專利名稱：帶阻濾波器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及帶阻濾波器，特別是涉及具有包含多個彈性波諧振器的梯型電路構成 的帶阻濾波器。
背景技術：
近年來，在日本等國開始面向地面數(shù)字電視廣播的移動設備廣播服務，并且在多 國中進行了實用化研究。根據(jù)這樣的狀況，具備面向地面數(shù)字電視廣播的移動設備廣播服 務的接收功能的手機被實用化。在具備面向移動設備廣播服務的接收功能的手機中搭載有 面向移動設備廣播服務接收用TV調諧器。在這種手機內(nèi)部，手機的發(fā)送信號和面向移動設 備廣播服務的廣播信號干擾時，存在著面向移動設備廣播服務的接收靈敏度的惡化及面向 移動設備廣播服務接收用TV調諧器的誤動作產(chǎn)生這類問題。因此，為了通過防止手機的發(fā)送信號相對于面向移動設備廣播服務接收用TV調 諧器的返回，防止手機的發(fā)送信號和面向移動設備廣播服務的廣播信號的干擾，而在手機 中搭載有帶阻濾波器。帶阻濾波器具有使面向移動設備廣播服務的廣播信號通過面向移動 設備廣播服務接收用TV調諧器側而去除手機的發(fā)送信號的功能，且在手機中被配置在天 線和面向移動設備廣播服務接收用TV調諧器之間。在上述的帶阻濾波器中要求具有使面向移動設備廣播服務的廣播信號通過的通 頻帶、和去除手機的發(fā)送信號的衰減頻帶的濾波特性。在日本的面向地面數(shù)字電視廣播的 移動設備廣播服務中廣播信號的頻帶為UHF帶070 770MHz)，另一方面，手機的發(fā)送信號 的頻帶存在于約800 900MHz附近。因此，被搭載于具備日本的面向移動設備廣播服務的 接收功能的手機的帶阻濾波器，在通頻帶中包含廣播信號的頻帶即UHFS 070 770MHz)， 在衰減頻帶包含手機的發(fā)送信號的頻帶即約800 900MHz附近。而且，在帶阻濾波器中，為了適當?shù)厝コ謾C的發(fā)送信號，要求從使面向移動設備 廣播服務的廣播信號通過的通頻帶的端部到去除手機的發(fā)送信號的衰減頻帶，濾波特性的 陡峭性高。通常，作為具有通頻帶和衰減頻帶的濾波器公知有具有梯型電路構成的濾波裝 置。例如，在專利文獻1及專利文獻2等中分別公開有具有使用彈性波的梯型電路構成的 濾波裝置。圖四表示專利文獻1所公開的具有梯型電路構成的濾波裝置101。在濾波裝 置101中，連結輸入端子102和輸出端子103的串聯(lián)臂中配置有相互串聯(lián)連接的多個串聯(lián) 臂諧振器111 113。在串聯(lián)臂和接地電位之間設置有多個并聯(lián)臂。在多個并聯(lián)臂上分別 配置有并聯(lián)臂諧振器114 117。在濾波裝置101中，對于多個并聯(lián)臂諧振器114 117中的一個并聯(lián)臂諧振器114 并聯(lián)連接有電容118。由此，并聯(lián)臂諧振器114的機電耦合系數(shù)比其它并聯(lián)臂諧振器115 117的機電耦合系數(shù)小。其結果是，使通頻帶端部的濾波特性的陡峭性提高。另外，在專利文獻1中作為使諧振器的機電耦合系數(shù)不同的其它方法公開有以下 兩種方法。
(1)使構成諧振器的IDTanterdigital Transducer)的標準化膜厚(h/λ )不同 的方法(2)使構成諧振器的IDT的占空比不同的方法另外，專利文獻2公開有具備多個串聯(lián)臂諧振器和多個并聯(lián)臂諧振器且對各并聯(lián) 臂諧振器并聯(lián)地連接電感元件的SAW (Surface Acoustic Wave)帶阻濾波器。在該SAW帶 阻濾波器中，通過調節(jié)與并聯(lián)臂諧振器并聯(lián)連接的電感元件的特性，能夠調節(jié)并聯(lián)諧振器 的共振頻率。因此，可以降低插入損失。專利文獻1 日本特許第3827232號公報專利文獻2 日本特開平10-6M90號公報如上所述，根據(jù)專利文獻1所公開的濾波裝置101，能夠提高通頻帶端部的濾波特 性的陡峭性。但是，如專利文獻1所公開，對于并聯(lián)臂諧振器并聯(lián)地連接電容的情況中，梯 型電路的占有面積增大，其結果是，存在濾波裝置的制造需要費用增大這種問題。另外，在通過使構成諧振器的IDT的標準化膜厚(h/ λ )不同，從而使諧振器的機 電耦合系數(shù)不同的情況下，需要對各諧振器進行另外的薄膜形成工序。因此，濾波裝置的制 造需要的費用增大。另外，機電耦合系數(shù)幾乎由晶片材料決定，很大程度不取決于占空比。因此，使構 成諧振器的IDT的占空比不同，而使諧振器的機電耦合系數(shù)很大程度地不同就變得困難。 因此，難以充分地提高通頻帶端部的濾波特性的陡峭性。如專利文獻2所公開，通過調節(jié)與并聯(lián)臂諧振器并聯(lián)連接的電感元件的特性，可 以調節(jié)諧振器的阻抗特性。因此，能夠提高通頻帶端部的濾波特性的陡峭性。但是，在調節(jié) 與并聯(lián)臂諧振器并聯(lián)連接的電感元件的特性的情況下，機電耦合系數(shù)未產(chǎn)生實質的變化， 因此，難以在維持衰減量的狀態(tài)下使通頻帶端部的濾波特性的陡峭性提高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種小型且廉價、通頻帶端部的濾波特性的陡峭性高且 具有大的衰減量的帶阻濾波器。本發(fā)明的帶阻濾波器具備梯型電路結構，該梯型電路結構具有串聯(lián)臂，其連結輸 入端子和輸出端子；并聯(lián)臂，其被連接在串聯(lián)臂和接地電位之間；多個彈性波諧振器，其被 設置在串聯(lián)臂及并聯(lián)臂中至少一方；電感元件，其被設置在串聯(lián)臂及所述并聯(lián)臂中至少一 方，帶阻濾波器具有第一衰減頻帶、與第一衰減頻帶鄰接的第一通頻帶、位于第一通頻帶 之中的第二衰減頻帶、與第二衰減頻帶鄰接的過渡頻帶的帶阻濾波器，其中，多個彈性波諧 振器中的有助于過渡頻帶的形成的至少一個彈性波諧振器的傳播方位比其它彈性波諧振 器的傳播方位大。在此，所謂“彈性波諧振器的傳播方位”是指相對于壓電基板的結晶方位的、與壓 電基板表面的彈性波的傳播方向所形成的角度。所謂“有助于過渡頻帶的形成的諧振器”是指在共振頻率及反共振頻率等諧振器 的特性發(fā)生變化的情況下，使過渡頻帶的頻率特性產(chǎn)生變化的諧振器。本發(fā)明的帶阻濾波器具備梯型電路結構，該梯型電路結構具有串聯(lián)臂，其連結輸 入端子和輸出端子；并聯(lián)臂，其被連接在串聯(lián)臂和接地電位之間；多個彈性波諧振器，其被設置在串聯(lián)臂及并聯(lián)臂中至少一方；電感元件，其被設置在串聯(lián)臂及并聯(lián)臂中至少一方，帶 阻濾波器具有第一衰減頻帶、與第一衰減頻帶鄰接的第一通頻帶、位于第一通頻帶之中的 第二衰減頻帶、與第二衰減頻帶鄰接的過渡頻帶的帶阻濾波器，多個彈性波諧振器中的有 助于過渡頻帶的形成的至少一個彈性波諧振器的傳播方位比其它彈性波諧振器的傳播方 位大，由此，多個彈性波諧振器中的有助于過渡頻帶的形成的至少一個彈性波諧振器的機 電耦合系數(shù)比其它彈性波諧振器的機電耦合系數(shù)小。本發(fā)明的第一特定的方面中，在串聯(lián)臂上配置有多個電感元件，并聯(lián)臂被設置有 多個，在多個并聯(lián)臂上分別配置有彈性波諧振器。多個彈性波諧振器中的至少一個彈性波諧振器具有與其它彈性波諧振器不同的 共振頻率，多個彈性波諧振器中的共振頻率最小的彈性波諧振器的傳播方位比其它彈性波 諧振器的傳播方位大也可。在本發(fā)明的第二特定的方面中，串聯(lián)臂上配置有多個彈性波諧振器，在并聯(lián)臂上 配置有電感元件。多個彈性波諧振器中的至少一個彈性波諧振器具有與其它彈性波諧振器不同的 反共振頻率，多個彈性波諧振器中的反共振頻率最高的彈性波諧振器的傳播方位比其它彈 性波諧振器的傳播方位大也可。在本發(fā)明的第三特定的方面中，串聯(lián)臂上配置有彈性波諧振器，在并聯(lián)臂上配置 有彈性波諧振器，在串聯(lián)臂及所述并聯(lián)臂的至少一方配置有電感元件。具有在串聯(lián)臂所配置的彈性波諧振器的反共振頻率和在并聯(lián)臂所配置的彈性波 諧振器的共振頻率中的最低的頻率的彈性波諧振器的傳播方位，比其它彈性波諧振器的傳 播方位大也可。在串聯(lián)臂所配置的彈性波諧振器的傳播方位比在并聯(lián)臂所配置的所述彈性波諧 振器的傳播方位大也可。具有在串聯(lián)臂所配置的彈性波諧振器的反共振頻率和在并聯(lián)臂所配置的彈性波 諧振器的共振頻率中的最高的頻率的彈性波諧振器的傳播方位比其它彈性波諧振器的傳 播方位大也可。在并聯(lián)臂所配置的彈性波諧振器的傳播方位比在串聯(lián)臂所配置的彈性波諧振器 的傳播方位大也可。本發(fā)明的彈性波諧振器為彈性邊界波諧振器。根據(jù)本發(fā)明，多個彈性波諧振器中的有助于過渡頻帶的形成的至少一個彈性波諧 振器的傳播方位比其它彈性波諧振器的傳播方位大，所以可以提供小型且廉價、通頻帶端 部的濾波特性的陡峭性高且具有大衰減量的帶阻濾波器。


圖1是第--實施方式的帶阻濾波器的電路圖2是第--實施方式的帶阻濾波器的示意平面圖，但層壓樹脂層的描述省略
圖3是第--實施方式的帶阻濾波器的示意剖面圖4是第--實施方式的彈性波元件的示意剖面圖5是第--實施方式的彈性波元件的示意平面圖6是表示第一實施方式的各并聯(lián)臂諧振器的阻抗特性的圖形；圖7是表示第一實施方式的帶阻濾波器和第一比較例的帶阻濾波器的插入損失 的圖形；圖8是第二實施方式的帶阻濾波器的電路圖；圖9是第二實施方式的彈性波元件的示意平面圖；圖10是表示第二實施方式的各并聯(lián)臂諧振器及各串聯(lián)臂諧振器的阻抗特性的圖 形；圖11是表示第二實施方式的帶阻濾波器和第二比較例帶阻濾波器的插入損失的 圖形；圖12是表示第三實施方式的彈性波元件的示意平面圖；圖13是表示第三實施方式的各并聯(lián)臂諧振器及各串聯(lián)臂諧振器的阻抗特性的圖 形；圖14是表示第三實施方式的帶阻濾波器和第三比較例帶阻濾波器的插入損失的 圖形；圖15是表示第三實施例的帶阻濾波器、第三比較例的帶阻濾波器、和使第三實施 例變化串聯(lián)臂諧振器的傳播方位(Ψ)的帶阻濾波器的插入損失的圖形；圖16是表示傳播方位(Ψ)分別為30°、0°的彈性波諧振器的阻抗特性的圖形；圖17是第四實施方式的帶阻濾波器的電路圖；圖18是第四實施方式的彈性波元件的示意平面圖；圖19是表示第四實施方式的各串聯(lián)臂諧振器的阻抗特性的圖形；圖20是表示第四實施例的帶阻濾波器和第四比較例的帶阻濾波器的插入損失的 圖形；圖21是表示第五實施方式的彈性波元件的示意平面圖；圖22是表示第五實施方式的各串聯(lián)臂諧振器及各并聯(lián)臂諧振器的阻抗特性的圖形；圖23是表示第五實施例的帶阻濾波器和第五比較例的帶阻濾波器的插入損失的 圖形；圖M是表示第六實施方式的彈性波元件的示意平面圖；圖25是表示第六實施方式的各串聯(lián)臂諧振器及各并聯(lián)臂諧振器的阻抗特性的圖 形；圖沈是表示第六實施例的帶阻濾波器和第六比較例的帶阻濾波器的插入損失的 圖形；圖27是表示第六實施例的帶阻濾波器和第六比較例的帶阻濾波器的插入損失的 圖形；圖觀是表示第六實施例的帶阻濾波器、第六比較例的帶阻濾波器、和使第六實施 例變化并聯(lián)臂諧振器的傳播方位(Ψ)的帶阻濾波器的插入損失的圖形；圖四是專利文獻1所公開的濾波裝置的電路圖。
具體實施例方式下面，參照

本發(fā)明的具體的實施方式，由此了解本發(fā)明。
(第一實施方式)圖1是第一實施方式的帶阻濾波器1的電路圖。圖2是帶阻濾波器1的示意平面 圖。圖3是帶阻濾波器1的示意剖面圖。另外，圖2中省略后述的層壓樹脂層5的描述。如圖1所示，帶阻濾波器1具備梯型電路，該梯型電路具有連結輸入端子6和輸 出端子7的串聯(lián)臂10、在串聯(lián)臂10和接地電位之間所連接的第一 第三并聯(lián)臂13a、13b、 13c0串聯(lián)臂10上配置有第一及第二電感元件11、12。第一并聯(lián)臂13a在串聯(lián)臂10的 輸入端子6和第一電感元件11的連接點、與接地電位之間被連接。第一并聯(lián)臂13a上配置 有第一并聯(lián)臂諧振器P1。第二并聯(lián)臂1 在串聯(lián)臂10的第一電感元件11和第二電感元件 12的連接點、與接地電位之間被連接。第二并聯(lián)臂1 上配置有第二并聯(lián)臂諧振器P2。第 三并聯(lián)臂13c在串聯(lián)臂10的第二電感元件12和輸出端子7的連接點、與接地電位之間被 連接。第三并聯(lián)臂13c上配置有第三并聯(lián)臂諧振器P3。這樣，本實施方式中，由配置于串聯(lián)臂10的第一及第二電感元件11、12和分別配 置于第一 第三并聯(lián)臂13a、13b、13c上的第一 第三并聯(lián)臂諧振器P1、P2、P3形成梯型電路。帶阻濾波器1具有作為插入損失大的頻帶的第一衰減頻帶。第一衰減頻帶主要由 第一及第二電感元件11、12電感(感應量)和第一 第三的并聯(lián)臂諧振器P1、P2、P3電容 (電容量)形成。帶阻濾波器1具有比第一衰減頻帶更靠低頻帶側的、且插入損失小的頻帶即第一 通頻帶。第一通頻帶主要由第一及第二電感元件11、12的電感形成。帶阻濾波器1具有位于第一通頻帶之中的、且插入損失大的頻帶即第二衰減頻 帶。第二衰減頻帶主要由第一 第三并聯(lián)臂諧振器P1、P2、P3的共振產(chǎn)生的衰減極所形成。帶阻濾波器1具有位于第一通頻帶中的、比第二衰減頻帶更靠低頻帶側、且插入 損失小的頻帶即第二通頻帶。第二通頻帶主要由第一及第二電感元件11、12的電感所形 成。而且，帶阻濾波器1在第二衰減頻帶和第二通頻帶之間具有插入損失大幅變化的 頻帶。在本說明書中，將在該第二衰減頻帶和第二通頻帶之間所形成的頻帶稱為“過渡頻 帶”。另外，所謂“過渡頻帶的濾波特性的陡峭性”即意味著過渡頻帶中的與頻率相對應的 插入損失的變化的程度，所謂“過渡頻帶的濾波特性的陡峭性高”即意味著在過渡頻帶中與 頻率相對應的插入損失的變化程度大。在本實施方式中，將第一 第三并聯(lián)臂諧振器Pl P3作為圖2所示的一個彈性 波元件3—體地形成。如圖3所示，將彈性波元件3安裝在基板2的主面加上。具體地說， 彈性波元件3被倒裝片式安裝在基板2的主面加上。另外，基板2的主面加上形成有第 一及第二電感元件11、12。形成于彈性波元件3的第一 第三并聯(lián)臂諧振器Pl P3、和形 成于基板2的主面加第一及第二電感元件11、12，由形成于基板2上的未圖示的線路電連 接。在基板2的主面加上以覆蓋彈性波元件3和第一及第二電感元件11、12的方式 形成有層壓樹脂層5。通過該層壓樹脂層5將彈性波元件3和第一及第二電感元件11、12 密封。
另外，基板2不作特別限定。基板2可以是例如，低溫共燒陶瓷(LTCC Low Temperature Co-fired Ceramics)基板、及印刷基板(PCB Print Circuit Board)等。彈性波元件3不僅可以是使用彈性表面波(SAW =Surface Acoustic Wave)的彈性 表面波元件，也可以是使用彈性邊界波(BEW boundary Elastic Wave)的彈性邊界波元件。 換句話說，“彈性波”包含彈性邊界波和彈性表面波。在本實施方式中，對彈性波元件3是使用彈性邊界波的彈性邊界波元件的例子進 行說明。圖4表示彈性波元件3的示意剖面圖。如圖4所示，彈性波元件3具備壓電基板 30。在壓電基板30的主面30a上形成有介電體層31。在壓電基板30和介電體層31之間 的邊界形成有包含上述第一 第三并聯(lián)臂諧振器Pl P3的電極結構32。在介電體層31上形成有在電極結構32設置開口的開口 31a。在介電體層31上形 成有以覆蓋開口 31a的方式形成且與電極結構32電連接的連接導體33。通過該連接導體 33將形成于介電體層31上的外部電極34和電極結構32電連接。電極結構32中所包含的 第一 第三并聯(lián)臂諧振器Pl P3經(jīng)由該外部電極34與第一及第二電感元件11、12電連 接。另外，壓電基板30、介電體層31及電極結構32各自的材質只要是在彈性波元件 3中產(chǎn)生彈性邊界波的組合內(nèi)就不作特別限定。具體地說，壓電基板30可以由例如LiNbO3 等形成。介電體層31可以由例如SiO2等形成。電極結構32可以由例如Au等形成。0050下面，參照圖5對第一 第三并聯(lián)臂諧振器Pl P3的結構進行說明。如圖5所 示，第一 第三并聯(lián)臂諧振器Pl P3的各自具備IDT (Interdigital Transducer)、配置于 彈性波的傳播方向的IDT的兩側的一對格柵反射器。具體地說，第一并聯(lián)臂諧振器Pl具備IDT14。IDT14具備一對梳齒電極14a、14b。 梳齒電極14a、14b具備母線、與母線連接且相互平行延伸的多個電極指。梳齒電極14a、14b 以各自的多個電極指相互間插合的方式對置配置。在彈性波傳播方向的IDT14的兩側配置 有格柵反射器15、16。同樣，第二并聯(lián)臂諧振器P2具備IDT17、配置于彈性波傳播方向的IDT17的兩側的 一對格柵反射器18、19。第三并聯(lián)臂諧振器P3具備IDT20、配置于彈性波傳播方向的IDT20 的兩側的一對格柵反射器21、22。在本實施方式中，第一 第三并聯(lián)臂諧振器Pl P3中至少一個并聯(lián)臂諧振器的 傳播方位(Ψ)比其它并聯(lián)臂諧振器的傳播方向(Ψ)大。具體地說，第一 第三并聯(lián)臂諧 振器Pl P3中的有助于過渡頻帶的形成的至少一個并聯(lián)臂諧振器的傳播方位(V)比其 它并聯(lián)臂諧振器的傳播方位(Ψ)大。由此，有助于過渡頻帶的形成的至少一個并聯(lián)臂諧振 器的機電耦合系數(shù)(k2)比其它并聯(lián)臂諧振器的機電耦合系數(shù)(k2)小。另外，例如，在W02004/070946A1號公報中記載有通過擴大彈性波諧振器的傳播 方位(Ψ)而減小彈性波諧振器的機電耦合系數(shù)(k2)的內(nèi)容。如本實施方式，通過使第一 第三并聯(lián)揩振子Pl P3中有助于過渡頻帶形成的 至少一個并聯(lián)臂諧振器的傳播方位(Ψ)比其它并聯(lián)臂諧振器的傳播方位(Ψ)大，而使第 一 第三并聯(lián)臂諧振器Pl P3中的有助于過渡頻帶的形成的至少一個并聯(lián)臂諧振器的機 電耦合系數(shù)(k2)比其它并聯(lián)臂諧振器的機電耦合系數(shù)(k2)小，由此，如以下詳述，能夠在確保衰減量的同時，提高通頻帶端部的濾波特性的陡峭性。另外，可以減小通頻帶內(nèi)的插入損失。例如專利文獻1所記載，也考慮通過將電容器與并聯(lián)臂諧振器并聯(lián)地連接，減小 并聯(lián)臂諧振器的機電耦合系數(shù)(k2)。但是，在將電容器與并聯(lián)臂諧振器并聯(lián)連接的情況下， 梯型電路的占有面積增大電容器的占有面積量。與之相對，在本實施方式中通過使并聯(lián)臂 諧振器的傳播方位(Ψ)不同從而減小并聯(lián)臂諧振器的機電耦合系數(shù)(k2)。因此，在本實施 方式中不需要在梯型電路中追加機電耦合系數(shù)(k2)調節(jié)用的其它元件，能夠縮小梯型電路 的占有面積。因此，能夠使帶阻濾波器1小型化，其結果是可以使帶阻濾波器1廉價。另外，作為減小并聯(lián)臂諧振器的機電耦合系數(shù)(k2)的其它方法列舉出使構成諧振 器的IDT的標準化膜厚(h/ λ )不同的方法。然而，為了使構成諧振器的IDT的標準化膜厚 (h/λ)不同，需要利用與其它并聯(lián)臂諧振器不同的薄膜形成工序形成減小機電耦合系數(shù) (k2)的并聯(lián)臂諧振器。與之相對，本實施方式中，可以在全部的并聯(lián)臂諧振器Pl P3中使 IDT的標準化膜厚(h/λ)相同，可以利用相同的薄膜形成工序形成全部并聯(lián)臂諧振器Pl P3。因此，本實施方式的帶阻濾波器1可以用簡單的制造工序廉價地制造。另外，如專利文獻2所記載，也考慮通過將電感元件與并聯(lián)臂諧振器并聯(lián)地連接， 使并聯(lián)臂諧振器的阻抗特性產(chǎn)生變化，該情況下，難以在維持衰減量的狀態(tài)下，提高過渡頻 帶的濾波特性的陡峭性。與之相對，本實施方式中，通過使機電耦合系數(shù)(k2)產(chǎn)生變化從 而使并聯(lián)臂諧振器的阻抗特性產(chǎn)生變化，因此能夠一直維持衰減量而提高過渡頻帶的濾波 特性的陡峭性。即，能夠同時實現(xiàn)大衰減量和過渡頻帶的濾波特性高的陡峭性。另外，如本實施方式，在串聯(lián)臂10上配置有第一及第二電感元件11、12，且在第 一 第三并聯(lián)臂13a 13c上配置有第一 第三并聯(lián)臂諧振器Pl P3的帶阻濾波器1中， 共振頻率最低的并聯(lián)臂諧振器有助于過渡頻帶的形成。在本實施方式中，由于將第一 第三并聯(lián)臂諧振器Pl P3中第三并聯(lián)臂諧振器 P3的共振頻率設定得最低，所以第三并聯(lián)臂諧振器P3有助于過渡頻帶的形成。第三并聯(lián) 臂諧振器P3之外的并聯(lián)臂諧振器即第一及第二并聯(lián)臂諧振器PI、P2主要有助于第二衰減 頻帶的形成，對過渡頻帶的頻率特性幾乎沒有影響。因此，如圖5所示，將第三并聯(lián)臂諧振 器P3的傳播方位(Ψ = 30° )設定得比第一及第二并聯(lián)臂諧振器PI、P2的傳播方位(Ψ =20° )大。由此，第三并聯(lián)臂諧振器P3的機電耦合系數(shù)(k2)比第一及第二并聯(lián)臂諧振 器PI、P2的機電耦合系數(shù)(k2)小。其結果是，第三并聯(lián)臂諧振器P3的阻抗特性的陡峭性 提高、且過渡頻帶的濾波特性的陡峭性提高。但是，傳播方位(V)為45°以下的情況下，隨著傳播方位(Ψ)增大，彈性波諧振 器的阻抗特性的頻率溫度系數(shù)(TCF Temperature Coefficient of Frequency)減小。在 此，在本實施方式中，由于在45°以下范圍內(nèi)最大程度地設定第三并聯(lián)臂諧振器P3的傳播 方位(Ψ)，所以影響過渡頻帶的濾波特性的第三并聯(lián)臂諧振器P3的阻抗特性的TCF減小。 因此，過渡頻帶的濾波特性的TCF也減小。因此，帶阻濾波器1中涉及頻率的制造公差增大， 可以實現(xiàn)高的制造成品率。另外，在本實施方式中，對配置于串聯(lián)臂10的電感元件數(shù)量為2個，配置于第一 第三并聯(lián)臂13a 13c的并聯(lián)臂諧振器的數(shù)量為3個的例子進行了說明。但是，本發(fā)明中 配置于串聯(lián)臂的電感元件的數(shù)量及配置于并聯(lián)臂的并聯(lián)臂諧振器的數(shù)量不作限定。
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(第一實施例及第一比較例)按下述要領制作與上述第一實施方式對應的第一實施例的帶阻濾波器1。在由LiNbO3構成的壓電基板30上形成由Au構成的厚度0. 05 λ ( λ 帶阻濾波器 1的第二衰減頻帶的彈性邊界波的波長)的電極結構32。另外，壓電基板30的歐拉角設為 0 = 0°> θ = 105°。之后，在壓電基板30上以覆蓋電極結構32的方式形成由SiO2構成的厚度10 μ m 的介電體層31，完成彈性波元件3。使用該彈性波元件3，制作圖1所示的電路構成的帶阻 濾波器1，作為第一實施例。另外，第一 第三并聯(lián)臂諧振器Pl P3的詳細如下述的表1所示。[表1]
權利要求
1.一種帶阻濾波器，其具備梯型電路結構， 該梯型電路結構具有串聯(lián)臂，其連結輸入端子和輸出端子； 并聯(lián)臂，其被連接在所述串聯(lián)臂和接地電位之間； 多個彈性波諧振器，其被設置在所述串聯(lián)臂及所述并聯(lián)臂中的至少一方； 電感元件，其被設置在所述串聯(lián)臂及所述并聯(lián)臂中的至少一方， 所述帶阻濾波器具有第一衰減頻帶、與所述第一衰減頻帶鄰接的第一通頻帶、位于所 述第一通頻帶之中的第二衰減頻帶、與所述第二衰減頻帶鄰接的過渡頻帶，其中，所述多個彈性波諧振器中的有助于所述過渡頻帶的形成的至少一個彈性波諧振器的 傳播方位，比其它彈性波諧振器的傳播方位大。
2.—種帶阻濾波器，其具備梯型電路結構， 該梯型電路結構具有串聯(lián)臂，其連結輸入端子和輸出端子； 并聯(lián)臂，其被連接在所述串聯(lián)臂和接地電位之間； 多個彈性波諧振器，其被設置在所述串聯(lián)臂及所述并聯(lián)臂中的至少一方； 電感元件，其被設置在所述串聯(lián)臂及所述并聯(lián)臂中的至少一方， 所述帶阻濾波器具有第一衰減頻帶、與所述第一衰減頻帶鄰接的第一通頻帶、位于所 述第一通頻帶之中的第二衰減頻帶、與所述第二衰減頻帶鄰接的過渡頻帶，其中，所述多個彈性波諧振器中的有助于所述過渡頻帶的形成的至少一個彈性波諧振器的 傳播方位比其它彈性波諧振器的傳播方位大，由此，所述多個彈性波諧振器中的有助于所 述過渡頻帶的形成的至少一個彈性波諧振器的機電耦合系數(shù)比其它彈性波諧振器的機電 耦合系數(shù)小。
3.如權利要求1或2所述的帶阻濾波器，其中，在所述串聯(lián)臂上配置有多個所述電感元件，所述并聯(lián)臂被設置有多個，在所述多個并 聯(lián)臂上分別配置有所述彈性波諧振器。
4.如權利要求3所述的帶阻濾波器，其中，所述多個彈性波諧振器中的至少一個彈性波諧振器具有與其它彈性波諧振器不同的 共振頻率，所述多個彈性波諧振器中的共振頻率最小的彈性波諧振器的傳播方位比其它彈 性波諧振器的傳播方位大。
5.如權利要求1或2所述帶阻濾波器，其中，在所述串聯(lián)臂上配置有所述多個彈性波諧振器，在所述并聯(lián)臂上配置有所述電感元件。
6.如權利要求5所述的帶阻濾波器，其中，所述多個彈性波諧振器中的至少一個彈性波諧振器具有與其它彈性波諧振器不同的 反共振頻率，所述多個彈性波諧振器中的反共振頻率最高的彈性波諧振器的傳播方位比其 它彈性波諧振器的傳播方位大。
7.如權利要求1或2所述的帶阻濾波器，其中，在所述串聯(lián)臂上配置有所述彈性波諧振器，在所述并聯(lián)臂上配置有所述彈性波諧振 器，在所述串聯(lián)臂及所述并聯(lián)臂的至少一方配置有所述電感元件。
8.如權利要求7所述的帶阻濾波器，其中，具有在所述串聯(lián)臂所配置的所述彈性波諧振器的反共振頻率和在所述并聯(lián)臂所配置 的所述彈性波諧振器的共振頻率中的最低的頻率的彈性波諧振器的傳播方位，比其它彈性 波諧振器的傳播方位大。
9.如權利要求7所述的帶阻濾波器，其中，在所述串聯(lián)臂所配置的所述彈性波諧振器的傳播方位，比在所述并聯(lián)臂所配置的所述 彈性波諧振器的傳播方位大。
10.如權利要求7所述的帶阻濾波器，其中，具有在所述串聯(lián)臂所配置的所述彈性波諧振器的反共振頻率和在所述并聯(lián)臂所配置 的所述彈性波諧振器的共振頻率中的最高的頻率的彈性波諧振器的傳播方位，比其它彈性 波諧振器的傳播方位大。
11.如權利要求7所述的帶阻濾波器，其中，在所述并聯(lián)臂所配置的所述彈性波諧振器的傳播方位，比在所述串聯(lián)臂所配置的所述 彈性波諧振器的傳播方位大。
12.如權利要求1 11中任一項所述的帶阻濾波器，其中，所述彈性波諧振器為彈性邊界波諧振器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種帶阻濾波器，其小型且廉價，通頻帶端部的濾波特性陡峭性高，且具有大的衰減量。帶阻濾波器(1)中通過使多個彈性波諧振器中的有助于過渡頻帶的形成的至少一個彈性波諧振器的傳播方位比其它彈性波諧振器的傳播方位大，從而使多個彈性波諧振器中的有助于過渡頻帶的形成的至少一個彈性波諧振器的機電耦合系數(shù)比其它彈性波諧振器的機電耦合系數(shù)小。
文檔編號H01L41/09GK102077465SQ20098012556
公開日2011年5月25日 申請日期2009年5月21日 優(yōu)先權日2008年6月30日
發(fā)明者中橋憲彥, 谷口康政 申請人:株式會社村田制作所