專(zhuān)利名稱(chēng)：一種半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備用晶片吸附搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備自動(dòng)晶片吸附搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其吸附搬運(yùn)硅片的厚度 可以達(dá)到200微米。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備制造過(guò)程中，實(shí)現(xiàn)硅片的自動(dòng)取、放和自動(dòng)傳輸是一項(xiàng)關(guān)鍵技 術(shù)。在現(xiàn)代化的生產(chǎn)設(shè)備中，常見(jiàn)的對(duì)晶片抓取裝置有夾持式、電磁吸附式、真空吸盤(pán)吸附 式等。其中夾持式晶片抓取裝置容易造成晶片損壞，電磁吸附式晶片抓取裝置和真空吸盤(pán) 吸附式晶片抓取裝置結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，零件加工難度大，還存在難于控制的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就在于提供一種半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備用晶片吸附搬運(yùn)裝置，要解決傳統(tǒng) 晶片抓取裝置可靠性低、結(jié)構(gòu)復(fù)雜的技術(shù)問(wèn)題。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案本發(fā)明包括升降緩沖吸附臺(tái)以及與升降緩沖吸附臺(tái)可調(diào)連接的擺臂；升降緩沖吸附臺(tái)包括裝配在一起的彈簧導(dǎo)桿、固定板、吸片臺(tái)、小軸、螺紋圓柱銷(xiāo)、 彈簧、緊固螺釘，其中所述彈簧導(dǎo)桿與固定板固定連接，小軸穿過(guò)彈簧導(dǎo)桿與固定板上設(shè)有 的通孔，小軸的上端設(shè)有端帽卡在彈簧導(dǎo)桿上，小軸的下端螺紋連接在吸片臺(tái)上，彈簧套在 小軸上，彈簧上下兩端分別與于彈簧導(dǎo)桿和吸片臺(tái)連接，彈簧導(dǎo)桿上貼著小軸的端帽固定 有螺紋圓柱銷(xiāo)，小軸的端帽上開(kāi)設(shè)有滑槽可沿螺紋圓柱銷(xiāo)光滑面滑動(dòng)，小軸中心開(kāi)有氣道； 吸片臺(tái)下表面上均勻布設(shè)有方便吸附硅片的環(huán)形的凹槽，并設(shè)有將各環(huán)形凹槽溝通的兩條 互垂直的徑向凹槽。本發(fā)明所述升降緩沖吸附臺(tái)與擺臂的可調(diào)連接為在固定板上設(shè)置有槽孔，螺釘 穿過(guò)槽孔將固定板固定在擺臂上，在擺臂上固定有調(diào)整座，調(diào)整座的另一端設(shè)有直角折邊 與固定板抵靠，在調(diào)整座上設(shè)置有槽孔，螺釘穿過(guò)槽孔將調(diào)整座固定在擺臂上。本發(fā)明所述吸片臺(tái)上表面上設(shè)有伸出的凸臺(tái)作為彈簧的導(dǎo)桿。本發(fā)明在操作時(shí)在吸片的一瞬間，隨著彈簧的壓縮吸片臺(tái)和小軸沿螺紋圓柱銷(xiāo)一 起向上滑動(dòng)，此過(guò)程中，由于螺紋圓柱銷(xiāo)的存在，吸片臺(tái)不會(huì)旋轉(zhuǎn)，并且由于彈簧壓力的存 在，起到緩沖的作用，防止碎片。本發(fā)明的有益效果為本發(fā)明用于對(duì)晶片進(jìn)行加工的半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備，其吸附搬 運(yùn)硅片的厚度可以達(dá)到200微米。與現(xiàn)有技術(shù)相比本發(fā)明是一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單實(shí)用、使用方便 和結(jié)構(gòu)可靠、運(yùn)行平穩(wěn)的晶片吸附搬運(yùn)裝置。與傳統(tǒng)技術(shù)相比，本發(fā)明的明顯特點(diǎn)是彈簧 兩端分別與彈簧導(dǎo)桿和吸片臺(tái)連接，由于彈簧壓力的存在，可以很好保護(hù)晶圓片，起到緩沖 的作用，運(yùn)行平緩，控制精度高；隨著彈簧的壓縮，吸片臺(tái)和小軸沿螺紋圓柱銷(xiāo)一起向上滑 動(dòng)，由于螺紋圓柱銷(xiāo)的存在，吸片臺(tái)不會(huì)旋轉(zhuǎn)，結(jié)構(gòu)實(shí)用，控制簡(jiǎn)單。由于采用了彈簧和小軸 的雙重結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，使該裝置整體結(jié)構(gòu)緊湊，安裝簡(jiǎn)單，結(jié)構(gòu)可靠、運(yùn)行平穩(wěn)。


圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)剖視圖，圖2是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖，
圖3是吸片臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記1-彈簧導(dǎo)桿2-小軸3-螺紋圓柱銷(xiāo)4-彈簧5-緊固螺釘6_固定板 7_擺臂8-調(diào)整座9-吸片臺(tái)10-環(huán)形凹槽11-徑向凹槽12-槽孔13-端帽。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。如附圖1、2所示，本發(fā)明實(shí)施例半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備用晶片吸附搬運(yùn)裝置在調(diào)整座8和固定板6上設(shè)置有槽孔12，螺釘穿過(guò)槽孔將調(diào)整座8以及固定板6 固定在擺臂7上。彈簧4兩端分別與彈簧導(dǎo)桿1和吸片臺(tái)9連接，彈簧導(dǎo)桿1由緊固螺釘5 固定在固定板6上，螺紋圓柱銷(xiāo)3螺紋端擰入彈簧導(dǎo)桿1中，小軸2上端設(shè)置有端帽13卡 在彈簧導(dǎo)桿1上，小軸2的端帽13上開(kāi)有滑槽可沿螺紋圓柱銷(xiāo)3光滑面滑動(dòng)，小軸2下端 擰入吸片臺(tái)9，小軸2中心開(kāi)有氣道，吸片臺(tái)9的上表面上拉伸出凸臺(tái)作為彈簧4的導(dǎo)桿。 吸片臺(tái)9下表面面上均勻布設(shè)有環(huán)形凹槽10用來(lái)吸附硅片，并設(shè)有將各環(huán)形凹槽10溝通 的兩條互垂直的徑向凹槽11。這種新型的晶片吸附搬運(yùn)裝置主要由彈簧導(dǎo)桿、小軸、螺紋圓柱銷(xiāo)、彈簧、固定板、 擺臂、調(diào)整座、吸片臺(tái)等幾部分組成，在吸片的一瞬間，隨著彈簧4的壓縮吸片臺(tái)9和小軸2 沿螺紋圓柱銷(xiāo)3 —起向上滑動(dòng)，此過(guò)程中，由于螺紋圓柱銷(xiāo)3的存在，吸片臺(tái)9不會(huì)旋轉(zhuǎn)，并 且由于彈簧4壓力的存在，起到緩沖的作用，防止碎片。
權(quán)利要求
一種半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備用晶片吸附搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其特征在于其包括升降緩沖吸附臺(tái)以及與升降緩沖吸附臺(tái)可調(diào)連接的擺臂(7)；升降緩沖吸附臺(tái)包括裝配在一起的彈簧導(dǎo)桿(1)、固定板(6)、吸片臺(tái)(9)、小軸(2)、螺紋圓柱銷(xiāo)(3)、彈簧(4)、緊固螺釘(5)，其中所述彈簧導(dǎo)桿(1)與固定板(6)固定連接，小軸(2)穿過(guò)彈簧導(dǎo)桿(1)與固定板(6)上設(shè)有的通孔，小軸(2)的上端設(shè)有端帽(13)卡在彈簧導(dǎo)桿(1)上，小軸(2)的下端螺紋連接在吸片臺(tái)(9)上，彈簧(4)套在小軸(2)上，彈簧(4)上下兩端分別與于彈簧導(dǎo)桿(1)和吸片臺(tái)(9)連接，彈簧導(dǎo)桿(1)上貼著小軸(2)的端帽(13)固定有螺紋圓柱銷(xiāo)(3)，小軸(2)的端帽(13)上開(kāi)設(shè)有滑槽可沿螺紋圓柱銷(xiāo)(3)光滑面滑動(dòng)，小軸(2)中心開(kāi)有氣道；吸片臺(tái)(9)下表面上均勻布設(shè)有方便吸附硅片的環(huán)形的凹槽，并設(shè)有將各環(huán)形凹槽溝通的兩條互垂直的徑向凹槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備用晶片吸附搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其特征在于所 述升降緩沖吸附臺(tái)與擺臂(7)的可調(diào)連接為在固定板(6)上設(shè)置有槽孔，螺釘穿過(guò)槽孔將 固定板(6)固定在擺臂(7)上，在擺臂(7)上固定有調(diào)整座(8)，調(diào)整座(8)的另一端設(shè)有 直角折邊與固定板(6)抵靠，在調(diào)整座(8)上設(shè)置有槽孔，螺釘穿過(guò)槽孔將調(diào)整座(8)固定 在擺臂(7)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備用晶片吸附搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其特征在于所 述吸片臺(tái)(9)上表面上設(shè)有伸出的凸臺(tái)作為彈簧(4)的導(dǎo)桿。
全文摘要
一種半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備用晶片吸附搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)包括吸片緩沖裝置和真空系統(tǒng)，調(diào)整座和固定板固定在擺臂上，彈簧兩端分別與彈簧導(dǎo)桿和吸片臺(tái)連接，彈簧導(dǎo)桿由緊固螺釘固定在固定板上，螺紋圓柱銷(xiāo)螺紋端擰入彈簧導(dǎo)桿中，小軸一端凸臺(tái)卡在彈簧導(dǎo)桿上，小軸凸臺(tái)開(kāi)有滑槽可沿螺紋圓柱銷(xiāo)光滑端滑動(dòng)，小軸另一端擰入吸片臺(tái)，小軸中心開(kāi)有氣道，吸片臺(tái)一端面上拉伸凸臺(tái)作為彈簧的導(dǎo)桿，吸片臺(tái)另一端面均勻開(kāi)有環(huán)形的凹槽用來(lái)吸附硅片，在吸片的一瞬間，隨著彈簧的壓縮吸片臺(tái)和小軸沿螺紋圓柱銷(xiāo)一起向上滑動(dòng)，起到緩沖的作用，防止碎片。該裝置具有結(jié)構(gòu)緊湊，安裝簡(jiǎn)單，應(yīng)用方便。成本低廉的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備中晶片的抓取搬運(yùn)。
文檔編號(hào)H01L21/683GK101866870SQ20101018142
公開(kāi)日2010年10月20日 申請(qǐng)日期2010年5月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月25日
發(fā)明者張文斌, 王欣, 袁立偉 申請(qǐng)人:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所