng)聯(lián)桿49擺動(dòng)自如地支承在中間部設(shè)置于移動(dòng)支承臺(tái)46的支軸50 上。由此，通過(guò)使氣缸裝置48沿Y軸方向進(jìn)退動(dòng)作，可以經(jīng)由擺動(dòng)聯(lián)桿49使正式壓接頭44 沿Y軸方向進(jìn)退動(dòng)作，并由正式壓接頭44進(jìn)行正式壓接動(dòng)作。另外，圖10的參照符號(hào)46a 是設(shè)置于移動(dòng)支承臺(tái)46的電動(dòng)機(jī)，經(jīng)由齒輪齒條機(jī)構(gòu)(未圖示)等，將移動(dòng)支承臺(tái)46進(jìn)行 移動(dòng)、定位。在該正式壓接裝置14中，如圖IlA所示，當(dāng)在基板交接位置將基板1從輸送裝置 11的輸送用基板保持部19接收于基板保持部23時(shí)，如圖IlB所示，使基板1下降到對(duì)基板 1的緣部2a進(jìn)行零件的正式壓接作業(yè)的作業(yè)位置而定位。之后，在使正式壓接頭42動(dòng)作而 由承載部件43從基板1的長(zhǎng)邊側(cè)緣部2a的各安裝區(qū)域3的背面?zhèn)戎С性摳靼惭b區(qū)域3的 狀態(tài)下，通過(guò)壓接頭44從表面?zhèn)葘⒘慵?的暫時(shí)壓接部分加熱、加壓而正式壓接。此時(shí)，在 該第一實(shí)施方式中，如圖3及圖4所示，通過(guò)三臺(tái)正式壓接單元42，將暫時(shí)壓接于基板1的 一緣部即長(zhǎng)邊側(cè)的緣部2a的三個(gè)零件5 —次性正式壓接。之后，使基板保持部23從作業(yè) 位置上升到基板交接位置，在基板交接位置，將基板1交接于輸送裝置11的輸送用基板保持部19，通過(guò)旋轉(zhuǎn)裝置22使輸送用基板保持部19旋轉(zhuǎn)90度，使基板1的另一緣部即短邊 側(cè)的緣部2b位于下方側(cè)。與此同時(shí)，以該下方側(cè)的緣部2b成為基板1向下道工序的基板 保持部23交接的基板交接位置的規(guī)定高度位置的方式使升降裝置20動(dòng)作，向下一正式壓 接裝置15輸送基板1。如圖4所示，正式壓接裝置15是將暫時(shí)壓接在定位于作業(yè)位置的基板1的短邊側(cè) 的緣部2b的各安裝區(qū)域3的零件5正式壓接的裝置，對(duì)應(yīng)于短邊側(cè)的緣部2b的安裝區(qū)域 3的數(shù)量裝設(shè)有兩臺(tái)正式壓接單元42，這一點(diǎn)與正式壓接裝置14的結(jié)構(gòu)不同，其他結(jié)構(gòu)及 動(dòng)作與正式壓接裝置14相同，省略其說(shuō)明。另外，上述的輸送裝置11、ACF粘貼裝置12、零 件暫時(shí)壓接裝置13及正式壓接裝置14、15連接于控制裝置(未圖示)，由控制裝置進(jìn)行動(dòng) 作控制，以進(jìn)行上述說(shuō)明的各自的動(dòng)作。根據(jù)上述該第一實(shí)施方式的零件安裝裝置，如圖12A所示，由于在將基板1置于實(shí) 質(zhì)上垂直姿勢(shì)的狀態(tài)下進(jìn)行用于輸送和安裝的規(guī)定的作業(yè)處理，因此，與如圖12B所示在 將基板1置于水平姿勢(shì)的狀態(tài)下進(jìn)行輸送和作業(yè)處理的現(xiàn)有零件安裝裝置相比，能夠減小 裝置結(jié)構(gòu)及其設(shè)置面積。因此，在處理特大型的基板1的零件安裝裝置中，能夠大幅度地降 低設(shè)備成本。而且，由于基板1為實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)，因此，在用輸送用基板保持部19及基板 保持部23吸附保持基板1的狀態(tài)下，幾乎不會(huì)對(duì)基板1作用在其整個(gè)面上沿厚度方向(與 基板1的平板面正交的方向)撓曲或沿厚度方向剝離那樣的力。因此，在基板1為例如大型 的顯示器面板用的玻璃基板的情況下，也能夠降低對(duì)其顯示功能帶來(lái)不良影響的可能性。另外，在該第一實(shí)施方式中，在輸送裝置11和各作業(yè)裝置12 15之間，以實(shí)質(zhì)上 垂直姿勢(shì)交接基板1，在各作業(yè)裝置12 15中，以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)接收基板1并將其定位 于下方的作業(yè)位置(第一作業(yè)工序)，通過(guò)承載部件25、30、43，在基板1的下方側(cè)的緣部從 背面?zhèn)冗M(jìn)行支承進(jìn)行作業(yè)處理(第二作業(yè)工序)。另一方面，在現(xiàn)有技術(shù)的水平姿勢(shì)下，如 圖12B所示，基板1自身及進(jìn)行了暫時(shí)壓接等的狀態(tài)的零件5，通過(guò)其自重會(huì)發(fā)生撓曲及下 垂。相對(duì)于此，在該第一實(shí)施方式中，由于基板1以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)進(jìn)行處理，因此，即使基 板1為大型或薄型且面剛性低那樣的基板，基板1的自重也不會(huì)以使平板面撓曲的方式起 作用。因此，不需要設(shè)置用于確保基板1的平面度的復(fù)雜機(jī)構(gòu)或進(jìn)行用于確?；?的平 面度的動(dòng)作，就能夠如圖12A所示在輸送中及作業(yè)處理時(shí)維持基板1的平面度。因此，用簡(jiǎn) 單的裝置結(jié)構(gòu)，就能夠以高的位置精度將零件安裝在設(shè)置于面剛性低的大型或薄型基板1 的緣部2a、2b的安裝區(qū)域3。另外，即使不特別提高零件安裝裝置10的橫跨全長(zhǎng)的成為大規(guī)模結(jié)構(gòu)的輸送裝 置11的精度，也能夠通過(guò)提高各作業(yè)裝置12 15、特別要求精度的零件暫時(shí)壓接裝置13 的精度來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度的零件安裝，并能夠用低廉的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)高精度的安裝。由此，輸送裝置 11也可以通過(guò)在輸送方向上多個(gè)分割的構(gòu)造組合，成為橫跨零件安裝裝置全長(zhǎng)的結(jié)構(gòu)。另 外，當(dāng)在各作業(yè)裝置12 15對(duì)基板1的一個(gè)緣部2a或2b的安裝區(qū)域3的作業(yè)處理結(jié)束 后，從各作業(yè)裝置12 15將基板1交接于輸送裝置11，將基板1在輸送裝置11側(cè)旋轉(zhuǎn)90 度。而且，在輸送裝置中，能夠變更地設(shè)定基板的交接高度，以使基板的下方側(cè)緣部的下端 部或暫時(shí)壓接于安裝區(qū)域等的零件的下端部成為向作業(yè)裝置交接的基板交接位置的基準(zhǔn) 高度，由此，在各作業(yè)裝置12 15中，從基板交接位置下降規(guī)定的大致一定距離到作業(yè)位 置而進(jìn)行作業(yè)處理。因此，能夠?qū)⒏髯鳂I(yè)裝置12 15形成為簡(jiǎn)單且緊湊的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)
16裝置成本的降低。另外，在如現(xiàn)有技術(shù)那樣以水平姿勢(shì)輸送基板進(jìn)行零件安裝的面向大型 基板的零件安裝裝置中，當(dāng)進(jìn)行對(duì)小型基板的零件安裝時(shí)，即使基板為小型，也得通過(guò)移動(dòng) 裝置支承基板的下表面中央部側(cè)來(lái)對(duì)作業(yè)裝置進(jìn)行定位，因此，定位動(dòng)作時(shí)的移動(dòng)距離變 大。另外，在現(xiàn)有的以水平姿勢(shì)進(jìn)行的輸送中，由于基板的輸送距離也與大型基板的情況相 同，因此，在小型基板的情況下，需要減小生產(chǎn)節(jié)拍提高生產(chǎn)率，盡管如此，定位動(dòng)作的節(jié)拍 反倒比大型基板的情況長(zhǎng)，存在生產(chǎn)率下降之類的問(wèn)題。因此，在現(xiàn)有裝置中，需要根據(jù)大 型基板和小型基板不同的規(guī)格來(lái)設(shè)計(jì)、制造零件安裝裝置，存在設(shè)備成本巨大之類的問(wèn)題。 與此相對(duì)，在該第一實(shí)施方式的采用垂直姿勢(shì)的輸送的零件安裝裝置中，即使基板1的尺 寸變化，也能夠與基板1的尺寸大小無(wú)關(guān)地以較短的節(jié)拍進(jìn)行安裝作業(yè)，在用同一設(shè)備對(duì) 從小尺寸的基板到大尺寸的基板進(jìn)行零件安裝的情況下，也能夠確保高生產(chǎn)率。另外，在該第一實(shí)施方式中，當(dāng)在各作業(yè)裝置12 15對(duì)基板1的一個(gè)緣部2a或 2b的安裝區(qū)域3的作業(yè)處理結(jié)束后，從各作業(yè)裝置12 15將基板1交接于輸送裝置11的 輸送用基板保持部19，通過(guò)旋轉(zhuǎn)裝置22使基板1在輸送裝置11側(cè)旋轉(zhuǎn)90度，進(jìn)而，可以通 過(guò)升降裝置20使輸送用基板保持部19升降。因此，通過(guò)調(diào)節(jié)該旋轉(zhuǎn)動(dòng)作時(shí)的輸送用基板 保持部19的高度位置，如圖9及圖13所示，即使在基板1為大型的情況下，也能夠在旋轉(zhuǎn) 裝置20實(shí)現(xiàn)的基板1的最大旋轉(zhuǎn)半徑軌跡51的上端和設(shè)備的頂面52之間確保規(guī)定的安 全距離d。此時(shí)，最大旋轉(zhuǎn)半徑軌跡51的下部穿過(guò)距作業(yè)裝置12 15 (在圖13中，例示正 式壓接裝置14)的上端位置相當(dāng)于距離H的下方的位置，但如圖9所示，由于輸送裝置11 相對(duì)于比各作業(yè)裝置12 15靠跟前的作業(yè)者側(cè)，位于各作業(yè)裝置12 15的相反側(cè)(內(nèi) 側(cè))的側(cè)方，因此，在基板1的輸送裝置11的旋轉(zhuǎn)裝置22的旋轉(zhuǎn)時(shí)，完全沒(méi)有干涉的可能 性。因此，如圖9及圖13所示，僅在輸送裝置11的下部確保用于基板1旋轉(zhuǎn)的適當(dāng)?shù)目臻g 即可。另外，在如現(xiàn)有那樣以水平姿勢(shì)輸送基板而進(jìn)行零件安裝的零件安裝裝置中，輸 送裝置及作業(yè)裝置的水平面尺寸大，并且，作業(yè)裝置通過(guò)移動(dòng)裝置使從輸送裝置接收的基 板向位于遠(yuǎn)離輸送裝置的位置的作業(yè)單元的作業(yè)位置移動(dòng)而定位，因此，從輸送裝置跟前 到作業(yè)裝置的作業(yè)位置或作業(yè)單元的距離增大。因而，這些裝置的維護(hù)保養(yǎng)時(shí)的作業(yè)性極 差，存在各作業(yè)裝置的每次維護(hù)保養(yǎng)都必須將機(jī)械設(shè)備的整體運(yùn)轉(zhuǎn)停止之類的問(wèn)題。與此 相對(duì)，在該第一實(shí)施方式中，由于以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)處理基板1，因此，比各作業(yè)裝置12 15靠跟前的作業(yè)者側(cè)和各作業(yè)裝置12 15的空間、及輸送裝置11和作業(yè)裝置12 15之 間的空間變小，因此也能夠容易地進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)作業(yè)。(第二實(shí)施方式)接著，參照?qǐng)D14 17對(duì)本發(fā)明第二實(shí)施方式的零件安裝裝置進(jìn)行說(shuō)明。另外， 在以下的該第二實(shí)施方式的說(shuō)明中，對(duì)與上述的實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)要素標(biāo)注同一參照符 號(hào)，省略其說(shuō)明，主要對(duì)不同點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。該第二實(shí)施方式的零件安裝裝置只有正式壓接裝置14、15的結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí) 施方式不同，另外，正式壓接裝置14和正式壓接裝置15的結(jié)構(gòu)也如上所述彼此基本相同， 因此，以兩正式壓接裝置14及15為代表，對(duì)將暫時(shí)壓接于基板1的短邊側(cè)的緣部2b的兩 個(gè)零件5進(jìn)行正式壓接的正式壓接裝置15進(jìn)行說(shuō)明。在該第二實(shí)施方式的正式壓接裝置15中，如圖14及圖15所示，設(shè)有控制各正式壓接單元42的氣缸裝置48的正式壓接頭44的按壓動(dòng)作速度的速度控制裝置53。具體而 言，速度控制裝置53具備限制部件54和移動(dòng)控制裝置55，所述限制部件54與安裝于各正 式壓接單元42的氣缸裝置48的活塞桿前端48a和擺動(dòng)臂49的連結(jié)部的輥49a在氣缸裝 置48的進(jìn)退方向(圖示Y軸方向)上可離開(kāi)地卡合，所述移動(dòng)控制裝置55在氣缸裝置48 的進(jìn)退方向上對(duì)限制部件54進(jìn)行移動(dòng)控制。正式壓接單元42通過(guò)沿直線導(dǎo)向件45的滑 動(dòng)方向驅(qū)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)46a進(jìn)行移動(dòng)及定位。限制部件54延伸配置在與X軸方向的直線導(dǎo) 向件45的延伸范圍大致相同的長(zhǎng)度范圍內(nèi)。直線導(dǎo)向件45及移動(dòng)控制裝置55配設(shè)于共 用的基座部件56上，在將正式壓接單元42定位于X軸方向的滑動(dòng)范圍內(nèi)的任何位置的情 況下，速度控制裝置53的限制部件54都能夠直接發(fā)揮功能、即可與輥49a抵接。另外，基 座部件56可沿X軸方向移動(dòng)及定位地配置于支承框架57上，所述支承框架57跨沿基板1 的輸送方向進(jìn)行各作業(yè)裝置12 15的至少一個(gè)作業(yè)工序的范圍(區(qū)域)沿X軸方向延伸 配置。因此，在基板1的尺寸變化較大且基板1的緣部2a、2b的安裝區(qū)域3的間隔大的情 況下，也能夠應(yīng)對(duì)。另外，在圖14及圖15的圖示例子中，例示了使用平板狀的基座部件56的例子，但 也可以如圖16所示，代替基座部件56，使用截面形狀L字狀且剛性更高的基座框架58，所 述基座框架58配置有直線導(dǎo)向件45，其引導(dǎo)支承移動(dòng)支承臺(tái)46的下表面使其移動(dòng)自如； 直線導(dǎo)向件59，其引導(dǎo)支承移動(dòng)支承臺(tái)46的輸送裝置11側(cè)的側(cè)面(圖示Y軸方向右側(cè)的 側(cè)面)使其移動(dòng)自如。在采用這種結(jié)構(gòu)的情況下，能夠?qū)⒄綁航訂卧?2構(gòu)成為可移動(dòng)， 同時(shí)通過(guò)基座框架58的剛性，能夠進(jìn)一步確保高位置精度。參照?qǐng)D17對(duì)該第二實(shí)施方式的正式壓接裝置15的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。在正式壓接動(dòng) 作的開(kāi)始時(shí)的時(shí)間Tl，輥49a和限制部件54之間隔開(kāi)距離，從該狀態(tài)起，從正式壓接頭44 的原點(diǎn)位置即氣缸裝置48收縮的位置開(kāi)始?xì)飧籽b置48的伸長(zhǎng)動(dòng)作。隨著氣缸裝置48的 伸長(zhǎng)動(dòng)作，通過(guò)擺動(dòng)桿49，正式壓接頭44向承載部件43移動(dòng)，使兩者的間隔逐漸變小。在 時(shí)間T2，當(dāng)正式壓接頭44和承載部件43之間的間隔為Dl時(shí)，輥49a與限制部件54抵接， 之后，輥49a的移動(dòng)速度受限制部件54的移動(dòng)速度的限制。通過(guò)氣缸裝置48的伸長(zhǎng)，正式 壓接頭44通過(guò)設(shè)有輥49a的擺動(dòng)臂49的擺動(dòng)動(dòng)作而向承載部件43的移動(dòng)與限制部件54 的移動(dòng)同步而被限制。通過(guò)移動(dòng)控制裝置55進(jìn)行控制，使得限制部件54的移動(dòng)速度在正 式壓接頭44和承載部件43之間的間隔達(dá)到正式壓接頭44與零件5抵接的規(guī)定間隔D2之 前被減速，從而可靠地防止正式壓接頭44與零件5沖擊性的抵接。在時(shí)間T3，當(dāng)正式壓接 頭44和承載部件43之間的間隔為D2而正式壓接頭44與零件5抵接時(shí)，輥49a的移動(dòng)大 致停止。另外，利用移動(dòng)控制裝置55，使限制部件54持續(xù)移動(dòng)到與輥49a以間隔且產(chǎn)生間 隙的方式稍離開(kāi)的規(guī)定位置，由此，限制部件54成為離開(kāi)輥49a的狀態(tài)。由此，氣缸裝置48 的輸出荷載通過(guò)擺動(dòng)桿49可靠地傳遞于正式壓接頭44，通過(guò)正式壓接頭44，以規(guī)定的按壓 力按壓零件5。通過(guò)該按壓狀態(tài)維持到時(shí)間T4，以零件5經(jīng)由ACF4正式壓接于基板1的下 方側(cè)的緣部2a、2b的安裝區(qū)域3的方式，由正式壓接頭44對(duì)零件5以規(guī)定的溫度和壓力進(jìn) 行加熱、加壓，由此零件5被正式壓接于基板1的安裝區(qū)域3。當(dāng)?shù)竭_(dá)時(shí)間T4時(shí)，氣缸裝置 48進(jìn)行恢復(fù)收縮動(dòng)作，按壓力被解除，在時(shí)間T5，正式壓接頭44恢復(fù)到原點(diǎn)位置。之后，限 制部件54也通過(guò)移動(dòng)控制裝置55而恢復(fù)到原點(diǎn)位置。這樣，在該第二實(shí)施方式中，裝設(shè)有速度控制裝置53，在速度控制裝置53通過(guò)氣缸裝置48使正式壓接頭44向承載部件43移動(dòng)的情況下，可與正式壓接單元42離開(kāi)和抵 接地控制該正式壓接頭44的移動(dòng)速度，由此，能夠使用簡(jiǎn)單且緊湊的氣缸裝置，同時(shí)能夠 以較短的節(jié)拍且不會(huì)沖擊性地加載負(fù)載地以所希望的加壓力將零件5經(jīng)由ACF4正式壓接 于基板1的安裝區(qū)域3。因此，能夠形成如下所述的緊湊的裝置結(jié)構(gòu)，即，能夠使各正式壓接 單元42與基板1的安裝區(qū)域3的配置間隔相一致地分別并行動(dòng)作，并能夠移動(dòng)各自的位置 而并列配置。(第三實(shí)施方式)接著，參照?qǐng)D18A及圖18B對(duì)本發(fā)明第三實(shí)施方式的零件安裝裝置進(jìn)行說(shuō)明。如圖18A及圖18B所示，在該第三實(shí)施方式的零件安裝裝置10中，裝設(shè)有將輸送 裝置11和各作業(yè)裝置12 15(圖18A及圖18B中，例示正式壓接裝置14)之間隔斷的隔斷 裝置60。如圖18A所示，在隔斷裝置60中，將可分別升降的上下一分為二的閘門部件61a、 61b重疊配置于作業(yè)裝置12 15的輸送裝置11側(cè)的側(cè)端下部，在作業(yè)裝置12 15需要 維護(hù)保養(yǎng)時(shí)，如圖18B所示，使閘門部件61a、61b上升到隔斷的位置，從而能夠?qū)⑤斔脱b置 11和作業(yè)裝置12 15之間隔斷。在如現(xiàn)有那樣以水平姿勢(shì)輸送基板進(jìn)行零件安裝的零件安裝裝置中，輸送基板的 輸送高度位置及在各作業(yè)裝置的基板的高度位置被設(shè)定為為了在輸送裝置和各作業(yè)裝置 之間進(jìn)行基板的交接，或者為了進(jìn)行將基板移動(dòng)、定位而將其安裝區(qū)域的某緣部載置于承 載部件上的動(dòng)作所必須的最小限度的高度差。因此，為了避免輸送基板和各作業(yè)裝置的可 動(dòng)部發(fā)生干涉，輸送裝置采用了相對(duì)于沿輸送方向依次配設(shè)的各作業(yè)裝置而同步依次輸送 基板那樣的結(jié)構(gòu)，其結(jié)果是，在任一作業(yè)裝置需要維護(hù)保養(yǎng)時(shí)，都需要停止裝置整體的動(dòng) 作。因此，這種現(xiàn)有零件安裝裝置的結(jié)構(gòu)成為降低生產(chǎn)率的要因之一，另外，在具有作業(yè)節(jié) 拍不同的作業(yè)裝置的情況下，也不能采用配置多個(gè)節(jié)拍長(zhǎng)的作業(yè)裝置、有選擇地將基板供 給到某個(gè)作業(yè)裝置進(jìn)行安裝作業(yè)以提高生產(chǎn)率這樣的配置結(jié)構(gòu)。與此相對(duì)，根據(jù)該第三實(shí) 施方式，在各作業(yè)裝置12 15的維護(hù)保養(yǎng)時(shí)等，能夠用隔斷裝置60將作業(yè)裝置12 15 中特定的作業(yè)裝置和輸送裝置11之間隔斷。因此，能夠邊維持輸送裝置11的動(dòng)作邊安全 地進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)作業(yè)，從而，在維護(hù)保養(yǎng)時(shí)，不需要為了安全起見(jiàn)停止零件安裝裝置1的整 體動(dòng)作，能夠確保高生產(chǎn)率。另外，隔斷裝置不局限于如圖18A及圖18B所示的閘門部件61a、61b那樣物理性 隔斷的閘門結(jié)構(gòu)，也可以例如是，當(dāng)人體的一部分或工具或器材等物體超過(guò)設(shè)定于輸送裝 置11和各作業(yè)裝置12 15之間的邊界時(shí)，用紅外線檢測(cè)裝置等進(jìn)行檢測(cè)而發(fā)出警報(bào)或使
動(dòng)作停止。(第四實(shí)施方式)接著，參照?qǐng)D19A及圖19B對(duì)本發(fā)明第四實(shí)施方式的零件安裝裝置進(jìn)行說(shuō)明。在上述的各實(shí)施方式中，對(duì)如下所述結(jié)構(gòu)的例子進(jìn)行了說(shuō)明，即，在零件安裝裝置 中，作為多個(gè)作業(yè)裝置，具備單一的ACF粘貼裝置12、單一的零件暫時(shí)壓接裝置13、一對(duì)正 式壓接裝置14、15，在輸送裝置11中，基板1輪流經(jīng)過(guò)這些作業(yè)裝置。在該第四實(shí)施方式的 零件安裝裝置10中，具備1臺(tái)或多個(gè)任意臺(tái)數(shù)的作業(yè)裝置12 14，在輸送裝置11中，基板 1依次經(jīng)過(guò)ACF粘貼裝置12、零件暫時(shí)壓接裝置13和正式壓接裝置14，在輸送裝置11中， 能夠?qū)⒒?相對(duì)于任意作業(yè)裝置12 14輸送以高效地將零件5安裝于基板1。在圖19A
19及圖19B的圖示例中，沿輸送裝置11輸送基板1的輸送方向，配置有一臺(tái)ACF粘貼裝置12、 兩臺(tái)零件暫時(shí)壓接裝置13以及三臺(tái)正式壓接裝置14。在圖19A所示的例子中，在通過(guò)ACF粘貼裝置12將ACF4粘貼于各安裝區(qū)域3之 后，將基板1交替地輸送到兩臺(tái)零件暫時(shí)壓接裝置13中的任一臺(tái)而將零件5暫時(shí)壓接于各 安裝區(qū)域3，將完成了零件5的暫時(shí)壓接的基板1依次輸送到三臺(tái)正式壓接裝置14中的兩 臺(tái)，分別將零件5正式壓接于兩緣部2a、2b，將基板1輸送到三臺(tái)正式壓接裝置14中的某空 著的正式壓接裝置14，通過(guò)該正式壓接裝置14，對(duì)基板1的兩緣部2a、2b的零件5進(jìn)行正 式壓接。另外，在圖19B所示的例子中，在通過(guò)ACF粘貼裝置12將ACF4粘貼于各安裝區(qū)域 3之后，將基板1依次輸送到兩臺(tái)零件暫時(shí)壓接裝置13，將零件5依次暫時(shí)壓接于基板1的 各緣部2a、2b的各安裝區(qū)域3，將完成了零件5的暫時(shí)壓接的基板1依次輸送到三臺(tái)正式壓 接裝置14中的兩臺(tái)，對(duì)兩緣部2a、2b的各自的零件5進(jìn)行正式壓接。需要說(shuō)明的是，第三 臺(tái)正式壓接裝置14作為預(yù)備的正式壓接裝置14而待機(jī)，所述預(yù)備的正式壓接裝置14是在 維護(hù)保養(yǎng)時(shí)、或需要較長(zhǎng)壓接時(shí)間的制品在壓接作業(yè)時(shí)為了生產(chǎn)線節(jié)拍平衡等而使用的裝 置。如該第四實(shí)施方式所述，當(dāng)通過(guò)輸送裝置11將基板1輸送到各作業(yè)裝置12 14 之際，對(duì)基板1依次進(jìn)行規(guī)定的作業(yè)處理，并且，為了各作業(yè)裝置12 14的作業(yè)處理的工 序平衡而以工序節(jié)拍均一的方式選擇作業(yè)裝置12 14，并通過(guò)輸送裝置11將基板1輸送 到所選擇的作業(yè)裝置12 14，由此能夠更可靠地實(shí)現(xiàn)作業(yè)處理的各工序節(jié)拍的均一化。從 而，能夠確保高生產(chǎn)率，并且在根據(jù)基板1的尺寸而使安裝區(qū)域3的數(shù)量發(fā)生了變化的情況 下，也能夠通過(guò)僅使所需臺(tái)數(shù)的安裝作業(yè)裝置12 14動(dòng)作而高效且生產(chǎn)率良好地安裝零 件。在上述的各實(shí)施方式中，作為接合部件粘貼裝置，例示了使用粘貼各向異性導(dǎo)電 薄膜即ACF4的ACF粘貼裝置12的例子，但也可以采用其他形式的裝置。例如，在通過(guò)壓接 工藝將零件的突起電極直接連接于基板電極的情況下，當(dāng)作為零件5接合于基板1的安裝 區(qū)域3的接合加強(qiáng)而使用絕緣性粘接件(接合部件的一個(gè)例子)時(shí)，只要使用粘貼絕緣性 粘接件的粘接件粘貼裝置即可。另外，對(duì)輸送裝置11的基板輸送單元18具備用于將基板 1在輸送裝置11和各作業(yè)裝置12 15之間進(jìn)行交接的進(jìn)退移動(dòng)裝置21的例子進(jìn)行了說(shuō) 明，但也可以在各作業(yè)裝置12 15側(cè)設(shè)置使其基板保持部23進(jìn)退移動(dòng)的進(jìn)退移動(dòng)裝置。另外，在上述的實(shí)施方式的說(shuō)明中，對(duì)將零件5安裝于基板1的緣部2a、2b的各安 裝區(qū)域3的例子進(jìn)行了說(shuō)明，但是，本發(fā)明的零件安裝裝置也可以適用于經(jīng)由所安裝的零 件5將印刷電路基板安裝于各緣部2a、2b的情況。具體而言，如圖21A所示，在經(jīng)由安裝于 基板1的長(zhǎng)邊側(cè)和短邊側(cè)的緣部2a、2b的各零件5將印刷電路基板62a、62b安裝于各緣 部2a、2b的情況下，當(dāng)如現(xiàn)有技術(shù)那樣以水平姿勢(shì)輸送基板并進(jìn)行安裝動(dòng)作時(shí)，如圖21B所 示，也會(huì)導(dǎo)致基板1或所安裝的零件5因自重而下垂。與此相對(duì)，如圖20所示，通過(guò)應(yīng)用本 發(fā)明將基板1以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)進(jìn)行輸送及安裝動(dòng)作，可以保持基板1的平面狀態(tài)，從而能 夠用簡(jiǎn)單的裝置結(jié)構(gòu)生產(chǎn)率良好地進(jìn)行印刷電路基板62a、62b向零件5的安裝。另外，在上述的實(shí)施方式的說(shuō)明中，以在輸送裝置11的各基板輸送單元18中設(shè)有 對(duì)所吸附保持的基板1進(jìn)行向Y軸方向的進(jìn)退移動(dòng)、及旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的機(jī)構(gòu)(裝置)的情況為例 進(jìn)行了說(shuō)明，但也可以代替這種情況，或與這種情況一同，在各作業(yè)裝置12 15中裝設(shè)使基板保持部向Y軸方向進(jìn)退移動(dòng)的機(jī)構(gòu)及進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。另外，在各作業(yè)裝置12 15中，只要相對(duì)進(jìn)行由基板保持部吸附保持的基板1和作業(yè)單元的用于作業(yè)位置定位的移 動(dòng)動(dòng)作即可，例如，也可以是作業(yè)單元側(cè)相對(duì)于基板保持部移動(dòng)(例如升降)而進(jìn)行兩者定 位。另外，為了進(jìn)一步提高安全性地進(jìn)行基板輸送單元的輸送用基板保持部對(duì)基板的 吸附保持及基板保持部對(duì)基板的吸附保持，例如，也可以在輸送用基板保持部及基板保持 部設(shè)置用于防止基板下落的機(jī)構(gòu)。需要說(shuō)明的是，在本發(fā)明中，所謂“基板的實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)”，相對(duì)于水平面未必需 要是準(zhǔn)確的90度，只要是在可以得到上述本發(fā)明的作用效果的范圍內(nèi)實(shí)質(zhì)性垂直即可，根 據(jù)需要，有時(shí)可以具有例如士 10度左右的傾斜。另外，通過(guò)將上述各種實(shí)施方式中任意的實(shí)施方式適當(dāng)組合，能夠?qū)崿F(xiàn)各自具有 的效果。本發(fā)明參照附圖對(duì)優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行了充分地記述，但對(duì)于熟知該技術(shù)的人們 來(lái)說(shuō)，顯然能夠進(jìn)行各種變形及修正。這種變形及修正只要不脫離由所附權(quán)利要求書限定 的本發(fā)明的范圍，均應(yīng)理解為包含于其中。2008年4月1日申請(qǐng)的日本國(guó)專利申請(qǐng)No. 2008-094796號(hào)的說(shuō)明書、附圖、及權(quán) 利要求書的公開(kāi)內(nèi)容、及2008年4月1日申請(qǐng)的日本國(guó)專利申請(qǐng)No. 2008-094807號(hào)的說(shuō) 明書、附圖、及權(quán)利要求書的公開(kāi)內(nèi)容作為全體被參照并編入本說(shuō)明書中。
2權(quán)利要求
一種零件安裝裝置，具備輸送裝置，其對(duì)平板狀的基板以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)進(jìn)行吸附保持，將所吸附保持的基板在沿其平板面的方向上輸送，并且在沿基板的輸送方向設(shè)定的多個(gè)基板交接位置進(jìn)行基板的交接；多個(gè)作業(yè)裝置，其分別對(duì)應(yīng)于輸送裝置的多個(gè)基板交接位置而配置，并在作業(yè)位置對(duì)安裝零件的安裝區(qū)域進(jìn)行用于零件安裝的作業(yè)處理，其中，所述安裝區(qū)域設(shè)置于從輸送裝置接收到的實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)的基板的緣部，各作業(yè)裝置具備基板保持部，其在輸送裝置的基板交接位置，對(duì)至少除實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)的基板的下方側(cè)緣部的安裝區(qū)域以外的基板的平板面進(jìn)行吸附保持；保持部移動(dòng)裝置，其使基板保持部移動(dòng)，以將實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)的基板定位于輸送裝置的基板交接位置和作業(yè)位置；承載部件，其能夠在支承位置和從支承位置退避的退避位置之間移動(dòng)，所述支承位置是從定位于作業(yè)位置的基板的緣部的安裝區(qū)域的相反側(cè)的面即基板的背面?zhèn)戎С性摪惭b區(qū)域的位置；以及作業(yè)單元，其從定位于作業(yè)位置的基板的緣部的安裝區(qū)域一側(cè)即基板的表面?zhèn)葘?duì)該安裝區(qū)域進(jìn)行作業(yè)處理。
2.如權(quán)利要求1所述的零件安裝裝置，其中， 在各作業(yè)裝置中，保持部移動(dòng)裝置是使基板保持部在輸送裝置的基板交接位置和位于基板交接位置下 方側(cè)的作業(yè)位置之間升降的保持部升降裝置，作業(yè)單元在作業(yè)位置對(duì)設(shè)置于實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)的基板的下方側(cè)緣部的安裝區(qū)域進(jìn)行 作業(yè)處理。
3.如權(quán)利要求2所述的零件安裝裝置，其中，輸送裝置具備多個(gè)基板輸送單元，所述多個(gè)基板輸送單元沿著在沿基板的平板面的方 向上連續(xù)的單一的輸送路徑，在基板的交接位置之間相互獨(dú)立地往復(fù)移動(dòng)，各基板輸送單元具備吸附保持實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)的基板的背面?zhèn)鹊妮斔陀没灞３植俊?br> 4.如權(quán)利要求3所述的零件安裝裝置，其中，輸送裝置的各基板交接位置與在沿基板的平板面的方向上連續(xù)的單一的輸送路徑在 水平方向上相間隔而定位，各基板輸送單元具備水平方向進(jìn)退移動(dòng)裝置，所述水平方向進(jìn)退移動(dòng)裝置使輸送用基 板保持部在輸送路徑和基板交接位置之間沿水平方向進(jìn)退移動(dòng)。
5.如權(quán)利要求4所述的零件安裝裝置，其中，各基板輸送單元具備旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置使輸送用基板保持部繞與基板的平板面 正交的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)移動(dòng)。
6.如權(quán)利要求2所述的零件安裝裝置，其中， 多個(gè)作業(yè)裝置包括接合部件粘貼裝置，其向基板的安裝區(qū)域粘貼接合部件；零件暫時(shí)壓接裝置，其經(jīng)由粘貼于基板的安裝區(qū)域的接合部件暫時(shí)壓接零件；以及零件正式壓接裝置，其將暫時(shí)壓接于基板的安裝區(qū)域的零件邊加熱邊加壓而安裝零件。
7.如權(quán)利要求6所述的零件安裝裝置，其中， 零件暫時(shí)壓接裝置具備識(shí)別裝置，其在以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)定位于作業(yè)位置的基板的安裝區(qū)域的位置或?qū)嵸|(zhì)上 相當(dāng)于安裝區(qū)域的位置，識(shí)別基板的安裝區(qū)域及零件的位置；控制裝置，其對(duì)保持部升降裝置、承載部件、作業(yè)單元、及識(shí)別裝置進(jìn)行動(dòng)作控制， 控制裝置以如下方式對(duì)保持部升降裝置、承載部件、作業(yè)單元、及識(shí)別裝置進(jìn)行動(dòng)作控 制，即，利用保持部升降裝置，使基板從基板交接位置下降，將基板的下方側(cè)緣部定位于作 業(yè)位置，利用識(shí)別裝置，從基板的背面?zhèn)茸R(shí)別基板的安裝區(qū)域的位置，之后，利用升降裝置， 使基板暫時(shí)退避上升到作業(yè)位置的上方，接著，利用作業(yè)單元，將要暫時(shí)壓接的零件定位于 零件的暫時(shí)壓接位置，利用識(shí)別裝置識(shí)別零件的位置后，使零件從暫時(shí)壓接位置退避移動(dòng)， 之后，利用升降裝置使基板下降而再次定位于作業(yè)位置，并且使承載部件移動(dòng)到從基板的 背面?zhèn)戎С谢宓陌惭b區(qū)域的位置，之后，利用作業(yè)單元，以所識(shí)別的基板的安裝區(qū)域和零 件的位置彼此一致的方式對(duì)零件進(jìn)行位置修正，從而將零件暫時(shí)壓接于基板的安裝區(qū)域。
8.如權(quán)利要求6所述的零件安裝裝置，其中， 零件暫時(shí)壓接裝置具備識(shí)別裝置，其在以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)定位于作業(yè)位置的基板的安裝區(qū)域的位置或?qū)嵸|(zhì)上 相當(dāng)于安裝區(qū)域的位置，識(shí)別基板的安裝區(qū)域及零件的位置；控制裝置，其對(duì)保持部升降裝置、承載部件、作業(yè)單元、及識(shí)別裝置進(jìn)行動(dòng)作控制， 控制裝置以如下方式對(duì)保持部升降裝置、承載部件、作業(yè)單元、及識(shí)別裝置進(jìn)行動(dòng)作控 制，即，利用作業(yè)單元，將要暫時(shí)壓接的零件定位于零件的暫時(shí)壓接位置，利用識(shí)別裝置識(shí) 別零件的位置后，使零件從暫時(shí)壓接位置退避移動(dòng)，之后，利用保持部升降裝置使基板從基 板交接位置下降，將基板的下方側(cè)緣部定位于作業(yè)位置，且使承載部件移動(dòng)到從背面?zhèn)戎?承基板的安裝區(qū)域的位置，之后，利用識(shí)別裝置，從基板的背面?zhèn)茸R(shí)別基板的安裝區(qū)域的位 置，之后，利用作業(yè)單元，以所識(shí)別的基板的安裝區(qū)域和零件的位置彼此一致的方式對(duì)零件 進(jìn)行位置修正，從而將零件暫時(shí)壓接于基板的安裝區(qū)域。
9.如權(quán)利要求1 8中任一項(xiàng)所述的零件安裝裝置，其中，還具備隔斷裝置，所述隔斷裝置在輸送裝置和各作業(yè)裝置之間，禁止在兩裝置之間的 物體的移動(dòng)。
10.一種零件安裝方法，具備輸送工序，其利用輸送裝置，對(duì)平板狀的基板以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)進(jìn)行吸附保持，將所吸 附保持的基板在沿其平板面的方向上輸送，并且在沿基板的輸送方向設(shè)定的多個(gè)基板交接 位置進(jìn)行基板的交接；作業(yè)工序，其利用分別對(duì)應(yīng)于多個(gè)基板交接位置而配置的作業(yè)裝置，在作業(yè)位置對(duì)安 裝零件的安裝區(qū)域進(jìn)行用于零件安裝的作業(yè)處理，其中，所述安裝區(qū)域設(shè)置于實(shí)質(zhì)上垂直 姿勢(shì)的基板的下方側(cè)緣部， 各作業(yè)工序包括第一作業(yè)工序，其在輸送裝置的基板交接位置，對(duì)至少除實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)的基板的下方側(cè)緣部的安裝區(qū)域以外的基板的平板面進(jìn)行吸附保持，并以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)將基板定位 在位于基板交接位置下方的作業(yè)位置；第二作業(yè)工序，其使承載部件向定位于作業(yè)位置的基板的安裝區(qū)域的相反側(cè)的面即背 面移動(dòng)，并從基板的表面?zhèn)葘?duì)處于由承載部件從基板的背面?zhèn)戎С谢宓陌惭b區(qū)域的狀態(tài) 的基板的安裝區(qū)域進(jìn)行作業(yè)處理。
全文摘要
本發(fā)明提供一種零件安裝裝置，具備輸送裝置，其對(duì)基板以實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)進(jìn)行吸附保持，并沿基板的平板面方向輸送；多個(gè)作業(yè)裝置，其對(duì)從輸送裝置接收到的實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)的基板的緣部的安裝區(qū)域進(jìn)行作業(yè)處理，各作業(yè)裝置具備基板保持部，其吸附保持實(shí)質(zhì)上垂直姿勢(shì)的基板；保持部升降裝置，其使所吸附保持的基板移動(dòng)到下方的作業(yè)位置；承載部件，其從背面?zhèn)戎С卸ㄎ挥谧鳂I(yè)位置的基板的緣部；以及作業(yè)單元，其從表面?zhèn)葘?duì)定位于作業(yè)位置的基板的緣部的安裝區(qū)域進(jìn)行作業(yè)處理。
文檔編號(hào)H01L21/60GK101981681SQ200980111180
公開(kāi)日2011年2月23日 申請(qǐng)日期2009年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月1日
發(fā)明者村岡信彥, 門田昌三 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社