專利名稱：處理裝置的動(dòng)作監(jiān)視系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及能夠根據(jù)構(gòu)成處理裝置的可動(dòng)部件動(dòng)作時(shí)的振動(dòng)來(lái)監(jiān)視該可動(dòng)部件 的動(dòng)作的處理裝置的動(dòng)作監(jiān)視系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
以往，作為在基板上連續(xù)實(shí)施成膜處理或蝕刻處理等各種處理的裝置，已知有如 圖ι所示那樣構(gòu)成的處理裝置(即所說(shuō)的組合設(shè)備裝置)，即經(jīng)由閘閥El E4，以包圍配 置有自動(dòng)輸送裝置A的中央的輸送室B的方式來(lái)配置基板S的真空進(jìn)樣室C和多個(gè)處理室 Dl D3，在各處理室D或者各處理室D的相互間輸送由自動(dòng)輸送裝置A投入到真空進(jìn)樣室 C的基板S。在這種處理裝置中，除了自動(dòng)輸送裝置A以外，還設(shè)置有具備隔絕各處理室D和輸 送室B的驅(qū)動(dòng)單元的閘閥E、冷媒循環(huán)式的冷槽(未圖示)和真空泵P等多種可動(dòng)部件，通 過(guò)這些可動(dòng)部件形成了用于對(duì)處理對(duì)象物實(shí)施包括輸送基板在內(nèi)的規(guī)定的處理的處理環(huán) 境。此時(shí)，為了順利進(jìn)行上述規(guī)定的處理，必須使這些可動(dòng)部件總是正常地進(jìn)行動(dòng)作。根據(jù) 上述情況，對(duì)每個(gè)可動(dòng)部件設(shè)置光學(xué)傳感器等檢測(cè)單元，可以監(jiān)視其動(dòng)作，但是由于裝置的 構(gòu)成部件較多，或者待管理數(shù)據(jù)龐大而需要高性能的控制單元，其結(jié)果會(huì)導(dǎo)致成本變高。但是，以往提案有，使用加速度傳感器或AE傳感器等用于檢測(cè)裝置的振動(dòng)的振動(dòng) 檢測(cè)單元來(lái)檢測(cè)處理裝置的異常。例如，在專利文獻(xiàn)1中公開了設(shè)置一種停止控制單元在 裝置內(nèi)部或外部設(shè)置加速度傳感器，根據(jù)該檢測(cè)單元的輸出來(lái)輸出意為使裝置停止的停止 信號(hào)。但是，在基于以往的振動(dòng)測(cè)量的異常檢測(cè)中，預(yù)先取得處理裝置的構(gòu)成部件中的 要進(jìn)行異常檢測(cè)的測(cè)量對(duì)象物異常時(shí)的振動(dòng)波形，并基于此來(lái)進(jìn)行異常檢測(cè)。因此，存在有 測(cè)定對(duì)象物被確定了的問(wèn)題。另外，由于只在超過(guò)了預(yù)先規(guī)定的閾值時(shí)才判斷異常，所以不 適于管理根據(jù)使用頻度老化的可動(dòng)部件的老化狀況等。專利文獻(xiàn)1 日本特開平9-237757號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
于是，本發(fā)明借鑒了以上的問(wèn)題，其課題在于，提供一種低成本的處理裝置的動(dòng)作 監(jiān)視系統(tǒng)，能簡(jiǎn)單地判斷構(gòu)成處理裝置的可動(dòng)部件的包括老化在內(nèi)的異常。為了解決上述課題，本發(fā)明的處理裝置的動(dòng)作監(jiān)視系統(tǒng)的特征在于，該處理裝置 具備為了在對(duì)處理對(duì)象物實(shí)施規(guī)定處理的處理室內(nèi)形成規(guī)定的處理環(huán)境而設(shè)置的可動(dòng)部 件和控制各可動(dòng)部件的動(dòng)作的控制單元，該動(dòng)作監(jiān)視系統(tǒng)構(gòu)成為具備振動(dòng)檢測(cè)單元，其檢 測(cè)伴隨著上述可動(dòng)部件的動(dòng)作而產(chǎn)生的振動(dòng)的波形；在通過(guò)控制單元的控制而使任意一個(gè) 上述可動(dòng)部件動(dòng)作的情況下，該處理裝置的動(dòng)作監(jiān)視系統(tǒng)取得與上述控制相對(duì)應(yīng)的事件 數(shù)據(jù)、和由上述振動(dòng)檢測(cè)單元檢測(cè)到的此時(shí)正在動(dòng)作的全部可動(dòng)部件的振動(dòng)的波形；在每 次選擇了與上述事件數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)的控制時(shí)，或者取得了與和上述事件數(shù)據(jù)同種的其他的事件數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)的振動(dòng)的波形時(shí)，監(jiān)視上述波形的變化，當(dāng)該波形超過(guò)了規(guī)定的范圍變化時(shí)， 判斷為處理裝置異常。根據(jù)本發(fā)明，在通過(guò)控制單元的控制來(lái)而任意一個(gè)可動(dòng)部件動(dòng)作的時(shí)候，通過(guò)振 動(dòng)檢測(cè)單元分別測(cè)量因包含該可動(dòng)部件在內(nèi)的動(dòng)作中的所有可動(dòng)部件的動(dòng)作而產(chǎn)生的振 動(dòng)的波形且是振動(dòng)傳播的范圍的波形，并同時(shí)取得作為其控制內(nèi)容的事件數(shù)據(jù)。并且，例 如，當(dāng)在相同的動(dòng)作環(huán)境下通過(guò)控制單元進(jìn)行了同種的控制(事件數(shù)據(jù)基本一致)時(shí)，通 過(guò)振動(dòng)檢測(cè)單元再次分別檢測(cè)振動(dòng)的波形，并和與該事件數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)的上次的振動(dòng)數(shù)據(jù)比 較。并且，若任意一個(gè)該振動(dòng)數(shù)據(jù)超過(guò)了規(guī)定的范圍而發(fā)生變化，則判斷為處理裝置異?；?者因老化故需要保養(yǎng)。另外，在本發(fā)明中，事件數(shù)據(jù)是與通過(guò)控制單元的控制使任意一個(gè)可 動(dòng)部件動(dòng)作時(shí)從控制單元輸出的控制(司令)內(nèi)容相關(guān)的數(shù)據(jù)，指的是“打開閘閥”、“冷槽 動(dòng)作”和“真空泵動(dòng)作”等指令數(shù)據(jù)。在上述那樣的本發(fā)明中，不是預(yù)先測(cè)量任意一個(gè)可動(dòng)部件異常時(shí)的振動(dòng)的波形， 而是在任意一個(gè)可動(dòng)部件每次動(dòng)作時(shí)，根據(jù)與特定的事件數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)的振動(dòng)的波形的變化 來(lái)簡(jiǎn)單地判斷可動(dòng)部件的健全性。所以，在該振動(dòng)的波形隨著時(shí)間變化的情況下，也能夠監(jiān) 視到可動(dòng)部件的老化狀況。另外，由于是檢測(cè)并處理振動(dòng)傳播的范圍內(nèi)動(dòng)作的可動(dòng)部件的 所有振動(dòng)，所以不需要對(duì)每個(gè)可動(dòng)部件設(shè)置振動(dòng)檢測(cè)單元，從而能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化。并且， 與通過(guò)在一定的周期內(nèi)取得表示處理裝置各部的狀態(tài)的信息并處理來(lái)進(jìn)行動(dòng)作監(jiān)視的情 況相比，能夠減少待管理數(shù)據(jù)的數(shù)量，最適合作為用于組合設(shè)備這樣的可動(dòng)部件比較多的 處理裝置用的動(dòng)作監(jiān)視系統(tǒng)。另外，在本發(fā)明中，也可以構(gòu)成為，在與上述事件數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)的控制被選擇了的情 況下，當(dāng)新檢測(cè)到?jīng)]有包含在上次的振動(dòng)的波形中的振動(dòng)的波形時(shí)，確定該振動(dòng)的產(chǎn)生原 因并存儲(chǔ)基于上述產(chǎn)生原因的其他波形。在任意一個(gè)上述可動(dòng)部件正在動(dòng)作時(shí)，若通過(guò)上 述振動(dòng)檢測(cè)單元檢測(cè)到上述的其他波形，則判斷為處理裝置異常。由此，能夠在例如成膜室 的內(nèi)壁上設(shè)置的保護(hù)板上附著的膜剝離、或者基板在輸送時(shí)破損等因在事件數(shù)據(jù)中無(wú)法管 理的原因而引起振動(dòng)產(chǎn)生的情況下判斷為處理裝置異常。在上述取得的振動(dòng)的波形被轉(zhuǎn)換成規(guī)定的特征參數(shù)后，如果預(yù)先將其存儲(chǔ)在控制 單元中設(shè)置的存儲(chǔ)器或其他眾所周知的存儲(chǔ)裝置中，則與將取得的振動(dòng)的波形的數(shù)據(jù)原樣 保存的情況相比，通過(guò)將其持續(xù)時(shí)間、振動(dòng)的上行以及下行時(shí)間、最大振幅值、振動(dòng)能量和 峰值頻率等轉(zhuǎn)換成參數(shù)并存儲(chǔ)，從而不需要預(yù)先保存大量的數(shù)據(jù)，并且異常的判斷也變得
各易O在這種情況下，如果預(yù)先裝備顯示上述特征參數(shù)的顯示單元，則可動(dòng)部件的老化 能夠可視化，有利于對(duì)其老化等進(jìn)行分析和判斷。另外，優(yōu)選地，上述振動(dòng)檢測(cè)單元由能夠測(cè)量的振動(dòng)的頻帶不同的多個(gè)傳感器組 合構(gòu)成，以使得能夠捕捉到動(dòng)作過(guò)程中的所有可動(dòng)部件的振動(dòng)。


圖1的(a)和(b)是示意性表示具備自動(dòng)輸送裝置的處理裝置的俯視圖以及截面 圖。圖2是說(shuō)明針對(duì)通過(guò)振動(dòng)檢測(cè)單元檢測(cè)到的振動(dòng)的波形向特征參數(shù)轉(zhuǎn)換的圖。
圖3是表示顯示單元中的特征參數(shù)的顯示例的圖。圖4的(a)至(d)是說(shuō)明通過(guò)本發(fā)明的處理裝置的動(dòng)作監(jiān)視系統(tǒng)進(jìn)行異常檢測(cè)的 例子的圖。圖5的(a)至(d)是說(shuō)明通過(guò)本發(fā)明的處理裝置的動(dòng)作監(jiān)視系統(tǒng)進(jìn)行異常檢測(cè)的 其他例子的圖。
具體實(shí)施例方式下面，對(duì)在圖1所示的處理裝置中應(yīng)用了本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。即，在輸送 室B中設(shè)置有自動(dòng)輸送裝置A。自動(dòng)輸送裝置A具有作為省略圖示的驅(qū)動(dòng)單元的2個(gè)電機(jī)， 同心配置的各電機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸Ia和Ib由機(jī)械臂2形成連桿機(jī)構(gòu)而被連接，并在其前端安裝 有機(jī)械手3。由此，通過(guò)適當(dāng)控制各電機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸la、lb的旋轉(zhuǎn)角來(lái)使機(jī)械臂2自由地伸縮 以及旋轉(zhuǎn)，從而能夠利用機(jī)械手3夾持基板S移送到規(guī)定的位置。另外，輸送室B、真空進(jìn)樣 室C和處理室Dl D3經(jīng)由具備有氣缸等驅(qū)動(dòng)單元4的閘閥El E4連結(jié)，從而各室能夠 相互隔絕。輸送室B、真空進(jìn)樣室C和各處理室Dl D3連接有由回轉(zhuǎn)泵、低溫泵或渦輪分子 泵構(gòu)成的真空排氣單元P。在這種情況下，與各處理室Dl D3中進(jìn)行的處理相應(yīng)地，在與 各處理室Dl D3的連接位置上適當(dāng)設(shè)置省略圖示的、眾所周知的構(gòu)造的冷槽。另外，在處 理室Dl D3等中，設(shè)置有皮拉尼真空計(jì)或離子計(jì)等真空壓測(cè)量單元、和用于導(dǎo)入規(guī)定氣體 的氣體導(dǎo)入單元，還按照規(guī)定的處理適當(dāng)設(shè)置有用于在處理室Dl D3內(nèi)形成放電等離子 體的電極或電源，這里沒有特別圖示。為了對(duì)半導(dǎo)體晶片等作為處理對(duì)象物的基板S實(shí)施規(guī)定的處理，在為了形成例如 從該基板S的真空進(jìn)樣室C向各處理室Dl D3的移送、或者真空(等離子體)環(huán)境的形 成等的規(guī)定的處理環(huán)境的輸送室B、真空進(jìn)樣室C和各處理室D中適當(dāng)設(shè)置的上述各部件構(gòu) 成了本實(shí)施方式的可動(dòng)部件。這些可動(dòng)部件的動(dòng)作由控制單元5控制?？刂茊卧?具有眾 所周知的構(gòu)造，例如具備微型計(jì)算機(jī)、能夠在該微型計(jì)算機(jī)中通過(guò)個(gè)人電腦等預(yù)先將控制 (指令)內(nèi)容編制成程序，并通過(guò)依次執(zhí)行該程序來(lái)進(jìn)行順序控制。另外，控制單元5連接 有液晶顯示器等顯示單元6，能夠適當(dāng)顯示控制內(nèi)容。在處理裝置中，設(shè)置有振動(dòng)檢測(cè)單元7，其用于檢測(cè)在各可動(dòng)部件動(dòng)作時(shí)伴隨與此 發(fā)生的振動(dòng)的波形。作為振動(dòng)檢測(cè)單元7，可以使用具有眾所周知的構(gòu)造的加速度傳感器、 振動(dòng)/沖擊傳感器、AE (聲發(fā)射)傳感器和麥克風(fēng)等。振動(dòng)檢測(cè)單元7經(jīng)由后述的振動(dòng)參 數(shù)轉(zhuǎn)換單元7a與控制單元5連接，另外，為了高效地檢測(cè)各可動(dòng)部件動(dòng)作時(shí)發(fā)生的振動(dòng)的 波形，例如安裝在輸送室B的底面外側(cè)。這里，將多個(gè)上述傳感器組合使用，以使能夠在較寬頻帶內(nèi)、即從電機(jī)或閘閥 El E4動(dòng)作時(shí)的振動(dòng)那樣的500Hz以下的低頻域的振動(dòng)開始到上述冷槽動(dòng)作時(shí)活塞摩擦 氣缸壁面而產(chǎn)生的振動(dòng)那樣的IOOkHz的高頻域的振動(dòng)為止的頻帶內(nèi)進(jìn)行振動(dòng)測(cè)量(即，能 夠?qū)?gòu)成處理裝置的全部部件進(jìn)行動(dòng)作監(jiān)視)。另外，低頻域的振動(dòng)容易傳播，可動(dòng)部件即使是樹脂制等也難以衰減，而高頻域的 振動(dòng)只是因?yàn)闃渲撇考鹊拇嬖诰蜁?huì)衰減，因此考慮這些振動(dòng)的特性，為了測(cè)量作為目 標(biāo)的振動(dòng)而適當(dāng)選擇上述各傳感器的安裝位置。
接著，針對(duì)本實(shí)施方式涉及的處理裝置的動(dòng)作監(jiān)視，例如以通過(guò)真空排氣單元的 動(dòng)作使輸送室B、真空進(jìn)樣室C和各處理室Dl D3保持在規(guī)定的真空度的狀態(tài)下，將真空 進(jìn)樣室C中設(shè)置的基板S移送至任意一個(gè)處理室Dl D3的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。首先，在 確認(rèn)了真空進(jìn)樣室C通過(guò)控制單元5的控制達(dá)到了規(guī)定的真空度以后，打開位于輸送室B 和、真空進(jìn)樣室C以及處理室Dl D3之間的2個(gè)閘閥El E4。此時(shí)，通過(guò)振動(dòng)檢測(cè)單元 6來(lái)檢測(cè)隨著閘閥El E4的動(dòng)作而產(chǎn)生的振動(dòng)的波形、和隨著真空泵P的動(dòng)作而產(chǎn)生的振 動(dòng)等當(dāng)前正在動(dòng)作的可動(dòng)部件的振動(dòng)的波形。被測(cè)量的振動(dòng)的波形通過(guò)振動(dòng)參數(shù)化單元7a分別被轉(zhuǎn)換成特征參數(shù)。以通過(guò)AE 傳感器檢測(cè)到閘閥El的振動(dòng)的情況為例進(jìn)行說(shuō)明，在振動(dòng)參數(shù)化單元7a中，隨著檢測(cè)到的 閘閥El的動(dòng)作而產(chǎn)生的振動(dòng)的波形的持續(xù)時(shí)間、振動(dòng)的上行以及下行時(shí)間、最大振幅值、 振動(dòng)能量和峰值頻率被進(jìn)行了沖擊處理(hit processing)。也就是說(shuō)，將對(duì)AE波形進(jìn)行包 絡(luò)線檢波而形成的波形塊定義成1個(gè)信號(hào)(沖擊)，作為特征參數(shù)(參照?qǐng)D2)。該特征參數(shù)被輸出至控制單元5，并和被稱為“打開閘閥E1”的作為控制單元5發(fā) 出的控制(指令)內(nèi)容的事件數(shù)據(jù)一起被存儲(chǔ)在控制單元5中設(shè)置的存儲(chǔ)器等存儲(chǔ)單元中 (在實(shí)際的處理中，在任意一個(gè)可動(dòng)部件通過(guò)控制單元5的控制動(dòng)作了的情況下，檢測(cè)出在 包含該可動(dòng)部件在內(nèi)的當(dāng)前動(dòng)作中振動(dòng)的全部可動(dòng)部件的振動(dòng)的波形，然后它們被進(jìn)行沖 擊處理，并分別被轉(zhuǎn)換成特征參數(shù)而存儲(chǔ))。由此，事件數(shù)據(jù)和振動(dòng)波形的特征參數(shù)的同步 變得容易，另外，參數(shù)化和只在任意一個(gè)可動(dòng)部件動(dòng)作時(shí)取得數(shù)據(jù)(與事件數(shù)據(jù)和特征參 數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù))互相結(jié)合，能夠不再需要保存大量的數(shù)據(jù)。另外，得到的特征參數(shù)能夠顯示在顯示單元6上。在這種情況下，優(yōu)選用氣泡圖 (散點(diǎn)圖)來(lái)顯示，例如，在X軸上取振動(dòng)波形的第1峰值，在Y軸上取振動(dòng)波形的最大振 幅，并用圓的大小來(lái)表示振動(dòng)能量(參照?qǐng)D3)。由此，對(duì)應(yīng)于事件數(shù)據(jù)的各可動(dòng)部件的振動(dòng) 能夠可視化。另外，氣泡圖適于通過(guò)X-Y軸上表示的圓的大小、圓的顏色、圓的高度等來(lái)將 具有多個(gè)特征參數(shù)的波形數(shù)據(jù)的特征可視化。這里，若在一定的期間內(nèi)持續(xù)蓄積所得到的特征參數(shù)，則通常發(fā)生的振動(dòng)在氣泡 圖上聚集在特定的區(qū)域。因此，如圖4所示那樣，若蓄積特征參數(shù)并包含其發(fā)生次數(shù)在內(nèi)地 顯示在顯示單元6上，則在除了可動(dòng)部件的動(dòng)作以外發(fā)生了其他的振動(dòng)的情況下，能夠通 過(guò)在上述區(qū)域以外的區(qū)域表示振動(dòng)的發(fā)生來(lái)直接辨別(如果消去事件數(shù)據(jù)和與其對(duì)應(yīng)的 特征參數(shù)的數(shù)據(jù)，則能夠更加明顯地表現(xiàn))。在這種情況下，例如停止處理裝置的動(dòng)作，并確定該振動(dòng)的產(chǎn)生原因。并且，預(yù)先 構(gòu)成為，預(yù)先將基于該產(chǎn)生原因的其他的振動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)單元中，當(dāng)在上述可動(dòng)部件 的任意一個(gè)動(dòng)作過(guò)程中通過(guò)振動(dòng)檢測(cè)單元7檢測(cè)到其他的振動(dòng)數(shù)據(jù)時(shí)，則判斷為處理裝置 的異常。由此，例如，在當(dāng)處理室Dl D3內(nèi)壁上設(shè)置的保護(hù)板上附著的膜剝離時(shí)發(fā)生的AE 波QOOkHz附近)等、在事件數(shù)據(jù)中因無(wú)法管理的原因而引起的振動(dòng)發(fā)生的情況下，能夠判 斷包含保養(yǎng)的必要性在內(nèi)的處理裝置的異常。接著，例如，在真空進(jìn)樣室C和各處理室Dl D3被保持為規(guī)定的真空度的狀態(tài)等 相同的動(dòng)作環(huán)境下，通過(guò)控制單元5進(jìn)行相同的控制、也就是說(shuō)生成了指令“打開閘閥E1” 的時(shí)候，或者在進(jìn)行了從任意一個(gè)處理室向其他的處理室移送基板S那樣的同種控制(例 如，“打開閘閥E2”:事件數(shù)據(jù)基本一致)的情況下，通過(guò)振動(dòng)檢測(cè)單元7再次分別檢測(cè)此時(shí)發(fā)生的振動(dòng)的波形并轉(zhuǎn)換成特征參數(shù)，并且與和該事件數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)的上次的振動(dòng)的特征參 數(shù)進(jìn)行比較。并且，根據(jù)與特征參數(shù)的時(shí)間軸的偏離和AE能量面積的變化來(lái)判斷處理裝置 的異?；蛘咭蚶匣市枰ｐB(yǎng)。由此，除了監(jiān)視電機(jī)、閘閥和冷槽的動(dòng)作以外，還可以監(jiān)視 例如在處理室內(nèi)實(shí)施等離子處理的情況下的異常放電(電弧放電)的發(fā)生、或者、基板S被 自動(dòng)輸送裝置A輸送時(shí)從機(jī)械手上脫落等情況。接著，對(duì)在本實(shí)施方式中通過(guò)監(jiān)視處理裝置的動(dòng)作來(lái)檢測(cè)可動(dòng)部件的異常的例子 進(jìn)行說(shuō)明。當(dāng)在真空進(jìn)樣室C和各處理室Dl D3被保持為規(guī)定的真空度的狀態(tài)下，通過(guò)控 制單元5使閘閥El E3分別動(dòng)作時(shí)(當(dāng)事件數(shù)據(jù)為同種的時(shí))，通過(guò)振動(dòng)檢測(cè)單元7測(cè)量 振動(dòng)的波形，轉(zhuǎn)換成特征參數(shù)，并與此相應(yīng)地作成各自的散點(diǎn)圖(參照?qǐng)D4的(a)至(c))。 并且，通過(guò)將這些散點(diǎn)圖重疊(參照?qǐng)D4的(d))來(lái)判定只有在閘閥2動(dòng)作時(shí)才由振動(dòng)檢測(cè) 單元7檢測(cè)到異常的振動(dòng)(由符號(hào)Rl表示的區(qū)域)。由此，判定閘閥2處發(fā)生了異常。在 這種情況下，更換閘閥2自己。另一方面，當(dāng)在輸送室B、真空進(jìn)樣室C和各處理室Dl D3被保持為規(guī)定的真空 度的狀態(tài)下，通過(guò)控制單元5使間閥El動(dòng)作時(shí)，通過(guò)振動(dòng)檢測(cè)單元7測(cè)量振動(dòng)的波形，作成 轉(zhuǎn)換為特征參數(shù)時(shí)的散點(diǎn)圖(參照?qǐng)D5的(a))。并且，當(dāng)在相同的環(huán)境下通過(guò)控制單元5 選擇了上述控制時(shí)(當(dāng)事件數(shù)據(jù)相同時(shí))，每次測(cè)量振動(dòng)的波形，轉(zhuǎn)換成特征參數(shù)來(lái)作成散 點(diǎn)圖，并與上次作成的散點(diǎn)圖重疊顯示。通過(guò)將各散點(diǎn)圖這樣重疊(參照?qǐng)D5的(d))，若閘閥El的使用時(shí)間變長(zhǎng)，則判定 通過(guò)振動(dòng)檢測(cè)單元7測(cè)量的振動(dòng)正在變化(在圖5中，由符號(hào)R2表示的區(qū)域向右側(cè)位移)。 由此，判定為間閥El處發(fā)生了異?；蛘哂邪l(fā)生異常的可能性。在這種情況下，更換間閥El 自己。在如以上說(shuō)明那樣的本發(fā)明的實(shí)施方式中，在任意一個(gè)可動(dòng)部件每次動(dòng)作時(shí)，根 據(jù)與特定的事件數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)的振動(dòng)的波形的變化，能夠簡(jiǎn)單地判斷可動(dòng)部件的健全性，特 別是在該振動(dòng)的波形隨著時(shí)間變化的情況下，能夠了解可動(dòng)部件的老化狀況。另外，如果是 振動(dòng)傳播的范圍，由于對(duì)動(dòng)作中的可動(dòng)部件的全部的振動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)并處理，所以不需要對(duì) 每個(gè)可動(dòng)部件設(shè)置振動(dòng)檢測(cè)單元，能夠?qū)崿F(xiàn)低成本化。另外，在本實(shí)施方式中，以一定環(huán)境下的閘閥的動(dòng)作為例進(jìn)行了說(shuō)明，但并不局限 于此，只要是伴隨著動(dòng)作而產(chǎn)生振動(dòng)的可動(dòng)部件，就能夠應(yīng)用本發(fā)明來(lái)管理其動(dòng)作。另外， 雖然以將振動(dòng)的波形轉(zhuǎn)換成特征參數(shù)并利用氣泡圖顯示的情況為例進(jìn)行了說(shuō)明，但只要能 夠?qū)⑷〉玫奶卣鲄?shù)重疊顯示即可而與其形式無(wú)關(guān)，例如曲線圖等。圖中符號(hào)說(shuō)明5…控制單元、6…顯示單元、7…振動(dòng)檢測(cè)單元、B…輸送室、O··真空進(jìn)樣室、Dl D3…處理室、El E4…閘閥、P…真空排氣單元、S…基板。
權(quán)利要求
1.一種處理裝置的動(dòng)作監(jiān)視系統(tǒng)，該處理裝置具備為了在對(duì)處理對(duì)象物實(shí)施規(guī)定處 理的處理室內(nèi)形成規(guī)定的處理環(huán)境而設(shè)置的可動(dòng)部件和控制各可動(dòng)部件的動(dòng)作的控制單 元，該處理裝置的動(dòng)作監(jiān)視系統(tǒng)的特征在于，構(gòu)成為，具備振動(dòng)檢測(cè)單元，其檢測(cè)伴隨著上述可動(dòng)部件的動(dòng)作而產(chǎn)生的振動(dòng)的波形， 在通過(guò)控制單元的控制而使任意一個(gè)上述可動(dòng)部件動(dòng)作的情況下，該處理裝置的動(dòng)作 監(jiān)視系統(tǒng)取得與上述控制相對(duì)應(yīng)的事件數(shù)據(jù)、和由上述振動(dòng)檢測(cè)單元檢測(cè)到的此時(shí)正在 動(dòng)作的全部可動(dòng)部件的振動(dòng)的波形，在每次選擇了與上述事件數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)的控制時(shí)，或者取得了與和上述事件數(shù)據(jù)同種的 其他的事件數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)的振動(dòng)的波形時(shí)，監(jiān)視上述波形的變化，當(dāng)該波形超過(guò)了規(guī)定的范 圍變化時(shí)，判斷為處理裝置異常。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理裝置的動(dòng)作監(jiān)視系統(tǒng)，其特征在于，構(gòu)成為，在選擇了與上述事件數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)的控制的情況下，當(dāng)新檢測(cè)到?jīng)]有包含在上次的振動(dòng) 的波形中的振動(dòng)的波形時(shí)，確定該振動(dòng)的產(chǎn)生原因并存儲(chǔ)基于上述產(chǎn)生原因的其他波形，在任意一個(gè)上述可動(dòng)部件的動(dòng)作過(guò)程中，若通過(guò)上述振動(dòng)檢測(cè)單元檢測(cè)到上述的其他 波形，則判斷為處理裝置異常。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的處理裝置的動(dòng)作監(jiān)視系統(tǒng)，其特征在于， 將上述取得的振動(dòng)的波形轉(zhuǎn)換成規(guī)定的特征參數(shù)后進(jìn)行存儲(chǔ)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的處理裝置的動(dòng)作監(jiān)視系統(tǒng)，其特征在于， 具備顯示單元，其顯示上述特征參數(shù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4的任意一項(xiàng)所述的處理裝置的動(dòng)作監(jiān)視系統(tǒng)，其特征在于， 上述振動(dòng)檢測(cè)單元由能夠測(cè)量的振動(dòng)的頻帶不同的多個(gè)傳感器組合構(gòu)成。
全文摘要
本發(fā)明涉及處理裝置的動(dòng)作監(jiān)視系統(tǒng)，能夠在具備為了在對(duì)處理對(duì)象物實(shí)施規(guī)定處理的處理室內(nèi)形成規(guī)定的處理環(huán)境而設(shè)置的可動(dòng)部件、和控制各可動(dòng)部件的動(dòng)作的控制單元的處理裝置中，簡(jiǎn)單地判斷構(gòu)成處理裝置的可動(dòng)部件的包括經(jīng)時(shí)變化在內(nèi)的異常。其中，設(shè)置有振動(dòng)檢測(cè)單元(7)，其用于檢測(cè)伴隨著上述可動(dòng)部件的動(dòng)作而產(chǎn)生的振動(dòng)的波形。在執(zhí)行了來(lái)自控制單元的要使任意一個(gè)可動(dòng)部件動(dòng)作的控制的情況下，取得與控制相對(duì)應(yīng)的事件數(shù)據(jù)和此時(shí)動(dòng)作中的全部可動(dòng)部件的振動(dòng)的波形。在每次選擇了與事件數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)的控制時(shí)，或者在與和上述事件數(shù)據(jù)同種的其他的事件數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)的振動(dòng)的波形被取得時(shí)，監(jiān)視上述波形的變化，若該波形超過(guò)了規(guī)定的范圍而發(fā)生變化，則判斷為處理裝置異常。
文檔編號(hào)H01L21/677GK102105975SQ200980128998
公開日2011年6月22日 申請(qǐng)日期2009年7月21日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月24日
發(fā)明者藤井佳詞 申請(qǐng)人:愛發(fā)科股份有限公司