專利名稱：一種在線處理設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及微電子技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種在線處理設(shè)備。
背景技術(shù)：
隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)建設(shè)的發(fā)展，在線式等離子體處理設(shè)備等在線處理設(shè)備越來(lái)越廣泛 地應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域。請(qǐng)參考圖1，圖1為一種在線式等離子體處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。在線式等離子體處理設(shè)備一般具有依次相鄰的裝載臺(tái)11、預(yù)熱腔室12、工藝腔室 13、冷卻腔室14，以上各相鄰腔室之間、腔室與大氣之間分別設(shè)置有翻板閥15，載板16在載 板傳送機(jī)構(gòu)17的帶動(dòng)下依次經(jīng)過(guò)上述各腔室。在基片的加工過(guò)程中，首先將載板16裝載 于載板傳送機(jī)構(gòu)17，預(yù)熱腔室12與裝載臺(tái)11之間的翻板閥15打開(kāi)，載板16進(jìn)入預(yù)熱腔室 12后該翻板閥15關(guān)閉，并將預(yù)熱腔室12抽成真空后將被加工基片放置于載板16表面，打 開(kāi)預(yù)熱腔室12與工藝腔室13之間的翻板閥15，載板16和載板16上的基片隨載板傳送機(jī) 構(gòu)17進(jìn)入工藝腔室13，加工完成后，打開(kāi)工藝腔室13與冷卻卸載腔14之間的翻板閥15， 基片、載板16隨載板傳送機(jī)構(gòu)17進(jìn)入冷卻卸載腔后，將加工完成的基片自載板16上移除， 載板傳送機(jī)構(gòu)17將載板16傳輸至卸載臺(tái)18進(jìn)行卸載，卸載后的載板16通過(guò)返回機(jī)構(gòu)19 重新回到裝載臺(tái)11裝載，重復(fù)上述工作步驟。在上述在線式等離子體處理設(shè)備中，當(dāng)一批基片加工完成后，需要將載板16傳送 至卸載臺(tái)18上卸載，卸載臺(tái)18需要占有足夠大的使用空間，當(dāng)設(shè)備的產(chǎn)出率較大或者基片 的尺寸較大時(shí)，卸載臺(tái)18所需的使用空間需要相應(yīng)增大，則等離子體處理設(shè)備的體積相應(yīng) 增大。由于等離子體處理設(shè)備等微電子設(shè)備都需要在超凈的環(huán)境下工作，需要對(duì)設(shè)備的運(yùn) 行環(huán)境實(shí)施清潔除菌等作業(yè)，設(shè)備的占地面積越大，設(shè)備所需運(yùn)行空間也就隨之增大，對(duì)設(shè) 備運(yùn)行空間的清潔作業(yè)所需的成本隨之增加，從而使得設(shè)備的使用成本較高。因此，如何減小在線處理設(shè)備的占地面積，降低設(shè)備運(yùn)行空間的清潔作業(yè)成本，從 而降低設(shè)備的使用成本，就成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟須解決的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種在線處理設(shè)備，該在線處理設(shè)備的占地面積較小，從而 能夠降低設(shè)備運(yùn)行空間的清潔作業(yè)成本，進(jìn)而能夠降低設(shè)備的使用成本。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種在線處理設(shè)備，包括冷卻腔和載臺(tái)，所述冷 卻腔與所述載臺(tái)之間設(shè)置有第一載板傳輸裝置和第二載板傳輸裝置，所述載臺(tái)可選擇地與 所述第一載板傳輸裝置的第一端或者第二載板傳輸裝置的第一端配合，所述冷卻腔內(nèi)部設(shè) 置有第三載板傳輸裝置，所述第三載板傳輸裝置可選擇地與所述第一載板傳輸裝置的第二 端或者所述第二載板傳輸裝置的第二端配合。優(yōu)選地，還包括作用于所述第三載板傳輸裝置的第一傾斜機(jī)構(gòu)；所述第一載板傳 輸裝置位于所述第二載板傳輸裝置上方，所述第三載板傳輸裝置通過(guò)垂直于其傳輸方向的
3第一鉸接軸鉸接于所述冷卻腔的腔體，且能夠在所述第一傾斜機(jī)構(gòu)的作用下繞所述第一鉸 接軸轉(zhuǎn)動(dòng)預(yù)定角度。優(yōu)選地，所述第一傾斜機(jī)構(gòu)包括繞驅(qū)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)并作用于所述第三載板傳輸裝置底 部的凸輪，所述驅(qū)動(dòng)軸的軸向垂直于所述第三載板傳輸裝置的傳輸方向。優(yōu)選地，所述第一鉸接軸安裝于所述第三載板傳輸裝置上遠(yuǎn)離所述第二載板傳輸 裝置的一端，所述凸輪作用于所述第三載板傳輸裝置上靠近所述第二載板傳輸裝置的一 端。優(yōu)選地，所述第二載板傳輸裝置通過(guò)第二鉸接軸鉸接于所述在線處理設(shè)備的固定 部，所述第二鉸接軸位于遠(yuǎn)離所述第三載板傳輸裝置的一端，且其軸向垂直于所述第二載 板傳輸裝置的傳輸方向；所述第二載板傳輸裝置靠近所述第三載板傳輸裝置的一端安裝有 第二傾斜機(jī)構(gòu)，所述第二載板傳輸裝置能夠在所述第二傾斜機(jī)構(gòu)的作用下繞所述第二鉸接 軸轉(zhuǎn)動(dòng)預(yù)定角度。優(yōu)選地，所述第二傾斜機(jī)構(gòu)包括至少一個(gè)氣缸。優(yōu)選地，還包括作用于所述第三載板傳輸裝置的升降機(jī)構(gòu)，所述第三載板傳輸裝 置在所述升降機(jī)構(gòu)的作用下沿所述冷卻腔的上下方向運(yùn)動(dòng)；所述第一載板傳輸裝置位于所 述第二載板傳輸裝置正上方。優(yōu)選地，所述第二載板傳輸裝置至少包括前段和后段，且所述前段和所述后段通 過(guò)各自的動(dòng)力機(jī)構(gòu)分別驅(qū)動(dòng)。優(yōu)選地，具體為等離子體處理設(shè)備。優(yōu)選地，所述等離子體處理設(shè)備為等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備。本發(fā)明所提供的在線處理設(shè)備，包括冷卻腔、第一載板傳輸裝置、第二載板傳輸裝 置和第三載板傳輸裝置，第一載板傳輸裝置和第二載板傳輸裝置均設(shè)置于所述冷卻腔與所 述載臺(tái)之間，所述載臺(tái)可選擇地與所述第一載板傳輸裝置的第一端或者第二載板傳輸裝置 的第一端配合，所述冷卻腔內(nèi)部設(shè)置有第三載板傳輸裝置，所述第三載板傳輸裝置可選擇 地與所述第一載板傳輸裝置的第二端或者所述第二載板傳輸裝置的第二端配合。在在線處 理設(shè)備的工作過(guò)程中，載板在載臺(tái)上加載后，由第一載板傳輸裝置自載臺(tái)經(jīng)過(guò)預(yù)熱腔、工藝 腔等運(yùn)送至冷卻腔，此時(shí)，第三載板傳輸裝置與第一載板傳輸裝置配合，載板自第一載板傳 輸裝置傳輸至第三載板傳輸裝置上，然后，第三載板傳輸裝置與第一載板傳輸裝置斷開(kāi)配 合，被加工件在冷卻腔中充分冷卻后，第三載板傳輸裝置與第二載板傳輸裝置配合，載板自 第三載板傳輸裝置傳輸至第二載板傳輸裝置，并通過(guò)第二載板傳輸裝置返回載臺(tái)，從而完 成一個(gè)生產(chǎn)周期。這樣，載板只需在冷卻腔中即可實(shí)現(xiàn)返回，并在載臺(tái)上實(shí)現(xiàn)裝載和卸載， 無(wú)需為設(shè)備另外安裝卸載臺(tái)，從而減小了該在線處理設(shè)備的占地面積，降低設(shè)備運(yùn)行空間 的清潔作業(yè)成本，進(jìn)而能夠降低設(shè)備的使用成本。在另一種具體實(shí)施方式
中，本發(fā)明所提供的在線處理設(shè)備還包括第一傾斜機(jī)構(gòu)， 該第一傾斜機(jī)構(gòu)作用于第三載板傳輸裝置的適當(dāng)位置，第一載板傳輸裝置位于所述第二載 板傳輸裝置的上方，第三載板傳輸裝置通過(guò)在水平面上垂直于其傳輸方向的第一鉸接軸鉸 接于冷卻腔的腔體，且能夠在第一傾斜機(jī)構(gòu)的作用下繞第一鉸接軸轉(zhuǎn)動(dòng)預(yù)定角度。當(dāng)?shù)谌?載板傳輸裝置將其上的載板傳輸至第二載板傳輸裝置時(shí)，首先通過(guò)第一傾斜機(jī)構(gòu)使第三載 板傳輸裝置向靠近第二載板傳輸裝置的方向轉(zhuǎn)動(dòng)預(yù)定角度，當(dāng)兩者的位置達(dá)到預(yù)定的關(guān)系時(shí)，啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)第三載板傳輸裝置和第二載板傳輸裝置的動(dòng)力機(jī)構(gòu)，能夠使載板順利地傳輸 至第二載板傳輸裝置上，從而隨第二載板傳輸裝置返回到裝載臺(tái)，以完成一個(gè)加工周期，載 板傳輸至第二載板傳輸裝置后，通過(guò)第一傾斜機(jī)構(gòu)的反向動(dòng)作，實(shí)現(xiàn)第三載板傳輸裝置繞 第一鉸接軸反向運(yùn)動(dòng)，以便第三載板傳輸裝置回復(fù)水平位置；通過(guò)該第一傾斜裝置能夠在 第三載板傳輸裝置和第二載板傳輸裝置具有適當(dāng)?shù)南鄬?duì)位置關(guān)系時(shí)，實(shí)現(xiàn)載板的傳輸，避 免了由于兩者距離過(guò)遠(yuǎn)而造成的載板損壞，從而提高了在線處理設(shè)備的工作安全性。在另一種具體實(shí)施方式
中，上述第一傾斜機(jī)構(gòu)包括繞驅(qū)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)并作用于第三載 板傳輸裝置底部的凸輪，驅(qū)動(dòng)軸垂直于第三載板傳輸裝置的傳輸方向。在凸輪的轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程 中，當(dāng)凸輪以其短軸支撐第三載板傳輸裝置時(shí)，第三載板傳輸裝置的位置低于凸輪以其長(zhǎng) 軸支撐第三載板傳輸裝置時(shí)的水平位置，這樣，通過(guò)凸輪實(shí)現(xiàn)了第三載板傳輸裝置的傾斜， 并且凸輪的結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單，制造工藝簡(jiǎn)便，生產(chǎn)成本較低。


圖1為一種在線處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明所提供在線處理設(shè)備一種具體實(shí)施方式
的剖視圖；圖3為圖2所示在線處理設(shè)備在傾斜時(shí)的局部結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為圖2所示在線處理設(shè)備在俯視方向的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明所提供在線處理設(shè)備中第一傾斜機(jī)構(gòu)一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示 意圖；圖6為圖2所示在線處理設(shè)備在主視方向的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的核心是提供一種在線處理設(shè)備，該在線處理設(shè)備具有較高的產(chǎn)能。為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明方案，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。請(qǐng)參考圖2，圖2為本發(fā)明所提供在線處理設(shè)備一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖。在一種具體實(shí)施方式
中，本發(fā)明所提供的在線處理設(shè)備由預(yù)熱腔29、工藝腔26以 及冷卻腔21構(gòu)成，基片加工過(guò)程中，載板24首先在載臺(tái)25上加載，并由第一載板傳輸裝置 22帶動(dòng)進(jìn)入裝載預(yù)熱腔29，利用真空泵將裝載預(yù)熱腔29抽成真空環(huán)境，在該裝載預(yù)熱腔29 中具有加熱源，進(jìn)入該腔室中的載板24加熱至預(yù)定溫度后，由第一載板傳輸裝置22帶動(dòng)進(jìn) 入工藝腔26，在工藝腔26中經(jīng)過(guò)淀積或者刻蝕等等離子體工藝之后，第一載板傳輸裝置22 的第二端與第三載板傳輸裝置20配合，載板24由第一載板傳輸裝置22傳輸至第三載板傳 輸裝置20，從而進(jìn)入冷卻腔21 ；載板24在冷卻腔21中充分冷卻后，第三載板傳輸裝置20 的與第一載板傳輸裝置22的第二端斷開(kāi)配合，第三載板傳輸裝置20與第二載板傳輸裝置 23的第二端配合，載板24由第三載板傳輸裝置20傳輸至第二載板傳輸裝置23后，由第二 載板傳輸裝置23傳輸返回至載臺(tái)25，并在載臺(tái)25上卸載，以完成一個(gè)生產(chǎn)周期。第一載板傳輸裝置22、第二載板傳輸裝置23和第三載板傳輸裝置20通常均可以 是由若干傳送輥構(gòu)成的輥組，其中各傳送輥的軸線顯然垂直于載板24的傳輸方向，若干輥 組之間可以通過(guò)傳輸板或者傳輸帶形成一個(gè)傳動(dòng)組。
需要指出的是，文中所述“配合”是指，相互配合的兩部件之間具有適當(dāng)?shù)乃骄?離和豎直距離，使得載板24能夠在相鄰的兩部件之間順利傳遞，例如上述水平距離可以等 于或者略小于相鄰兩傳送輥之間的距離；上述水平距離和豎直距離以載板24能夠順利實(shí) 現(xiàn)傳輸為要求，兩者的具體數(shù)值在此不做限定；相應(yīng)地，文中所述斷開(kāi)配合是指相配合的 兩部件之間的水平距離和豎直距離發(fā)生改變，從而使載板無(wú)法在兩部件之間發(fā)生傳遞的情 況。在上述冷卻腔21與工藝腔26之間、以及冷卻腔21與第二載板傳輸裝置23之間 均可以設(shè)置有翻板閥，且上述可選擇地連通通過(guò)翻板閥的動(dòng)作實(shí)現(xiàn)。具體的，各翻板閥可以 為隔離閥，在例如氣缸等動(dòng)力機(jī)構(gòu)的作用下實(shí)現(xiàn)翻板閥的打開(kāi)或者關(guān)閉，從而實(shí)現(xiàn)第一載 板傳輸裝置22與第三載板傳輸裝置20以及與第二載板傳輸裝置23與第三載板傳輸裝置 20之間的連通或者隔離。需要指出的是，第三載板傳輸裝置20的數(shù)目可以為一個(gè)，此時(shí)，當(dāng)?shù)谌d板傳輸 裝置20與第一載板傳輸裝置22之間配合時(shí)，第三載板傳輸裝置20與第二載板傳輸裝置23 之間是通過(guò)翻板閥隔離的，相應(yīng)的，當(dāng)?shù)谌d板傳輸裝置20與第二載板傳輸裝置23之間配 合時(shí)，第三載板傳輸裝置20與第二載板傳輸裝置23之間是通過(guò)翻板閥隔離的；第三載板傳 輸裝置20的數(shù)目也不局限于為一個(gè)，也可以為多個(gè)，例如當(dāng)?shù)谌d板傳輸裝置20的數(shù)目為 兩個(gè)時(shí)，其中一個(gè)第三載板傳輸裝置20和第一載板傳輸裝置22配合時(shí)，另一個(gè)第三載板傳 輸裝置20與第二載板傳輸裝置23之間也有可能是相互配合的。在載板24的傳輸過(guò)程中，上述第一載板傳輸裝置22和第二載板傳輸裝置23均大 體沿水平方向運(yùn)動(dòng)。上述第二載板傳輸裝置23可以至少包括前段231和后段232，且前段231和后段 232通過(guò)各自的動(dòng)力機(jī)構(gòu)分別驅(qū)動(dòng)。當(dāng)同時(shí)有多個(gè)載板24在第二裝在傳輸裝置23時(shí)，可以 控制各載板24分別位于前段231和后段232，由于前段231和后段232是分別通過(guò)各自的 動(dòng)力機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)的，任一段停止運(yùn)動(dòng)或者改變運(yùn)動(dòng)速度不會(huì)對(duì)其他各段造成影響，從而避免 了載板24運(yùn)輸時(shí)的相互干涉和影響。上述前段231還可以進(jìn)一步包括分別驅(qū)動(dòng)的多段，相應(yīng)的，后段232也可以進(jìn)一步 包括分別驅(qū)動(dòng)的多段。在在線處理設(shè)備的工作過(guò)程中，載板24在載臺(tái)25上加載后，由第一載板傳輸裝置 22自載臺(tái)25經(jīng)過(guò)預(yù)熱腔29、工藝腔26等運(yùn)送至冷卻腔21，此時(shí)，第三載板傳輸裝置20與 第一載板傳輸裝置22配合，載板自第一載板傳輸裝置22傳輸至第三載板傳輸裝置20上， 然后，第三載板傳輸裝置20與第一載板傳輸裝置22斷開(kāi)配合，被加工件在冷卻腔21中充 分冷卻后，第三載板傳輸裝置20與第二載板傳輸裝置23配合，載板24自第三載板傳輸裝 置20傳輸至第二載板傳輸裝置23，并通過(guò)第二載板傳輸裝置23返回載臺(tái)25，從而完成一 個(gè)生產(chǎn)周期。這樣，載板24只需在冷卻腔21中即可實(shí)現(xiàn)返回，并在載臺(tái)25上實(shí)現(xiàn)裝載和 卸載，無(wú)需為設(shè)備另外安裝卸載臺(tái)，從而減小了該在線處理設(shè)備的占地面積，降低設(shè)備運(yùn)行 空間的清潔作業(yè)成本，進(jìn)而能夠降低設(shè)備的使用成本。為了實(shí)現(xiàn)所述第三載板傳輸裝置20可選擇地與所述第一載板傳輸裝置22的第 二端或者所述第二載板傳輸裝置23的第二端配合，可以通過(guò)多種實(shí)施方式實(shí)現(xiàn)，以下為多 種實(shí)施方式中的兩種，一切基于下述方式的衍生方案均應(yīng)落入本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。請(qǐng)參考圖3至圖6，圖3為圖2所示在線處理設(shè)備在傾斜時(shí)的局部結(jié)構(gòu)示意圖；圖 4為圖2所示在線處理設(shè)備在俯視方向的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明所提供在線處理設(shè)備 中第一傾斜機(jī)構(gòu)一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為圖2所示在線處理設(shè)備在主視方 向的結(jié)構(gòu)示意圖。在另一種具體實(shí)施方式
中，本發(fā)明所提供的還包括作用于所述第三載板傳輸裝置 20的第一傾斜機(jī)構(gòu)；第一載板傳輸裝置22位于第二載板傳輸裝置23的上方，第三載板傳 輸裝置20通過(guò)在水平面上垂直于其傳輸方向的第一鉸接軸210鉸接于冷卻腔21的腔體 上，且在第一傾斜機(jī)構(gòu)的作用下繞第一鉸接軸210轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)?shù)谌d板傳輸裝置20將其上的載板24傳輸至第二載板傳輸裝置23時(shí)，首先通 過(guò)第一傾斜機(jī)構(gòu)使第三載板傳輸裝置20向靠近第二載板傳輸裝置23的方向轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)兩者 的位置達(dá)到預(yù)定的關(guān)系時(shí)，啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)第三載板傳輸裝置20和第二載板傳輸裝置23的動(dòng)力 機(jī)構(gòu)，能夠使載板24順利地傳輸至第二載板傳輸裝置23上，從而隨第二載板傳輸裝置23 返回到裝載臺(tái)25，以完成一個(gè)加工周期，通過(guò)該第一傾斜裝置能夠在第三載板傳輸裝置20 和第二載板傳輸裝置23具有適當(dāng)?shù)南鄬?duì)位置關(guān)系時(shí)，實(shí)現(xiàn)載板24的傳輸，避免了由于兩者 距離過(guò)遠(yuǎn)而造成的載板24損壞，從而提高了在線處理設(shè)備的工作安全性。上述第一傾斜機(jī)構(gòu)可以包括至少一個(gè)凸輪27，該凸輪27繞其自身的驅(qū)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng) 并作用于上述第三載板傳輸裝置20的底部，其驅(qū)動(dòng)軸垂直于第三載板傳輸裝置20的傳輸 方向；相對(duì)于旋轉(zhuǎn)中心，凸輪27外輪廓的高度不同，從而能夠通過(guò)凸輪27的轉(zhuǎn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)第三 載板傳輸裝置20的傾斜，凸輪27的加工較為方便，而且能夠通過(guò)改變凸輪27外輪廓的形 狀和尺寸，實(shí)現(xiàn)第三載板傳輸裝置20不同程度的傾斜。上述凸輪27的外輪廓可以為標(biāo)準(zhǔn)的橢圓形，該橢圓形的長(zhǎng)軸和短軸的長(zhǎng)度比應(yīng) 根據(jù)第三載板傳輸裝置20工作中所要求的傾斜程度確定，在此不再限定。凸輪27的外輪廓也不局限于上述橢圓形的形式，也可以為其他外輪廓具有適當(dāng) 高度差的凸輪結(jié)構(gòu)。上述第一傾斜機(jī)構(gòu)也不局限于凸輪27的形式，也可以為本領(lǐng)域中其他能夠令第 三載板傳輸裝置20的一端繞第一鉸接軸210轉(zhuǎn)動(dòng)的方式，例如，可以在第三載板裝置20的 遠(yuǎn)離第一鉸接軸210的位置安裝氣缸或者油缸，通過(guò)氣缸或者油缸的伸縮桿的伸出和縮回 實(shí)現(xiàn)第三載板裝置20的傾斜。上述第一鉸接軸210可以安裝于第三載板傳輸裝置20上遠(yuǎn)離所述第二載板傳輸 裝置23的一端，凸輪27安裝于第三載板傳輸裝置20上靠近第二載板傳輸裝置23的一端， 以便提高第三載板傳輸裝置20的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。上述第一鉸接軸210和凸輪27的設(shè)置位置也不局限于上述具體方式，從理論上來(lái) 講，兩者的位置關(guān)系只要能夠?qū)崿F(xiàn)凸輪27轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，第三載板傳輸裝置20能夠隨凸輪27繞 第一鉸接軸210轉(zhuǎn)動(dòng)即可，兩者的具體位置關(guān)系不應(yīng)受到本說(shuō)明書(shū)具體實(shí)施方式
的限制。上述凸輪27的數(shù)目可以為兩個(gè)，在垂直于所述傳輸方向的方向上，分別安裝于所 述第三載板傳輸裝置20的兩側(cè)，從而使得第三載板傳輸裝置20各處的傾斜程度大體相同， 提高了第三載板傳輸裝置20的傳輸穩(wěn)定性。上述凸輪27的數(shù)目也不局限于兩個(gè)，也可以僅設(shè)置一個(gè)凸輪27，此時(shí)，凸輪27應(yīng)設(shè)置于在垂直于所述傳輸方向的方向上的第三載板傳輸裝置20的中部，以便保證傾斜穩(wěn) 定性；凸輪27也可以設(shè)置若干個(gè)，在垂直于所述傳輸方向的方向上，大體均勻地設(shè)置于第 三載板傳輸裝置20。上述第二載板傳輸裝置23上可以安裝有第二傾斜機(jī)構(gòu)，該第二傾斜機(jī)構(gòu)安裝于 靠近所述第三載板傳輸裝置20的一端，第二載板傳輸裝置23通過(guò)第二鉸接軸鉸接于所述 在線處理設(shè)備的固定部，該第二鉸接軸設(shè)置于遠(yuǎn)離第三載板傳輸裝置20的一端，且垂直于 第二載板傳輸裝置23的傳輸方向設(shè)置，第二載板傳輸裝置23在第二傾斜機(jī)構(gòu)的作用下繞 所述第二鉸接軸轉(zhuǎn)動(dòng)。上述第二傾斜機(jī)構(gòu)包括至少一個(gè)氣缸28，通過(guò)氣缸28伸縮桿的伸出和縮回實(shí)現(xiàn) 第二載板裝置23的傾斜。該第二傾斜機(jī)構(gòu)也不局限于通過(guò)氣缸28實(shí)現(xiàn)其功能，也可以通 過(guò)上述的凸輪機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)，其具體安裝形式和工作過(guò)程與第一傾斜機(jī)構(gòu)相似，在此不再贅述。除了上述第一傾斜機(jī)構(gòu)，本發(fā)明所提供的在線處理設(shè)備還可以通過(guò)以下方式實(shí)現(xiàn) 第三載板傳輸裝置20可選擇地與第一載板傳輸裝置22或者第二載板傳輸裝置23可選擇 地連通。在另一種具體實(shí)施方式
中，本發(fā)明所提供的在線處理設(shè)備，當(dāng)?shù)谝惠d板傳輸裝置 22位于所述第二載板傳輸裝置23的正上方時(shí)，還可以包括作用于第三載板傳輸裝置20的 升降機(jī)構(gòu)，第三載板傳輸裝置20在升降機(jī)構(gòu)的作用下沿冷卻腔21的上下方向運(yùn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn) 第三載板傳輸裝置20可選擇地與第一載板傳輸裝置22或者第二載板傳輸裝置23配合；當(dāng) 載板24通過(guò)第一載板傳輸裝置22自工藝腔26進(jìn)入冷卻腔21時(shí)，第三載板傳輸裝置20處 于與第一載板傳輸裝置22相配合的位置，載板24由第一載板傳輸裝置22傳輸至第三載板 傳輸裝置20上，并在冷卻腔21中完成工序后，第三載板傳輸裝置20在升降機(jī)構(gòu)的作用下 上升或者下降，使第三載板傳輸裝置20與第二載板傳輸裝置23連通，從而將載板24傳輸 至第二載板傳輸裝置23并返回裝載臺(tái)25。顯然地，當(dāng)?shù)谝惠d板傳輸裝置22位于第二載板傳輸裝置23的上方時(shí)，第三載板傳 輸裝置20與第二載板傳輸裝置23配合時(shí)，升降機(jī)構(gòu)向下運(yùn)動(dòng)，反之，升降機(jī)構(gòu)向上運(yùn)動(dòng)。上述升降機(jī)構(gòu)可以為油缸或者氣缸，并通過(guò)油缸或者氣缸的伸縮桿的伸縮實(shí)現(xiàn)第 三載板傳輸裝置22的升降。本發(fā)明所提供的在線處理設(shè)備具體可以為等離子體處理設(shè)備，該等離子體處理設(shè) 備進(jìn)一步可以是等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備或者其他設(shè)備。以上對(duì)本發(fā)明所提供的在線處理設(shè)備進(jìn)行了詳細(xì)介紹。本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì) 本發(fā)明的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法 及其核心思想。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前 提下，還可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾，這些改進(jìn)和修飾也落入本發(fā)明權(quán)利要求的保 護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
一種在線處理設(shè)備，包括冷卻腔(21)和載臺(tái)(25)，所述冷卻腔(21)與所述載臺(tái)(25)之間設(shè)置有第一載板傳輸裝置(22)和第二載板傳輸裝置(23)，所述載臺(tái)(25)可選擇地與所述第一載板傳輸裝置(22)的第一端或者第二載板傳輸裝置(23)的第一端配合，其特征在于，所述冷卻腔(21)內(nèi)部設(shè)置有第三載板傳輸裝置(20)，所述第三載板傳輸裝置(20)可選擇地與所述第一載板傳輸裝置(22)的第二端或者所述第二載板傳輸裝置(23)的第二端配合。
2.如權(quán)利要求1所述的在線處理設(shè)備，其特征在于，還包括作用于所述第三載板傳輸 裝置(20)的第一傾斜機(jī)構(gòu)；所述第一載板傳輸裝置(22)位于所述第二載板傳輸裝置(23) 上方，所述第三載板傳輸裝置(20)通過(guò)在水平面上垂直于其傳輸方向的第一鉸接軸(210) 鉸接于所述冷卻腔的腔體，且能夠在所述第一傾斜機(jī)構(gòu)的作用下繞所述第一鉸接軸(210) 轉(zhuǎn)動(dòng)預(yù)定角度。
3.如權(quán)利要求2所述的在線處理設(shè)備，其特征在于，所述第一傾斜機(jī)構(gòu)包括繞驅(qū)動(dòng)軸 轉(zhuǎn)動(dòng)并作用于所述第三載板傳輸裝置(20)底部的凸輪(27)，所述驅(qū)動(dòng)軸的軸向在水平面 上垂直于所述第三載板傳輸裝置(20)的傳輸方向。
4.如權(quán)利要求3所述的在線處理設(shè)備，其特征在于，所述第一鉸接軸(210)安裝于所述 第三載板傳輸裝置(20)上遠(yuǎn)離所述第二載板傳輸裝置(23)的一端，所述凸輪(27)作用于 所述第三載板傳輸裝置(20)上靠近所述第二載板傳輸裝置(23)的一端。
5.如權(quán)利要求2至4任一項(xiàng)所述的在線處理設(shè)備，其特征在于，所述第二載板傳輸裝 置(23)通過(guò)第二鉸接軸鉸接于所述等離子體處理設(shè)備的固定部，所述第二鉸接軸位于遠(yuǎn) 離所述第三載板傳輸裝置(20)的一端，且其軸向在水平面上垂直于所述第二載板傳輸裝 置(23)的傳輸方向；所述第二載板傳輸裝置(23)靠近所述第三載板傳輸裝置(20)的一端 安裝有第二傾斜機(jī)構(gòu)，所述第二載板傳輸裝置(23)能夠在所述第二傾斜機(jī)構(gòu)的作用下繞 所述第二鉸接軸轉(zhuǎn)動(dòng)預(yù)定角度。
6.如權(quán)利要求5所述的在線處理設(shè)備，其特征在于，所述第二傾斜機(jī)構(gòu)包括至少一個(gè) 氣缸(28)。
7.如權(quán)利要求1所述的在線處理設(shè)備，其特征在于，還包括作用于所述第三載板傳輸 裝置(20)的升降機(jī)構(gòu)，所述第三載板傳輸裝置(20)在所述升降機(jī)構(gòu)的作用下沿所述冷卻 腔(21)的上下方向運(yùn)動(dòng)；所述第一載板傳輸裝置(22)位于所述第二載板傳輸裝置(23)正 上方。
8.如權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的在線處理設(shè)備，其特征在于，所述第二載板傳輸裝 置(23)至少包括前段(231)和后段(232)，且所述前段(231)和所述后段(232)通過(guò)各自 的動(dòng)力機(jī)構(gòu)分別驅(qū)動(dòng)。
9.如權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的在線處理設(shè)備，其特征在于，具體為等離子體處理設(shè)備。
10.如權(quán)利要求9所述的在線處理設(shè)備，其特征在于，所述等離子體處理設(shè)備為等離子 體化學(xué)氣相沉積設(shè)備。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)一種在線處理設(shè)備，包括冷卻腔(21)和載臺(tái)(25)，所述冷卻腔與所述載臺(tái)之間設(shè)置有第一載板傳輸裝置(22)和第二載板傳輸裝置(23)，所述載臺(tái)可選擇地與所述第一載板傳輸裝置的第一端或者第二載板傳輸裝置的第一端配合，所述冷卻腔內(nèi)部設(shè)置有第三載板傳輸裝置(20)，所述第三載板傳輸裝置可選擇地與所述第一載板傳輸裝置的第二端或者所述第二載板傳輸裝置的第二端配合。載板(24)只需在冷卻腔中即可實(shí)現(xiàn)返回，并在載臺(tái)上實(shí)現(xiàn)裝載和卸載，無(wú)需為設(shè)備另外安裝卸載臺(tái)，從而減小了該在線處理設(shè)備的占地面積，降低設(shè)備運(yùn)行空間的清潔作業(yè)成本，進(jìn)而能夠降低設(shè)備的使用成本。
文檔編號(hào)H01L21/677GK101882565SQ201010198050
公開(kāi)日2010年11月10日 申請(qǐng)日期2010年6月3日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月3日
發(fā)明者南建輝, 宋巧麗 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司