專利名稱：一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線的廢熱利用裝置及其工作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及的是能源回收利用的裝置以及工作方法，尤其涉及一種半導(dǎo)體芯片制造廠凈化車間熱源回收利用的裝置和該裝置的工作方法
背景技術(shù)：
目前的半導(dǎo)體生產(chǎn)車間多為凈化車間，里面的生產(chǎn)設(shè)備容易產(chǎn)生大量的高溫氣體而排放掉，例如廢熱設(shè)備(擴(kuò)散爐、烘箱、空壓機(jī)……)排放出來的高溫廢熱溫度一般可以達(dá)到80°C左右，如果將這種高溫氣體直接排放到空氣中，那是一種極大的浪費(fèi)。而一般半導(dǎo)體生產(chǎn)車間對溫度的要求比較高，目前通常使用空調(diào)來調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度，這樣生產(chǎn)成本也會(huì)增加。當(dāng)前經(jīng)濟(jì)發(fā)展與資源環(huán)境的矛盾日趨尖銳，同時(shí)溫室氣體的排放使得全球氣候變暖，進(jìn)一步加強(qiáng)節(jié)能減排工作，是對全球氣候變暖、節(jié)省能源的迫切需求，也是我們制造業(yè)應(yīng)該承擔(dān)的責(zé)任。鑒于以上目前狀況，現(xiàn)在尋找一種既能避免能源浪費(fèi)，又能降低生產(chǎn)成本的方法具有一定的研究意義。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對以上問題，提供了一種能將生產(chǎn)環(huán)節(jié)中廢熱產(chǎn)生設(shè)備排放出的高溫氣體進(jìn)行回收利用，并適用于需要特定溫度的生產(chǎn)凈化車間的半導(dǎo)體生產(chǎn)線的廢熱利用裝置及其工作方法。本發(fā)明的技術(shù)方案是所述生產(chǎn)線包括產(chǎn)生廢熱的設(shè)備和凈化車間，它包括排風(fēng)口、進(jìn)風(fēng)口、管路、閥門一 三、溫度感應(yīng)器和控制器，所述管路將所述產(chǎn)生廢熱的設(shè)備、凈化車間、排風(fēng)口和進(jìn)風(fēng)口相連，所述閥門一設(shè)在排風(fēng)口處，所述閥門三設(shè)在進(jìn)風(fēng)口處，所述閥門二設(shè)在產(chǎn)生廢熱的設(shè)備和凈化車間之間的管路上；所述溫度感應(yīng)器包括感應(yīng)器一、感應(yīng)器二和感應(yīng)器三，感應(yīng)器一設(shè)在所述產(chǎn)生廢熱的設(shè)備的廢熱出口處，感應(yīng)器二設(shè)在所述凈化車間處，感應(yīng)器三設(shè)在進(jìn)風(fēng)口外部；閥門一 三和感應(yīng)器一 三分別連接控制器。本發(fā)明的工作方法為1)、在控制器中設(shè)定所述凈化車間目標(biāo)溫度值為18_28°C ；2. 1)、當(dāng)控制器接收到溫度感應(yīng)器一檢測到的溫度數(shù)值大于感應(yīng)器二和感應(yīng)器三的溫度數(shù)值，且感應(yīng)器三溫度值小于18°C時(shí)，調(diào)節(jié)閥門一 二的流量，關(guān)閉閥門三，直至感應(yīng)器三溫度值為18-28 °C ；2. 2)、當(dāng)控制器接收到溫度感應(yīng)器一檢測到的溫度數(shù)值大于感應(yīng)器二和感應(yīng)器三的溫度數(shù)值，且感應(yīng)器三溫度值大于28°C時(shí)，關(guān)閉閥門二，開啟閥門一和閥門三，直至感應(yīng)器三溫度值為18-28 °C。本發(fā)明利用管路、閥門將熱源體有效進(jìn)行回收利用，采取回收管道吸取一定的熱量，通過氣體閥門控制調(diào)整風(fēng)量，進(jìn)入凈化裝置系統(tǒng)進(jìn)行精密過濾，調(diào)節(jié)好所需溫度后送入凈化車間，滿足生產(chǎn)工藝要求。在控制方面實(shí)現(xiàn)了智能化，能根據(jù)季節(jié)變化通過調(diào)節(jié)氣體管道閥門的啟閉、開合量實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)車間所需要的溫度。本發(fā)明將生產(chǎn)車間能源的循環(huán)利用，提高資源利用率，降低生產(chǎn)制造成本，適應(yīng)低碳環(huán)保的生產(chǎn)要求。


圖1本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意1中1為閥門一，2為閥門二，3為閥門三。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明如圖1所示，所述生產(chǎn)線包括產(chǎn)生廢熱的設(shè)備和凈化車間，它包括排風(fēng)口、 進(jìn)風(fēng)口、管路、閥門一 1、閥門二 2、閥門三3、溫度感應(yīng)器和控制器，所述管路將所述產(chǎn)生廢熱的設(shè)備、凈化車間、排風(fēng)口和進(jìn)風(fēng)口相連，所述閥門一設(shè)在排風(fēng)口處，所述閥門三設(shè)在進(jìn)風(fēng)口處，所述閥門二設(shè)在產(chǎn)生廢熱的設(shè)備和凈化車間之間的管路上；所述溫度感應(yīng)器包括感應(yīng)器一、感應(yīng)器二和感應(yīng)器三，感應(yīng)器一設(shè)在所述產(chǎn)生廢熱的設(shè)備的廢熱出口處，感應(yīng)器二設(shè)在所述凈化車間處，感應(yīng)器三設(shè)在進(jìn)風(fēng)口外部；閥門一 三和感應(yīng)器一 三分別連接控制器。本發(fā)明的工作方法為1)、在控制器中設(shè)定所述凈化車間目標(biāo)溫度值為18-28°C ；2. 1)、當(dāng)控制器接收到溫度感應(yīng)器一檢測到的溫度數(shù)值大于感應(yīng)器二和感應(yīng)器三的溫度數(shù)值，且感應(yīng)器三溫度值小于18°C時(shí)，調(diào)節(jié)閥門一 二的流量，關(guān)閉閥門三，直至感應(yīng)器三溫度值為18-28 °C ；2. 2)、當(dāng)控制器接收到溫度感應(yīng)器一檢測到的溫度數(shù)值大于感應(yīng)器二和感應(yīng)器三的溫度數(shù)值，且感應(yīng)器三溫度值大于28°C時(shí)，關(guān)閉閥門二，開啟閥門一和閥門三，直至感應(yīng)器三溫度值為18-28 °C。具體應(yīng)用時(shí)，按照如圖所示方法設(shè)計(jì)管路結(jié)構(gòu)，其中生產(chǎn)設(shè)備包括凈化室外和凈化室內(nèi)的生產(chǎn)設(shè)備及附屬設(shè)備，根據(jù)生產(chǎn)車間或者生產(chǎn)規(guī)模的不同，可以有多個(gè)排風(fēng)口、多個(gè)進(jìn)風(fēng)口、多個(gè)凈化裝置、多個(gè)生產(chǎn)設(shè)備、甚至多個(gè)凈化車間。生產(chǎn)設(shè)備(空壓機(jī)、擴(kuò)散爐、烘箱……)排出的熱源溫度較高(80°C左右)，可以通過管道的吸熱及調(diào)節(jié)氣體閥門的大小來控制生產(chǎn)車間所需要的溫度。 此法方法適合在冬季使用，冬季天氣比較寒冷，凈化車間內(nèi)溫度較低，此時(shí)可把閥門一1關(guān)閉，打開閥門二 2，關(guān)閉閥門三3，生產(chǎn)設(shè)備排放出的熱氣通過管路進(jìn)入凈化裝置，凈化后進(jìn)入凈化車間，調(diào)節(jié)閥門二 2的大小可控制凈化車間內(nèi)的溫度。夏季凈化車間溫度偏高，此時(shí)可關(guān)閉閥門二 2，打開閥門一 1使生產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)生的熱氣從排風(fēng)口排出，打開閥門三3使外界空氣進(jìn)入凈化裝置送入凈化車間，此時(shí)的閥門二 2處于關(guān)閉狀態(tài)。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線的廢熱利用裝置，所述生產(chǎn)線包括產(chǎn)生廢熱的設(shè)備和凈化車間， 其特征在于，它包括排風(fēng)口、進(jìn)風(fēng)口、管路、閥門一 三、溫度感應(yīng)器和控制器，所述管路將所述產(chǎn)生廢熱的設(shè)備、凈化車間、排風(fēng)口和進(jìn)風(fēng)口相連，所述閥門一設(shè)在排風(fēng)口處，所述閥門三設(shè)在進(jìn)風(fēng)口處，所述閥門二設(shè)在產(chǎn)生廢熱的設(shè)備和凈化車間之間的管路上；所述溫度感應(yīng)器包括感應(yīng)器一、感應(yīng)器二和感應(yīng)器三，感應(yīng)器一設(shè)在所述產(chǎn)生廢熱的設(shè)備的廢熱出口處，感應(yīng)器二設(shè)在所述凈化車間處，感應(yīng)器三設(shè)在進(jìn)風(fēng)口外部；閥門一 三和感應(yīng)器一 三分別連接控制器。
2.—種權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體生產(chǎn)線的廢熱利用裝置的工作方法，其特征在于，其工作方法為1)、在控制器中設(shè)定所述凈化車間目標(biāo)溫度值為18-28°C ；2. 1)、當(dāng)控制器接收到溫度感應(yīng)器一檢測到的溫度數(shù)值大于感應(yīng)器二和感應(yīng)器三的溫度數(shù)值，且感應(yīng)器三溫度值小于18°C時(shí)，調(diào)節(jié)閥門一 二的流量，關(guān)閉閥門三，直至感應(yīng)器三溫度值為18-28 °C ；2. 2)、當(dāng)控制器接收到溫度感應(yīng)器一檢測到的溫度數(shù)值大于感應(yīng)器二和感應(yīng)器三的溫度數(shù)值，且感應(yīng)器三溫度值大于28°C時(shí)，關(guān)閉閥門二，開啟閥門一和閥門三，直至感應(yīng)器三溫度值為18-28 °C。
全文摘要
一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線的廢熱利用裝置及其工作方法。本發(fā)明尤其涉及一種半導(dǎo)體芯片制造廠凈化車間熱源回收利用的裝置和該裝置的工作方法。它包括產(chǎn)生廢熱的設(shè)備和凈化車間，包括排風(fēng)口、進(jìn)風(fēng)口、管路、閥門一～三、溫度感應(yīng)器和控制器，所述管路將所述產(chǎn)生廢熱的設(shè)備、凈化車間、排風(fēng)口和進(jìn)風(fēng)口相連，所述閥門一設(shè)在排風(fēng)口處，所述閥門三設(shè)在進(jìn)風(fēng)口處，所述閥門二設(shè)在產(chǎn)生廢熱的設(shè)備和凈化車間之間的管路上；所述溫度感應(yīng)器包括感應(yīng)器一、感應(yīng)器二和感應(yīng)器三，感應(yīng)器一設(shè)在所述產(chǎn)生廢熱的設(shè)備的廢熱出口處，感應(yīng)器二設(shè)在所述凈化車間處，感應(yīng)器三設(shè)在進(jìn)風(fēng)口外部；閥門一～三和感應(yīng)器一～三分別連接控制器。本發(fā)明將生產(chǎn)車間能源的循環(huán)利用，提高資源利用率，降低生產(chǎn)制造成本，適應(yīng)低碳環(huán)保的生產(chǎn)要求。
文檔編號(hào)H01L21/00GK102243985SQ20101016847
公開日2011年11月16日 申請日期2010年5月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月11日
發(fā)明者汪良恩 申請人:揚(yáng)州杰利半導(dǎo)體有限公司