專利名稱：一種電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路制造領(lǐng)域，尤其涉及一種電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置。
背景技術(shù)：
塑封料，又稱環(huán)氧塑封料(EMC，Epoxy Molding Compound)以其高可靠性、低成本、 生產(chǎn)技術(shù)簡單以及適合大規(guī)模生產(chǎn)等特點(diǎn)，占據(jù)了整個(gè)微電子封裝材料97%以上的市場。 目前，塑封料已經(jīng)廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體組件、集成電路、消費(fèi)電子、汽車、軍事以及航空等各個(gè)封裝領(lǐng)域。環(huán)氧塑封料為主要的電子封裝材料之一，在電子封裝中占有非常重要的作用。 隨著芯片的設(shè)計(jì)業(yè)、制造業(yè)、和封裝業(yè)的發(fā)展，環(huán)氧塑封料也得到了快速的進(jìn)步。塑封在整個(gè)半導(dǎo)體制造中起著異常重要的作用。自動(dòng)化塑封機(jī)器的生產(chǎn)效率直接影響到后道產(chǎn)能，由于塑封站需大量使用到顆粒狀塑封料(compound)，于是塑封料的添裝是塑封站生產(chǎn)的一個(gè)重要環(huán)節(jié)。目前仍然有很多領(lǐng)域和機(jī)臺(tái)的塑封料由人力手工一顆顆填裝在烽炮筒(盛裝塑封料的料筒)內(nèi)，然后將該料筒放至機(jī)器內(nèi)供機(jī)器取用，費(fèi)時(shí)費(fèi)力且效率低下，數(shù)十臺(tái)機(jī)器同時(shí)運(yùn)行時(shí)，塑封料填裝員需要數(shù)名才能趕上速度，并且機(jī)器塑封料取料結(jié)構(gòu)復(fù)雜，問題很多，經(jīng)常導(dǎo)致機(jī)器取料卡料或者當(dāng)機(jī)，所以，生產(chǎn)效率在顆粒狀塑封料的填裝上產(chǎn)生了瓶頸效應(yīng)。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置，以解決目前塑封料由人力手工填裝而造成的效率低下的問題。為解決上述問題，本發(fā)明提出一種電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置，所述電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置包括由下往上的底座、安裝在所述底座上的電磁裝置以及位于所述電磁裝置上方的軌道震動(dòng)裝置，所述軌道震動(dòng)裝置中設(shè)置有螺旋狀軌道，所述軌道震動(dòng)裝置上開有一通孔，所述螺旋狀軌道的尾端與所述通孔相連，所述軌道震動(dòng)裝置通過彈性鋼片與所述底座相連，所述彈性鋼片與所述底座平面具有一夾角?？蛇x的，所述電磁裝置包括電磁鐵座及固定在所述電磁鐵座上的電磁鐵，所述電磁鐵座固定在所述底座上?？蛇x的，所述底座上開有第一減輕孔，所述電磁鐵座上開有第二減輕孔?？蛇x的，所述軌道震動(dòng)裝置包括震動(dòng)盤以及固定在所述震動(dòng)盤上的軌道盤，所述螺旋狀軌道設(shè)置于所述軌道盤內(nèi)?？蛇x的，所述通孔開于所述震動(dòng)盤的盤壁上。可選的，所述彈性鋼片與所述底座平面的夾角范圍為30 45度?？蛇x的，所述彈性鋼片的數(shù)量為四個(gè)，所述四個(gè)彈性鋼片均勻分布在所述底座上。可選的，所述電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置還包括卡料檢測傳感器接口，所述卡料檢測傳感器接口設(shè)置于所述通孔處。
可選的，所述電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置還包括阻擋電磁閥接口，所述阻擋電磁閥接口與所述電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置的電源相連，用于啟動(dòng)和關(guān)閉所述電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置。可選的，所述底座的材質(zhì)為鑄鐵，所述軌道震動(dòng)裝置的材質(zhì)為鋼材。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供一種電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置，所述電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置包括電磁裝置及軌道震動(dòng)裝置，所述軌道震動(dòng)裝置通過傾斜設(shè)置的彈性鋼片與所述底座相連。所述電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置通過電磁鐵通斷電產(chǎn)生的電磁振蕩使得顆粒按固定方向震動(dòng)，并整齊排列在軌道上，從而節(jié)約了填裝人力，提高了填裝效率，并且節(jié)約了電能，降低了成本。
圖1為本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施例提供的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置的立體圖；圖2為本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施例提供的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置的俯視圖；圖3為本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施例提供的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置側(cè)視圖；圖4為本發(fā)明提供的螺旋狀軌道的示意圖；圖5為本發(fā)明第二個(gè)實(shí)施例提供的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置的立體圖。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明提出的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用于方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。本發(fā)明的核心思想在于，提供一種電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置，該裝置通過電磁震蕩使顆粒按一定方向震動(dòng)，并形成有序排列，從而節(jié)約了填裝人力，提高了填裝效率，并且節(jié)約了電能，降低了成本。實(shí)施例1請(qǐng)參考圖1至圖3，其中圖1為本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施例提供的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置的立體圖，圖2為本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施例提供的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置的俯視圖，圖3為本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施例提供的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置側(cè)視圖，如圖1至圖3所示，該電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置包括由下往上的底座100、安裝在所述底座上的電磁裝置200以及位于所述電磁裝置200上方的軌道震動(dòng)裝置300 ；所述軌道震動(dòng)裝置300中設(shè)置有螺旋狀軌道 303，關(guān)于所述螺旋狀軌道303請(qǐng)參考圖4，圖4為本發(fā)明提供的螺旋狀軌道的示意圖；并且所述軌道震動(dòng)裝置300上開有一通孔304，所述螺旋狀軌道303的尾端與所述通孔304相連，所述軌道震動(dòng)裝置300通過彈性鋼片400與所述底座100相連，所述彈性鋼片400與所述底座100平面具有一夾角。所述電磁裝置200包括電磁鐵座201及固定在所述電磁鐵座201上的電磁鐵202， 所述電磁鐵座201固定在所述底座100上。所述底座100上開有第一減輕孔101，所述電磁鐵座201上開有第二減輕孔203，所述第一減輕孔101及所述第二減輕孔203是為了減輕所
述電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置的重量，使其更好的震動(dòng)。
所述軌道震動(dòng)裝置300包括震動(dòng)盤301以及固定在所述震動(dòng)盤301上的軌道盤 302，所述螺旋狀軌道303設(shè)置于所述軌道盤302內(nèi)，并且所述軌道盤302的盤壁上開有通孔304，所述螺旋狀軌道303的尾端與所述通孔304相連，顆粒經(jīng)過震動(dòng)有序排列后從所述通孔304有序出去進(jìn)入后續(xù)工序。所述彈性鋼片400與所述底座平面的夾角范圍為30 45度，所述彈性鋼片400 的數(shù)量為四個(gè)，所述四個(gè)彈性鋼片均勻分布在所述底座100上。優(yōu)選的，所述底座100的材質(zhì)為鑄鐵，所述軌道震動(dòng)裝置300的材質(zhì)為鋼材。本發(fā)明實(shí)施例所提供的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置的使用方法如下
將塑封料放置于所述軌道盤302中；接通電源，所述電磁鐵202在電源接通瞬間具有磁性，產(chǎn)生磁場，并吸引所述軌道震動(dòng)裝置300往下運(yùn)動(dòng)，所述軌道震動(dòng)裝置300在往下運(yùn)動(dòng)的過程中壓縮所述彈性鋼片；斷開電源，所述電磁鐵202的磁性消失，在失電瞬間，所述軌道震動(dòng)裝置300在所述彈性鋼片400的彈力作用下運(yùn)動(dòng)，由于所述彈性鋼片400是傾斜設(shè)置的，因而，每個(gè)彈性鋼片400給所述軌道震動(dòng)裝置300 —個(gè)斜向上的彈力作用，在所述四個(gè)均勻分布的彈性鋼片的彈力作用下，所述軌道震動(dòng)裝置300按照固定方向震動(dòng)，所述軌道盤302中的塑封料被螺旋推進(jìn)，整齊排列在所述螺旋軌道303中，并通過所述通孔304有序出去，進(jìn)入后續(xù)工序。實(shí)施例2請(qǐng)參考圖5，圖5為本發(fā)明第二個(gè)實(shí)施例提供的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置的立體圖，如圖5所示，該電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置包括由下往上的底座100、安裝在所述底座上的電磁裝置200以及位于所述電磁裝置200上方的軌道震動(dòng)裝置300 ；所述軌道震動(dòng)裝置 300中設(shè)置有螺旋狀軌道303，關(guān)于所述螺旋狀軌道303請(qǐng)參考圖4，圖4為本發(fā)明提供的螺旋狀軌道的示意圖；并且所述軌道震動(dòng)裝置300上開有一通孔304，所述螺旋狀軌道303的尾端與所述通孔304相連，所述軌道震動(dòng)裝置300通過彈性鋼片400與所述底座100相連， 所述彈性鋼片400與所述底座100平面具有一夾角。所述電磁裝置200包括電磁鐵座201及固定在所述電磁鐵座201上的電磁鐵202， 所述電磁鐵座201固定在所述底座100上。所述底座100上開有第一減輕孔101，所述電磁鐵座201上開有第二減輕孔203，所述第一減輕孔101及所述第二減輕孔203是為了減輕所
述電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置的重量，使其更好的震動(dòng)。所述軌道震動(dòng)裝置300包括震動(dòng)盤301、固定在所述震動(dòng)盤301上的軌道盤302以及設(shè)置于所述通孔處的卡料檢測傳感器接口 305，所述螺旋狀軌道303設(shè)置于所述軌道盤 302內(nèi)，并且所述震動(dòng)盤302的盤壁上開有通孔304，所述螺旋狀軌道303的尾端與所述通孔304相連，顆粒經(jīng)過震動(dòng)有序排列后從所述通孔304有序出去進(jìn)入后續(xù)工序。所述卡料檢測傳感器接口 305用于檢測顆粒傳送情況，防止卡料。所述彈性鋼片400與所述底座平面的夾角范圍為30 45度，所述彈性鋼片400 的數(shù)量為四個(gè)，所述四個(gè)彈性鋼片均勻分布在所述底座100上。并且本實(shí)施例所提供的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置還包括阻擋電磁閥接口，所述阻擋電磁閥接口與所述電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置的電源相連，用于啟動(dòng)和關(guān)閉所述電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置。優(yōu)選的，所述底座100的材質(zhì)為鑄鐵，所述軌道震動(dòng)裝置300的材質(zhì)為鋼材。
在上述的具體實(shí)施例中，所述電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置是描述成用于塑封料的有序排列，然而應(yīng)該認(rèn)識(shí)到，所述電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置還可以用于其它顆粒狀物體的有序排列，只需根據(jù)顆粒大小將所述螺旋狀軌道的寬度做適應(yīng)性修改即可。綜上所述，本發(fā)明提供了一種電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置，所述電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置包括電磁裝置及軌道震動(dòng)裝置，所述軌道震動(dòng)裝置通過傾斜設(shè)置的彈性鋼片與所述底座相連。所述電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置通過電磁鐵通斷電產(chǎn)生的電磁振蕩使得顆粒按固定方向震動(dòng)，并整齊排列在軌道上，從而節(jié)約了填裝人力，提高了填裝效率，并且由于該電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置依靠電磁力，節(jié)約了電能，降低了成本。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置，其特征在于，包括底座、安裝在所述底座上的電磁裝置以及位于所述電磁裝置上方的軌道震動(dòng)裝置，所述軌道震動(dòng)裝置中設(shè)置有螺旋狀軌道， 所述軌道震動(dòng)裝置上開有一通孔，所述螺旋狀軌道的尾端與所述通孔相連，所述軌道震動(dòng)裝置通過彈性鋼片與所述底座相連，所述彈性鋼片與所述底座平面具有一夾角。
2.如權(quán)利要求1所述的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置，其特征在于，所述電磁裝置包括電磁鐵座及固定在所述電磁鐵座上的電磁鐵，所述電磁鐵座固定在所述底座上。
3.如權(quán)利要求2所述的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置，其特征在于，所述底座上開有第一減輕孔，所述電磁鐵座上開有第二減輕孔。
4.如權(quán)利要求1所述的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置，其特征在于，所述軌道震動(dòng)裝置包括震動(dòng)盤以及固定在所述震動(dòng)盤上的軌道盤，所述螺旋狀軌道設(shè)置于所述軌道盤內(nèi)。
5.如權(quán)利要求4所述的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置，其特征在于，所述通孔開于所述震動(dòng)盤的盤壁上。
6.如權(quán)利要求1所述的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置，其特征在于，所述彈性鋼片與所述底座平面的夾角范圍為30 45度。
7.如權(quán)利要求6所述的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置，其特征在于，所述彈性鋼片的數(shù)量為四個(gè)，所述四個(gè)彈性鋼片均勻分布在所述底座上。
8.如權(quán)利要求1所述的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置，其特征在于，還包括卡料檢測傳感器接口，所述卡料檢測傳感器接口設(shè)置于所述通孔處。
9.如權(quán)利要求1所述的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置，其特征在于，還包括阻擋電磁閥接口，所述阻擋電磁閥接口與所述電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置的電源相連，用于啟動(dòng)和關(guān)閉所述電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置。
10.如權(quán)利要求1所述的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置，其特征在于，所述底座的材質(zhì)為鑄鐵，所述軌道震動(dòng)裝置的材質(zhì)為鋼材。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置，所述電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置包括由下往上的底座、安裝在所述底座上的電磁裝置以及位于所述電磁裝置上方的軌道震動(dòng)裝置，所述軌道震動(dòng)裝置中設(shè)置有螺旋狀軌道，所述軌道震動(dòng)裝置上開有一通孔，所述螺旋狀軌道的尾端與所述通孔相連，所述軌道震動(dòng)裝置通過彈性鋼片與所述底座相連，所述彈性鋼片與所述底座平面具有一夾角。本發(fā)明所提供的電磁震動(dòng)式顆粒傳送裝置通過電磁鐵通斷電產(chǎn)生的電磁振蕩使得顆粒按固定方向震動(dòng)，并整齊排列在軌道上，從而節(jié)約了填裝人力，提高了填裝效率，并且節(jié)約了電能，降低了成本。
文檔編號(hào)H01L21/54GK102201353SQ20101013383
公開日2011年9月28日 申請(qǐng)日期2010年3月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月26日
發(fā)明者劉棟, 范正清, 邱龍 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司