專利名稱：薄片粘貼裝置及粘貼方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種薄片粘貼裝置及粘貼方法，更詳細(xì)說來，本發(fā)明涉及一種可以將 薄片粘貼到多處具有被粘接面的被粘接體上，并按各被粘接面的大小切斷薄片的粘貼裝置 及粘貼方法。
背景技術(shù)：
在層疊玻璃等板狀部件的情況下，都要在其接合面上粘貼由雙面粘接片等構(gòu)成的 粘接片。在半導(dǎo)體晶片的情況下，都要在其表面一側(cè)粘貼保護(hù)片等粘接片，而在其里面一側(cè) 粘貼芯片焊接片(夕· ^ > rM >夕‘，die bonding)等粘接片。粘貼這種粘接片用的裝置和方法，例如，已在專利文獻(xiàn)1中公示。該文獻(xiàn)中公示的 薄片粘貼裝置的構(gòu)成是，將粘貼片幾乎同時(shí)地粘貼到多張半導(dǎo)體晶片上，并按各半導(dǎo)體晶 片的大小切斷粘接片。專利文獻(xiàn)1 W02007/018041A
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題然而，在專利文獻(xiàn)1公示的薄片粘貼裝置中，存在兩個(gè)缺點(diǎn)其一，支承作為被粘 接體的多張半導(dǎo)體晶片的工作臺(tái)需要多個(gè)，致使支承機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化；其二，需要根據(jù)由 支承機(jī)構(gòu)支承的被粘接體的個(gè)數(shù)增加該被粘接體的搬送工序。發(fā)明目的本發(fā)明正是針對(duì)上述缺點(diǎn)的改進(jìn)而研發(fā)的，其目的在于提供這樣一種薄片粘貼裝 置及粘貼方法可以將粘接片幾乎同時(shí)地粘貼到多個(gè)被粘接面上，還不會(huì)造成支承被粘接 體的支承機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化。解決課題所用的方法為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種薄片粘貼裝置，其將在基材薄片的一側(cè)的面 上具有粘接劑層的粘接片粘貼到多處具有被粘接面的被粘接體上，其包括支承上述被粘 接體的支承機(jī)構(gòu)；往面對(duì)上述各被粘接面的位置供給粘接片的供給機(jī)構(gòu)；將上述粘接片粘 貼到各被粘接面的粘貼機(jī)構(gòu)；將粘貼到上述各被粘接面上的粘接片按照各被粘接面的大小 進(jìn)行切斷的切斷機(jī)構(gòu)；以及回收由上述切斷操作而在各被粘接面的外側(cè)產(chǎn)生的多余粘接片 的回收機(jī)構(gòu)。另外，本發(fā)明提供一種將雙面粘接片粘貼到多處具有被粘接面的被粘接體上的薄 片粘貼裝置，其包括支承上述被粘接體的支承機(jī)構(gòu)；往面對(duì)上述各被粘接面的位置供給 雙面粘接片的供給機(jī)構(gòu)，在所述雙面粘接片的一側(cè)的面上臨時(shí)粘接有剝離片；將上述雙面 粘接片粘貼在各被粘接面的粘貼機(jī)構(gòu)；將粘貼在上述各被粘接面上的雙面粘接片按照各被 粘接面的大小進(jìn)行切斷的切斷機(jī)構(gòu)；回收由上述切斷操作而在各被粘接面的外側(cè)產(chǎn)生的多 余粘接片的回收機(jī)構(gòu)；而且，上述供給機(jī)構(gòu)、粘貼機(jī)構(gòu)和回收機(jī)構(gòu)還具備將粘貼于各被粘接面的雙面粘接片上臨時(shí)粘接的上述剝離片除去的功能。另外，本發(fā)明提供一種薄片粘貼方法，其將在基材薄片的一側(cè)的面上具有粘接劑 層的粘接片粘貼到多處具有被粘接面的被粘接體上，包含支承上述被粘接體的支承工序； 往面對(duì)上述各被粘接面的位置供給粘接片的供給工序；將上述粘接片粘貼到各被粘接面的 粘貼工序；將粘貼到上述各被粘接面上的粘接片按照各被粘接面的大小進(jìn)行切斷的切斷工 序；以及回收由上述切斷操作而在各被粘接面的外側(cè)產(chǎn)生的多余粘接片的回收工序。另外，本發(fā)明還提供一種將雙面粘接片粘貼到多處具有被粘接面的被粘接體上的 薄片粘貼方法，包含支承上述被粘接體的支承工序；往面對(duì)上述各被粘接面的位置供給 雙面粘接片的供給工序，在所述雙面粘接片的一側(cè)的面上臨時(shí)粘接有剝離片；將上述雙面 粘接片粘貼在各被粘接面的粘貼工序；將粘貼在上述各被粘接面上的雙面粘接片按照各被 粘接面的大小進(jìn)行切斷的切斷工序；回收由上述切斷操作而在各被粘接面的外側(cè)產(chǎn)生的多 余粘接片的回收工序；以及重復(fù)進(jìn)行與上述供給工序、粘貼工序和回收工序同樣的工序，以將在粘貼于各被粘接面的雙面粘接片上臨時(shí)粘接的上述剝離片除去的除去工序。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，即使被粘接體上的粘接片的被粘接面存在于多處，也可以通過將粘 接片粘貼在這些被粘接面上并按各被粘接面的大小進(jìn)行切斷，使粘接片僅僅粘貼在被粘接 體的必要部位。另外，即使被粘接面分散于多處，因?yàn)楸徽辰芋w本身是單一的部件，所以不需要以 往那樣的復(fù)雜的工作臺(tái)。而且，如果供給機(jī)構(gòu)、粘貼機(jī)構(gòu)和回收機(jī)構(gòu)，是還具備除去剝離片功能的結(jié)構(gòu)，則 可以消除為除去臨時(shí)粘接在該被粘接面上剝離片而設(shè)計(jì)專用裝置的必要性，從而可以謀求 供給機(jī)構(gòu)、粘貼機(jī)構(gòu)和回收機(jī)構(gòu)的有效利用。


圖1是本實(shí)施方式涉及的薄片粘貼裝置的概略主視圖。圖2是上述薄片粘貼裝置的概略立體圖。圖3是工作臺(tái)和機(jī)械手的局部剖視圖。圖4是表示從各被粘接面剝離第二剝離片狀態(tài)的概略立體圖。標(biāo)記說明薄片粘貼裝置供給單元(供給機(jī)構(gòu))粘貼單元(粘貼機(jī)構(gòu))工作臺(tái)(支承機(jī)構(gòu))15機(jī)械手(切斷機(jī)構(gòu))19回收機(jī)構(gòu)A雙面粘接片(粘接劑層)RLl第一剝離片RLl第二剝離片(基材薄片)S粘接片
Sl多余粘接片W被粘接體WS被粘接面
具體實(shí)施例方式以下參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1表示本實(shí)施方式涉及的薄片粘貼裝置的概略主視圖，圖2表示其概略立體圖。在這些圖中，薄片粘貼裝置10的構(gòu)成包括以下機(jī)構(gòu)工作臺(tái)(支承機(jī)構(gòu))13，其支承具有被 粘接面WS的板狀的被粘接體W，被粘接面WS分散于大致同一平面內(nèi)的多個(gè)地方；和往面對(duì) 各被粘接面WS的位置供給雙面粘接片A的供給單元11 (供給機(jī)構(gòu))；和施加擠壓力以將上 述雙面粘接片A粘貼在各被粘接面WS上的粘貼單元12 (粘貼機(jī)構(gòu))；和在將雙面粘接片A 粘貼在各被粘接面WS上之后，按照各被粘接面WS的大小切斷雙面粘接片A的多關(guān)節(jié)型機(jī) 械手15 (切斷機(jī)構(gòu))；和回收在各被粘接面WS的外側(cè)產(chǎn)生的多余粘接片Sl的回收機(jī)構(gòu)19。上述被粘接體W，如圖3及4所示，由以下部件構(gòu)成第一板狀體Wl，俯視大致呈方 形；和第二板狀體W2，配置在該第一板狀體Wl的平面內(nèi)的四個(gè)凹部101，俯視大致呈方形。 本實(shí)施方式中的被粘接面WS位于比第一板狀體Wl的上表面更靠上的位置，被粘接體W是 通過雙面粘接片A將未予圖示的板狀體等粘合而成的部件，例如可以作為多層玻璃等的構(gòu) 成部件使用。上述工作臺(tái)13，如圖3和圖4所示，由俯視大致呈方形的外側(cè)工作臺(tái)51，和配置在 該外側(cè)工作臺(tái)51內(nèi)側(cè)的俯視大致呈方形的內(nèi)側(cè)工作臺(tái)52所構(gòu)成。外側(cè)工作臺(tái)51設(shè)計(jì)成可 容納內(nèi)側(cè)工作臺(tái)52，并可通過升降機(jī)構(gòu)51A相對(duì)于基座BP進(jìn)行升降，而內(nèi)側(cè)工作臺(tái)52設(shè)計(jì) 成可通過升降機(jī)構(gòu)52A進(jìn)行升降。由此，內(nèi)側(cè)工作臺(tái)52能夠以外側(cè)工作臺(tái)51的上表面作 為基準(zhǔn)位置進(jìn)行升降，以將被粘接面WS的高度位置調(diào)節(jié)到指定位置，另外，外側(cè)工作臺(tái)51 設(shè)計(jì)成能夠以擠壓輥14的擠壓面為基準(zhǔn)根據(jù)雙面粘接片A以及第二剝離片RL2的厚度進(jìn) 行升降，以使擠壓輥14每單位面積的擠壓力保持基本不變。另外，內(nèi)側(cè)工作臺(tái)52丨※譯注 原文為51)在雙面粘接片A具有熱敏粘接性的情況下，可以內(nèi)藏未予圖示的加熱機(jī)構(gòu)備用。上述供給單元11，由以下部件構(gòu)成支承卷筒材料R的支承輥20，在卷筒材料R 中第一剝離片RLl及第二剝離片RL2之間臨時(shí)粘接有帶壓敏粘接性的雙面粘接片A ；和在 導(dǎo)出卷筒材料R的過程中，從該卷筒材料R剝離第一剝離片RLl的剝離板(C一> 一 卜)22 ；和卷取第一剝離片RLl的卷取輥23 ；和配置在支承輥20和卷取輥23之間的多個(gè)導(dǎo)
輥25 32 ；和配置在導(dǎo)輥27、28之間，被支承在測(cè)壓元件39上的張力測(cè)定輥40。剝離板 22和導(dǎo)輥27、28、29和張力測(cè)定輥40，作為粘貼角度維持機(jī)構(gòu)37被一體支承，通過和上述 粘貼單元12的同步移動(dòng)，可以將臨時(shí)粘接有第二剝離片RL2的雙面粘接片A粘貼到被粘接 體W上。上述粘貼單元12支承在門型框57上，由設(shè)計(jì)成能夠通過氣缸59進(jìn)行升降的擠壓 輥14所構(gòu)成。上述供給單元11和粘貼單元12與本申請(qǐng)人已經(jīng)提交過專利申請(qǐng)的特愿2005-198806號(hào)公示的內(nèi)容相同，在此省略其詳細(xì)說明。上述機(jī)械手15，如圖3所示，由機(jī)械手本體62，和支承在該機(jī)械手本體62的自由端側(cè)的刀刃63所構(gòu)成。機(jī)械手本體62包含基座部64 ；和配置在該基座部64的上面?zhèn)炔?設(shè)計(jì)成能夠在箭頭A F的方向旋轉(zhuǎn)的第1臂65A 第6臂65F ；和安裝在第6臂65F的前 端側(cè)的工具保持卡具(^、” )69。第2、第3及第5臂65B、65C、65E，設(shè)計(jì)成可以在圖3 中的YX Z面內(nèi)分別在箭頭B、C、E的方向上旋轉(zhuǎn)，并且第1、第4及第6臂65A、65D、65F，設(shè) 計(jì)成可以繞其軸分別在箭頭A、D、F的方向上旋轉(zhuǎn)。由此，臨時(shí)粘接有第二剝離片RL2的雙 面粘接片A，可能按各被粘接面WS的大小切斷。另外，經(jīng)該切斷操作在被粘接面WS的外側(cè) 產(chǎn)生的第二剝離片RL2以及雙面粘接片A稱為多余粘接片Si。上述回收機(jī)構(gòu)19包括以下部件由支承在移動(dòng)框F的輥80、81構(gòu)成的剝離輥部 18 ；和靠馬達(dá)M驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)輥90 ；和支承在旋轉(zhuǎn)臂91的自由端側(cè)并通過彈簧92壓 接于驅(qū)動(dòng)輥90的外周面的回收輥93。移動(dòng)框F由前部框Fl和通過連接部件83連接的后 部框F2所構(gòu)成，支承在單軸機(jī)械手85和導(dǎo)軌61上，可以在X軸方向移動(dòng)。由此，通過單軸 機(jī)械手85和馬達(dá)M的同步驅(qū)動(dòng)，移動(dòng)框F朝圖1中的左側(cè)移動(dòng)，通過剝離輥部18將多余粘 接片Sl從被粘接體W剝離，并經(jīng)回收輥93卷取而回收。其次，說明本實(shí)施方式的動(dòng)作。另外，因?yàn)殡p面粘接片A的粘貼動(dòng)作實(shí)質(zhì)上與日本 專利申請(qǐng)?zhí)卦?005-198806號(hào)相同，所以說明從簡(jiǎn)。(支承工序)機(jī)械手15通過工具保持夾具69支承吸附臂100 (參照?qǐng)D2)，將被粘接體W移載到 內(nèi)側(cè)工作臺(tái)52上。然后，機(jī)械手15通過工具保持夾具69從吸附臂100換為支承刀刃63 準(zhǔn)備切斷。(供給工序)如圖1所示，臨時(shí)粘接有第二剝離片RL2的雙面粘接片A被從支承在支承輥20上 的卷筒材料R供給到與被粘接體W的各粘接面WS向面對(duì)的位置上。另外，該供給動(dòng)作在先 前完成的一系列薄片粘貼動(dòng)作中的回收工序中進(jìn)行(參照后敘的回收工序)。(粘貼工序)粘貼角度維持機(jī)構(gòu)37朝圖1中的左下方移動(dòng)，粘貼單元12與其同步移動(dòng)到同圖 中的左側(cè)，由此擠壓輥14將被臨時(shí)粘接在第二剝離片RL2上的的雙面粘接片A按壓并將其 粘貼在被粘接面WS上。(切斷工序)粘貼在被粘接體W的各被粘接面WS上的雙面粘接片A由機(jī)械手15按照被粘接面 W的大小與第二剝離片RL2 —起被切斷。(回收工序)在回收機(jī)構(gòu)19朝圖1中左側(cè)移動(dòng)的同時(shí)，因剝離輥部18和馬達(dá)M的驅(qū)動(dòng)，在被粘 接面WS的外側(cè)產(chǎn)生的多余粘接片Sl經(jīng)回收輥93卷取而回收。然后，粘貼角度維持機(jī)構(gòu)37 朝上方移動(dòng)，而粘貼單元12和回收單元19與其同步回歸到如圖1所示的位置。在此回歸 動(dòng)作中，由于馬達(dá)M被設(shè)為鎖定狀態(tài)，新的雙面粘接片A從供給單元11拉出指定的長(zhǎng)度。(除去工序)以上動(dòng)作完成之后，第二剝離片RL2以臨時(shí)粘接在雙面粘接片A上的狀態(tài)殘留在 被粘接面WS上。這種殘留的第二剝離片RL2可以通過再次進(jìn)行與(供給工序)、(粘貼工 序)和(回收工序)同樣的動(dòng)作而除去。也就是說，(供給工序)重新將臨時(shí)粘接有第二剝離片RL2的雙面粘接片A供給到面對(duì)被粘接面WS的位置上。(粘貼工序)通過粘貼角度 維持機(jī)構(gòu)37和粘貼單元12的同步驅(qū)動(dòng)，將雙面粘接片A粘貼在被粘接面WS上。(回收工 序)回收機(jī)構(gòu)19朝圖1中的左側(cè)移動(dòng)，將新拉出的雙面粘接片A從被粘接體W剝離，經(jīng)回 收輥93回收。通過這些動(dòng)作，如圖4所示，殘留在被粘接面WS上的第二剝離片RL2，被粘貼 在雙面粘接片A上，從被粘接面WS除去。然后，粘貼角度維持機(jī)構(gòu)37和粘貼單元12以及 回收機(jī)構(gòu)19同步驅(qū)動(dòng)，在回歸到如圖1所示的位置時(shí)，新的雙面粘接片A被拉出到指定長(zhǎng) 度。這樣一來，在被粘接面WS上僅粘貼有雙面粘接片A的被粘接體W通過支承有吸附 臂100的機(jī)械手15搬送到下一工序，進(jìn)行規(guī)定的處理。以后，重復(fù)進(jìn)行同樣的動(dòng)作。因而，如果按照這樣的實(shí)施方式，在單一的被粘接體W上，即使是具有多個(gè)被粘接 面WS的情況，也可以進(jìn)行整體移載或搬送，并可幾乎同時(shí)粘貼雙面粘接片A。另外，即便應(yīng)粘貼雙面粘接片A的面很多，因?yàn)楸徽辰芋wW是單一的板狀體，所以 可以迅速地進(jìn)行移載或搬送，而且支承被粘接體W的工作臺(tái)也可簡(jiǎn)易構(gòu)成。如上所述，對(duì)實(shí)施本發(fā)明用的最佳構(gòu)成和方法等，都通過上述記載進(jìn)行了公示，但 本發(fā)明并不限于此。也就是說，雖然本發(fā)明主要對(duì)特定的實(shí)施方式做了特別的圖示和說明，但只要不 脫離本發(fā)明的技術(shù)思想和目的范圍，對(duì)于以上說明的實(shí)施方式都可以對(duì)其形狀，位置或配 置等，根據(jù)需要，由專業(yè)人員加以種種變更。例如，在上述實(shí)施方式中，圖示說明了將雙面粘接片A粘貼到被粘接面WS的情況， 但本發(fā)明并不限于此，也可以將粘貼裝置10構(gòu)成為，將基材薄片的單面涂設(shè)有粘接劑層的 粘接片S粘貼到被粘接面WS。在此情況下，以第二剝離片RL2作為基材薄片，以雙面粘接片 A作為粘接劑層來構(gòu)成粘接片S，從而省掉除去工序。另外，在上述實(shí)施方式中，說明了采取跟粘貼雙面粘接片A到被粘接面WS時(shí)同樣 的動(dòng)作，從雙面粘接片A除去第二剝離片RL2的情況，但也可以不剝離第二剝離片RL2，而從 工作臺(tái)13搬送到后續(xù)工序。還可以使用沒有上述第一剝離片RLl的卷筒材料，在此情況下，導(dǎo)輥30，31以及卷 取輥23等均不需要。另外，被粘接面的平面形狀，也不限于圖示構(gòu)成例的形狀況，還可以是圓形、橢圓 形、多邊形等，或者它們的組合形狀。還有，本發(fā)明的粘貼裝置10，也可以使用于在半導(dǎo)體晶片電路面上粘貼保護(hù)片的 粘貼裝置，或通過粘接片使半導(dǎo)體晶片與環(huán)框一體化的安裝裝置中。
權(quán)利要求
一種薄片粘貼裝置，其將在基材薄片的一側(cè)的面上具有粘接劑層的粘接片粘貼到多處具有被粘接面的被粘接體上，其特征在于，具備支承上述被粘接體的支承機(jī)構(gòu)；供給機(jī)構(gòu)，其往面對(duì)上述各被粘接面的位置供給粘接片；粘貼機(jī)構(gòu)，其將上述粘接片粘貼到各被粘接面；切斷機(jī)構(gòu)，其將粘貼到上述各被粘接面上的粘接片按照各被粘接面的大小進(jìn)行切斷；回收機(jī)構(gòu)，其回收由上述切斷操作而在各被粘接面的外側(cè)產(chǎn)生的多余粘接片。
2.一種薄片粘貼裝置，其將雙面粘接片粘貼到多處具有被粘接面的被粘接體上，其特 征在于，具備支承上述被粘接體的支承機(jī)構(gòu)；供給機(jī)構(gòu)，其往面對(duì)上述各被粘接面的位置供給雙面粘接片，在所述雙面粘接片的一 側(cè)的面上臨時(shí)粘接有剝離片；粘貼機(jī)構(gòu)，其將上述雙面粘接片粘貼在各被粘接面；切斷機(jī)構(gòu)，其將粘貼在上述各被粘接面上的雙面粘接片按照各被粘接面的大小進(jìn)行切 斷；和回收機(jī)構(gòu)，其回收由上述切斷操作而在各被粘接面的外側(cè)產(chǎn)生的多余粘接片， 上述供給機(jī)構(gòu)、粘貼機(jī)構(gòu)和回收機(jī)構(gòu)，還具備將在粘貼于各被粘接面的雙面粘接片上 臨時(shí)粘接的上述剝離片除去的功能。
3.一種薄片粘貼方法，將在基材薄片的一側(cè)的面上具有粘接劑層的粘接片粘貼到多處 具有被粘接面的被粘接體上，其特征在于，包含支承上述被粘接體的支承工序；供給工序，往面對(duì)上述各被粘接面的位置供給粘接片；粘貼工序，將上述粘接片粘貼到各被粘接面的；切斷工序，將粘貼到上述各被粘接面上的粘接片按照各被粘接面的大小進(jìn)行切斷的； 回收工序，回收由上述切斷操作而在各被粘接面的外側(cè)產(chǎn)生的多余粘接片。
4.一種薄片粘貼方法，將雙面粘接片粘貼到多處具有被粘接面的被粘接體上，其特征 在于，包含支承上述被粘接體的支承工序；供給工序，往面對(duì)上述各被粘接面的位置供給雙面粘接片，在所述雙面粘接片的一側(cè) 的面上臨時(shí)粘接有剝離片；粘貼工序，將上述雙面粘接片粘貼在各被粘接面；切斷工序，將粘貼在上述各被粘接面上的雙面粘接片按照各被粘接面的大小進(jìn)行切斷；回收工序，回收由上述切斷操作而在各被粘接面的外側(cè)產(chǎn)生的多余粘接片， 還包含除去工序，重復(fù)進(jìn)行與上述供給工序、粘貼工序和回收工序同樣的工序，以將在粘貼于 各被粘接面的雙面粘接片上臨時(shí)粘接的上述剝離片除去。
全文摘要
一種薄片粘貼裝置(10)，其構(gòu)成包括支承在多處具有被粘接面(WS)的被粘接體W的工作臺(tái)(13)；往面對(duì)被粘接面(WS)的位置供給臨時(shí)粘接有第二剝離片(RL2)的雙面粘接片(A)的供給機(jī)構(gòu)(11)；將上述雙面粘接片(A)粘貼到各被粘接面(WS)上的粘貼單元(12)；將粘貼到各被粘接面(WS)上的雙面粘接片(A)，按照被粘接面WS的大小進(jìn)行切斷的機(jī)械手(15)；將由上述切斷操作而在各被粘接面(WS)的外側(cè)產(chǎn)生的多余粘接片(S1)回收的回收機(jī)構(gòu)(19)。供給單元(11)、粘貼單元(12)和回收機(jī)構(gòu)(19)還具備將殘留在各被粘接面(WS)上的第二剝離片(RL2)除去的功能。
文檔編號(hào)H01L21/683GK101990708SQ200980112849
公開日2011年3月23日 申請(qǐng)日期2009年3月16日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月8日
發(fā)明者小林賢治, 野中英明 申請(qǐng)人:琳得科株式會(huì)社