專利名稱：Cmos圖像傳感器的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)，更具體地，涉及用于制造包括具有多層結(jié)構(gòu)的金屬 互連的CMOS圖像傳感器的形成接觸插塞的方法。
背景技術(shù)：
在CMOS圖像傳感器的制造方法中，為了改善暗特性，在沉積鈍化層之后進(jìn)行高溫 熱處理。然而，如圖1所示，會由于高溫?zé)崽幚矶l(fā)生互連分層，從而器件的產(chǎn)率降低且器 件可能變?yōu)橛腥毕莸摹＿@是因?yàn)樵谝呀?jīng)形成鈍化層之后在高溫進(jìn)行長時(shí)間的熱處理的緣故。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題進(jìn)行本發(fā)明以解決現(xiàn)有技術(shù)中產(chǎn)生的問題，且本發(fā)明的目標(biāo)是提供一種CMOS 圖像傳感器的制造方法，該方法能夠防止由CMOS圖像傳感器的互連分層引起的小丘型 (hillock-type)缺陷。技術(shù)方案為了實(shí)現(xiàn)該目標(biāo)，提供一種CMOS圖像傳感器的制造方法，包括步驟制備具有第 一金屬互連的基板；在第一金屬互連之上形成層間絕緣層；通過蝕刻層間絕緣層形成接觸 孔以暴露第一金屬互連的一部分；在層間絕緣層上以及在接觸孔的內(nèi)表面上形成緩沖層； 進(jìn)行退火工藝；通過蝕刻緩沖層在接觸孔的側(cè)壁上形成間隔物；在層間絕緣層的包括間隔 物的表面上形成阻擋金屬層；在阻擋金屬層上形成接觸插塞使得接觸孔被接觸插塞填充； 以及在層間絕緣層上形成第二金屬互連以使得第二金屬互連與接觸插塞接觸。優(yōu)選地，緩沖層包括氮化物層。優(yōu)選地，退火工藝包括氫(H2)退火工藝。優(yōu)選地，退火工藝在400°C至700°C的溫度進(jìn)行。優(yōu)選地，在氫(H2)退火工藝中H2的濃度在至80%的范圍內(nèi)。優(yōu)選地，間隔物通過干法蝕刻工藝或濕法蝕刻工藝形成。優(yōu)選地，干法蝕刻工藝包括回蝕工藝或毯式工藝(blanket process) 0優(yōu)選地，阻擋金屬層包括從由Ti、TiN, Ta、TaN, AlSiTiN,NiTi、TiBN, ZrBN, TiAlN, TiB2, Ti/TiN以及Ta/TaN組成的組中選擇的一種。優(yōu)選地，第二金屬互連包括從由Ti/Al/TiN、Ti/Al/Ti/TiN 以及 Ti/TiN/Al/Ti/ TiN組成的組中選擇的一種。有益效果根據(jù)具有上述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的CMOS圖像傳感器的制造方法，在已經(jīng)形成接觸孔 后使用緩沖層作為保護(hù)層來進(jìn)行用于改善CMOS圖像傳感器的暗特性的退火工藝，從而鈍 化工藝后進(jìn)行退火工藝的時(shí)間可以減少或者該退火工藝可以省去。因此，可以降低熱預(yù)算，從而可以防止互連分層^


圖；以及


圖1是示出根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的CMOS圖像傳感器的制造方法中產(chǎn)生的小丘型缺陷的
圖2至8是示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的CMOS圖像傳感器的制造方法的截面圖。
〈附圖中附圖標(biāo)記的說明〉
100 基板102 第一金屬互連
104 層間絕緣層 106 接觸孔
108:緩沖層112:阻擋金屬層
114:接觸插塞 116:第二金屬互連
具體實(shí)施例方式在下文，將參照附圖描述本發(fā)明的示范性實(shí)施例。在附圖中，層和區(qū)域的厚度和間 隔可以為了方便解釋而被夸大。當(dāng)?shù)谝粚颖恢冈诘诙踊蚧濉吧稀被颉爸稀睍r(shí)，這可以 表示第一層可以直接形成在第二層或基板上，或這也可以表示第三層可以形成在第一層和 基板之間。此外，在所有附圖中相同的附圖標(biāo)記表示相同的層。另外，附圖標(biāo)記的英文字母 指示相同的層利用蝕刻工藝或拋光工藝的局部修改。實(shí)施例圖2至8是示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的CMOS圖像傳感器的制造方法的截面圖。如圖2所示，第一金屬互連102形成在包括半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的基板100上，該半導(dǎo)體結(jié) 構(gòu)包括多個(gè)晶體管和用作光接收器件的光電二極管。在此情況下，第一金屬互連102可以 包括從由鋁(AL)、銅(Cu)、鎢(W)或鉬(Pt)組成的組中選擇的一種。優(yōu)選地，第一金屬互 連102包括Al。然后，層間絕緣層104形成在基板100上以覆蓋第一金屬互連102。在此情況下， 層間絕緣層104包括氧化物，優(yōu)選地，包括氧化硅(SiO2)。例如，層間絕緣層104可以包括從 由BPSG (硼磷硅酸鹽玻璃)膜、PSG (磷硅酸鹽玻璃)膜、BSG (硼硅酸鹽玻璃)膜、USG (未 摻雜硅酸鹽玻璃)膜、PE-TEOS(等離子體增強(qiáng)四乙基原硅酸鹽)膜、HDP(高密度等離子體) 膜以及FSG(氟化硅酸鹽玻璃)膜。另外，層間絕緣層104可以通過涂敷SOG(旋涂玻璃) 基氧化物層而形成。另外，該膜可以具有至少兩種層的層疊結(jié)構(gòu)。例如，如果該膜具有層疊 結(jié)構(gòu)，則該膜包括S0G/PE-TE0S膜或FSG/PE-TE0S膜。隨后，盡管未示出，但如果在層間絕緣層104中存在臺階，則可以通過CMP (化學(xué)機(jī) 械拋光)工藝來平坦化層間絕緣層104。下面，蝕刻層間絕緣層104，因而形成接觸孔106以暴露第一金屬互連106的一部 分。蝕刻工藝包括干法蝕刻工藝或濕法蝕刻工藝。此后，如圖3所示，緩沖層108形成在層間絕緣層104上以及接觸孔106的內(nèi)表面 上(見圖2)。在此情況下，緩沖層108可以包括氮化物層，優(yōu)選地，包括氮化硅層(SixNy， χ和y為自然數(shù))。緩沖層108可以通過從由PECVD(等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)工藝、 ALD(原子層沉積)工藝和MOCVD(金屬有機(jī)CVD)工藝組成的組中選擇的一種工藝形成。
此后，如圖4所示，進(jìn)行熱處理工藝110從而改善暗特性。熱處理工藝110包括氫 退火工藝，其在約400°C至約700°C的范圍內(nèi)的溫度進(jìn)行并使用緩沖層108作為保護(hù)層。在 氫退火工藝中，H2的濃度在至80%的范圍內(nèi)。此后，如圖5所示，在接觸孔106的側(cè)壁上通過蝕刻緩沖層108形成間隔物108A。 蝕刻工藝包括干法蝕刻工藝或濕法蝕刻工藝。干法蝕刻工藝可以包括回蝕工藝或毯式工 藝。下面，如圖6所示，阻擋金屬層112沿接觸孔106的內(nèi)表面形成在間隔物108A、第 一金屬互連102以及層間絕緣層104上。阻擋金屬層112可以包括從由Ti、TiN, Ta、TaN, AlSiTiN, NiTi, TiBN, ZrBN, TiAlN, TiB2, Ti/TiN 以及 Ta/TaN 組成的組中選擇的一種。然后，如圖7所示，在阻擋金屬層11 上沉積用于接觸插塞的導(dǎo)電材料使得接觸 孔106被導(dǎo)電材料填充之后，所得的結(jié)構(gòu)通過回蝕工藝或CMP工藝被平坦化，從而形成接觸 插塞114。在此情況下，進(jìn)行平坦化工藝直到暴露層間絕緣層104的頂表面。換言之，當(dāng)進(jìn) 行平坦化工藝時(shí)，層間絕緣層104用作蝕刻停止層或拋光停止層。在此情況下，接觸插塞 114包括鎢(W)或多晶硅層。優(yōu)選地，接觸插塞114包括W。然后，如圖8所示，第二金屬互連116形成在接觸插塞114和層間絕緣層104上， 使得第二金屬互連116與接觸插塞114接觸。第二金屬互連116可以包括從由Ti/Al/TiN 結(jié)構(gòu)、Ti/Al/Ti/TiN結(jié)構(gòu)以及Ti/TiN/Al/Ti/TiN結(jié)構(gòu)組成的組中選擇的一種結(jié)構(gòu)。另外， 第二金屬互連116可以具有阻擋金屬層/Al/阻擋金屬層結(jié)構(gòu)。在此情況下，阻擋金屬層可 以包括從由 Ta、TaN, AlSiTiN, NiTi, TiBN, ZrBN, TiAlN, TiB2 以及 Ta/TaN 組成的組中選擇 的一種。盡管為了說明的目的對本發(fā)明的示范性實(shí)施例進(jìn)行了描述，但本領(lǐng)域的技術(shù)人員 應(yīng)該了解，在不脫離所附權(quán)利要求所公開的本發(fā)明的范圍和精神的前提下，可以進(jìn)行各種 修改、添加和替換。
權(quán)利要求
1.一種CMOS圖像傳感器的制造方法，該方法包括步驟 制備具有第一金屬互連的基板；在所述第一金屬互連上形成層間絕緣層；通過蝕刻所述層間絕緣層形成接觸孔，以暴露所述第一金屬互連的一部分； 在所述層間絕緣層上以及在所述接觸孔的內(nèi)表面上形成緩沖層； 進(jìn)行退火工藝；通過蝕刻所述緩沖層在所述接觸孔的側(cè)壁上形成間隔物； 在所述層間絕緣層的包括所述間隔物的表面上形成阻擋金屬層； 在所述阻擋金屬層上形成接觸插塞，使得所述接觸孔被所述接觸插塞填充；以及 在所述層間絕緣層上形成第二金屬互連，使得所述第二金屬互連與所述接觸插塞接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述緩沖層包括氮化物層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述退火工藝包括氫(H2)退火工藝。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的方法，其中所述退火工藝在400°C至700°C的溫度進(jìn)行。
5.根據(jù)權(quán)利要求3的方法，其中在所述氫(H2)退火工藝中H2的濃度在至80%的 范圍內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述間隔物通過干法蝕刻工藝或濕法蝕刻工藝形成。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的方法，其中所述干法蝕刻工藝包括回蝕工藝或毯式工藝。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述阻擋金屬層包括從由Ti、TiN,Ta、TaN, AlSiTiN, NiTi, TiBN, ZrBN, TiAlN, TiB2, Ti/TiN 以及 Ta/TaN 組成的組中選擇的一種。
9.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述第二金屬互連包括從由Ti/Al/TiN、Ti/Al/Ti/TiN 以及Ti/TiN/Al/Ti/TiN組成的組中選擇的一種。
全文摘要
本發(fā)明的目標(biāo)是提供一種CMOS圖像傳感器的制造方法，該方法能夠防止在CMOS圖像傳感器中由配線升起現(xiàn)象引起的小丘缺陷。為此，本發(fā)明提供一種CMOS圖像傳感器的制造方法，包括步驟準(zhǔn)備其上形成有第一金屬配線的基板；在第一金屬配線上形成層間絕緣層；蝕刻層間絕緣層以形成暴露第一金屬配線的一部分的接觸孔；沿接觸孔的內(nèi)表面在層間絕緣層上形成緩沖層；進(jìn)行熱處理工藝；蝕刻緩沖層以在接觸孔的內(nèi)壁上形成間隔物；沿層間絕緣層的包括間隔物的內(nèi)表面形成阻擋金屬層；在阻擋金屬層上形成接觸插塞以使得接觸孔被掩埋；以及在層間絕緣層上形成第二金屬配線以使得第二金屬配線連接到接觸插塞。
文檔編號H01L27/146GK102099914SQ200980122089
公開日2011年6月15日 申請日期2009年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月11日
發(fā)明者表成奎 申請人:科洛司科技有限公司