專利名稱：激光-劃線工具架構(gòu)的制作方法
激光-劃線工具架構(gòu)相關(guān)申請的交叉引用本申請要求2008年11月19日申請的發(fā)明名稱為“Laser Scribing Tool Architecture”的美國臨時專利申請61/116，257的權(quán)益，其全部揭示內(nèi)容以引用的方式并入本文。背景本發(fā)明所述的各種實施例基本上涉及用于劃線或圖案化工件的設(shè)備及系統(tǒng)，更特別的涉及用于激光劃線放置于垂直方向的工件的設(shè)備及系統(tǒng)。所述設(shè)備及系統(tǒng)對于激光劃線具有用于形成薄膜太陽能電池的至少一層的玻璃基板特別有效。當(dāng)前用于形成薄膜太陽能電池的方法涉及在諸如適于形成一個或多個p-n結(jié)的玻璃、金屬或聚合物基板這樣的基板上沉積或另外形成多個層。薄膜太陽能電池實例包括具有透明導(dǎo)電氧化物(TCO)層、多個摻雜及未摻雜硅層以及金屬背側(cè)層的玻璃基板。舉例而言，可用于形成太陽能電池的材料的實例連同用于形成這些電池的方法及設(shè)備描述于 2007 年 2 月 6 日申請的發(fā)明名稱為 “MULTI-JUNCTION SOLAR CELLS AND METHODS AND APPARATUSES FOR FORMING THE SAME”的共同待決的美國專利申請11/671，988中，其全部揭示內(nèi)容以引用的方式并入本文。當(dāng)面板由大基板形成時，在每一層中通常使用一系列激光劃線的線以描繪單個電池。圖1以圖表圖標(biāo)實例太陽能電池組件10，其包括劃線的線(例如，激光劃線的線)。太陽能電池組件10可通過在玻璃基板12上沉積若干層且在這些層內(nèi)劃線大量線得以制造。 該制造工藝由在玻璃基板12上沉積TCO層14開始。隨后在TCO層14內(nèi)劃線第一組線 16 ( “P1”互聯(lián)線及“P1”隔離線)。隨后在TCO層14上及第一組線16內(nèi)沉積多個摻雜及未摻雜的非晶硅(a-Si)層18。隨后在硅層18內(nèi)劃線第二組線20 ( “P2”互聯(lián)線)。隨后在硅層18上及第二組線20內(nèi)沉積金屬層22。隨后如圖示劃線第三組線“P3”互聯(lián)線及“P3”隔離線)。薄膜太陽能電池的生產(chǎn)成本及質(zhì)量受生產(chǎn)太陽能電池的劃線組件(例如，太陽能電池組件10)的生產(chǎn)成本及質(zhì)量影響。因此，需要開發(fā)具有降低成本及改良劃線質(zhì)量的用于劃線工件的設(shè)備及系統(tǒng)。更特別的是，需要開發(fā)用于形成薄膜太陽能電池的激光劃線組件的改良的設(shè)備及系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容
為提供本發(fā)明的基本理解，下文呈現(xiàn)本發(fā)明的一些實施例的簡單概述。本概述并非本發(fā)明的廣泛概觀。其并非意欲鑒定本發(fā)明的主要/關(guān)鍵要素或描繪本發(fā)明的范疇。本
概述的唯一目的為以簡單形式呈現(xiàn)一些方面及實施例以作為后面呈現(xiàn)的更詳細(xì)說明的序 、言。根據(jù)各種方面及實施例的設(shè)備及系統(tǒng)提供用于激光劃線工件。所揭示的設(shè)備及系統(tǒng)被配置為激光劃線垂直定向的工件。垂直定向該工件可產(chǎn)生改良的工件穩(wěn)定性、改良的燒蝕碎片移除、改良的產(chǎn)量、降低的振動水平、改良的準(zhǔn)確度、較小的占地面積、改良的服務(wù)能力及/或其它這樣的改良。當(dāng)用于用以形成薄膜太陽能電池的激光劃線組件時，這種設(shè)備及系統(tǒng)尤其有效。在第一方面中，提供一種用于激光劃線包括實質(zhì)平坦表面的工件的設(shè)備。該設(shè)備包括框架、耦接該框架的第一夾具、耦接該框架的第二夾具、激光，可操作該激光以產(chǎn)生能夠從該工件的至少一部分移除材料的輸出、及耦接該激光及該框架的掃描裝置。該第一夾具被配置為用于嚙合該工件的第一部分。該第二夾具被配置為用于嚙合該工件的第二部分。當(dāng)該工件由該第一夾具及該第二夾具嚙合時，該平面實質(zhì)上垂直定向。該掃描裝置可操作以控制來自激光的輸出相對于該工件的位置。在許多實施例中，該第一夾具及該第二夾具被配置為嚙合矩形工件的不同部分。 例如該第一夾具可被配置為沿著第一側(cè)面嚙合該工件，而該第二夾具可被配置為沿著與該第一側(cè)面相對的第二側(cè)面嚙合該工件。當(dāng)該工件由該第一夾具及該第二夾具嚙合時，該第一側(cè)面可設(shè)置在該工件的頂部且該第二側(cè)面可設(shè)置在該工件的底部。另外，當(dāng)該工件由該第一夾具及該第二夾具嚙合時，該第一側(cè)面及該第二側(cè)面可實質(zhì)上垂直定向。在許多實施例中，這些夾具可相對于該框架平移且該設(shè)備可包括額外夾具。例如該第一夾具及該第二夾具可相對于該框架水平平移。該設(shè)備可包括耦接該框架的第三夾具及第四夾具。該第三夾具可被配置為沿著該第二工件的第一側(cè)面嚙合該第二工件。第四夾具可被配置為沿著該第二工件的第二側(cè)面嚙合該第二工件。當(dāng)該第二工件由該第三夾具及該第四夾具嚙合時，該第二工件的平坦表面實質(zhì)上垂直定向。該第三夾具及該第四夾具可相對于該框架水平平移。在許多實施例中，該設(shè)備可被配置為固定多個工件。例如在許多實施例中，可加載或卸載一個工件，同時劃線另一個工件。該設(shè)備中工件的行進(jìn)路徑可與該設(shè)備中第二工件的行進(jìn)路徑偏移。在許多實施例中，該掃描裝置可相對于該工件及/或該框架平移。例如該掃描裝置可水平平移以便調(diào)整該工件與該第二工件的行進(jìn)路徑之間的偏移。該偏移調(diào)整也可通過利用光學(xué)裝置(諸如，具有三維掃描儀及/或可調(diào)整的光束擴(kuò)展器的光學(xué)裝置)來改變光束的聚焦而完成。該掃描裝置可相對于該工件及/或該框架垂直平移。在許多實施例中，該設(shè)備包括多個掃描裝置。例如，該設(shè)備可包括耦接該激光及該框架的第二掃描裝置。該第二掃描裝置可操作以控制來自該激光的輸出相對于該工件的位置。該掃描裝置及該第二掃描裝置皆可相對于該工件垂直平移。在許多實施例中，該設(shè)備包括一條或多條光纜。例如該設(shè)備可包括將該激光與該掃描裝置耦接的光纜且可包括將該激光與該第二掃描裝置耦接的第二光纜。在許多實施例中，該工件包括基板及用于形成太陽能電池的至少一個層。在許多實施例中，該激光能夠從至少一個層中移除材料。在另一方面中，提供一種用于激光劃線包括實質(zhì)平坦表面的工件的系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括框架、耦接該框架的第一夾具、耦接該框架的第二夾具、激光，可操作該激光以產(chǎn)生能夠從該工件的至少一部分移除材料的輸出、耦接該激光及該框架的掃描裝置及耦接該激光及該掃描裝置的控制裝置。第一夾具被配置為嚙合該工件的第一部分。第二夾具被配置為嚙合該工件的第二部分。當(dāng)該工件由該第一夾具及該第二夾具嚙合時，該平坦表面實質(zhì)上垂直定向。該掃描裝置可操作以控制來自該激光的輸出相對于該工件的位置。該控制裝置
5包括處理器及機(jī)器可讀媒介。該機(jī)器可讀媒介包括指令，當(dāng)通過該處理器執(zhí)行時，指令引起該系統(tǒng)對準(zhǔn)該激光輸出以在該工件上形成預(yù)定特征結(jié)構(gòu)圖案。在許多實施例中，該掃描裝置及該工件可平移。例如該掃描裝置可相對于該工件垂直平移。該第一夾具及該第二夾具可相對于該框架水平平移。在另一方面中，提供一種用于激光劃線包括實質(zhì)平坦表面的工件的方法。該方法包括支撐該工件以便該平坦表面實質(zhì)上垂直定向，在該經(jīng)支撐工件與劃線光學(xué)組件之間產(chǎn)生相對平移，及在該相對平移期間用該劃線光學(xué)組件導(dǎo)向來自激光的輸出以在該工件上形成激光劃線特征結(jié)構(gòu)。該相對平移包括垂直分量。在許多實施例中，該相對平移進(jìn)一步包括水平分量。在許多實施例中，該工件由框架支撐。例如該工件可由嚙合該工件的第一部分的第一夾具及嚙合該工件的第二部分的第二夾具支撐，其中該第一夾具及該第二夾具耦接該框架被配置為可相對于該框架水平平移。該劃線光學(xué)組件可耦接該框架。在許多實施例中， 在形成該激光劃線特征結(jié)構(gòu)的至少一部分期間，該工件可相對于該框架水平平移。在許多實施例中，該方法進(jìn)一步包括安裝第二工件，以便在形成該激光劃線特征結(jié)構(gòu)的至少一部分期間，該第二工件由該框架支撐。在許多實施例中，該工件包括基板及用于形成太陽能電池的至少一個層。在許多實施例中，該激光能夠從該至少一個層中移除材料。為了更充分了解本發(fā)明的性質(zhì)及優(yōu)點，將提及隨后的具體實施方式
及伴隨圖式。 本發(fā)明的其它方面、目的及優(yōu)點可由下述的圖式及具體實施方式
更加明白。


圖1為用于薄膜太陽能電池的劃線組件的圖解說明。圖2A為根據(jù)許多實施例，用于劃線垂直定向工件的激光劃線設(shè)備的前視解說明。圖2B為根據(jù)許多實施例，用于劃線垂直定向工件的激光劃線設(shè)備的俯視解說明。圖3A圖解說明根據(jù)許多實施例在可用于激光劃線垂直定向工件的處理順序中第一工件及第二工件的位置。圖;3B圖解說明根據(jù)許多實施例在可用于激光劃線垂直定向工件的處理順序中第一工件及第二工件的位置。圖3C圖解說明根據(jù)許多實施例在可用于激光劃線垂直定向工件的處理順序中第二工件及第三工件的位置。圖4圖解說明根據(jù)許多實施例配置為相對于垂直定向工件垂直平移的激光掃描組件。圖5A圖解說明根據(jù)許多實施例激光組件的部件。圖5B及圖5C圖解說明根據(jù)許多實施例激光光學(xué)模塊的部件。圖6圖解說明根據(jù)許多實施例光束檢視器測量激光束的位置的用途。圖7圖解說明根據(jù)許多實施例成像裝置與激光掃描組件的整合。圖8圖解說明根據(jù)許多實施例相機(jī)與激光掃描組件的整合，該圖展示可用于測量
6激光脈沖反射的光電二極管的位置及照明源的位置。圖9利用圖表說明根據(jù)許多實施例在激光劃線系統(tǒng)的部件之間的信號。圖10說明根據(jù)許多實施例可使用的激光劃線裝置的控制圖。圖11說明根據(jù)許多實施例可使用的激光劃線裝置的數(shù)據(jù)流程圖。圖12為根據(jù)許多實施例用于基于之前形成的特征結(jié)構(gòu)的圖像信息控制掃描裝置的系統(tǒng)的簡圖。
具體實施例方式根據(jù)本發(fā)明的各種方面及實施例，提供用于劃線或另外圖案化垂直定向工件的設(shè)備及系統(tǒng)。例如激光劃線垂直定向工件可產(chǎn)生改良的工件穩(wěn)定性、改良的燒蝕碎片移除、改良的生產(chǎn)率、降低的振動水平、改良的準(zhǔn)確度及其它這類改良。例如激光劃線垂直定向工件可降低對空氣軸承支撐工件的需要，從而可使緊密靠近地堆疊兩個或兩個以上工件成為可能，此可使得生產(chǎn)率能夠增加。當(dāng)用于用以形成薄膜太陽能電池的激光劃線組件時，這種設(shè)備及系統(tǒng)尤其有效。圖2A圖解說明激光劃線工具架構(gòu)30的前視圖，根據(jù)許多實施例，該激光劃線工具架構(gòu)可用于激光劃線或另外圖案化垂直定向工件，諸如上文論述的實例太陽能電池組件 10 (展示于圖1中)。該工具架構(gòu)30可包括用于固持垂直定向的第一工件36的第一夾具 32及第二夾具34。這些固持夾具可包括任何適當(dāng)?shù)膴A持器、夾緊裝置、握抓裝置或其它裝置。工具架構(gòu)30也可包括額外夾具，諸如所示的用于固持一個或多個額外垂直定向工件 (例如，第二工件42)的第三夾具38及第四夾具40?？刹贾脙蓚€夾具以嚙合矩形工件的相對側(cè)面或邊緣(例如，通過嚙合頂部側(cè)面及底部側(cè)面或通過嚙合左側(cè)面及右側(cè)面來配置)。 可布置四個或四個以上夾具以嚙合矩形工件的所有四個側(cè)面。盡管可使用一個夾具，但使用兩個或兩個以上夾具可提供增加的工件穩(wěn)定性。在許多實施例中，工具架構(gòu)30包括第一加載/卸載臺44、劃線臺46、第一劃線光學(xué)組件48、第二劃線光學(xué)組件50及第二加載/卸載臺52。這些獨立臺提供加載及/或卸載一個工件同時劃線另一個工件的能力。例如在圖2A中，可劃線第一工件36，同時通過經(jīng)由第一加載/卸載臺44向劃線工具加載第二工件42。盡管未圖示，但可卸載置于第二加載 /卸載臺52處的另一個工件，同時劃線第一工件36且加載第二工件42。應(yīng)理解，工件可在任一方向上行進(jìn)。例如第二加載/卸載臺52可用于卸載在圖式的平面中從左至右(例如， 從劃線臺46至第二臺5 移動的工件。隨后，第二臺52可用于加載另一工件，接著其將在圖式的平面中從右至左(例如，從第二臺52至劃線臺46)移動。在許多實施例中，在指定卸載臺處卸載工件之后，夾具移動回指定加載臺以使得工件總是在該指定加載臺加載且在該指定卸載臺卸載。在許多使用單一導(dǎo)軌(rail)的實施例中，每個加載/卸載臺可充當(dāng)工件的加載及卸載臺。例如經(jīng)由第一加載/卸載臺44加載的工件可向右邊移動至劃線臺46， 且隨后移動回左邊以在第一加載/卸載臺44處卸載，因此從不到達(dá)第二加載/卸載臺52。 在該方法中，第二加載/卸載臺52可由夾具32、34占用，夾具32、34用于支撐經(jīng)由第二加載/卸載臺52加載及卸載的工件。在許多使用單一導(dǎo)軌的實施例中，這些夾具不能在同一條導(dǎo)軌上相互經(jīng)過，因此圖式中夾具38必須總在夾具32的左邊。在許多實施例中，如下文所述，使用獨立導(dǎo)軌。
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在許多實施例中，第一劃線光學(xué)組件48及第二劃線光學(xué)組件50被配置為相對于工件垂直平移以便在該工件上提供所要覆蓋區(qū)域。每一個劃線光學(xué)組件可經(jīng)由光路(例如，經(jīng)由包括光纖或其它光學(xué)元件的光路)耦接一個或多個激光(參見圖4)。每個光學(xué)組件也可包括一個或多個激光掃描頭(例如，分別能夠一維、二維或三維地導(dǎo)向每個光束的一維、二維或三維掃描儀)，激光掃描頭提供控制激光束的輸出相對于每個掃描頭的位置的能力。在許多實施例中，存在用于每個掃描儀的一個激光，而在許多其它實施例中，激光束被分離成多個光束(諸如通過使用可針對不同掃描儀的適當(dāng)光束分裂元件)。在許多實施例中，僅使用單一激光。在許多使用光纖的實施例中，可選擇這些光纖以使得光路長度對于每個掃描儀而言實質(zhì)上相等。圖2B圖解說明根據(jù)許多實施例激光劃線工具架構(gòu)60的俯視圖，該激光劃線工具架構(gòu)利用具有獨立、實質(zhì)上平行的導(dǎo)軌或軌道72、74的框架。在許多實施例中，工具架構(gòu)60 為圖2A中所示的工具架構(gòu)30的變體，且因此可含有許多相同或類似的部件。工具架構(gòu)60 包括第一加載/卸載臺62、劃線臺64、第一劃線光學(xué)組件66、第二劃線光學(xué)組件68、第二加載/卸載臺70及本文中所稱的“前”工件軌道72及“后”工件軌道74，盡管這些指定不應(yīng)推斷任何特定或較佳定向。獨立工件軌道可允許在一個軌道上加載或卸載工件，同時在另一條軌道上處理(例如，劃線或圖案化)另一個工件。使用獨立工件軌道可通過提供在另一軌道上加載及/或卸載工件的能力而減少對在軌道上劃線的工件的振動的傳輸。例如當(dāng)?shù)谝还ぜ?6緊固至后工件軌道74時其可被劃線，而第二工件78可經(jīng)由前工件軌道72加載。第一劃線光學(xué)組件66及第二劃線光學(xué)組件68可被配置為水平(在與這些工件的運動方向橫向的方向上)移動以便定位于距工件相同的距離處(無論該工件在哪個軌道上)。 例如在該圖的平面中，該光學(xué)設(shè)備朝向后軌道74 “向上”移動以處理該后軌道上的第一工件76，但將“向下”移動回來離開該后軌道以處理該前軌道72上的第二工件78。圖3A、圖;3B及圖3C圖解說明根據(jù)許多用于激光劃線垂直定向工件的實施例的處理順序。在圖3A中，第一工件80可經(jīng)由第一加載/卸載臺86加載至第一軌道(例如，前軌道)上，且隨后向該圖式中的右邊連續(xù)移動以在劃線臺82中劃線。在第一工件80的劃線期間，第二工件84可經(jīng)由臺86加載至第二軌道(例如，背軌道)上。每個工件可使用一個或多個先前形成的特征結(jié)構(gòu)在臺86中對準(zhǔn)?？梢暻闆r用條形碼及/或其它適用于對準(zhǔn)的指定標(biāo)記來標(biāo)記工件。在圖3B中，第一工件80可在處理之后在第二加載/卸載臺88處卸載，同時第二工件84可在劃線臺82中劃線。在許多實施例中，工件可在劃線工藝的任何特定部分期間得以穩(wěn)定固持或平移。如所論述，可水平調(diào)整(朝向或離開工件)光學(xué)設(shè)備或掃描頭以維持距每個正受處理的工件實質(zhì)上恒定的距離。如圖3C中所說明，在第一軌道上的夾具可移動回臺86以使得在臺86中可加載(且視情況對準(zhǔn)及/或標(biāo)記)第三工件90， 同時在劃線臺82中劃線第二工件84。圖4圖解說明根據(jù)許多實施例的實例激光掃描組件，其配置為相對于垂直定向工件92垂直平移。這些激光掃描組件可連同一系統(tǒng)(諸如上文所述的系統(tǒng))使用。第一激光掃描組件94可經(jīng)由第一光路98 (例如，光纖、光路)耦接第一激光源96。第二激光掃描組件100可經(jīng)由第二光路104耦接第二激光源102。這些激光掃描組件可配置為在相反方向上移動以便最小化由于這些掃描組件的移動可能產(chǎn)生的任何不平衡力。例如通過使第一激光掃描組件94在與第二激光掃描組件100相反的方向上移動，抵消由這些組件的加速產(chǎn)生
8的合力，以使得在固持這些組件的框架上沒有合力。掃描組件可配置為使用已知方法(例如通過使用機(jī)器臂、軌條導(dǎo)軌、高架(gantry)或任何其它已知機(jī)構(gòu))平移。每個光學(xué)組件可包括一個或多個獨立激光掃描頭106，其可用于控制來自激光源的輸出在一個或多個維度上相對于掃描頭的在工件上的位置。由掃描頭提供的局部控制、掃描頭的數(shù)目及放置、掃描組件的垂直及視情況水平移動及工件的水平移動的組合可用于劃線工件的所要區(qū)域。光纖電纜可用于將掃描組件與激光源耦接。使用光纖電纜可減小移動部件的重量，進(jìn)而有助于減少移動引起的力及/或振動。在許多實施例中，使用光纖電纜也將消除對于復(fù)雜光學(xué)對準(zhǔn)的需要?？墒褂酶鞣N潛在變體。例如盡管展示工件92在頂部及底部處夾緊，但工件可視情況在側(cè)面上或頂部、底部及側(cè)面的任何組合上夾緊。在許多實施例中，工件在劃線工藝期間，(例如)在行進(jìn)范圍(例如275mm)內(nèi)經(jīng)由滾珠螺桿低速(例如5至lOmm/sec)平移。 在許多實施例中，激光掃描組件94、100產(chǎn)生八個光束且在水平方向上以275mm的間距間隔分離。在許多實施例中，激光掃描組件94、100裝備有具有大致60mm的視場(FOV)的二維激光掃描頭106。在許多實施例中，激光掃描組件94、100可在垂直方向上以相對高速(例如0. 5至2或大于2米/秒)平移。在許多實施例中，激光掃描組件94、100經(jīng)由空氣軸承支撐。在許多實施例中，激光掃描組件94、100具有大致3米的總行進(jìn)。在許多實施例中， 激光掃描頭106在劃線工藝期間(例如，經(jīng)由蝴蝶領(lǐng)結(jié)(bowtie)掃描)補(bǔ)償工件的移動。 在許多實施例中，激光掃描組件94、100在相反方向上移動以最小化運動引起的力。在許多實施例中，激光掃描組件94、100可在ζ方向平移(即，進(jìn)出圖的平面)以補(bǔ)償每個工件的位置。在許多實施例中，在激光掃描組件的垂直運動期間，使用掃描儀縫合可產(chǎn)生橫向修整線。在許多實施例中，每個工件在第一方向上連續(xù)移動，其中對于每個光束部分的掃描場形成在工件上“向上”或“向下”移動的劃線的線。激光重復(fù)速率可與平臺平移速度匹配，用于邊緣隔離的劃線位置之間具有必需的重疊區(qū)域。在工件上向上或向下的劃線傳遞過程(pass)結(jié)束時，每個掃描組件可在必要時減速、停止、變速及在相反方向上再加速。在這種狀況下，根據(jù)所需的間距來步進(jìn)(stepped)激光光學(xué)器件以便于用于形成劃線的一系列切除點安放在玻璃基板上的所需位置處。若掃描場重疊或至少實質(zhì)上在連續(xù)劃線之間的間距內(nèi)相遇，則不需相對激光掃描組件來移動基板，但可在激光劃線設(shè)備中激光掃描組件的“向上”與“向下”移動之間調(diào)整光束位置。在許多實施例中，激光可跨過工件掃描，進(jìn)而在掃描場內(nèi)劃線的每個位置處制成劃線標(biāo)記，以使得多個劃線的縱向劃線可同時形成，而只需激光掃描組件的一次完整傳遞過程。根據(jù)本文含有的教示及建議，本領(lǐng)域的技術(shù)人員將明白許多其它劃線策略可得以支持。激光組件另外，當(dāng)對于兩個掃描組件的每一個展示四個激光總共八個有效光束時，應(yīng)了解可在適當(dāng)時使用任何適當(dāng)數(shù)量的激光及/或光束部分，且來自給定激光的光束可分離成與對給定應(yīng)用而言可實施及有效時同樣多的光束部分。另外，即使在兩個激光產(chǎn)生八個光束部分的系統(tǒng)中，可基于工件的尺寸或其它這樣的因素啟動少于八個的光束部分。也可調(diào)整掃描頭中的光學(xué)元件以在工件上控制激光脈沖的有效區(qū)域或點尺寸，在許多實施例中，該有效區(qū)域或點尺寸直徑在約25微米至約100微米變化。
每個激光掃描組件可包括聚焦或者調(diào)整激光束的方面所需要的適當(dāng)元件(諸如透鏡及其它光學(xué)元件)。產(chǎn)生光束的激光裝置可為任何適當(dāng)激光裝置(諸如脈沖固態(tài)激光)，其可操作以切除或者劃線工件的至少一個層。為提供光束對，每個激光組件可包括至少一個光束分離裝置。圖5A說明根據(jù)許多實施例可用的實例激光組件200的基本元件， 盡管應(yīng)了解額外或其它元件可在適當(dāng)時使用。在該組件200中，單個激光裝置202產(chǎn)生光束，該光束使用光束準(zhǔn)直儀204放大，隨后傳遞至光束分離器206 (諸如部分透射鏡、半鍍銀鏡、棱鏡組件，等等)以形成第一光束部分及第二光束部分。在該組件中，每個光束部分通過衰減元件208以衰減該光束部分，進(jìn)而調(diào)整此部分中的脈沖的強(qiáng)度(intensity)或強(qiáng)度 (strength)；且通過間板210以控制該光束部分的每個脈沖的形狀。隨后，每個光束部分還穿過自動聚焦元件212以聚焦該光束部分至掃描頭214上。每個掃描頭214包括能夠調(diào)整該光束的位置的至少一個元件(諸如適于用作方向偏轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的電流計掃描儀)。在許多實施例中，該元件為可旋轉(zhuǎn)鏡，其能夠沿與該工件的移動向量成直角的橫向方向調(diào)整該光束的位置，這樣可允許調(diào)整該光束相對于所欲劃線位置的位置。隨后，掃描頭同時將每個光束導(dǎo)向至工件上的各自位置。掃描頭也可在控制激光及工件的位置的設(shè)備之間提供短距離。 因此，準(zhǔn)確度及精確度得以改良。因此，劃線的線可更精確形成(即，劃線1的線可更接近劃線2的線)以使得完成的太陽能模塊的效率得以改良，勝過現(xiàn)有技術(shù)的效率。在許多實施例中，每個掃描頭214包括一對可旋轉(zhuǎn)鏡216或能夠在二維QD)調(diào)整激光束的位置的至少一個元件。每個掃描頭包括至少一個驅(qū)動元件218，其可操作以接收控制信號來調(diào)整光束的“點”在掃描場內(nèi)且相對于工件的位置。在一些實施例中，在大致 60mmX60mm掃描場內(nèi)，工件上的點尺寸約為數(shù)十微米，盡管可能為各種其它尺寸。該方法允許工件上光束位置的改良校正，同時該方法也可允許在工件上形成圖案或其它非線性劃線特征結(jié)構(gòu)。橫向掃描(例如，在一個或多個維度上)光束的能力意指任何圖案可經(jīng)由劃線形成在工件上而無須旋轉(zhuǎn)該工件。另外，通過將玻璃在水平方向上的運動、光學(xué)組件在垂直方向上的運動及由掃描儀的位置掃描組合，橫向掃描光束的能力允許在玻璃上劃線垂直線，以便玻璃上的所得劃線與玻璃的垂直邊緣平行，該方法有時稱為蝴蝶領(lǐng)結(jié)掃描。圖5B及圖5C分別展示根據(jù)各種實施例可使用的緊密激光光學(xué)模塊220的側(cè)視圖說明及俯視圖說明。緊密模塊220包括激光器222、光束準(zhǔn)直儀224、光束分離器226、鏡 228、一個或多個掃描鏡230、232及一個或多個聚焦光學(xué)組件234。激光器222可包括一系列現(xiàn)有激光器。例如激光器222可包括輕重量、小占地面積激光器?？蓪⒂糜谇懈畋∧ぬ柲苊姘鍎澗€的具有充足功率的現(xiàn)有第二諧波(harmonic)固態(tài)激光器可制成與Ikg —樣輕， 尺寸大致為150mmX IOOmmX 50mm。激光電源及/或冷卻器可位于緊密模塊220外部。激光器222產(chǎn)生光束，其使用光束準(zhǔn)直儀2M來準(zhǔn)直化。光束準(zhǔn)直儀2M可用于改變激光束的尺寸且可耦接激光器222 (例如，附接于鄰近激光器222輸出的激光)。光束分離器2 接收來自準(zhǔn)直儀2M的準(zhǔn)直光束且將該準(zhǔn)直光束分離成兩個標(biāo)稱相等的光束部分。在許多實施例中，可沿著每個光束路徑放置功率衰減孔(未圖標(biāo))以精細(xì)調(diào)整激光功率及光束尺寸。在許多實施例中，可沿著每個光束路徑放置衰減元件(參見圖5A中的衰減元件208) 以衰減光束部分，調(diào)整在此部分中的脈沖的強(qiáng)度(intensity)或強(qiáng)度(strength)。在許多實施例中，可沿著每個光束路徑放置閘板(參見圖5A中的閘板210)以控制光束部分的每個脈沖的形狀。在許多實施例中，可沿著每個光束路徑放置自動聚焦元件(參見圖5A中的
10自動聚焦元件21 以聚焦光束部分至一個或多個掃描鏡上。可圍繞一個或多個軸致動一個或多個掃描鏡230、232，例如，可圍繞X軸及Y軸致動一個或多個電掃描鏡，以提供激光輸出的二維掃描。在許多實施例中，與掃描頭(例如，圖5A中的掃描頭214)相對，一個或多個掃描鏡230、232包括個別(individual)電掃描鏡。隨后，經(jīng)掃描的光束部分的每一個可通過聚焦光學(xué)組件234，在許多實施例中，該聚焦光學(xué)組件234包括焦闌透鏡(telecentric lens) ο在許多實施例中，緊密模塊220提供激光組件200(顯示于圖5A中)的功能性及各種優(yōu)點。例如緊密模塊220的布局、硬性(rigidity)、占地面積及/或重量可對緊密模塊220及全激光劃線系統(tǒng)的可靠性及可服務(wù)性具有積極直接的影響。在許多實施例中，在光束分離以前使用單個光束準(zhǔn)直儀可提供簡化的光束路徑及增強(qiáng)的可靠性。在許多實施例中，使用兩個單個掃描鏡以替代封閉式商業(yè)掃描頭可有助于減小緊密模塊220的重量及占地面積，此可用以改良可靠性及可服務(wù)性。在許多實施例中，使用輕重量的一體箱式 (all-in-one box)激光模塊可較易得以安裝/解除且可用以使光學(xué)部件隔離灰塵，進(jìn)而可減少污染光學(xué)部件的機(jī)會。傳感器激光劃線系統(tǒng)可包括大量適用于在工件上控制激光線的劃線的傳感器。例如，如圖6中所說明，光束檢視器302可用于測量來自激光的輸出的位置。來自光束檢視器302 的數(shù)據(jù)可用于光束位置的快速再校正。如所說明，光束檢視器302可相對于工件304定位以便當(dāng)光束306通過工件304時俘獲該光束的位置。光束306的預(yù)期及實際位置可經(jīng)比較以計算修正值，該修正值可對發(fā)生的任何浮動的校正提供高度準(zhǔn)確的調(diào)整。所測量的光束可通過激光組件310投影，該激光組件310包括激光器312、光束分離光學(xué)設(shè)備314及掃描儀316。如上文所述，激光組件310可定位于光學(xué)臺架(未圖標(biāo))上。功率計(未圖標(biāo))也可定位于光學(xué)臺架上以用于監(jiān)視入射于玻璃上的激光功率。也可使用顯微鏡(未圖示)。 顯微鏡的主要功能為玻璃的校正及對準(zhǔn)。顯微鏡也可用于觀測劃線質(zhì)量及測量切除點的尺寸。線傳感器318也可用于產(chǎn)生用于之前形成的特征結(jié)構(gòu)的位置數(shù)據(jù)。線傳感器318可定位于許多位置中，自這些位置該線傳感器318可檢視之前形成的特征結(jié)構(gòu)(例如，相對于如所說明的工件304)。成像裝置在許多實施例中，使用一個或多個相機(jī)以在光學(xué)上觀測之前的激光劃線的線，且相對于工件上的之前的激光劃線的線，對準(zhǔn)來自劃線激光的輸出的位置。在許多實施例中， 安裝一個或多個相機(jī)以便于相機(jī)檢視的中心及掃描組件的輸出指向工件上的同一位置。在許多實施例中，安裝一個或多個相機(jī)以獨立于掃描組件檢視工件。圖7圖解說明根據(jù)許多實施例的激光掃描組件400。激光組件400類似于之前所論述的圖5A的激光組件200，但進(jìn)一步包括與激光組件400整合的兩個成像裝置420(例如，所示的CXD相機(jī))以便于成像裝置420的每一個可通過相關(guān)掃描儀414來檢視工件。 如所示，成像裝置420的每一個可使用二色光束分離器406整合以便將檢視方向提供給該成像裝置，該檢視方向?qū)嵸|(zhì)上對應(yīng)于將分離激光束部分提供給掃描儀414的每一個所沿的方向。如上文所論述，盡管可實施一系列的相對位置，但成像裝置420可與激光組件400整合，以便該成像裝置檢視的中心及劃線激光器402的輸出指向通過掃描儀414靶向的工件
11上的同一位置。圖8圖解說明根據(jù)許多實施例具有經(jīng)整合相機(jī)502的激光掃描組件500。激光掃描組件500包括供應(yīng)激光束至掃描頭506的激光器504。激光束在其至掃描頭506的路線上通過二色光束分離器508。如上文所述，掃描頭506可包括能夠調(diào)整激光束的位置的至少一個元件(諸如適于用作方向偏轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的電流計掃描儀)。掃描頭506包括可提供用于掃描激光束的改向的焦闌掃描透鏡510，以便該掃描激光束在實質(zhì)上垂直于工件512的方向上照射工件512。激光掃描組件500包括整合的相機(jī)502，以便通過掃描頭檢視工件。相機(jī) 502可用于俘獲由工件反射的光。由工件反射的光行進(jìn)穿過焦闌透鏡510，通過朝向激光器 504的掃描頭改向，通過二色光束分離器508反射，且行進(jìn)穿過成像透鏡514，在該成像透鏡 514處，反射光由相機(jī)502接收?？捎糜跍y量來自掃描透鏡510或來自工件512的激光脈沖反射的光電二極管516，可定位于各種位置(諸如所示的這些位置)中。在光電二極管516 經(jīng)定位鄰近于相機(jī)502的情況下，激光掃描組件500可包括光束分離器518以便朝向光電二極管改向反射光。照明源520也可用于供應(yīng)用于影像俘獲的照明。照明源520可定位于各種位置中(例如，所示的這些位置中)?？刂葡到y(tǒng)垂直定向工件劃線系統(tǒng)可包括控制系統(tǒng)，其可操作以控制夾具的移動、掃描組件的移動、激光及掃描裝置的操作等?？刂葡到y(tǒng)可包括硬件及軟件的任何適當(dāng)組合，且可包括操作所必需的任何適當(dāng)馬達(dá)或驅(qū)動機(jī)構(gòu)。系統(tǒng)可包括任何數(shù)量的傳感器或監(jiān)視器，且可包括一個或多個反饋系統(tǒng)以監(jiān)視且調(diào)整操作。圖9利用圖表說明根據(jù)許多實施例在劃線系統(tǒng)600的部件之間的信號。平臺運動控制器602可用于將工件相對于掃描頭移動?；蛘撸瑨呙桀^可相對于工件移動，或可使用工件與掃描頭的移動的組合。平臺運動控制器602可將其位置信息傳遞至掃描控制器604，該位置信息包括開始及停止信號。掃描控制器604可將發(fā)射控制信號發(fā)送至激光器606，該發(fā)射控制信號包括第一脈沖抑制信號及第一脈沖斷開信號。如上文所述，成像裝置608可將與工件上的特征結(jié)構(gòu)的位置有關(guān)的源自圖像的數(shù)據(jù)供應(yīng)至處理器610。處理器610可產(chǎn)生校正信號，其可供應(yīng)至掃描控制器604以用于校正掃描頭的后續(xù)指令掃描位置，該掃描頭用于將來自激光器606的輸出瞄準(zhǔn)在工件上。在劃線相對于之前形成的劃線而開始形成時，可允許過大的空間。在劃線的形成進(jìn)行時，控制系統(tǒng)可在所要線間距上快速縮近。通過使Pl與P2保持接近且使P3與P2保持接近，系統(tǒng)可操作以追蹤這些線且最大化有效區(qū)域。圖10說明根據(jù)許多實施例可用于激光劃線裝置的控制系統(tǒng)700，盡管根據(jù)本文所含的教示及建議，本領(lǐng)域的技術(shù)人員將明白可使用許多變體及不同元件。在該系統(tǒng)中，工作站702通過虛擬機(jī)環(huán)境(VME)控制器704(諸如，通過使用以太網(wǎng)絡(luò)連接)來工作，以與脈沖產(chǎn)生器706(或其它這類設(shè)備)一起工作用于驅(qū)動工件平移平臺708且控制頻閃燈710 及成像裝置712以便產(chǎn)生該劃線或劃線位置的圖像。工作站還通過VME控制器704工作以驅(qū)動每個掃描儀714或掃描頭的定位、控制每個光束部分于工件上的點定位，且通過激光控制器718控制激光器716的發(fā)射。圖11說明數(shù)據(jù)800通過這些各種部件的流程。在許多實施例中，劃線放置準(zhǔn)確度通過使工件平移平臺編碼器脈沖與激光及點放置觸發(fā)器同步來保證。該系統(tǒng)可確保工件處于適當(dāng)位置中，且掃描儀因此在產(chǎn)生適當(dāng)激光脈沖的前導(dǎo)向光束部分。通過使用單一 VME控制器從共同源驅(qū)動所有這些觸發(fā)器，所有這些觸發(fā)器的同步得以簡化。為了確保劃線后所得工件中的劃線的對準(zhǔn)，各種對準(zhǔn)程序可隨后進(jìn)行。一旦對準(zhǔn)，該系統(tǒng)可在工件上劃線任何適當(dāng)圖案，包括除電池描繪線及修整線之外的基準(zhǔn)標(biāo)記及條形碼。圖12為根據(jù)實施例可使用的控制系統(tǒng)900的簡化方框圖?？刂葡到y(tǒng)900可包括至少一個處理器902，其可經(jīng)由總線子系統(tǒng)904與大量外圍設(shè)備通訊。外圍設(shè)備可包括存儲子系統(tǒng)906，其(例如)包括內(nèi)存子系統(tǒng)908及文件存儲子系統(tǒng)910。存儲子系統(tǒng)906可維持可用于控制圖案化設(shè)備的基本程序設(shè)計及數(shù)據(jù)構(gòu)建。外圍設(shè)備還可包括用戶界面輸入及輸出裝置912的集合。用戶界面輸入裝置可包括鍵盤且可進(jìn)一步包括指針裝置及掃描儀。指針裝置可為間接指針裝置(諸如鼠標(biāo)、軌跡球、觸控板或圖形輸入板)或直接指針裝置(諸如并入顯示器的觸控屏幕)。其它類型的用戶界面輸入裝置(諸如語音辨識系統(tǒng))也是可能的。用戶界面輸出裝置可包括打印機(jī)及顯示子系統(tǒng)，該顯示子系統(tǒng)可包括顯示控制器及耦接至該控制器的顯示裝置。顯示裝置可為陰極射線管(CRT)、平板裝置(諸如液晶顯示器(LCD))或投影裝置。顯示子系統(tǒng)還可提供諸如音頻輸出的非視覺顯示。內(nèi)存子系統(tǒng)908通常包括海量存儲器，這些存儲器包括用于儲存程序執(zhí)行期間的指令及數(shù)據(jù)的主隨機(jī)存取存儲器(RAM)914，及儲存固定指令于其中的只讀存儲器 (ROM)916。文件存儲子系統(tǒng)910提供用于程序及數(shù)據(jù)文件的持續(xù)(非揮發(fā)性)存儲，且通常包括至少一個硬盤驅(qū)動器及至少一個磁盤驅(qū)動器(具有相關(guān)的抽取式媒介)。也可存在其它裝置，諸如CD-ROM驅(qū)動器及光學(xué)驅(qū)動器(皆具有其相關(guān)的可移動媒介)。另外，系統(tǒng)可包括具有可移動媒介盒類型的驅(qū)動器。這些驅(qū)動器的一個或多個可定位于遠(yuǎn)程位置，諸如，局域網(wǎng)絡(luò)上的服務(wù)器中或因特網(wǎng)的萬維網(wǎng)上的網(wǎng)站。在本文中，通用地使用術(shù)語“總線子系統(tǒng)”以便包括任何機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)如所欲使各種部件與子系統(tǒng)相互通訊。除輸入裝置及顯示器外，其它部件不必在同一物理位置。因此， 例如，文件存儲系統(tǒng)的部分可通過各種區(qū)域或廣域網(wǎng)絡(luò)媒介(包括電話線)連接。總線子系統(tǒng)904示意地展示為單個總線，但典型系統(tǒng)具有許多總線，諸如，局部總線及一個或多個擴(kuò)展總線(例如，ADB、SCSI、ISA、EISA、MCA、NuBus或PCI)；以及串行及并行端口。由于已在上文論述，此處將省略圖12的剩余項目的論述，這些項目諸如工件平臺 918、掃描儀920、成像裝置922及其它各種各樣的激光劃線裝置擬4部件。額外特征結(jié)構(gòu)在許多實施例中，激光劃線系統(tǒng)包括一個或多個額外特征結(jié)構(gòu)。例如排氣罩或其它排氣裝置可經(jīng)定位以從工件抽出燒蝕的材料。在許多實施例中，存在至少一個用于每個工件的排氣件。在許多實施例中，欲劃線的層位于與掃描組件相對的工件側(cè)面上，以使得激光束通過基板以劃線這些層，因而使材料從表面燒蝕切除，在該表面處，該材料可通過排氣系統(tǒng)抽出。與當(dāng)前揭示的激光劃線工具架構(gòu)及方法一起使用的額外裝置、設(shè)備、系統(tǒng)及方法描述于讓渡予Applied Materials, Inc.的許多專利申請中，所述這些申請案包括 (例如)2009 年4 月 10 日申請的發(fā)明名稱為 “LASER SCRIBING PLATFORM AND HYBRID WRITING STRATEGY”的美國專利申請12/422，189 ；2009年4月10日申請的發(fā)明名稱為
13"LASER-SCRIBING PLATFORM”的美國專利申請12/422，200 ；2009年4月10日申請的發(fā)明名稱為"LASER SCRIBE INSPECTION METHODS AND SYSTEMS” 的美國專利申請 12/422，224 ; 2009 年 4 月 10 日申請的發(fā)明名稱為 ‘‘DYNAMIC SCRIBE ALIGNMENT FOR LASER SCRIBING, WELDING OR ANY PATTERNING SYSTEM”的美國專利申請案第 12/422，208 號；2009 年 4 月 27 日申請的發(fā)明名稱為"DEBRIS EXTRACTION EXHAUST SYSTEM”的美國專利申請12/430，249 ； 及 2009 年 4 月 27 日申請的發(fā)明名稱為‘‘IN-SITU MONITORING FOR LASER ABLATION”的美國專利申請12/430，345 ；其全部揭示內(nèi)容以引用的方式并入本文。
應(yīng)了解，本文所述的實例及實施例出于說明目的，且將暗示熟習(xí)該項技術(shù)者根據(jù)這些實例及實施例的各種修改或變化，這些修改或變化欲包括在本申請的精神及權(quán)限內(nèi)及所附權(quán)利要求的范疇內(nèi)。許多不同組合為可能的，且這些組合欲視為本發(fā)明的部分。
權(quán)利要求
1.一種用于激光劃線包括實質(zhì)平坦表面的工件的設(shè)備，所述設(shè)備包括 框架；第一夾具，耦接所述框架，所述第一夾具被配置為用于嚙合所述工件的第一部分； 第二夾具，耦接所述框架，所述第二夾具被配置為用于嚙合所述工件的第二部分，其中當(dāng)所述工件由所述第一夾具及所述第二夾具嚙合時，所述平坦表面實質(zhì)上垂直定向； 激光，可操作以產(chǎn)生能夠從所述工件的至少一部分移除材料的輸出；以及掃描裝置，耦接所述激光及所述框架，所述掃描裝置可操作以控制來自所述激光的輸出相對于所述工件的位置。
2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述第一夾具及所述第二夾具可相對于所述框架水平平移。
3.如權(quán)利要求2所述的設(shè)備，包括第三夾具，耦接所述框架，所述第三夾具被配置為沿著第二工件的第一側(cè)面嚙合所述第二工件；以及第四夾具，耦接所述框架，所述第四夾具被配置為沿著第二工件的第二側(cè)面嚙合所述第二工件，其中當(dāng)所述第二工件由所述第三夾具及所述第四夾具嚙合時，所述第二工件的平坦表面實質(zhì)上垂直定向，并且所述第三夾具及所述第四夾具可相對于所述框架水平平移。
4.如權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其中所述第二工件可在所述工件劃線的同時被加載。
5.如權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其中所述工件的行進(jìn)路徑與所述第二工件的行進(jìn)路徑偏移。
6.如權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其中所述掃描裝置可水平平移以便調(diào)整所述工件與所述第二工件的所述這些行進(jìn)路徑之間的偏移。
7.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述掃描裝置可相對于所述工件垂直平移。
8.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，所述設(shè)備包括光纜，用于將所述激光與所述掃描裝置耦接。
9.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述工件包括基板及用于形成太陽能電池至少一層，且所述激光能夠從所述至少一層中移除材料。
10.一種用于激光劃線包括實質(zhì)平坦表面的工件的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括 框架；第一夾具，耦接所述框架，所述第一夾具被配置為用于嚙合所述工件的第一部分； 第二夾具，耦接所述框架，所述第二夾具被配置為用于嚙合所述工件的第二部分，其中當(dāng)所述工件由所述第一夾具及所述第二夾具嚙合時，所述平坦表面實質(zhì)上垂直定向； 激光，可操作以產(chǎn)生能夠從所述工件的至少一部分移除材料的輸出； 掃描裝置，耦接所述激光及所述框架，所述掃描裝置可操作以控制來自所述激光的輸出相對于所述工件的位置；以及控制裝置，耦接所述激光及所述掃描裝置，所述控制裝置包括處理器及機(jī)器可讀媒介， 所述機(jī)器可讀媒介包括指令，當(dāng)由所述處理器執(zhí)行所述指令時，所述指令引起所述系統(tǒng)對準(zhǔn)所述激光輸出以便在所述工件上形成預(yù)定特征結(jié)構(gòu)圖案。
11.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中所述掃描裝置可相對于所述工件垂直平移。
12.如權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其中所述第一夾具及所述第二夾具可相對于所述框架水平平移。
13.一種用于激光劃線包括實質(zhì)平坦表面的工件的方法，所述方法包括以下步驟 支撐所述工件以便所述平坦表面實質(zhì)上垂直定向；在所述經(jīng)支撐工件與劃線光學(xué)組件之間產(chǎn)生相對平移，所述相對平移包括垂直分量；并且在所述相對平移期間，用所述劃線光學(xué)組件導(dǎo)向來自激光的輸出以在所述工件上形成激光劃線特征結(jié)構(gòu)。
14.如權(quán)利要求13所述的方法，其中所述工件由嚙合所述工件的第一部分的第一夾具及由嚙合所述工件的第二部分的第二夾具來支撐，而所述第一夾具及所述第二夾具耦接框架且被配置為可相對于所述框架水平平移；所述劃線光學(xué)組件耦接所述框架；并且所述工件在所述激光劃線特征結(jié)構(gòu)形成的至少一部分期間相對于所述框架水平平移。
15.如權(quán)利要求14所述的方法，其進(jìn)一步包括安裝第二工件以便所述第二工件在激光劃線特征結(jié)構(gòu)形成的至少一部分期間由所述框架來支撐。
全文摘要
本發(fā)明涉及用于激光劃線垂直定向工件的設(shè)備和系統(tǒng)。在許多實施例中，激光劃線設(shè)備(30、60)包括框架、耦接所述框架的第一夾具(32)、耦接所述框架的第二夾具(34)、可操作以產(chǎn)生能夠從所述工件(36)的至少一部分移除材料的輸出的激光(96、100)及耦接所述激光(96、100)和所述框架的掃描裝置(106)。所述第一夾具(32)配置為用于嚙合所述工件(36)的第一部分。所述第二夾具(34)配置為用于嚙合所述工件(36)的第二部分。當(dāng)所述工件(36)由所述第一夾具及所述第二夾具嚙合時，所述工件(36)實質(zhì)上垂直定向。所述掃描裝置(106)可操作以控制來自所述激光(96、100)的輸出相對于所述工件(36)的位置。
文檔編號H01L31/042GK102217056SQ200980146287
公開日2011年10月12日 申請日期2009年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月19日
發(fā)明者安托尼·P·馬內(nèi)斯, 徐維勇 申請人:應(yīng)用材料股份有限公司