專利名稱：真空電容器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種應用于例如半導體制造系統(tǒng)中使用的高頻供電電路中的真空電容器，并且涉及一種其中固定電極和可動電極布置于真空外殼中并且其電容值可變的可變型真空電容器。
背景技術：
很多真空電容器應用于例如半導體制造系統(tǒng)中使用的高頻供電電路中。在將真空電容器按其結構寬泛地歸類時，有兩種類型的真空電容器電容值固定的固定型真空電容器以及電容值可變的可變型真空電容器(例如，專利文獻1 3)。作為可變型真空電容器的例子，已知一種電容器，其中固定電極和可動電極布置于真空外殼中并且其電容通過使用波紋管(bellows)等在維持真空外殼中的真空狀態(tài)的同時移動可動電極而變化。作為真空外殼，提供由絕緣材料(比如陶瓷材料)制成的絕緣管本體以及由銅等材料制成的密封元件，并且絕緣管本體的每個開口端側由所述密封元件封閉，從而形成真空外殼。每個密封元件主要由設置于絕緣管本體的開口端側處的管元件和封閉管元件的蓋元件形成。固定電極由其直徑彼此不同并且同心地布置的多個基本上為圓柱形的電極元件 (例如，這些圓柱形電極元件以一定間距布置)所形成。固定電極設置在真空外殼內密封元件之一(下文中，稱為一側密封元件，并且另一個稱為另一側密封元件)處。與固定電極相同，可動電極由直徑彼此不同并且同心地布置的多個基本上為圓柱形的電極元件(例如， 這些圓柱形電極元件以一定間距布置)所形成。在真空外殼內設置可動電極以使得可動電極的每個電極元件能在可動電極的每個電極元件不與固定電極的電極元件接觸的情況下插入固定電極的電極元件之間的間隙和從其中抽出(可動電極的電極元件以交錯構造布置以便插入固定電極的電極元件之間的間隙和從其中抽出并且交替與固定電極的電極元件交替地重疊)。該可動電極由沿真空外殼的軸向移動的可動電極軸(可動電極軸移動以使得能調節(jié)可動電極相對于固定電極的插入/抽出程度)支撐?？蓜与姌O軸由例如支撐可動電極的支撐元件(下文中稱為可動支撐元件)和從可動支撐元件的后表面?zhèn)?例如從可動支撐元件的面對另一側密封元件的表面?zhèn)?向真空外殼的軸向延伸的桿(下文中稱為可動桿)形成。該可動電極軸例如通過設置在真空外殼處的軸承元件(例如固定于蓋元件中部處的軸承元件)可滑動地支撐(例如該可動電極軸被可滑動地支撐使得可動桿能沿真空外殼的軸向滑動)。為了通過沿真空外殼的軸向移動可動電極軸來調節(jié)電容，例如，使用連接至可動桿的一端側并且由驅動源(比如馬達)所旋轉的元件(在下文中，稱作電容控制單元)。這個電容控制單元擰到可動桿的所述一端側上(例如，形成于電容控制單元處的內螺紋部分擰到形成于可動桿的所述一端側處的外螺紋部分上)，然后與可動桿連接。采用能由驅動源(比如馬達)所旋轉的電容控制單元。另外，例如通過由例如止推軸承形成的支撐元件相對于真空外殼可旋轉地支撐電容控制單元。
波紋管是具有膨脹/收縮特性的波紋管金屬元件。波紋管用作真空電容器的電流路徑的一部分，并將真空外殼內部分隔為真空室和大氣室。由于這種波紋管，可動電極、可動支撐元件和可動桿能沿真空外殼的軸向移動，且固定電極、可動電極和波紋管在真空外殼中包圍出的空間保持密封而作為真空室(該空間處于真空狀態(tài))。例如，波紋管的一側邊緣在軸承元件側連接至所述另一側密封元件的內壁側，而波紋管的另一側邊緣連接至可動支撐元件等。這里，關于波紋管的連接，例如采用真空銅焊。另外，對于波紋管，存在著一些具有不同結構的波紋管。例如，已知其結構為其中波紋管的所述另一側邊緣連接至可動桿的表面的波紋管以及具有雙重波紋管結構(例如，其中不銹鋼波紋管和銅波紋管組合起來的結構)的波紋管。在具有上述這種結構的真空電容器中，通過由驅動源(比如馬達)旋轉電容控制單元，由電容控制單元的旋轉引起的旋轉運動轉換為可動電極軸的軸向運動，然后固定電極和可動電極之間的重疊面積響應于可動電極軸的移動量而變化。此時，波紋管根據可動桿的運動而膨脹或收縮。這樣，當電壓施加至固定電極和可動電極并且波紋管膨脹或收縮時，固定電極和可動電極之間的重疊面積改變，并且出現于這兩個電極之間的電容值就連續(xù)地改變，從而進行阻抗調節(jié)。關于使用這種真空電容器的情況下的高頻裝置的高頻電流，高頻電流從所述一側密封元件通過波紋管和兩個面對電極之間(固定電極和可動電極之間)的電容流向所述另一側密封元件。引用列表專利文獻專利文獻1 日本專利申請公開No. JP6-241237專利文獻2 日本專利申請公開No. JP2005-180535專利文獻3 日本專利申請公開No. JP8-4578
發(fā)明內容
技術問題如上所述，當在可變型真空電容器中在維持真空室的真空狀態(tài)的同時通過移動可動電極軸而改變電容的情況下，可知，需要具有膨脹/收縮特性的金屬元件，比如波紋管 (以將真空外殼的內部分隔為真空室和大氣室)。另外，可知需要通過電容控制單元的旋轉運動沿真空外殼的軸向移動可動電極軸。也就是說，在移動可動電極軸時，需要克服真空室的分割壁(波紋管、絕緣管本體和另一側密封元件等)處出現的壓力來進行可動電極軸的移動。換言之，可以說需要降低移動可動電極軸時的阻力。另外，在電容控制單元的旋轉運動轉換為可動電極軸的軸向運動的情況下，例如，采用其中電容控制單元和可動電極軸(可動桿等)通過螺紋連接而連接的結構。然而，因為需要電容控制單元的多次旋轉運動，所以需要花費很多時間來調節(jié)電容，因此難以立即改變電容值。鑒于此，希望能夠容易地進行可動電極軸的移動。另外，由于在每次重復膨脹/收縮時高的機械應力施加于金屬元件比如波紋管上，金屬元件很可能會破裂，并且真空電容器(真空室等)的壽命也會變短。尤其是在波紋管用作電流路徑時，波紋管的溫度由于施加電流時發(fā)熱而變高。因而真空電容器的壽命變得更短。問題的解決方案為了解決上述問題，根據本發(fā)明的一個方面，一種真空電容器，在該真空電容器中，在真空外殼中布置由多個電極元件形成的固定電極并且在固定電極的電極元件之間形成的間隙中布置由多個電極元件形成的可動電極，真空電容器在可動電極和固定電極之間呈現的電容通過使支撐可動電極的可動電極軸旋轉來改變，該真空電容器包括使真空外殼中的可動電極軸旋轉的磁通量接收單元；定位于真空外殼的外部并且通過磁吸引力來使磁通量接收單元旋轉的磁通量產生單元；以及使磁通量產生單元旋轉的電容控制單元。根據本發(fā)明的另一方面，一種真空電容器，其包括通過由相應的密封元件封閉絕緣管本體的兩個開口端側而形成的真空外殼；通過在真空外殼中沿真空外殼的軸向以一定距離分層布置多個平板狀電極元件而形成的固定電極；通過在真空外殼中沿真空外殼的軸向以一定距離分層布置多個平板狀電極元件而形成的可動電極，其固定至沿真空外殼的軸向延伸且被可旋轉地支撐在真空外殼中的可動電極軸，通過可動電極軸的旋轉，以可動電極的每個電極元件與固定電極的電極元件非接觸的方式，可動電極的每個電極元件插入固定電極的電極元件之間的間隙以及從其中抽出并且交替與固定電極的電極元件交替地重疊；固定至真空外殼中的可動電極軸并且接收從真空外殼的外部穿過密封元件的磁通量的磁通量接收單元；以及具有產生磁通量的磁通量產生單元并且在密封元件的外部被可旋轉地支撐的電容控制單元，并且通過旋轉電容控制單元，在磁通量的磁吸引力作用下從而也旋轉磁通量接收單元，可動電極相對于固定電極的重疊面積改變，從而能夠調節(jié)電容。根據本發(fā)明的又一方面，一種真空電容器，在該真空電容器中，在真空外殼中布置由多個電極元件形成的固定電極并且在固定電極的電極元件之間形成的間隙中布置由多個電極元件形成的可動電極，該真空電容器在可動電極和固定電極之間呈現的電容通過使支撐可動電極的可動電極軸旋轉來改變，該真空電容器包括旋轉真空外殼中的可動電極軸的磁通量接收單元；定位于真空外殼的外部并且通過磁吸引力來旋轉磁通量接收單元的磁通量產生單元；旋轉磁通量產生單元的電容控制單元；以及支撐部分，設置在可動電極軸和面向可動電極軸的真空外殼內壁中的任一側處并且以點支撐的方式支撐另一側。根據本發(fā)明的再一個方面，一種真空電容器，包括通過由相應的密封元件封閉絕緣管本體的兩個開口端側而形成的真空外殼；通過在真空外殼中沿真空外殼的軸向以一定距離分層布置多個平板狀電極元件而形成的固定電極；通過在真空外殼中沿真空外殼的軸向以一定距離分層布置多個平板狀電極元件而形成的可動電極，可動電極固定至沿真空外殼的軸向延伸且被可旋轉地支撐在真空外殼中的可動電極軸，通過可動電極軸的旋轉，以可動電極的每個電極元件與固定電極的電極元件非接觸的方式，可動電極的每個電極元件插入固定電極的電極元件之間的間隙以及從其中抽出并且交替與固定電極的電極元件交替地重疊；固定至真空外殼中的可動電極軸并且接收從真空外殼的外部穿過密封元件的磁通量的磁通量接收單元；具有產生磁通量的磁通量產生單元并且在密封元件的外部被可旋轉地支撐的電容控制單元；以及支撐部分，設置在可動電極軸和面向可動電極軸的真空外殼內壁中的任一側處并且以點支撐的方式支撐另一側；并且通過旋轉電容控制單元，在磁通量的磁吸引力作用下從而也旋轉磁通量接收單元，可動電極相對于固定電極的重疊面積改變，從而能夠調節(jié)電容。根據本發(fā)明的又一方面，一種真空電容器，在該真空電容器中，在真空外殼中布置由多個電極元件形成的固定電極并且在固定電極的電極元件之間形成的間隙中布置由多個電極元件形成的可動電極，該真空電容器在可動電極和固定電極之間呈現的電容通過使支撐可動電極的可動電極軸旋轉來改變，該真空電容器包括旋轉真空外殼中的可動電極軸的磁通量接收單元；定位于真空外殼的外部并且通過磁吸引力來旋轉磁通量接收單元的磁通量產生單元；旋轉磁通量產生單元的電容控制單元；以及施力部件，設置在面向可動電極軸的一個端部的真空外殼內壁的一部分處，并且是覆蓋和密封形成在所述部分處的穿孔的間隔件，所述施力部件在沿著可動電極軸的另一端部的方向對可動電極軸施力的同時支撐可動電極軸的所述一個端部。根據本發(fā)明的另一方面，一種真空電容器，包括通過由相應的密封元件封閉絕緣管本體的兩個開口端側而形成的真空外殼；通過在真空外殼中沿真空外殼的軸向以一定距離分層布置多個平板狀電極元件而形成的固定電極；通過在真空外殼中沿真空外殼的軸向以一定距離分層布置多個平板狀電極元件而形成的可動電極，可動電極固定至沿真空外殼的軸向延伸且被可旋轉地支撐在真空外殼中的可動電極軸，通過可動電極軸的旋轉，以可動電極的每個電極元件與固定電極的電極元件非接觸的方式，可動電極的每個電極元件插入固定電極的電極元件之間的間隙以及從其中抽出并且交替與固定電極的電極元件交替地重疊；固定至真空外殼中的可動電極軸并且接收從真空外殼的外部穿過密封元件的磁通量的磁通量接收單元；具有產生磁通量的磁通量產生單元并且在密封元件的外部被可旋轉地支撐的電容控制單元；以及施力部件，設置在面向可動電極軸的一個端部的真空外殼內壁的一部分處，并且是覆蓋和密封形成在所述部分處的穿孔的間隔件，所述施力部件在沿著可動電極軸的另一端部的方向對可動電極軸施力的同時支撐可動電極軸的所述一個端部；并且通過旋轉電容控制單元，在磁通量的磁吸引力作用下從而也旋轉磁通量接收單元， 可動電極相對于固定電極的重疊面積改變，從而能夠調節(jié)電容。這里，關于其中施力部件設置在真空外殼內壁的面向可動電極軸的一個端部的部分處的真空電容器，施力部件可以是膜片。另外，支撐部分可以形成在可動電極軸和面向可動電極軸的所述施力部件中的任一側的接觸部分處并且以點支撐的方式支撐另一側。根據本發(fā)明的又一方面，一種真空電容器，在該真空電容器中，在真空外殼中布置由多個電極元件形成的固定電極并且在固定電極的電極元件之間形成的間隙中布置由多個電極元件形成的可動電極，該真空電容器在可動電極和固定電極之間呈現的電容通過使支撐可動電極的可動電極軸旋轉來改變，該真空電容器包括旋轉真空外殼中的可動電極軸的磁通量接收單元；定位于真空外殼的外部并且通過磁吸引力來旋轉磁通量接收單元的磁通量產生單元；以及旋轉磁通量產生單元的電容控制單元；并且可動電極軸和面向可動電極軸的真空室內壁中的任一個由可動電極軸與所述真空室內壁之間的接觸部分處的絕緣體形成。根據本發(fā)明的再一方面，一種真空電容器，包括通過由相應的密封元件封閉絕緣管本體的兩個開口端側而形成的真空外殼；通過在真空外殼中沿真空外殼的軸向以一定距離分層布置多個平板狀電極元件而形成的固定電極；通過在真空外殼中沿真空外殼的軸向以一定距離分層布置多個平板狀電極元件而形成的可動電極，可動電極固定至沿真空外殼的軸向延伸且被可旋轉地支撐在真空外殼中的可動電極軸，通過可動電極軸的旋轉，以可動電極的每個電極元件與固定電極的電極元件非接觸的方式，可動電極的每個電極元件插入固定電極的電極元件之間的間隙以及從其中抽出并且交替與固定電極的電極元件交替地重疊；固定至真空外殼中的可動電極軸并且接收從真空外殼的外部穿過密封元件的磁通量的磁通量接收單元；以及具有產生磁通量的磁通量產生單元并且在密封元件的外部被可旋轉地支撐的電容控制單元；并且可動電極軸和面向可動電極軸的真空室內壁中的任一個由可動電極軸與所述真空室內壁之間的接觸部分處的絕緣體形成；通過旋轉電容控制單元，在磁通量的磁吸引力作用下從而也旋轉磁通量接收單元，可動電極相對于固定電極的重疊面積改變，從而能夠調節(jié)電容。這里，關于其中可動電極軸和面向可動電極軸的真空室內壁中的任一個由可動電極軸與所述真空室內壁之間的接觸部分處的絕緣體形成的真空電容器，至少可動電極軸與所述真空室內壁相接觸的接觸部分由所述絕緣體形成，并且所述絕緣體由氧化鋁的百分比含量為92%或更多的陶瓷制成。此外，所述施力部件可以設置在真空外殼內壁的面向可動電極軸的一個端部的部分處，并且可以是從真空外殼的內部覆蓋和密封形成在所述部分處的穿孔的間隔件，所述施力部件在沿著可動電極軸的另一端部的方向對可動電極軸施力的同時支撐可動電極軸的所述一個端部。另外，支撐部分可以設置在可動電極軸和面向可動電極軸的真空外殼內壁中的任一側處并且以點支撐的方式支撐另一側。而且，固定電極可以沿電極元件的分層布置方向被劃分成多個固定電極，每個被劃分的固定電極可以通過每個引線連接終端引導并電連接到真空外殼的外部，然后這些引線連接終端遠離磁通量產生單元設置，從而減少在對引線連接終端施加電流時所產生的熱和磁通量與磁通量產生單元的干涉。另外，關于通過由相應密封元件封閉絕緣管本體的兩個開口端側而形成的真空外殼，絕緣管本體可以被劃分為多個絕緣管本體，相應的引線連接終端中的至少一個可以布置在被劃分的絕緣管本體之間。另外，被劃分的多個固定電極可以由相應的固定電極軸支撐。這里，作為磁通量接收單元和磁通量產生單元的實施例，磁通量接收單元和磁通量產生單元可沿與可動電極軸正交的相同的線方向布置。此外，作為電容控制單元的實施例，電容控制單元可具有多個磁通量產生單元，并且這些磁通量產生單元可沿著圓周方向以規(guī)則的間隔布置。另外，作為電極元件的每個面積的實施例，電極元件的每個面積可小于真空外殼內部的橫截面方向上的面積，并且通過可動電極軸在一個回轉內的旋轉，電容可在從最小電容值至最大電容值的范圍內改變。發(fā)明效果如上所述，根據本發(fā)明，無需使用波紋管，并且能延長真空電容器的壽命。另外，能通過可動電極的旋轉實現電容的即時改變。


圖1是根據本實施例的真空電容器的一部分的縱向剖切的透視圖。圖2是根據本實施例的固定電極的一部分的分解透視圖，用于解釋布置于真空室中的固定電極的例子。圖3是根據本實施例的用于說明布置于真空室中的可動電極的例子的示意圖。圖4是根據本實施例的用于說明通過固定電極和可動電極的插入/抽出而改變電容的例子的示意圖。圖5是根據本實施例的用于說明通過固定電極和可動電極的插入/抽出而改變電容的例子的示意圖。圖6是根據本實施例的用于說明電容控制單元的支撐結構的例子的示意圖。圖7是根據本實施例的用于說明其中磁通量產生單元的磁通量Φ由磁通量接收單元所接收的結構的例子的示意圖。圖8是根據本實施例的用于說明其中磁通量產生單元的磁通量Φ由磁通量接收單元所接收的結構的例子的示意圖。
具體實施例方式在下面的描述中，將參照圖1至圖8說明根據本發(fā)明的可變型真空電容器的實施例。圖1是可變型真空電容器的一部分的縱向剖切的透視圖。參考標號1表示真空外殼。提供由絕緣材料(比如陶瓷材料)制成的絕緣管本體Ia以及由銅等材料制成的一側密封元件2和另一側密封元件3，并且絕緣管本體Ia的兩個開口端側由密封元件2和3封閉，從而形成真空外殼1。真空外殼1具有在真空外殼1內部的真空室lb。圖1中的一側密封元件2具有設置于絕緣管本體Ia的一個開口端側處(在圖1 中下側處)的管元件加和封閉管元件加的蓋元件2b。另外，支撐后面提到的固定電極軸 6以便使之直立的凹槽部2c (在圖2中為三個凹槽部)在真空室Ib中形成于蓋元件2b的內表面上的外周邊緣部分處。用以安裝后面提到的導向件Ilc的凹槽部2d在真空室Ib中形成于蓋元件2b的中部處。圖1中的另一側密封元件3具有設置于絕緣管本體Ia的另一開口端側(在圖1 中上側處)處的管元件3a、從管元件3a的內周表面突出的環(huán)狀凸緣3b (在圖1中，凸緣北沿管元件3a的徑向突出)、由凸緣北支撐以便使之直立的圓柱形分隔壁3c、以及封閉分隔壁3c的一個開口端側(在圖1中上側處)的蓋元件3d。作為用于后面提到的磁通量產生單元13的運動通道的環(huán)狀凹槽部!Be由這些管元件3a、凸緣北和分隔壁3c包圍的空間限定。另外，用于可旋轉地支撐后面提到的可動電極軸9的凹槽部3f在真空室Ib中形成于蓋元件3d的內表面上的中部處。參考標號4表示通過沿真空室Ib的軸向(沿連接密封元件2和3的線的方向) 以一定距離(該距離比可動電極7的電極元件8的厚度更大)分層布置多個平板狀電極元件5而形成的固定電極。固定電極4通過固定電極軸6被固定地支撐。在圖1中，使用兩個分開的固定電極軸6a和6b。一個固定電極軸6a直立在蓋元件2b上并且固定至蓋元件2b，且電連接至在真空室Ib外部、蓋元件2b外側處所設置的引線連接終端(未示出)。另一固定電極軸6b由穿過絕緣管本體并且位于絕緣管本體Ia的縱向中部處的引線連接終端6c固定地支撐。固定電極軸6b電連接至引線連接終端6c。這樣，固定電極4被分成位于一側密封元件2 —側并且電連接至引線連接終端(未示出)的
11電極(下文中稱為一側固定電極)以及位于另一側密封元件3—側且電連接至引線連接終端6c的電極(下文中稱為另一側固定電極)。參考標號7表示(與固定電極4相同)通過沿真空室Ib的軸向以一定距離(該距離比固定電極4的電極元件5的厚度更大)分層布置多個平板狀電極元件8而形成的可動電極。電極元件8以交錯構造布置于真空室Ib內部以使得每個電極元件8能插入固定電極4的電極元件5之間的間隙以及從其中抽出，從而能夠以與固定電極4的電極元件5 非接觸的方式使得電極元件5與可動電極7的每個電極元件8交替地重疊?？蓜与姌O7由沿真空室Ib的軸向(例如，在圖1中，在軸中心上)延伸的可動電極軸9可旋轉地支撐?？蓜与姌O軸9和面向可動電極軸9的真空室Ib內壁中的任一個在兩者之間的接觸部分處設有絕緣體。例如，在圖1中，絕緣軸9a和9b設置在可動電極軸9的兩端處。分別通過穿孔1 Ib和凹槽部3f可旋轉地支撐絕緣軸9a和絕緣軸％。當以這種方式至少在可動電極軸9的面向真空室Ib內壁的部分處采用絕緣體的情況下，由于高頻電壓(例如幾百 kHz水平)可以被施加于可動電極軸，存在這樣的可能性，即在絕緣體中出現由于介電質損耗而生成熱。因此不使用純粹的絕緣體，而是優(yōu)選地使用抵損耗的絕緣體，例如其氧化鋁百分比含量為92%或更多的陶瓷。期望使用由其氧化鋁百分比含量為99. 5%或更多的陶瓷制成的絕緣體。圖1中的可動電極7沒有電連接至真空外殼1的外部。可動電極7被分成位于一側密封元件2—側、與一側固定電極重疊且插入所述一側固定電極以及從其中抽出的電極 (下文中稱為一側可動電極)和位于另一側密封元件3—側、與另一側固定電極重疊且插入所述另一側固定電極以及從其中抽出的電極(下文中稱為另一側可動電極)。也就是，真空外殼1中的電容C是由所述一側固定電極和一側可動電極之間的重疊面積的電容(下文中稱為一側電容)以及由所述另一側固定電極和另一側可動電極之間的重疊面積的電容(下文中稱為另一側電容)的總電容。因此，真空外殼1的構造是將兩個電容器串聯連接的構造。這里，在固定電極4被分成多個固定電極并且每個固定電極通過各自的引線連接終端電連接至真空外殼1的外部的情況下，構想了這樣一種構造，在該構造中，與被劃分的固定電極4 一樣，可動電極7和可動電極軸9也相應地被分成多個可動電極和多個可動電極軸(例如，可動電極軸9使用位于可動電極軸9的一部分處的絕緣體進行劃分)并且多個這樣的電容器串聯地連接。另外，在絕緣管本體Ia被分成多個絕緣管本體的情況下，構想這樣一種構造，其中，各自的引線連接終端中的至少一個布置于被劃分的絕緣管本體Ia 之間。關于位于一側密封元件2 —側處的可動電極軸9的支撐結構，只要該結構是能維持真空室Ib的真空狀態(tài)的結構，就可以應用各種結構。例如，如圖1中所示，所述結構能夠是其中提供設有穿孔lib(具有可動電極軸9的一端側(在圖1中是絕緣軸9a)能穿過的這樣的形狀)的導向件Ilc以便從真空室Ib的內部覆蓋設置于凹槽部2d的底部上的調節(jié)膜片Ila的結構。然后，可動電極軸9的所述一端側穿過導向件Ilc的穿孔11b，并且所述一端側由調節(jié)膜片Ila支撐。在這種結構的情況下，通過調節(jié)膜片Ila的擠壓變形所產生的力從接觸調節(jié)膜片Ila的所述一端側至可動電極軸9的另一端側地(沿另一側密封元件 3的方向)作用于可動電極軸9的所述一端側上。
另外，在與真空外殼1的外部相通的孔Ild形成于凹槽部2d中的情況下，調節(jié)膜片Ila根據真空外殼1的外部的大氣壓和真空室Ib的真空壓力之間的差而被擠壓變形。也就是，沿從真空外殼1的外部至真空室Ib的內部的方向使調節(jié)膜片Ila擠壓變形的力通過真空外殼1的外部和真空室Ib之間的壓力差作用在調節(jié)膜片Ila上，并且這種擠壓變形的力添加至可動電極軸9?？蓜与姌O軸9因此受到支撐，同時在另一側密封元件3的方向上受壓。另外，在采用了其中可動電極軸9的一個端面?zhèn)热鐖D1所示為平狀并且調節(jié)膜片 Ila的接觸可動電極軸9的部分lie形成為尖狀然后可動電極軸9的所述一個端面的一部分由所述部分lie—點支撐的構造的情況下，例如，與可動電極軸9的所述一個端面的整個表面受到支撐的情況相比，接觸區(qū)域較小。因此，能降低可動電極軸9的旋轉阻力。另外， 同樣，在采用了其中接觸可動電極軸9的部分lie沒有形成尖狀而是形成平狀并且可動電極軸9的端面形成為尖狀然后所述端面在該頂點處接觸所述部分lie的構造的情況下，也能獲得相同效果。也就是，只要所述構造是其中可動電極軸9和面向可動電極軸9的真空室Ib內壁中的任一側具有以點支撐的方式支撐另一側的支撐部分的構造，就能降低旋轉阻力。參考標號12表示磁通量接收單元，其設置于可動電極軸9的另一側密封元件3 — 側處并且與可動電極軸9 一起旋轉。磁通量接收單元12接收后面提到的磁通量產生單元 13的磁通量Φ。例如，磁通量接收單元12由鐵磁性材料(比如鐵和鎳)制成。如圖1所示，使用這樣的磁通量接收單元12，其具有通過可動電極軸9的穿過而被支撐的盤元件1 以及沿真空室Ib的軸向從盤元件12a的外周邊緣部分直立的接收壁12b。參考標號14表示具有磁通量產生單元13并且相對于另一側密封元件3的外部被可旋轉地支撐的電容控制單元。例如，如圖1所示，使用這樣的電容控制單元14，其具有通過環(huán)狀控制元件側導向軸14b相對于蓋元件3d被旋轉地支撐的盤元件14a以及在真空室 Ib中設置于盤元件1 的內表面上的外周邊緣部分處并且隨著盤元件1 的旋轉而在凹槽部3e中移動的磁通量產生單元13。這個磁通量產生單元13能由例如具有N極和S極的永磁體13a以及保持永磁體13a的保持件1 形成。例如，磁通量產生單元13使用連接裝置 13c (比如螺釘)固定至盤元件14a。在圖1所示的真空電容器中，可動電極軸9、磁通量接收單元12以及電容控制單元14(磁通量產生單元13)沿相同方向旋轉。關于真空室Ib中的每個結構，例如，調節(jié)膜片1 la，屬于固定電極4的電極元件5、間隔件恥和固定電極軸6以及屬于可動電極7的電極元件8、間隔件8b和可動電極軸9，每個都能以多種方式固定。然而，能夠采用這樣一種方式，其中在形成真空室Ib時當在高溫(舉例來說，大約800°C)下產生真空時通過真空狀態(tài)下的銅焊實施熔化固定。圖2是固定電極4的一部分的分解透視圖，用來說明設置在真空室Ib中的固定電極4的示例。如圖2所示，固定電極4的每個電極元件5設置有固定孔fe(圖2中為三個固定孔)以通過固定電極軸6的穿過來將固定電極軸6固定。然后層疊電極元件5以使得固定電極軸6穿過每個固定孔fe。為了在電極元件5之間形成間隔，例如，如圖2所示，在電極元件5之間的每個間隔中設置固定電極軸6能穿過其中的、具有預定厚度(該厚度比可動電極7的電極元件8厚)的環(huán)形間隔件恥，從而在電極元件5之間形成間隙(S卩，厚度與間隔件恥相同的間隙)。這里，要求每個電極元件5在如上所述分層布置時不與可動電極軸9以及后面提到的間隔件8b等互相干擾。如圖2所示，然后適當地形成切割部分5c等，。另外，要求固定電極軸6不與插入固定電極4以及從其中抽出的可動電極7相互干擾。例如，優(yōu)選地，固定電極軸直立并且設置于靠近真空室Ib的內周壁表面的位置處。圖3是用來說明設置在真空室Ib中的可動電極7的示例的示意圖。如圖3所示， 可動電極7的每個電極元件8也設置有固定孔8a以通過可動電極軸9的穿過來固定可動電極軸9。然后層疊電極元件8以使得可動電極軸9穿過每個固定孔8a。為了在電極元件 8之間形成間隔，例如，如圖3所示，在電極元件8之間的每個間隔中設置可動電極軸9能穿過的、具有預定厚度(該厚度比固定電極4的電極元件5厚)的環(huán)形間隔件8b，從而在電極元件8之間形成間隙(即，厚度與間隔件8b相同的間隙Sc)。這里，要求每個電極元件8在通過旋轉插入固定電極4以及從其中抽出時不與固定電極軸6和間隔件恥等互相干擾。例如，如圖3所示，使用面積比電極元件5更小的電極元件8。圖4和5是用來說明通過固定電極4和可動電極7的插入/抽出來改變電容的示例的示意圖。如圖4所示，當固定電極4(每個電極元件幻和可動電極7(每個電極元件8) 沒有彼此重疊時，真空電容器的電容是最小電容值。當可動電極7在圖4的X方向上旋轉并且與固定電極4重疊時，隨著重疊面積變大，電容值增大。如圖5所示，當重疊面積處于最大狀態(tài)時，真空電容器的電容是最大電容值。圖1 圖5中示出的每個電極元件5和每個電極元件8是平板狀電極元件，并且相應電極元件的兩個端面的每個面積都小于真空室Ib的內部的橫截面方向上的面積。例如，其為半圓盤、扇形盤以及三角形盤。也就是，只要電極元件5和8之間的重疊面積能根據可動電極7的旋轉而改變并且電極元件8能在真空室Ib內部旋轉，各種形狀的電極元件都能用于電極元件5和8。雖然圖中的每個電極元件5和8都是半圓盤，即，其形狀是大約360°的一半，通過可動電極7在一個回轉內的旋轉，真空電容器的電容能在從最小電容值至最大電容值的范圍內即時地改變。這里，在電極元件5和8的形狀的每個尺寸超過360°的一半的情況下，例如，可能就難以在將固定電極4布置于真空室Ib中之后安裝可動電極7(即可動電極7和固定電極 4在安裝時可能互相干擾)。為此，在圖中所示的半圓盤狀電極元件5和8的情況下，即，在形狀的尺寸大約是360°的一半或更小的情況下，可以認為在組裝上具有優(yōu)點。圖6是用來說明電容控制單元14的支撐結構的示例的示意圖。圖6中，環(huán)形保持槽3g在真空室Ib外部形成于蓋元件3d的表面上。另外，蓋元件側導向軸3i形成為從由保持槽3g圍繞的底座池突出。然后控制元件側導向軸14b裝配于蓋元件側導向軸3i上 (蓋元件側導向軸3i插入控制元件側導向件14b)并且通過軸承(無油軸承等)14d被可旋轉地支撐。這里，如圖1所示，為了防止軸承14d脫落，例如，凸緣He形成于控制元件側導向軸14b中。另外，為了防止如上所述裝配于蓋元件側導向軸3i上的電容控制單元14脫落， 螺釘14f等設置于蓋元件側導向軸3i的頂部處。
圖7和8是用來說明其中磁通量產生單元13的磁通量Φ由磁通量接收單元12 接收的結構的示例的示意圖。圖7中，通過在盤元件1 處以規(guī)則間隔布置四個接收壁12b 來形成磁通量接收單元12。電容控制單元14通過在盤元件14a的外周邊緣部分處以規(guī)則間隔布置四個磁通量產生單元13來形成。在每個接收壁12b和每個磁通量產生單元13布置為通過密封元件3的分隔壁3c 面向彼此的情況下，如圖8所示，通過由磁通量產生單元13產生的磁通量Φ，，在接收壁 12b和磁通量產生單元13之間形成了磁路，從而產生電磁吸引。在電容控制電路14在如上所述產生電磁吸引的狀態(tài)下旋轉(例如，在圖8中的Yl方向上)的情況下，響應于電容控制單元14的旋轉，在磁通量接收單元12處產生旋轉扭矩。在磁通量接收單元12在如上所述根據電磁吸引所產生的旋轉扭矩的作用下而旋轉(例如，在圖8的Y2方向上)的情況下， 當通過電磁吸引產生的旋轉扭矩超過可動電極軸9等的旋轉阻力時，磁通量接收單元12旋轉。因此，當在考慮到可動電極軸9的旋轉阻力等的情況下適當地選擇驅動源以及磁通量產生單元13的永磁體13a等以控制電容控制單元14時，磁通量接收單元12旋轉。這里，圖8中的磁通量產生單元13定位于磁通量接收單元12 (接收壁12b)的徑向上，即，磁通量接收單元12和磁通量產生單元13布置于與可動電極軸9正交的相同的線方向上，并且因此磁吸引力在與磁通量接收單元12(可動電極軸9)的軸向正交的方向上作用在磁通量接收單元12上。另外，當采用如圖8所示的多個磁通量產生單元13的布置時， 例如，通過沿著圓周方向以規(guī)則間隔布置這些磁通量產生單元13時，由磁通量產生單元13 形成的磁通量的總體分布相對于軸線對稱。也就是說，能在不出現磁通量分布不均的情況下產生磁通量。根據本發(fā)明如上所述的真空電容器，在(通過驅動源，比如馬達)旋轉電容控制單元時，磁通量產生單元圍繞真空外殼的外周旋轉，并且真空外殼中的磁通量接收單元通過磁通量產生單元的磁吸引力與磁通量產生單元的旋轉同步地旋轉。也就是，由于磁通量接收單元固定至可動電極軸，所以緊固至可動電極軸的可動電極與磁通量接收單元同步旋轉。因此，本發(fā)明的真空電容器不需要在現有技術的真空電容器中使用并且在真空外殼的軸向上膨脹和收縮的任何波紋管等。這樣，能防止真空外殼(真空室等)的使用壽命縮短。另外，在對于布置于真空外殼中的每個結構當在高溫下產生真空時通過真空狀態(tài)下的銅焊來實施熔化固定的情況下，例如，優(yōu)選地將鐵磁性材料用于磁通量接收單元。磁通量產生單元能在通過真空狀態(tài)下的銅焊實施真空外殼中的每個結構的熔化固定之后布置于真空外殼的外部。也就是，例如，在真空電容器的組裝期間，在磁通量產生單元暴露至高溫氣氛的情況下，需要在考慮到由于高溫造成的退磁的情況下提供磁通量產生單元(例如，要求使用大尺寸磁體)。然而，類似于本發(fā)明的磁通量產生單元，由于能避免在高溫真空產生過程期間暴露至高溫氣氛(以避免由于高溫造成的退磁)并且充分利用了磁通量產生單元本本身的性能，所以能防止真空電容器的尺寸較大(或能減小真空電容器的尺寸)。在圖1中，固定電極被分為一側固定電極和另一側固定電極，并且它們的引線連接終端定位于一側密封元件一側處而不是另一側密封元件一側，即，它們的引線連接終端被設置為遠離磁通量產生單元。因此，即使在電流施加至固定電極時由于電流的施加而產生熱和磁通量，磁通量產生單元也能不受到所述熱和磁通量的影響。另外，使用了多個固定電極軸。也就是，由于為一側固定電極和另一側固定電極中的每個設置單獨的固定電極軸，所以能抑制固定電極軸由于所述熱而引起的膨脹/收縮現象。在此情況下，例如，能抑制可動電極和固定電極之間的間隙的變化，因此能獲得穩(wěn)定的電容值。這里，在固定電極被分為多個固定電極(例如，在電極元件的層配置方向上劃分) 的情況下，優(yōu)選地每個劃分的固定電極通過引線連接終端被引導至真空外殼的外部，即使在電流施加至固定電極時由于電流的施加產生熱和磁通量的情況下，磁通量產生單元也不受所述熱和磁通量的影響。另外，在可動電極軸和面對可動電極軸的真空室內壁中的任一個在可動電極軸和面對可動電極軸的真空室內壁之間的接觸部處設有絕緣體，例如絕緣軸設置于可動電極軸的兩個端側的情況下，可動部分(可動電極、可動電極軸)的結構處于其中金屬和絕緣體彼此接觸的狀態(tài)。因而不存在金屬-金屬接觸，從而能避免膠結現象(真空狀態(tài)下金屬之間的接合)。此外，通過至少在可動電極軸的面向真空室內壁的部分處采用絕緣體(絕緣軸)， 在與其他金屬元件等相比絕緣軸具有熱阻的情況下，例如，即使可動部分在真空電容器的組裝期間暴露至高溫氣氛，也能抑制可動電極軸由于熱引起的膨脹/收縮現象。在此情況下，例如，能進一步抑制可動電極和固定電極之間的間隙的改變，從而能獲得更穩(wěn)定的電容值。另外，也在使用調節(jié)膜片可旋轉地支撐可動電極軸的情況下，由于可動電極軸沿與調節(jié)膜片相對的密封元件的方向上受力，例如，能抑制可動電極和固定電極之間的間隙的改變，從而能獲得更穩(wěn)定的電容值。另外，通過將調節(jié)膜片的接觸可動電極軸的部分形成為較小形狀(通過形成為尖狀部分或銳形部分)，能降低可動電極軸的旋轉阻力。這能允許降低真空電容器的驅動力，舉例來說，降低旋轉電容控制單元的驅動能的消耗，并且還減小真空電容器的尺寸。雖然僅是詳細描述了本發(fā)明的上述實施例，對于本領域技術人員而言很顯然，在本發(fā)明的技術思想的范圍內這些實施例能具有變形和修改。這些變形和修改應當包括于權利要求的范圍內。參考標號的說明1...真空電容器la. · ·真空外殼lb. · ·真空室2、3...密封元件4...固定電極5、8···電極元件6...固定電極軸7. · ·可動電極9···可動電極軸11a···調節(jié)膜片12...磁通量接收單元13...磁通量產生單元14...電容控制單元
權利要求
1.一種真空電容器，在所述真空電容器中，在真空外殼中布置由多個電極元件形成的固定電極并且在所述固定電極的電極元件之間形成的間隙中布置由多個電極元件形成的可動電極，所述真空電容器在所述可動電極和所述固定電極之間呈現的電容通過使支撐所述可動電極的可動電極軸旋轉來改變，所述真空電容器包括使所述真空外殼中的所述可動電極軸旋轉的磁通量接收單元； 定位于所述真空外殼的外部并且通過磁吸引力來使所述磁通量接收單元旋轉的磁通量產生單元；以及使所述磁通量產生單元旋轉的電容控制單元。
2.一種真空電容器，其包括通過由相應的密封元件封閉絕緣管本體的兩個開口端側而形成的真空外殼； 通過在所述真空外殼中沿所述真空外殼的軸向以一定距離分層布置多個平板狀電極元件而形成的固定電極；通過在所述真空外殼中沿所述真空外殼的軸向以一定距離分層布置多個平板狀電極元件而形成的可動電極，其被固定至沿所述真空外殼的軸向延伸且被可旋轉地支撐在所述真空外殼中的可動電極軸，通過所述可動電極軸的旋轉，以所述可動電極的每個電極元件與所述固定電極的電極元件非接觸的方式，所述可動電極的每個電極元件插入所述固定電極的電極元件之間的間隙以及從其中抽出，并且交替與所述固定電極的電極元件交替地重疊；固定至所述真空外殼中的所述可動電極軸并且接收來自所述真空外殼的外部穿過密封元件的磁通量的磁通量接收單元；以及具有產生所述磁通量的磁通量產生單元并且在所述密封元件的外部被可旋轉地支撐的電容控制單元，并且通過旋轉所述電容控制單元，在所述磁通量的磁吸引力作用下從而也旋轉所述磁通量接收單元，所述可動電極相對于所述固定電極的重疊面積改變，從而能夠調節(jié)電容。
3.一種真空電容器，在所述真空電容器中，在真空外殼中布置由多個電極元件形成的固定電極并且在所述固定電極的電極元件之間形成的間隙中布置由多個電極元件形成的可動電極，所述真空電容器在所述可動電極和所述固定電極之間呈現的電容通過使支撐所述可動電極的可動電極軸旋轉來改變，所述真空電容器包括旋轉所述真空外殼中的所述可動電極軸的磁通量接收單元；定位于所述真空外殼的外部并且通過磁吸引力來旋轉所述磁通量接收單元的磁通量產生單元；旋轉所述磁通量產生單元的電容控制單元；以及支撐部分，其設置在所述可動電極軸和面向所述可動電極軸的真空外殼內壁中的任一側處并且以點支撐的方式支撐另一側。
4.一種真空電容器，包括通過由相應的密封元件封閉絕緣管本體的兩個開口端側而形成的真空外殼； 通過在所述真空外殼中沿所述真空外殼的軸向以一定距離分層布置多個平板狀電極元件而形成的固定電極；通過在所述真空外殼中沿所述真空外殼的軸向以一定距離分層布置多個平板狀電極元件而形成的可動電極，所述可動電極固定至沿所述真空外殼的軸向延伸且被可旋轉地支撐在所述真空外殼中的可動電極軸，通過所述可動電極軸的旋轉，以所述可動電極的每個電極元件與所述固定電極的電極元件非接觸的方式，所述可動電極的每個電極元件插入所述固定電極的電極元件之間的間隙以及從其中抽出，并且交替與所述固定電極的電極元件交替地重疊；固定至所述真空外殼中的所述可動電極軸并且接收來自所述真空外殼的外部穿過所述密封元件的磁通量的磁通量接收單元；具有產生所述磁通量的磁通量產生單元并且在所述密封元件的外部被可旋轉地支撐的電容控制單元；以及支撐部分，其設置在所述可動電極軸和面向所述可動電極軸的真空外殼內壁中的任一側處并且以點支撐的方式支撐另一側；并且通過旋轉所述電容控制單元，在所述磁通量的磁吸引力作用下從而也旋轉所述磁通量接收單元，所述可動電極相對于所述固定電極的重疊面積改變，從而能夠調節(jié)電容。
5.一種真空電容器，在所述真空電容器中，在真空外殼中布置由多個電極元件形成的固定電極并且在所述固定電極的電極元件之間形成的間隙中布置由多個電極元件形成的可動電極，所述真空電容器在所述可動電極和所述固定電極之間呈現的電容通過使支撐所述可動電極的可動電極軸旋轉來改變，所述真空電容器包括旋轉所述真空外殼中的所述可動電極軸的磁通量接收單元；定位于所述真空外殼的外部并且通過磁吸引力來旋轉所述磁通量接收單元的磁通量產生單元；旋轉所述磁通量產生單元的電容控制單元；以及施力部件，設置在真空外殼內壁的面向所述可動電極軸的一個端部的一部分處，并且是覆蓋和密封形成在所述部分處的穿孔的間隔件，所述施力部件在沿著所述可動電極軸的另一端部的方向對所述可動電極軸施力的同時支撐所述可動電極軸的所述一個端部。
6.一種真空電容器，其包括通過由相應的密封元件封閉絕緣管本體的兩個開口端側而形成的真空外殼； 通過在所述真空外殼中沿所述真空外殼的軸向以一定距離分層布置多個平板狀電極元件而形成的固定電極；通過在所述真空外殼中沿所述真空外殼的軸向以一定距離分層布置多個平板狀電極元件而形成的可動電極，所述可動電極固定至沿所述真空外殼的軸向延伸且被可旋轉地支撐在所述真空外殼中的可動電極軸，通過所述可動電極軸的旋轉，以所述可動電極的每個電極元件與所述固定電極的電極元件非接觸的方式，所述可動電極的每個電極元件插入所述固定電極的電極元件之間的間隙以及從其中抽出，并且交替與所述固定電極的電極元件交替地重疊；固定至所述真空外殼中的所述可動電極軸并且接收來自所述真空外殼的外部穿過所述密封元件的磁通量的磁通量接收單元；具有產生所述磁通量的磁通量產生單元并且在所述密封元件的外部被可旋轉地支撐的電容控制單元；以及施力部件，設置在真空外殼內壁的面向所述可動電極軸的一個端部的一部分處，并且是覆蓋和密封形成在所述部分處的穿孔的間隔件，所述施力部件在沿著所述可動電極軸的另一端部的方向對所述可動電極軸施力的同時支撐所述可動電極軸的所述一個端部；并且通過旋轉所述電容控制單元，在所述磁通量的磁吸引力作用下從而也旋轉所述磁通量接收單元，所述可動電極相對于所述固定電極的重疊面積改變，從而能夠調節(jié)電容。
7.如權利要求5或6所述的真空電容器，其中 所述施力部件是膜片。
8.如前述權利要求5-7中任一項所述的真空電容器，還包括支撐部分，形成在所述可動電極軸和面向所述可動電極軸的所述施力部件中的任一側的接觸部分處并且以點支撐的方式支撐另一側。
9.一種真空電容器，在所述真空電容器中，在真空外殼中布置由多個電極元件形成的固定電極并且在所述固定電極的電極元件之間形成的間隙中布置由多個電極元件形成的可動電極，所述真空電容器在所述可動電極和所述固定電極之間呈現的電容通過使支撐所述可動電極的可動電極軸旋轉來改變，所述真空電容器包括旋轉所述真空外殼中的所述可動電極軸的磁通量接收單元；定位于所述真空外殼的外部并且通過磁吸引力來旋轉所述磁通量接收單元的磁通量產生單元；以及旋轉所述磁通量產生單元的電容控制單元；并且所述可動電極軸和面向所述可動電極軸的真空室內壁中的任一個由所述可動電極軸與所述真空室內壁之間的接觸部分處的絕緣體形成。
10.一種真空電容器，包括通過由相應的密封元件封閉絕緣管本體的兩個開口端側而形成的真空外殼； 通過在所述真空外殼中沿所述真空外殼的軸向以一定距離分層布置多個平板狀電極元件而形成的固定電極；通過在所述真空外殼中沿所述真空外殼的軸向以一定距離分層布置多個平板狀電極元件而形成的可動電極，所述可動電極固定至沿所述真空外殼的軸向延伸且被可旋轉地支撐在所述真空外殼中的可動電極軸，通過所述可動電極軸的旋轉，以所述可動電極的每個電極元件與固定電極的電極元件非接觸的方式，所述可動電極的每個電極元件插入所述固定電極的電極元件之間的間隙以及從其中抽出，并且交替與所述固定電極的電極元件交替地重疊；固定至所述真空外殼中的所述可動電極軸并且接收來自所述真空外殼的外部穿過密封元件的磁通量的磁通量接收單元；以及具有產生所述磁通量的磁通量產生單元并且在所述密封元件的外部被可旋轉地支撐的電容控制單元；并且所述可動電極軸和面向所述可動電極軸的真空室內壁中的任一個由所述可動電極軸與所述真空室內壁之間的接觸部分處的絕緣體形成；通過旋轉所述電容控制單元，在所述磁通量的磁吸引力作用下從而也旋轉所述磁通量接收單元，所述可動電極相對于所述固定電極的重疊面積改變，從而能夠調節(jié)電容。
11.如權利要求9或10所述的真空電容器，其中至少所述可動電極軸與所述真空室內壁相接觸的接觸部分由所述絕緣體形成。
12.如權利要求11所述的真空電容器，其中所述絕緣體由其氧化鋁的百分比含量為92%或更多的陶瓷制成。
13.如權利要求1-12中任一項所述的真空電容器，其中所述磁通量接收單元和所述磁通量產生單元沿著與所述可動電極軸正交的相同的線方向布置。
14.如權利要求1-13中任一項所述的真空電容器，其中所述電容控制單元具有多個磁通量產生單元，并且所述多個磁通量產生單元沿著圓周方向以規(guī)則的間隔布置。
15.如前述權利要求1至14中的任一項所述的真空電容器，其中電極元件的每個面積小于所述真空外殼內部的橫截面方向上的面積，并且通過所述可動電極軸在一個回轉內的旋轉，電容能夠在從最小電容值至最大電容值的范圍內改變。
全文摘要
本發(fā)明的目標是在沒有使用波紋管的情況下維持真空室中的真空，允許電容易于調節(jié)，并且緩解使用壽命的降低。固定電極(4)通過在真空室(1b)內沿真空室(1b)的軸向以一定間隔分層布置多個平板狀電極元件(5)而形成?？蓜与姌O(7)是通過在可動電極軸(9)上在真空室(1b)內以一定距離分層布置多個平板狀電極元件(8)而形成的電極，從而由于可動電極軸(9)的旋轉，每個電極元件(8)沒有接觸地交替地進入、重疊或者離開固定電極(4)的電極元件(5)之間的間隔。磁通量接收單元(12)在真空室(1b)內在密封元件(3)一側固定至可動電極軸(9)，并且具有磁通量產生單元(13)的電容控制單元(14)在密封元件(3)的外部被可旋轉地支撐。旋轉電容控制單元(14)，通過磁吸引力旋轉磁通量接收單元(12)，通過改變可動電極(7)和固定電極(4)之間的重疊面積，從而改變電容。
文檔編號H01G5/013GK102239533SQ20098014825
公開日2011年11月9日 申請日期2009年11月19日 優(yōu)先權日2008年12月2日
發(fā)明者北寄崎薰, 巽敏規(guī), 深井利真, 谷水徹, 錦織祐市, 高橋榮一 申請人:株式會社明電舍