專利名稱：一種半導體專用設備用晶片傳輸裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種半導體專用設備自動晶片傳輸裝置，其傳輸硅片的厚度可以達到 50微米。
背景技術：
在半導體專用設備制造過程中，實現(xiàn)硅片的自動取、放和自動傳輸是一項關鍵技 術。在現(xiàn)代化的生產(chǎn)設備中，常見的對晶片抓取裝置有夾持式、電磁吸附式、真空吸盤吸附 式等。其中夾持式晶片抓取裝置容易造成晶片損壞，電磁吸附式晶片抓取裝置和真空吸盤 吸附式晶片抓取裝置結(jié)構(gòu)較為復雜，零件加工難度大，還存在難于控制的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種半導體專用設備用晶片傳輸裝置，要解決傳統(tǒng)晶片抓取 裝置可靠性低、結(jié)構(gòu)復雜的技術問題。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術方案為本發(fā)明包括升降緩沖吸附臺以及與升降 緩沖吸附臺可調(diào)連接的擺臂；所述升降緩沖吸附臺包括裝配在一起的吸片臺、上、下彈簧墊、小軸、彈簧、滑套、 小軸鎖母，其中上、下彈簧墊及吸片臺由穿過上、下彈簧墊的小軸連接起來，小軸的下端與 吸片臺螺紋連接，小軸上端設有螺紋連接的小軸鎖母，小軸至少設置有三個為均勻分布；彈 簧套在小軸上位于上、下彈簧墊之間，彈簧兩端分別與滑套和彈簧下墊連接，滑套套在彈 簧上位于上彈簧墊之下，上彈簧墊上設有與滑套配套的凹坑；在小軸鎖母上設有緊固螺釘， 彈簧下墊與吸片臺接觸端面開設有環(huán)形下凹氣道，吸片臺的下表面上均勻布設有同心環(huán)形 凹槽，并設有將各環(huán)形凹槽溝通的兩條呈垂直的徑向凹槽。本發(fā)明所述擺臂與升降緩沖吸附臺的可調(diào)連接為在擺臂上固定有角板架，角板 架上設有槽孔，固定螺釘穿過槽孔將角板架固定在擺臂上，角板架另一端設有直角折邊與 彈簧上墊抵靠，擺臂端部并排固定有兩個螺紋圓柱銷，螺紋圓柱銷另一端穿過角板架與彈 簧上墊螺紋連接；在角板架上固定有彈簧卡固定板，在彈簧上墊上安裝有彈簧卡拉鉤，彈簧 卡固定板和彈簧卡拉鉤間設置有用來控制彈簧上墊和擺臂間相對距離的彈性裝置。本發(fā)明中所述彈簧下墊下表面上設置的環(huán)形下凹氣道深度為1毫米，直徑在120 毫米至122毫米；所述設置在吸片臺的下表面上的環(huán)形凹槽間距為5毫米、寬度為0. 3毫 米、深度為1毫米，徑向凹槽(16)寬度為0. 3毫米、深度為1毫米。^MfiiiM在吸片的一瞬間，隨著彈簧的壓縮吸片臺、彈簧下墊和小軸沿滑套 一起向上滑動，并且彈簧下墊氣道迫使與吸片臺分離，對硅片進行吹拂除塵。本發(fā)明的有益效果為
本發(fā)明用于對晶片進行加工的半導體專用設備，其傳輸硅片的厚度可以達到50 微米。本發(fā)明是一種結(jié)構(gòu)簡單實用、使用方便和結(jié)構(gòu)可靠、運行平穩(wěn)的晶片傳輸裝置。與傳 統(tǒng)技術相比，本發(fā)明有明顯特點彈簧套在小軸上，彈簧兩端分別與滑套和彈簧下墊連接，由于彈簧壓力的存在，可以很好保護晶圓片，起到緩沖的作用，防止碎片，結(jié)構(gòu)微妙，控制精 度高；彈簧下墊開有氣道，迫使其與吸片臺分離，同步完成對硅片進行吹拂除塵，設計新穎 巧妙。而且采用彈簧和小軸的雙重結(jié)構(gòu)的設計，使該裝置整體結(jié)構(gòu)緊湊，安裝簡單，結(jié)構(gòu)可 靠、運行平穩(wěn)。


圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)剖視圖，圖2是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3是吸片臺的結(jié)構(gòu)示意圖， 圖4是彈簧下墊的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖中標記1-彈簧上墊2-小軸鎖母3-小軸4-彈簧5-滑套6-彈簧下 墊7-吸片臺8-彈簧卡拉鉤9-螺紋圓柱銷10彈簧卡固定板11-角板架12-擺 臂13-緊固螺釘14-環(huán)形下凹氣道15-環(huán)形凹槽16-徑向凹槽17槽孔。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進一步詳細的說明。如附圖1、2、3、4所示，為本發(fā)明一實施例這種半導體專用設備用晶片傳輸裝置， 其角板架11和螺紋圓柱銷9固定在擺臂12上，其中角板架11上設有槽孔17，固定螺釘穿 過槽孔17將角板架11固定在擺臂12上，彈簧卡固定板10固定在角板架11上，螺紋圓柱 銷9另一端與彈簧上墊1螺紋連接，彈簧卡拉鉤8安裝在彈簧上墊1上，彈簧卡固定板10 和彈簧卡拉鉤8間設置有用來控制彈簧上墊1和擺臂12間相對距離的彈性裝置(比如彈 簧等)。彈簧4套在小軸3上，彈簧4兩端分別與滑套5和彈簧下墊6連接，小軸3上端擰 入小軸鎖母2中，小軸3下端擰入吸片臺7中，小軸3設置為均勻分布的三個，緊固螺釘13 擰入小軸鎖母2中。吸片臺7的下表面上均勻布設有同心環(huán)形凹槽15，并設有將各環(huán)形凹 槽15溝通的兩條呈垂直的徑向凹槽16。彈簧下墊6與吸片臺7接觸端面開有環(huán)形下凹氣 道14，在吸片的一瞬間，隨著彈簧4的壓縮吸片臺7、彈簧下墊6和小軸3沿滑套5 —起向 上滑動，并且彈簧下墊6氣道迫使其與吸片臺7分離，對硅片進行吹拂除塵，并且彈簧4壓 力的存在，起到緩沖的作用，防止碎片。
權利要求
一種半導體專用設備用晶片傳輸裝置，其特征在于其包括升降緩沖吸附臺以及和升降緩沖吸附臺可調(diào)連接的擺臂(12)；所述升降緩沖吸附臺包括裝配在一起的吸片臺(7)、上、下彈簧墊(1、6)、小軸(3)、彈簧(4)、滑套(5)、小軸鎖母(2)，其中上、下彈簧墊(1、6)及吸片臺(7)由穿過上、下彈簧墊(1、6)的小軸(3)連接起來，小軸(3)的下端與吸片臺(7)螺紋連接，小軸(3)上端設有螺紋連接的小軸鎖母(2)，小軸(3)至少設置有三個為均勻分布；彈簧(4)套在小軸(3)上位于上、下彈簧墊(1、6)之間，彈簧(4)兩端分別與滑套(5)和彈簧下墊(6)連接，滑套(5)套在彈簧(4)上位于上彈簧墊(1)之下，上彈簧墊(1)上設有與滑套(5)配套的凹坑；在小軸鎖母(2)上設有緊固螺釘(13)，彈簧下墊(6)與吸片臺(7)接觸的端面上開設有環(huán)形下凹氣道(14)；吸片臺(7)的下表面上均勻布設有同心環(huán)形凹槽(15)，并設有將各環(huán)形凹槽(15)溝通的兩條互垂直的徑向凹槽(16)。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種半導體專用設備用晶片傳輸裝置，其特征在于本發(fā)明 所述擺臂(12)與升降緩沖吸附臺的可調(diào)連接為，在擺臂(12)上固定有角板架(11)，角板架 (11)上設有槽孔(17)，所述螺釘穿過槽孔(17)將角板架(11)固定在擺臂(12)上，角板架 (11)另一端設有直角折邊與彈簧上墊(1)抵靠，擺臂(12)端部并排固定有兩個螺紋圓柱銷 (9)，螺紋圓柱銷(9)另一端穿過角板架(11)與彈簧上墊⑴螺紋連接；在角板架(11)上 固定有彈簧卡固定板(10)，在彈簧上墊(1)上安裝有彈簧卡拉鉤(8)，彈簧卡固定板(10) 和彈簧卡拉鉤(8)間設置有用來控制彈簧上墊(1)和擺臂(12)間相對距離的彈性裝置。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種半導體專用設備用晶片傳輸裝置，其特征在于中所述 彈簧下墊(6)下表面上設置的環(huán)形下凹氣道(14)深度為1毫米，直徑在130毫米至132毫 米；所述設置在吸片臺(7)下表面上的環(huán)形凹槽(15)間距為5毫米、寬度為0.3毫米、深度 為1毫米，徑向凹槽(16)寬度為0. 3毫米、深度為1毫米。
全文摘要
一種半導體專用設備用晶片傳輸裝置，該裝置包括吸片升降緩沖裝置和擺臂旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)，本發(fā)明包括升降緩沖吸附臺以及與升降緩沖吸附臺可調(diào)連接的擺臂；所述升降緩沖吸附臺包括裝配在一起的吸片臺(7)、上、下彈簧墊(1、6)、小軸(3)、彈簧(4)、滑套(5)、小軸鎖母(2)彈簧下墊(6)與吸片臺(7)接觸端面開設有環(huán)形下凹氣道(14)，吸片臺(7)的下表面上均勻布設有同心環(huán)形凹槽(15)，并設有將各環(huán)形凹槽(15)溝通的兩條呈垂直的徑向凹槽(16)。該裝置具有結(jié)構(gòu)微妙緊湊，安裝簡單，應用方便，成本低廉的特點，可廣泛應用于半導體專用設備中晶片的傳輸。
文檔編號H01L21/683GK101866869SQ20101018140
公開日2010年10月20日 申請日期2010年5月25日 優(yōu)先權日2010年5月25日
發(fā)明者張敏杰, 張文斌, 楊生榮 申請人:中國電子科技集團公司第四十五研究所