專利名稱：半導(dǎo)體處理設(shè)備的遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的實(shí)施例一般而言是關(guān)于半導(dǎo)體處理設(shè)備，且更特定言，是關(guān)于與此設(shè)備的處理控制器建立接口(interfacing)。
背景技術(shù)：
隨著技術(shù)進(jìn)步，需要升級(jí)陳舊設(shè)備以提供更快、更佳且更可靠的操作。然而，設(shè)備的升級(jí)通常以操作環(huán)境必需重新構(gòu)造為代價(jià)。通常，改變操作環(huán)境并不可取，因?yàn)楦淖儗?duì)整體任務(wù)至關(guān)重要的系統(tǒng)組件將存在必然風(fēng)險(xiǎn)。此危險(xiǎn)在半導(dǎo)體處理領(lǐng)域尤其明顯，其中微小改變亦可能攪亂經(jīng)仔細(xì)構(gòu)造的系統(tǒng)，從而導(dǎo)致產(chǎn)量減少及其它制造缺陷。此風(fēng)險(xiǎn)導(dǎo)致許多終端使用者對(duì)升級(jí)其系統(tǒng)仍舊猶豫不決，相反選擇接受陳舊硬件的問題及限制。具體而言，此半導(dǎo)體處理設(shè)備的輸入及輸出接口中存在此類限制。輸入及輸出接口的改變要求對(duì)系統(tǒng)軟件進(jìn)行更新，這將對(duì)仔細(xì)構(gòu)造了系統(tǒng)的使用者造成很大風(fēng)險(xiǎn)。因此，本發(fā)明的發(fā)明者提供了一種裝置以對(duì)晶圓處理設(shè)備提供遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)，該裝置有助于向裝置的終端使用者提供透明升級(jí)路徑。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明揭示了為半導(dǎo)體處理設(shè)備提供接口的裝置及方法。在一些實(shí)施例中，為具有適配卡的半導(dǎo)體處理設(shè)備提供接口的裝置包括顯示邏輯子系統(tǒng)，其用以經(jīng)由控制總線以對(duì)一或多個(gè)裝置(諸如視頻及信息顯示器、光筆、鍵盤、計(jì)算機(jī)鼠標(biāo)及警告燈網(wǎng)絡(luò)及警報(bào)器)提供接口 ；橋接器，其用以提供對(duì)控制總線的存?。患氨镜赜?jì)算機(jī)子系統(tǒng)，其連接至該橋接器及該顯示邏輯子系統(tǒng)，其中該本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)提供對(duì)一或多個(gè)遠(yuǎn)程裝置的存取。在一些實(shí)施例中，為具有歐洲通用模塊(VME)適配卡的半導(dǎo)體處理設(shè)備提供接口的裝置可包括顯示邏輯子系統(tǒng)，其用以經(jīng)由VME總線對(duì)一或多個(gè)裝置(包含視頻及信息顯示器、光筆、鍵盤、計(jì)算機(jī)鼠標(biāo)及警告燈網(wǎng)絡(luò)及警報(bào)器)提供接口，該顯示邏輯子系統(tǒng)包含光筆內(nèi)存，用于為本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)提供對(duì)光筆緩存器、偏移校正或游標(biāo)位置中一或多者的存?。磺疫M(jìn)一步包含視頻內(nèi)存，用于為本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)提供對(duì)視頻顯示數(shù)據(jù)的存取； 第一 VME橋接器，其連接至該顯示邏輯子系統(tǒng)以提供對(duì)VME總線的存??；本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)，其連接至該VME橋接器及該顯示邏輯子系統(tǒng)，其中該本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)提供對(duì)一或多個(gè)遠(yuǎn)程裝置的存取，且其中該等遠(yuǎn)程裝置包含本地視頻顯示器、高速訊息發(fā)送服務(wù)接口、網(wǎng)絡(luò)接口、第二鍵盤及鼠標(biāo)接口或外部?jī)?chǔ)存接口中至少一者；第二 VEM橋接器，其連接至該本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)以提供對(duì)該VEM總線的存取；開關(guān)機(jī)制，其連接至該本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)以提供故障保險(xiǎn)及本地切斷功能，其中該開關(guān)機(jī)制在硬件故障的情況下自動(dòng)斷開遠(yuǎn)程訪問；以及視頻接口，以供提供視頻輸出；及光筆接口，以供為連接至顯示邏輯子系統(tǒng)的光筆工具提供輸入存取。在一些實(shí)施例中，一種為具有適配卡的半導(dǎo)體處理設(shè)備提供接口的方法包括使用本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)處理輸入及輸出中至少一者，及存取顯示邏輯子系統(tǒng)以執(zhí)行至少一個(gè)輸入或輸出。下文將更詳細(xì)討論本發(fā)明的其它及進(jìn)一步實(shí)施例。


所以，上述簡(jiǎn)介的本發(fā)明的特征可參考對(duì)本發(fā)明更具體描述的實(shí)施例進(jìn)一步理解和敘述，部分實(shí)施例示出于附圖中。然而要指出的是，附圖僅說明本發(fā)明的典型實(shí)施例，因此不應(yīng)被視為其范圍的限制，本發(fā)明亦適用于其它具有同等功效的實(shí)施例。圖1示出使用本發(fā)明的實(shí)施例與半導(dǎo)體處理工具的系統(tǒng)控制器建立接口的系統(tǒng)的方塊圖。圖2示出本發(fā)明的實(shí)施例和數(shù)據(jù)及控制總線的方塊圖。圖3示出本發(fā)明的本地計(jì)算機(jī)系統(tǒng)組件的實(shí)施例的方塊圖。圖4示出使得能夠遠(yuǎn)程訪問半導(dǎo)體處理設(shè)備的方法的實(shí)施例的流程圖。為清晰起見已簡(jiǎn)化且未按比例繪制附圖。為了便于理解，已經(jīng)在可能的情況下，使用相同的組件符號(hào)指示各圖中相同的組件。意即，在一個(gè)實(shí)施例中所揭示的組件亦可有利地用于其它實(shí)施例。
具體實(shí)施例方式本文描述了為半導(dǎo)體處理設(shè)備提供遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)的裝置。本發(fā)明的裝置有利地為視頻、光筆及遠(yuǎn)程訪問能力提供接口。此外，本發(fā)明的裝置與該領(lǐng)域中的先前努力相比消耗較少功率且產(chǎn)生較少熱，同時(shí)在替換老式(legacy)設(shè)備時(shí)占用相似的卡占據(jù)面積。本裝置亦仿真老式視頻及光筆接口的行為及通訊，從而使得當(dāng)以本裝置取代老式硬件時(shí)無需對(duì)系統(tǒng)控制器進(jìn)行軟件改變。盡管本文結(jié)合老式系統(tǒng)進(jìn)行描述，但是本發(fā)明亦可在新制造的系統(tǒng)及/或現(xiàn)有非老式設(shè)備上實(shí)施。本發(fā)明可用于接口與傳統(tǒng)遠(yuǎn)程訪問解決方法不兼容的諸多處理系統(tǒng)。舉例而言， 歸因于非標(biāo)準(zhǔn)卡接口、視頻格式、視頻連接、使用者輸入方法、電纜、監(jiān)視器及輸入裝置、視頻分布硬件、光筆或等效物、光盤驅(qū)動(dòng)(odd)盤片格式、顧客操作系統(tǒng)及與控制、接口及可存取性有關(guān)的其它獨(dú)特專有項(xiàng)目中的一或多者，該領(lǐng)域中的先前努力不足以提供能為此類處理系統(tǒng)提供遠(yuǎn)程訪問及控制的接口解決方法。本發(fā)明的至少一些實(shí)施例有利地提供了可交叉通訊的雙視頻及操作者接口、遠(yuǎn)程連接性、每一裝置的唯一識(shí)別及遠(yuǎn)程構(gòu)件對(duì)光筆緩存器及邏輯的直接驅(qū)動(dòng)。所提供的子功能之間的協(xié)同使得本發(fā)明與眾不同且優(yōu)于該領(lǐng)域中的先前嘗試。在顯示邏輯子系統(tǒng)上本發(fā)明的內(nèi)部可容易地存取必需的光筆緩存器、偏移校正及游標(biāo)位置緩存器。因此，卡內(nèi)的本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)(遠(yuǎn)程訪問)模塊能夠直接存取這些資源是非常有利的。由于未涉及轉(zhuǎn)換或底板總線相互作用，所以處理是“無損耗”的(例如，不存在外部數(shù)據(jù)或訊號(hào)轉(zhuǎn)換)且比傳統(tǒng)裝置快得多。本地或遠(yuǎn)程地(通過規(guī)則及限定)增加覆蓋(overlay) 及額外人性接口功能的能力可減少產(chǎn)生人員或機(jī)械危險(xiǎn)的機(jī)會(huì)。適合處理工具的實(shí)例包括
5PRECISION 5000 處理系統(tǒng)、200mm CENTURA 及 ENDURA 處理系統(tǒng)及一些 PRODUCER 處理胃■，自 Santa Clara, California 白勺 Applied Materials, Inc.。圖1示出示范性集成半導(dǎo)體基板處理系統(tǒng)(例如叢集(cluster)工具)100的示意圖，該系統(tǒng)與200mm CENTURA 處理系統(tǒng)類似且具有根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例的遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)。圖標(biāo)中系統(tǒng)100包括真空密閉處理平臺(tái)101、輸入/輸出模塊102及系統(tǒng)控制器140。 平臺(tái)101通常包括連接至共享真空基板移送腔室128的處理模塊110、112、114及116以及至少一個(gè)負(fù)載鎖定腔室(示出了負(fù)載鎖定腔室121及122)。負(fù)載鎖定腔室121及122保護(hù)移送腔室1 免受大氣污染物。移送腔室1 包含基板機(jī)器人130。在操作中，機(jī)器人130在負(fù)載鎖定腔室與處理模塊之間移送基板。輸入/輸出模塊102包含至少一個(gè)塢站(docking)以接受一或多個(gè)前開式晶圓傳送盒(FOUP)(圖示了 FOUPs 106及107)及至少一個(gè)基板機(jī)器人(圖示了兩個(gè)機(jī)器人108 及120)。在一些實(shí)施例中，輸入/輸出模塊102可進(jìn)一步包含適用于量測(cè)形成于待處理基板上的結(jié)構(gòu)的主要尺寸的測(cè)量模塊126。機(jī)器人108及120在FOUPs 106、量測(cè)工具104及負(fù)載鎖定腔室121、122之間移送經(jīng)預(yù)處理及后處理的基板。在所描述的實(shí)施例中，測(cè)量模塊1 用作為通過型(pass-through)模塊。在其它實(shí)施例中，測(cè)量模塊1 可為輸入/輸出模塊102的周邊單元。工廠接口 IM通常為大氣壓力接口，用以在各處理系統(tǒng)與半導(dǎo)體生產(chǎn)的制造區(qū)域之間移送具有安置在FOUPs 106、107中的預(yù)處理及后處理的基板的盒。通常，工廠接口 IM 包含基板搬運(yùn)裝置136及軌道138。在操作中，基板搬運(yùn)裝置136沿軌道138行進(jìn)以在叢集工具或其它處理設(shè)備之間運(yùn)輸FOUPs。系統(tǒng)控制器140連接至積體處理系統(tǒng)100的模塊及裝置并對(duì)其進(jìn)行控制。系統(tǒng)控制器140使用系統(tǒng)100的模塊及裝置的直接控制或者通過控制與這些模塊及裝置相關(guān)聯(lián)的計(jì)算機(jī)(或控制器)來控制系統(tǒng)100的操作的所有方面。在操作中，系統(tǒng)控制器140使得能夠?qū)ψ罴鸦到y(tǒng)100的效能的各模塊(例如測(cè)量模塊126)及裝置進(jìn)行數(shù)據(jù)收集及反饋。系統(tǒng)控制器140通常包含中央處理單元(CPU) 142、內(nèi)存144及支持電路146。CPU 142可為工業(yè)設(shè)置中可用的任何形式的通用計(jì)算機(jī)處理器中的一者。支持電路146傳統(tǒng)地連接至CPU 142且可包含高速緩存、時(shí)鐘電路、輸入/輸出子系統(tǒng)、電源及其類似物。軟件常用程序在由CPU 142執(zhí)行時(shí)將CPU轉(zhuǎn)換成特定用途計(jì)算機(jī)(控制器)140。軟件常用程序亦可由位于系統(tǒng)100的遠(yuǎn)程的第二控制器(未圖標(biāo))儲(chǔ)存及/或執(zhí)行。系統(tǒng)控制器140進(jìn)一步連接至一或多個(gè)外部接口 150。在一實(shí)施例中，系統(tǒng)控制器 140包含經(jīng)由數(shù)據(jù)及控制總線接口通訊的一或多個(gè)適配卡。適配卡通常為外部裝置提供經(jīng)由數(shù)據(jù)及控制總線(諸如下文參考圖2描述的數(shù)據(jù)及控制總線20 存取、發(fā)送及接收數(shù)據(jù)的方式。遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)適配卡148為(例如)占用單槽中的6U外形因子的適配卡，其為外部接口 150提供經(jīng)由數(shù)據(jù)及控制總線對(duì)系統(tǒng)控制器140的存取。與將子系統(tǒng)分成多個(gè)卡的該領(lǐng)域中的先前努力相比，利用單卡具有減少卡槽占據(jù)面積、功率消耗及成本的優(yōu)點(diǎn)。功率消耗的減少亦導(dǎo)致凈熱減少。在一些實(shí)施例中，遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)適配卡148可為歐洲通用模塊(VME)適配卡，其中數(shù)據(jù)及控制總線為VME總線。外部接口 150可包括光筆、視頻顯示器、鍵盤、鼠標(biāo)、遠(yuǎn)程儲(chǔ)存裝置、計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)及高速訊息發(fā)送系統(tǒng)(HSMS)中的一或多者。遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)適配卡148允許使用者在系統(tǒng)控制器140的遠(yuǎn)程位置對(duì)半導(dǎo)體處理工具101輸入命令及自其接收反饋。因此，遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)適配卡148有利地克服了由于無法連接至系統(tǒng)控制器數(shù)據(jù)總線而導(dǎo)致的外部裝置無法存取內(nèi)部數(shù)據(jù)及控制緩存器的傳統(tǒng)缺陷(傳統(tǒng)地，歸因于老式控制器I/O端口及盤片驅(qū)動(dòng)總線的性質(zhì)，其不允許任何外部裝置開始或控制對(duì)內(nèi)部總線及內(nèi)存數(shù)據(jù)的存取)。遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)適配卡148進(jìn)一步在無需充當(dāng)總線主控器以能夠自由存取數(shù)據(jù)及內(nèi)存進(jìn)而實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)上載及下載(如傳統(tǒng)設(shè)備將有此需要(若其可連接至系統(tǒng)控制器數(shù)據(jù)總線中))的情況下有利地提供此遠(yuǎn)程訪問及控制。這是需要的，因?yàn)樵试S此設(shè)備充當(dāng)總線主控器很容易導(dǎo)致系統(tǒng)數(shù)據(jù)丟失或訛誤或命令處理故障，從而導(dǎo)致系統(tǒng)崩潰，此將極具破壞性及隱患，原因歸結(jié)于晶圓處理設(shè)備自身的、并入其內(nèi)的機(jī)制及設(shè)備內(nèi)極常用的可燃、有毒、腐蝕性、引起畸型及自燃材料的暗含危險(xiǎn)的主要性質(zhì)。圖2為連接至數(shù)據(jù)及控制總線202的遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)適配卡148的方塊圖。遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)適配卡148包含兩個(gè)處理子系統(tǒng)顯示邏輯子系統(tǒng)204及本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206。 每一子系統(tǒng)連接至對(duì)數(shù)據(jù)及控制總線提供存取的橋接器(例如第一橋接器22 及第二橋接器22 ，合稱為為橋接器22 。在遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)適配卡148為VME卡的實(shí)施例中，橋接器222可為VME橋接器。在一些實(shí)施例中，兩個(gè)處理子系統(tǒng)實(shí)施為位于遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)適配卡148上的一或多個(gè)可程序化系統(tǒng)或裝置內(nèi)的兩個(gè)虛擬計(jì)算機(jī)，例如現(xiàn)場(chǎng)可編程門陣列 (FPGA)。通過用FPGA實(shí)施處理子系統(tǒng)，本裝置的操作壽命可延長(zhǎng)且不再連接至特定硬件或特殊處理環(huán)境。橋接器222允許本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206與主機(jī)系統(tǒng)控制器(CPU 142)之間的通訊以及顯示邏輯系統(tǒng)204與主機(jī)系統(tǒng)控制器(CPU 142)之間的獨(dú)立通訊路徑。遠(yuǎn)程網(wǎng)關(guān)接口 148內(nèi)含有的該兩個(gè)菜單現(xiàn)為與主機(jī)系統(tǒng)控制器(CPUl^)完全分離的內(nèi)存及I/O 空間。在一些實(shí)施例中，兩個(gè)橋接器222可組合為仿效兩個(gè)獨(dú)立邏輯路徑的單個(gè)網(wǎng)關(guān)(例如單個(gè)橋接器)。因?yàn)閮蓚€(gè)橋接器222占用相同總線連接器且共享總線連接器上的相同I/ 0插腳，所以任一瞬間兩個(gè)接口中僅有一者可經(jīng)由數(shù)據(jù)及控制總線202通訊。在一些實(shí)施例中，遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)適配卡148可包括終端使用者不得改變的唯一識(shí)別符(諸如硅ID)。在一些實(shí)施例中，硅ID可為邏輯識(shí)別符，用于在以太網(wǎng)絡(luò)或網(wǎng)際網(wǎng)絡(luò)通訊進(jìn)行中唯一地識(shí)別特定卡。否則，若所有卡具有相同ID，則通訊網(wǎng)路上的訊息將不能正確投送。在一些實(shí)施例中，硅ID亦可為授權(quán)ID啟用器及/或穩(wěn)固特征結(jié)構(gòu)鎖定及密碼的啟用器(例如，用于一個(gè)卡的密碼將不能用于另一卡，從而使得能夠進(jìn)行權(quán)限管理。此與 NICs及其它網(wǎng)絡(luò)可用裝置上的MacID類似)。因此，遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)適配卡148使得符合啟用遠(yuǎn)程訪問及控制所需的特殊安全性及調(diào)節(jié)設(shè)備及協(xié)議。這些標(biāo)準(zhǔn)存在于SEMI (半導(dǎo)體設(shè)備制造商協(xié)會(huì))以及操作此設(shè)備的特定公司及操作場(chǎng)所。在一些實(shí)施例中，遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)適配卡148可包括開關(guān)機(jī)制215。開關(guān)機(jī)制215可包括密鑰鎖、保險(xiǎn)開關(guān)或其它安全機(jī)制以限制、啟用或阻止遠(yuǎn)程通訊、檢視、控制及數(shù)據(jù)移送。開關(guān)機(jī)制215可實(shí)施為硬件或軟件機(jī)制。在一些實(shí)施例中，開關(guān)機(jī)制進(jìn)一步包括一系列狀態(tài)燈柱或訊號(hào)可構(gòu)造標(biāo)志圖樣 (通過LED、光、LCD等形成，例如警告燈系統(tǒng))，其可安裝在系統(tǒng)主框架及子組件托架的上方、近處或遠(yuǎn)程。這些狀態(tài)指示器對(duì)本地人員指示遠(yuǎn)程訪問功能被禁用、啟用但非活動(dòng)或啟用且活動(dòng)。在一實(shí)施例中，狀態(tài)指示器由多個(gè)三燈柱組成，其由與適配卡的連接所驅(qū)動(dòng)。在一些實(shí)施例中，當(dāng)關(guān)閉本地存取開關(guān)時(shí)，指示器亮綠色(或其它顏色)或也許根本不亮。當(dāng)本地存取開關(guān)打開但無通訊發(fā)生時(shí)，狀態(tài)指示器可亮(例如)藍(lán)色。當(dāng)活動(dòng)遠(yuǎn)程控制占線時(shí)，狀態(tài)指示器可亮(例如)琥珀色且可閃爍。這些狀態(tài)指示器的其它實(shí)施例可包括特制標(biāo)志圖樣、視頻顯示器及其類似物。在一些實(shí)施例中，顯示邏輯子系統(tǒng)204可為視頻驅(qū)動(dòng)程序208及光筆接口 210提供接口。視頻驅(qū)動(dòng)程序208進(jìn)一步輸出至視頻接口 220。顯示邏輯子系統(tǒng)204提供與視頻 /光筆/使用者接口邏輯卡(例如老式適配卡)相同的功能。以此方式，經(jīng)構(gòu)造以發(fā)送數(shù)據(jù)以顯示在老式適配卡上的外部系統(tǒng)無需為了與新裝置建立接口而加以改變。本裝置為老式適配卡有利地提供完全替換，該老式適配卡由于其陳舊過時(shí)而使其替換愈加困難且昂貴。在顯示邏輯子系統(tǒng)204內(nèi)的視頻內(nèi)存224內(nèi)含有待輸出至視頻驅(qū)動(dòng)程序208的數(shù)據(jù)。在一些實(shí)施例中，視頻內(nèi)存2M可包含4千字節(jié)的內(nèi)存區(qū)塊，其隨后由視頻驅(qū)動(dòng)程序 208讀取以輸出至視頻接口 220。視頻接口 220包含顯示裝置。顯示邏輯子系統(tǒng)204通過改變此內(nèi)存區(qū)塊內(nèi)所含的數(shù)據(jù)來與視頻驅(qū)動(dòng)程序208動(dòng)。顯示邏輯子系統(tǒng)204亦提供光筆接口 210。光筆接口 210負(fù)責(zé)追蹤光筆裝置的位置。光筆的水平及垂直位置保存在一對(duì)內(nèi)存位置中，即提供于顯示邏輯子系統(tǒng)204中的光筆內(nèi)存226。顯示邏輯子系統(tǒng)204存取這些內(nèi)存位置以確定光筆裝置的當(dāng)前位置。在一些實(shí)施例中，顯示邏輯子系統(tǒng)204可經(jīng)由(例如)卡的下部的后連接器為光筆裝置及老式視頻顯示器提供接口。本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206可為本地視頻顯示器212、高速訊息發(fā)送服務(wù)(HSMQ接口 213、網(wǎng)絡(luò)214、鍵盤及鼠標(biāo)接口 216，以及外部?jī)?chǔ)存裝置218提供接口。在一些實(shí)施例中，本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206可經(jīng)由(例如)適配卡的上部的后連接器提供對(duì)以上裝置的存取。此外，本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206可直接與顯示邏輯子系統(tǒng)204動(dòng)以存取屬于視頻驅(qū)動(dòng)程序208及光筆接口 210的數(shù)據(jù)。本地視頻顯示器212可包含任何視頻接口，諸如標(biāo)準(zhǔn) VGA顯示器。本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206可存取顯示邏輯子系統(tǒng)204內(nèi)所含的視頻內(nèi)存224以輸出至本地視頻顯示器212。本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206隨后可將此數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為適于輸出至本地視頻顯示器212的格式。以此方式，系統(tǒng)不再緊密連接至必需與顯示邏輯子系統(tǒng)204兼容的顯示器。本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206亦可寫入視頻內(nèi)存224，且以此方式影響對(duì)視頻接口 220的輸出。本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)亦可存取光筆內(nèi)存226。通過讀取光筆內(nèi)存226，本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206可存取光筆裝置的當(dāng)前位置。本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206亦可改變光筆內(nèi)存2 內(nèi)所含有的數(shù)據(jù)以提供遠(yuǎn)程接口而不要求對(duì)光筆裝置進(jìn)行實(shí)體存取。在一些實(shí)施例中，本地視頻顯示器212并不直接連接至顯示邏輯子系統(tǒng)204。本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206可對(duì)不含在視頻內(nèi)存224中的本地視頻顯示器212顯示額外數(shù)據(jù)。舉例而言，本地視頻顯示器212可顯示圖案模仿“網(wǎng)”頁的接口屏幕以增加與系統(tǒng)控制器140互動(dòng)的便利性，或者該顯示器可經(jīng)構(gòu)造以展示診斷數(shù)據(jù)，以展示系統(tǒng)的本地及內(nèi)部數(shù)據(jù)、緩存器、儲(chǔ)存媒體及除錯(cuò)數(shù)據(jù)而無需連接至、改變或干擾敏感的本地內(nèi)部系統(tǒng)控制器數(shù)據(jù)總線及硬件。在一實(shí)施例中，遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)適配卡148進(jìn)一步包含連接至本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng) 206的HSMS接口 213。HSMS是獲行業(yè)認(rèn)可的在以太網(wǎng)絡(luò)電纜上發(fā)送的基于半導(dǎo)體設(shè)備通訊協(xié)議(SECS-I)的訊息協(xié)議。HSMS接口 213使用此協(xié)議為裝置提供輸入及輸出。本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206接受此類HSMS通訊且經(jīng)由數(shù)據(jù)及控制總線202傳播通訊。該領(lǐng)域中的先前努力需要獨(dú)立的卡的解決方法來使能(enable)HSMS接口，從而使得其不可能在無空閑適配卡槽的情況下安裝于系統(tǒng)中。通過為視頻及外部接口提供單卡的解決方法，本裝置有利地允許無空閑適配卡槽的系統(tǒng)升級(jí)至HSMS接口而無需安裝更大的卡架，此安裝昂貴、有破壞性，且有時(shí)為不可能的處理。在一些實(shí)施例中，遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)適配卡148可進(jìn)一步包含連接至本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206的網(wǎng)絡(luò)接口 214。網(wǎng)絡(luò)接口 214為一或多個(gè)遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)計(jì)算機(jī)提供與系統(tǒng)控制器140 互動(dòng)的接口。由于具有HSMS接口 213，本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206負(fù)責(zé)轉(zhuǎn)譯及傳送經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)接口 214在數(shù)據(jù)及控制總線上接收的命令。在一些實(shí)施例中，網(wǎng)絡(luò)接口 214可經(jīng)由集成路由器/開關(guān)提供多IP地址的以太網(wǎng)絡(luò)端口連接。在一些實(shí)施例中，遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)適配卡148進(jìn)一步包含鍵盤及鼠標(biāo)接口 216。經(jīng)由鍵盤及鼠標(biāo)接口 216接收的指令繼而傳達(dá)至本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206。在一些實(shí)施例中，遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)適配卡148進(jìn)一步包含儲(chǔ)存接口 218。本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206可使數(shù)據(jù)流至儲(chǔ)存接口 218以供儲(chǔ)存及處理。儲(chǔ)存接口 218可包含用于任何適合于外部數(shù)據(jù)儲(chǔ)存的媒體(諸如硬盤、USB快閃驅(qū)動(dòng)、磁帶驅(qū)動(dòng)、可寫入CD及其類似物)的接口。本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206還連接至一或多個(gè)橋接器222。連接至橋接器有利地允許遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)適配卡148作為總線主控器工作及自由存取數(shù)據(jù)及內(nèi)存，以實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)上載及下載，又提供完全尋址整個(gè)內(nèi)存空間的能力。通過提供經(jīng)由本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206的存取， 外部裝置可能安全執(zhí)行此類數(shù)據(jù)移送。當(dāng)外部裝置試圖直接存取數(shù)據(jù)及控制總線時(shí)，該領(lǐng)域中的先前努力可能容易導(dǎo)致系統(tǒng)數(shù)據(jù)丟失、數(shù)據(jù)訛誤及/或命令處理故障。如上所述，這些故障可能導(dǎo)致極具破壞性及隱患的系統(tǒng)崩潰。在一些實(shí)施例中，本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206 可與顯示邏輯子系統(tǒng)204連接至相同的橋接器(例如，橋接器22 )。連接至此橋接器22 有利地允許本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206直接存取與視頻內(nèi)存2M及光筆內(nèi)存2 相關(guān)聯(lián)的內(nèi)存以啟用遠(yuǎn)程訪問，從而促進(jìn)用于遠(yuǎn)程檢視的視頻輸出數(shù)據(jù)的收集且亦允許遠(yuǎn)程使用者控制光筆緩存器(如同其實(shí)際處于該工具處)。圖3為本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206的詳細(xì)方塊圖。本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206通常包含中央處理單元(CPU) 300、內(nèi)存304及支持電路302。CPU 300可為工業(yè)設(shè)置中可用的任何形式的通用計(jì)算機(jī)處理器中的一者。支持電路302傳統(tǒng)地連接至CPU 300且可包含高速緩存、 時(shí)鐘電路、輸入/輸出子系統(tǒng)、電源及其類似物。內(nèi)存304可包含隨機(jī)存取內(nèi)存、只讀存儲(chǔ)器、可移式儲(chǔ)存器、光盤儲(chǔ)存器、磁盤驅(qū)動(dòng)器儲(chǔ)存器及其組合。內(nèi)存304含有某些軟件常用程序，包含操作系統(tǒng)306、遠(yuǎn)程訪問軟件308及網(wǎng)際網(wǎng)絡(luò)小型應(yīng)用程序(applet)310。在操作中，CPU 300執(zhí)行一或多個(gè)操作系統(tǒng)306 (諸如DOS、WINDOWS、LINUX或?qū)Ｓ胁僮飨到y(tǒng))， 以控制本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206的一般利用及功能。在一些實(shí)施例中，本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206 亦可仿真一或多個(gè)操作系統(tǒng)306的執(zhí)行概況，以允許設(shè)計(jì)用于特殊架構(gòu)的軟件在非標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)環(huán)境中執(zhí)行。內(nèi)存304亦含有遠(yuǎn)程訪問軟件308。遠(yuǎn)程訪問軟件308提供接口，使用者可經(jīng)由該接口與來自遠(yuǎn)程終端的系統(tǒng)控制器140互動(dòng)。遠(yuǎn)程訪問軟件308可經(jīng)構(gòu)造以接收來自HSMS 接口 213、網(wǎng)絡(luò)接口 214及/或鍵盤及鼠標(biāo)接口 216的輸入。遠(yuǎn)程訪問軟件308剖析來自以上外部接口 150的一或多者的輸入且相應(yīng)地改變顯示邏輯子系統(tǒng)204內(nèi)及數(shù)據(jù)及控制總線202上的數(shù)據(jù)。舉例而言，遠(yuǎn)程訪問軟件308可經(jīng)構(gòu)造以經(jīng)由鍵盤及鼠標(biāo)接口 216接受鼠標(biāo)輸入作為對(duì)光筆指令的替代。遠(yuǎn)程訪問軟件308將轉(zhuǎn)譯來自鼠標(biāo)的輸入且相應(yīng)地改變光筆內(nèi)存226。以此方式，由于輸入指令可經(jīng)顯示邏輯子系統(tǒng)204轉(zhuǎn)譯，故可能在無需對(duì)系統(tǒng)控制軟件進(jìn)行任何改變的情況下向遠(yuǎn)程使用者提供系統(tǒng)存取。遠(yuǎn)程訪問軟件308亦可提供存取控制及使用者鑒認(rèn)，從而防止未經(jīng)授權(quán)的系統(tǒng)存取。這些控制可包括在使用者遠(yuǎn)程訪問系統(tǒng)時(shí)指示的警告燈、使得出入計(jì)算裝置及本地局域網(wǎng)絡(luò)的通訊將在發(fā)生故障時(shí)自動(dòng)恢復(fù)至網(wǎng)際網(wǎng)絡(luò)或其它網(wǎng)絡(luò)的故障保險(xiǎn)連接切換，或用以限制、啟用或阻止遠(yuǎn)程通訊檢視、控制及數(shù)據(jù)移送的其它構(gòu)件。在一實(shí)施例中，用于控制的構(gòu)件可包括遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)卡148自身上的實(shí)體鎖或保險(xiǎn)開關(guān)。在一些實(shí)施例中，遠(yuǎn)程連接經(jīng)由繼電器或其它類似裝置投送，因此若本地開關(guān)關(guān)閉或支撐遠(yuǎn)程訪問連接的軟件發(fā)生故障，則將自動(dòng)恢復(fù)與系統(tǒng)控制器的“正?！边B接。在一些實(shí)施例中，由于所有硬件駐留于總線內(nèi)的單個(gè)卡上，故若該卡自身發(fā)生故障，則預(yù)設(shè)為正常連接失敗。然而，在本地密鑰開關(guān)關(guān)閉的任何時(shí)候若要主動(dòng)切斷用于遠(yuǎn)程功能的網(wǎng)際網(wǎng)絡(luò)存取，則需要繼電器。在一些實(shí)施例中，遠(yuǎn)程訪問軟件308可為系統(tǒng)控制器提供“網(wǎng)絡(luò)”接口或另一本地駐留的軟件應(yīng)用程序，以允許遠(yuǎn)程使用者執(zhí)行遠(yuǎn)程訪問、控制及數(shù)據(jù)移送。內(nèi)存304可進(jìn)一步包含網(wǎng)際網(wǎng)絡(luò)小型應(yīng)用程序310。網(wǎng)際網(wǎng)絡(luò)小型應(yīng)用程序310 為經(jīng)設(shè)計(jì)以從遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)上的網(wǎng)絡(luò)瀏覽器內(nèi)執(zhí)行的程序?？捎镁W(wǎng)絡(luò)可執(zhí)行指令碼語言(諸如JAVASCRIPT)來編碼網(wǎng)際網(wǎng)絡(luò)小型應(yīng)用程序310。網(wǎng)際網(wǎng)絡(luò)小型應(yīng)用程序310提供機(jī)制以經(jīng)由標(biāo)準(zhǔn)瀏覽器接口與遠(yuǎn)程訪問軟件建立接口。在一特殊非限制性實(shí)例中，遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)適配卡可包括計(jì)算裝置，該計(jì)算裝置的架構(gòu)、操作系統(tǒng)及特征設(shè)置將提供實(shí)體與計(jì)算能力的非常特定的組合，其包括(但不限于)
以下的至少一些
1.占用單槽的VME 6U卡外形因子
2.滿載總線主控器的連接性及能力
3.老式視頻及光筆連接性
4.兩個(gè)獨(dú)立且互斥的視頻子系統(tǒng)
5.以硬件或軟件實(shí)施的光筆接口
6.多IP地址的以太網(wǎng)絡(luò)端口連接(一體式路由器/開關(guān))
7.計(jì)算核心，其用于操作機(jī)載硬件同時(shí)允許多個(gè)操作系統(tǒng)，該操作系統(tǒng)包括但不
限于D0S、Windows、Linux及其它(諸如Applied Materials的專有OS)，其中通常有至少兩者將同時(shí)使用8. 一體式大量?jī)?chǔ)存構(gòu)件，諸如旋轉(zhuǎn)式磁盤驅(qū)動(dòng)器、閃存或其它形式的非揮發(fā)性內(nèi)存9.非常高速通訊端口致使能夠使用有類似能力的外部裝置進(jìn)行共同處理及遠(yuǎn)程處理從而產(chǎn)生的擴(kuò)展能力10.老式視頻功能的全部模仿，包括獨(dú)特地適合于老式工具的使用、安裝及周邊硬件(諸如老式操作者接口終端)的增強(qiáng)的內(nèi)存對(duì)映圖形、屏幕屬性、與光柵圖像同步的光筆、游標(biāo)產(chǎn)生及特殊線驅(qū)動(dòng)器及接收器功能11.在受控狀態(tài)下尋址整個(gè)VME內(nèi)存空間及將其部分傳輸至遠(yuǎn)程位置或自遠(yuǎn)程位置接收其部分的能力12.基于網(wǎng)際網(wǎng)絡(luò)(亦稱作“網(wǎng)絡(luò)”)的瀏覽器或其它本地駐留的軟件應(yīng)用程序， 其允許由實(shí)際存在于世界任何地方的使用者(其可能遠(yuǎn)離本文所描述的計(jì)算裝置及里面安裝了該計(jì)算裝置的基板處理工具)執(zhí)行遠(yuǎn)程訪問、控制及數(shù)據(jù)移送功能13.網(wǎng)際網(wǎng)絡(luò)(亦稱作“網(wǎng)絡(luò)”)瀏覽器小型應(yīng)用程序，本發(fā)明能夠經(jīng)由遠(yuǎn)程連接將其發(fā)送，從而允許由實(shí)際存在于世界任何地方的使用者(其可能遠(yuǎn)離本文所描述的計(jì)算裝置及里面安裝了該計(jì)算裝置的基板處理工具)執(zhí)行遠(yuǎn)程訪問、控制及數(shù)據(jù)移送功能14.外部硬件裝置，其能夠與計(jì)算裝置進(jìn)行本地且專有的通訊15.如12中的裝置，其具有在計(jì)算裝置的遠(yuǎn)程控制功能占線期間驅(qū)動(dòng)一組本地的警告燈、警示器或其它指示裝置的能力16.如12中的裝置，其具有在晶圓處理工具上對(duì)本地顯示器執(zhí)行從半透明至不透明范圍的視頻覆蓋(包括但不限于通訊、信息顯示器、安全接口及警告及安全目的)的能力17.如12中的裝置，其具有至網(wǎng)際網(wǎng)絡(luò)或其它數(shù)據(jù)通訊網(wǎng)絡(luò)的故障保險(xiǎn)連接切換構(gòu)件，從而使得出入計(jì)算裝置及本地?cái)?shù)據(jù)網(wǎng)絡(luò)的通訊將在發(fā)生故障時(shí)自動(dòng)恢復(fù)18.如12中的裝置，其具有密鑰鎖、保險(xiǎn)開關(guān)或其它安全構(gòu)件以限制、啟用或阻止遠(yuǎn)程通訊、檢視、控制及數(shù)據(jù)移送19.硅ID或其它唯一識(shí)別構(gòu)件，終端使用者不能改變、跳過或消除。圖4是為使用本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)及顯示邏輯子系統(tǒng)組成的遠(yuǎn)程適配卡的半導(dǎo)體處理設(shè)備提供遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)的方法400的流程圖。方法400始于步驟402，之后是接收輸入或輸出命令。在步驟404，本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206接收來自連接至半導(dǎo)體處理設(shè)備的遠(yuǎn)程裝置的輸入或向其輸出。此輸入或輸出可包含接收自鍵盤/鼠標(biāo)接口 216的命令、來自高速訊息發(fā)送服務(wù)接口 213或網(wǎng)絡(luò)接口 214的訊息、至外部?jī)?chǔ)存接口 218的寫出、用于本地視頻顯示器212的新顯示及其類似物。在步驟406，本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206通過以上文參考圖2及圖3描述的方式存取顯示邏輯子系統(tǒng)204來執(zhí)行輸入或輸出操作。舉例而言，若接收鼠標(biāo)輸入，則本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206可操縱光筆內(nèi)存2 中的緩存器以將鼠標(biāo)輸入轉(zhuǎn)譯為光筆輸入。若操作為輸出至本地視頻顯示器212，則本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)206可讀取視頻內(nèi)存2 并且處理數(shù)據(jù)以輸出至本地視頻顯示器212。在已完成輸入/輸出操作之后，該方法結(jié)束于步驟408。因此，已經(jīng)提供了為半導(dǎo)體處理設(shè)備提供遠(yuǎn)程訪問網(wǎng)關(guān)的方法及裝置。本發(fā)明的裝置通過提供對(duì)老式視頻卡及光筆的功能及連接的全部模仿，有利地處理了與其相關(guān)聯(lián)的陳舊過時(shí)的問題。本發(fā)明的裝置為老式設(shè)備有利地提供了額外能力而無需對(duì)系統(tǒng)控制器進(jìn)行任何軟件改變。雖然前文針對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例，但是在不脫離本發(fā)明的基本范圍的情況下，可設(shè)計(jì)本發(fā)明的其它及另外實(shí)施例。
1權(quán)利要求
1.一種用于為半導(dǎo)體處理設(shè)備提供接口的裝置，包含顯示邏輯子系統(tǒng)，其用以經(jīng)由數(shù)據(jù)及控制總線對(duì)光筆及一或多個(gè)視頻及信息顯示器提供接口 ；第一橋接器，其連接至所述顯示邏輯子系統(tǒng)以提供對(duì)所述數(shù)據(jù)及控制總線的存?。?本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)，其連接至所述第一橋接器及所述顯示邏輯子系統(tǒng)，其中，所述本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)提供對(duì)一或多個(gè)遠(yuǎn)程裝置的存取；以及第二橋接器，其連接至所述本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)以提供對(duì)所述數(shù)據(jù)及控制總線的存取。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其進(jìn)一步包含視頻接口，提供視頻輸出；及光筆接口，為連接至所述顯示邏輯子系統(tǒng)的光筆工具提供輸入存取。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述一或多個(gè)遠(yuǎn)程裝置進(jìn)一步包含連接至所述本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)的本地視頻顯示器、高速訊息發(fā)送服務(wù)接口、網(wǎng)絡(luò)接口、 第二鍵盤及鼠標(biāo)接口或外部?jī)?chǔ)存接口中至少一者。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述顯示邏輯子系統(tǒng)進(jìn)一步包含以下至少一者 光筆內(nèi)存，其用于為所述本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)提供對(duì)光筆緩存器、偏移校正或游標(biāo)位置中的一或多者的存取；或視頻內(nèi)存，其用于為所述本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)提供對(duì)視頻顯示數(shù)據(jù)的存取。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其中，所述本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)執(zhí)行視頻后處理以向所述視頻顯示數(shù)據(jù)提供覆蓋及額外人性接口功能。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)提供以下至少一者 基于網(wǎng)絡(luò)的瀏覽器或其它本地駐留的軟件應(yīng)用程序，以允許遠(yuǎn)程訪問、控制及數(shù)據(jù)移送功能；或小型應(yīng)用程序，其能夠在遠(yuǎn)程裝置上執(zhí)行，從而使得經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)連接存取所述本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)的使用者能夠執(zhí)行遠(yuǎn)程訪問、控制及數(shù)據(jù)移送功能。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其進(jìn)一步包含以下至少一者開關(guān)機(jī)制，其連接至所述本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)以提供故障保險(xiǎn)及本地切斷功能；或一或多個(gè)警告燈，其用以指示遠(yuǎn)程訪問功能處于禁用、啟用但非活動(dòng)、或啟用且活動(dòng)中的至少一種狀況。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述數(shù)據(jù)及控制總線為歐洲通用模塊(VME)總線。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述接口設(shè)置在歐洲通用模塊(VME)適配卡上， 并且其中所述數(shù)據(jù)及控制總線為VME總線；所述顯示邏輯子系統(tǒng)經(jīng)由VME總線對(duì)一或多個(gè)裝置提供接口，所述一或多個(gè)裝置包含視頻及信息顯示器、光筆、鍵盤、計(jì)算機(jī)鼠標(biāo)及警告燈網(wǎng)絡(luò)及警報(bào)器；光筆內(nèi)存，用于為所述本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)提供對(duì)光筆緩存器、偏移校正或游標(biāo)位置中的一或多者的存?。灰曨l內(nèi)存，用于為所述本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)提供對(duì)視頻顯示數(shù)據(jù)的存??； 所述第一橋接器是第一 VME橋接器，其連接至所述顯示邏輯子系統(tǒng)以提供對(duì)所述VME總線的存?。凰霰镜赜?jì)算機(jī)子系統(tǒng)連接至所述VME橋接器及所述顯示邏輯子系統(tǒng)；其中，所述本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)提供對(duì)所述一或多個(gè)遠(yuǎn)程裝置的存取，所述一或多個(gè)遠(yuǎn)程裝置包含本地視頻顯示器、高速訊息發(fā)送服務(wù)接口、網(wǎng)絡(luò)接口、第二鍵盤及鼠標(biāo)接口或外部?jī)?chǔ)存接口中至少一者；所述第二橋接器是第二 VME橋接器，其連接至所述本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)以提供對(duì)所述 VME總線的存?。婚_關(guān)機(jī)制，其連接至所述本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)以提供故障保險(xiǎn)及本地切斷功能，其中，所述開關(guān)機(jī)制在硬件故障的情況下自動(dòng)斷開遠(yuǎn)程訪問；及視頻接口，提供視頻輸出及光筆接口，為連接至所述顯示邏輯子系統(tǒng)的光筆工具提供輸入存取。
10.一種為具有適配卡的半導(dǎo)體處理設(shè)備提供接口的方法，所述適配卡包括本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)及顯示邏輯子系統(tǒng)，所述方法包含下列步驟使用所述本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)處理至少一個(gè)輸入或輸出，所述本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)提供所述半導(dǎo)體處理設(shè)備與一或多個(gè)遠(yuǎn)程裝置之間的存??；以及存取所述顯示邏輯子系統(tǒng)以執(zhí)行所述至少一個(gè)輸入或輸出，其中，所述顯示邏輯子系統(tǒng)包含視頻內(nèi)存及光筆內(nèi)存。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其進(jìn)一步包含從所述一或多個(gè)遠(yuǎn)程裝置接收所述輸入的步驟，其中，所述一或多個(gè)遠(yuǎn)程裝置包含高速訊息發(fā)送服務(wù)接口、外部?jī)?chǔ)存接口、鍵盤接口、鼠標(biāo)接口或網(wǎng)絡(luò)接口中至少一者。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其進(jìn)一步包含提供所述輸出至所述一或多個(gè)遠(yuǎn)程裝置的步驟，其中，所述一或多個(gè)遠(yuǎn)程裝置包含高速訊息發(fā)送服務(wù)接口、外部?jī)?chǔ)存接口、視頻顯示器或網(wǎng)絡(luò)接口中至少一者。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中，所述存取步驟進(jìn)一步包含改變所述光筆內(nèi)存以對(duì)系統(tǒng)控制器提供輸入的步驟。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中，所述存取步驟進(jìn)一步包含讀取所述視頻內(nèi)存以提供顯示輸出的步驟。
15.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其進(jìn)一步包含下列步驟經(jīng)由所述本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)提供網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用程序接口以用于所述半導(dǎo)體處理設(shè)備的遠(yuǎn)程訪問。
全文摘要
本發(fā)明揭示一種為半導(dǎo)體處理設(shè)備提供接口的裝置。在一些實(shí)施例中，一種用于為具有適配卡的半導(dǎo)體處理設(shè)備提供接口的裝置包括顯示邏輯子系統(tǒng)，其用以經(jīng)由數(shù)據(jù)及控制總線以對(duì)一或多個(gè)裝置(諸如視頻及信息顯示器、光筆、鍵盤、計(jì)算機(jī)鼠標(biāo)及警告燈網(wǎng)絡(luò)及警報(bào)器)提供接口；橋接器，其用以提供對(duì)該數(shù)據(jù)及控制總線的存取；及本地(local)計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)，其連接至該橋接器及該顯示邏輯子系統(tǒng)，其中該本地計(jì)算機(jī)子系統(tǒng)是提供對(duì)一或多個(gè)遠(yuǎn)程裝置的存取。
文檔編號(hào)H01L21/02GK102197454SQ200980142493
公開日2011年9月21日 申請(qǐng)日期2009年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月24日
發(fā)明者羅納德·維恩·肖爾 申請(qǐng)人:應(yīng)用材料公司