專(zhuān)利名稱(chēng)：高功率調(diào)q脈沖激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于激光器領(lǐng)域，特別涉及一種高功率調(diào)Q脈沖激光器。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，激光打孔技術(shù)在水松紙打孔、皮革打孔、膏藥打孔等領(lǐng)域都得到快速發(fā) 展；同時(shí)隨著高端汽車(chē)、家電、電子和輕工業(yè)對(duì)具有優(yōu)良沖壓性能和表面涂鍍性能的毛化鋼 板需求日益擴(kuò)大，激光毛化技術(shù)也得到了迅速發(fā)展。提高激光打孔和激光毛化技術(shù)的加工 質(zhì)量和效率的關(guān)鍵是研制出重復(fù)頻率、高峰值功率的高能量脈沖輸出激光器作為激光發(fā)射 源。在現(xiàn)有技術(shù)條件下，一般采用調(diào)Q技術(shù)實(shí)現(xiàn)高重復(fù)頻率、高峰值功率的高能量脈沖激光 輸出。目前，常規(guī)的激光調(diào)Q技術(shù)有轉(zhuǎn)鏡調(diào)Q、電光調(diào)Q、聲光調(diào)Q和被動(dòng)式可飽和吸收體調(diào)Q。轉(zhuǎn)鏡調(diào)Q的基本原理是脈沖激光器諧振腔的全反鏡被一個(gè)由高速電機(jī)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn) 的全反鏡所替代構(gòu)成。全反鏡繞垂直于諧振腔軸線做周期性旋轉(zhuǎn)，因此構(gòu)成了一個(gè)Q值作 周期性變化的諧振腔。這種Q開(kāi)關(guān)無(wú)插入損耗，而且不存在光損傷的問(wèn)題，因此可以獲得峰 值功率高達(dá)幾十MW的短脈寬脈沖；但其主要缺點(diǎn)是在高轉(zhuǎn)速下的機(jī)械磨損會(huì)影響其使用 壽命，且裝配工藝要求很高。因此，該調(diào)Q技術(shù)很難廣泛應(yīng)用于實(shí)際生產(chǎn)中。電光調(diào)Q的基本原理是在激光諧振腔中插入一個(gè)電光晶體，通過(guò)控制電光晶體兩 端電壓而調(diào)節(jié)諧振腔的Q值，從而實(shí)現(xiàn)激光調(diào)Q。這種調(diào)Q方式能產(chǎn)生窄脈沖，同步性能好， 使用壽命長(zhǎng)，可以獲得峰值功率高達(dá)幾十MW以上、脈寬為幾十納秒的巨脈沖；但脈沖重復(fù) 頻率低(100Hz量級(jí))，同時(shí)會(huì)在加工過(guò)程中產(chǎn)生大量等離子體，從而影響到材料對(duì)激光能 量的吸收。因此，電光調(diào)Q激光器很難滿(mǎn)足激光打孔和激光毛化等技術(shù)對(duì)加工效率的要求。聲光調(diào)Q的基本原理是在激光諧振腔軸線上放置一個(gè)聲光調(diào)制器件，并通過(guò)使用 高頻振蕩信號(hào)作用于聲光調(diào)制器件而改變諧振腔的Q值。聲光調(diào)Q技術(shù)容易獲得峰值功率 為幾百KW、脈寬為一百納秒左右的巨脈沖，但由于其聲光調(diào)制器的衍射效率是有限的，從而 導(dǎo)致它對(duì)高能量激光器的開(kāi)關(guān)能力較差，因此它只能使用于較低增益的連續(xù)激光器上。綜 上所述，聲光調(diào)Q脈沖激光器的單脈沖能量低，平均功率也低，從而使其應(yīng)用范圍受到很大 限制。被動(dòng)式可飽和吸收體調(diào)Q的基本原理是在激光諧振腔軸線上放入可飽和吸收染 料，該染料的吸收系數(shù)隨著腔內(nèi)光強(qiáng)的變化而變化，從而被動(dòng)地改變腔內(nèi)Q值。這種開(kāi)關(guān)結(jié) 構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方面，可以獲得峰值功率為幾MW、脈寬為幾十ns的巨脈沖；但由于它是一種被 動(dòng)式調(diào)Q，因此產(chǎn)生調(diào)Q脈沖的時(shí)刻有一定的隨機(jī)性，不能人為控制。因此，這種調(diào)Q方式不 能滿(mǎn)足激光打孔、激光毛化等對(duì)加工精度高的要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的是針對(duì)背景技術(shù)中涉及的現(xiàn)有各類(lèi)調(diào)Q脈沖激光器的不足而提供一種高功率調(diào)Q脈沖激光器，該激光器能夠提供穩(wěn)定性高、重復(fù)頻率高、峰值功率及脈沖能量高，而脈寬短的脈沖激光輸出，其被應(yīng)用于激光打孔時(shí)可以加工更深厚度的材料，應(yīng)用于激 光毛化領(lǐng)域時(shí)可以生產(chǎn)更深的毛化點(diǎn)和表面粗糙度。本發(fā)明的技術(shù)方案是一種高功率調(diào)Q脈沖激光器，包括由輸出透反鏡和全反鏡 構(gòu)成的諧振腔及置于所述諧振腔內(nèi)的連續(xù)泵浦單元和Nd: YAG激勵(lì)介質(zhì)；其特征在于還包 括一位于諧振腔內(nèi)并由高速電機(jī)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)的機(jī)械調(diào)制盤(pán)，所述機(jī)械調(diào)制盤(pán)由遮光材料制成 并且其上設(shè)有至少一個(gè)供激光光軸穿過(guò)的通光部位。本發(fā)明中所述通光部位具體可以是開(kāi)設(shè)于機(jī)械調(diào)制盤(pán)外緣上的通光切口。當(dāng)通光 切口的數(shù)量較多時(shí)，機(jī)械調(diào)制盤(pán)的外緣則呈鋸齒狀?；蛘撸景l(fā)明中所述通光部位也可以是通光孔?；蛘?，本發(fā)明中所述機(jī)械調(diào)制盤(pán)上的通光部位大于一個(gè)時(shí)，也可以部分為通光孔， 而余下的則是開(kāi)設(shè)于機(jī)械調(diào)制盤(pán)外緣上的通光切口。本發(fā)明主要采用一個(gè)高速旋轉(zhuǎn)的機(jī)械調(diào)制盤(pán)以實(shí)現(xiàn)激光器的調(diào)Q。其主要的工 作原理如下機(jī)械調(diào)制盤(pán)旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中，其上的非通光部位旋轉(zhuǎn)到激光光軸上時(shí)，相當(dāng)于 在激光光軸上插入一個(gè)不通光的物體，從而導(dǎo)致激光器無(wú)法振蕩；如果此時(shí)通過(guò)連續(xù)泵浦 單元提供能量，那么將在Nd: YAG激勵(lì)介質(zhì)中逐漸積累能量；隨著機(jī)械調(diào)制盤(pán)的旋轉(zhuǎn)，當(dāng)通 光部位旋轉(zhuǎn)到激光光軸上時(shí)，相當(dāng)于將激光光軸上插入的不通光物體快速移出，激光器在 Nd: YAG激勵(lì)介質(zhì)中所存儲(chǔ)能量對(duì)應(yīng)的增益作用下快速形成振蕩，并實(shí)現(xiàn)高峰值功率短脈沖 輸出。在機(jī)械調(diào)制盤(pán)旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中，非通光部位與通光部位交替遮擋和通過(guò)激光光軸，因此 激光器被周期性的關(guān)斷和開(kāi)啟；如果此時(shí)通過(guò)連續(xù)泵浦單元提供連續(xù)的激光能量，那么激 光器將輸出高重復(fù)頻率、高能量的激光脈沖。并且本發(fā)明所述的通光部位大于一個(gè)時(shí)，可呈圓周等間距分布于機(jī)械調(diào)制盤(pán)上， 此時(shí)當(dāng)機(jī)械調(diào)制盤(pán)的轉(zhuǎn)速恒定時(shí)，相鄰激光脈沖的時(shí)間間隔是完全一致的，激光器輸出脈 沖的重復(fù)頻率是恒定的。當(dāng)然所述通光部位大于一個(gè)時(shí)，也可呈圓周非等間距分布于機(jī)械 調(diào)制盤(pán)上，此時(shí)即使機(jī)械調(diào)制盤(pán)的轉(zhuǎn)速恒定，那么激光器輸出的相鄰脈沖的脈沖間隔也是 不一致的，重復(fù)頻率不是恒定的。本發(fā)明中，為了提高激光器從關(guān)斷過(guò)渡到開(kāi)啟的速度，一般要求諧振腔存在一個(gè) 光斑非常小的位置，并將機(jī)械調(diào)制盤(pán)放置于該位置。這樣當(dāng)機(jī)械調(diào)制盤(pán)的通光孔或者通光 切口的邊緣掃過(guò)這個(gè)光斑時(shí)，激光器從關(guān)斷到開(kāi)啟的過(guò)渡時(shí)間就會(huì)非常短。為了使諧振腔 中某一位置產(chǎn)生直徑很小的光斑，本發(fā)明可采取以下兩種方案1)在所述諧振腔內(nèi)增設(shè)一對(duì)透射式聚焦鏡，該對(duì)透射式聚焦鏡于激光光軸上相對(duì) 布置而構(gòu)成望遠(yuǎn)準(zhǔn)直系統(tǒng)，并且前述機(jī)械調(diào)制盤(pán)恰好位于該望遠(yuǎn)準(zhǔn)直系統(tǒng)的共焦面上。2)在所述諧振腔內(nèi)增設(shè)一個(gè)透射式聚焦鏡，該透射式聚焦鏡與激光器原先的輸出 透反鏡相對(duì)布置而構(gòu)成望遠(yuǎn)準(zhǔn)直系統(tǒng)，并且前述機(jī)械調(diào)制盤(pán)恰好位于該望遠(yuǎn)準(zhǔn)直系統(tǒng)的共 焦面上。當(dāng)然除了采用上面講到的于諧振腔中產(chǎn)生小直徑光斑的方法縮短激光器從關(guān)斷 至IJ開(kāi)啟的時(shí)間之外，本發(fā)明還可以通過(guò)下述兩種方案來(lái)達(dá)到同樣的目的3)把通光切口或者通光孔加工成錐形結(jié)構(gòu)。4)保持通光孔或者通光切口的間隙尺寸不變，使所述機(jī)械調(diào)制盤(pán)相對(duì)激光光軸以角度θ傾斜放置，θ為機(jī)械調(diào)制盤(pán)的轉(zhuǎn)軸與激光光軸的水平方向夾角，取值為10° 45°。值得一提的是上述方案3)或者4)可以與方案1)或者2)結(jié)合運(yùn)用，從而更進(jìn)一 步的減小激光器從關(guān)斷到開(kāi)啟的時(shí)間。并且當(dāng)方案1)或者2)與方案3)結(jié)合運(yùn)用時(shí)，本發(fā) 明中優(yōu)選使得呈錐形結(jié)構(gòu)的通光切口(或者通光孔)的錐角大于望遠(yuǎn)準(zhǔn)直系統(tǒng)共焦面上的 光斑發(fā)散角。本發(fā)明中機(jī)械調(diào)制 盤(pán)的材料為具有足夠高機(jī)械強(qiáng)度的遮光材料，例如各種金屬， 考慮到盡可能減小機(jī)械調(diào)制盤(pán)在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中的旋轉(zhuǎn)慣量，優(yōu)選比重小的材料，例如鋁或合 金鋁材。本發(fā)明中的連續(xù)泵浦單元同常規(guī)技術(shù)一樣，可采用燈泵浦單元，例如連續(xù)氪燈泵 浦單元；當(dāng)然也可以采用連續(xù)輸出的半導(dǎo)體泵浦單元。且本發(fā)明為了獲得高重復(fù)頻率，機(jī)械 調(diào)制盤(pán)的旋轉(zhuǎn)速度應(yīng)該足夠高，通常采用每分鐘數(shù)千至數(shù)萬(wàn)轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是1.本發(fā)明提供的這種高功率調(diào)Q脈沖激光器，由于激光的關(guān)斷是通過(guò)機(jī)械調(diào)制盤(pán) 的非通光部位實(shí)現(xiàn)的，當(dāng)激光被關(guān)斷時(shí)實(shí)際上就等同于在激光器中直接插入了一個(gè)機(jī)械開(kāi) 關(guān)，因此對(duì)應(yīng)的關(guān)斷能力幾乎是無(wú)限的。這種關(guān)斷方式對(duì)激光器功率沒(méi)有任何限制，可以適 用于高功率激光器，從而形成足夠高的激光脈沖功率和激光脈沖頻率。2.本發(fā)明提供的這種高功率調(diào)Q脈沖激光器，不但具有與聲光調(diào)Q脈沖激光器一 樣的高重復(fù)頻率脈沖輸出，而且可以同時(shí)產(chǎn)生與轉(zhuǎn)鏡調(diào)Q、電光調(diào)Q及染料調(diào)Q等脈沖激光 器一樣的高峰值功率巨脈沖輸出。不僅如此，本發(fā)明同時(shí)解決了目前轉(zhuǎn)鏡調(diào)Q、電光調(diào)Q、聲 光調(diào)Q和染料調(diào)Q這些脈沖激光器在實(shí)現(xiàn)高穩(wěn)定、高重復(fù)頻率、高峰值功率及高脈沖能量激 光脈沖輸出時(shí)的固有困難。綜上所述，本發(fā)明可以提供穩(wěn)定性高、重復(fù)頻率高、峰值功率高、 脈沖能量高及脈寬短的脈沖激光輸出，應(yīng)用于激光打孔時(shí)可以加工更深厚度的材料，應(yīng)用 于激光毛化時(shí)可以生產(chǎn)更深的毛化點(diǎn)和表面粗糙度。3.本發(fā)明提供的這種高功率調(diào)Q脈沖激光器，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低，使用壽命長(zhǎng)，工 作穩(wěn)定，生產(chǎn)維護(hù)容易。


下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述圖1為本發(fā)明第一具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)原理圖；圖2為本發(fā)明第二具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)原理圖；圖3為本發(fā)明第三具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)原理圖；圖4為圖3中機(jī)械調(diào)制盤(pán)的傾斜放置示意圖；圖5為圖4的A-A視圖。其中1、諧振腔；101、連續(xù)泵浦單元；102、輸出透反鏡；103、全反鏡；104、第一透 射式聚焦鏡；105、第二透射式聚焦鏡；106、機(jī)械調(diào)制盤(pán)；107、高速電機(jī)。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例1 如圖1所示為本發(fā)明高功率調(diào)Q脈沖激光器的一種具體實(shí)施方式
，其組成如下由輸出透反鏡102和全反鏡103構(gòu)成的諧振腔1、置于所述諧振腔1內(nèi)的連續(xù)泵浦 單元101和Nd: YAG激勵(lì)介質(zhì)，以及置于所述諧振腔1內(nèi)的機(jī)械調(diào)制盤(pán)106和高速電機(jī)107。 本實(shí)施例中所述連續(xù)泵浦單元101采用連續(xù)氪燈泵浦單元，所述機(jī)械調(diào)制盤(pán)106由鋁材料 制成，并置于連續(xù)泵浦單元101和輸出透反鏡102之間。機(jī)械調(diào)制盤(pán)106的轉(zhuǎn)軸位于連續(xù) 泵浦單元101輸出的激光光軸上方，并與高速電機(jī)107的輸出軸相連，從而能夠在高速電機(jī) 107的帶動(dòng)下高速旋轉(zhuǎn)。而在機(jī)械調(diào)制盤(pán)106的外緣上開(kāi)設(shè)30個(gè)呈圓周等間距分布的通光 切口(圖1中只畫(huà)出2個(gè)通光切口)，這些通光切口可藉由機(jī)械調(diào)制盤(pán)106的轉(zhuǎn)動(dòng)而交替供 激光光軸通過(guò)。本實(shí)施例的工作原理如下機(jī)械調(diào)制盤(pán)106旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中，其上的非通光部位旋 轉(zhuǎn)到激光光軸上時(shí)，相當(dāng)于在激光光軸上插入一個(gè)不通光的物體，從而導(dǎo)致激光器無(wú)法振 蕩；如果此時(shí)通過(guò)連續(xù)泵浦單元101提供能量，那么將在Nd:YAG激勵(lì)介質(zhì)中逐漸積累能量； 隨著機(jī)械調(diào)制盤(pán)106的旋轉(zhuǎn)，當(dāng)通光切口旋轉(zhuǎn)到激光光軸上時(shí)，相當(dāng)于將激光光軸上插入 的不通光物體快速移出，激光器在Nd:YAG激勵(lì)介質(zhì)中所存儲(chǔ)能量對(duì)應(yīng)的增益作用下快速 形成振蕩，并實(shí)現(xiàn)高峰值功率短脈沖輸出。在機(jī)械調(diào)制盤(pán)106旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中，非通光部位與 通光切口交替遮擋和通過(guò)激光光軸，因此激光器被周期性的關(guān)斷和開(kāi)啟。并且由于連續(xù)泵 浦單元101不斷提供連續(xù)的激光能量，那么激光器就將輸出恒定高重復(fù)頻率、高能量的激 光脈沖。實(shí)施例2 如圖2所示，本實(shí)施例與實(shí)施例1的區(qū)別是在所述諧振腔1內(nèi)還設(shè)有第 一透射式聚焦鏡104和第二透射式聚焦鏡105，且該第一透射式聚焦鏡104和第二透射式聚 焦鏡105于激光光軸上相對(duì)布置而構(gòu)成望遠(yuǎn)準(zhǔn)直系統(tǒng)，并且所述機(jī)械調(diào)制盤(pán)106恰好位于 該望遠(yuǎn)準(zhǔn)直系統(tǒng)的共焦面上。本實(shí)施例其余同實(shí)施例1相同。結(jié)合圖2所示，本實(shí)施例由 于在諧振腔1內(nèi)引入了望遠(yuǎn)準(zhǔn)直系統(tǒng)，使諧振腔1內(nèi)存在一個(gè)光斑很小的位置(該光斑也 即望遠(yuǎn)準(zhǔn)直系統(tǒng)的共焦點(diǎn))，當(dāng)機(jī)械調(diào)制盤(pán)106高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，其上的通光切口邊緣掃過(guò)這個(gè) 光斑的速度將更快，故與實(shí)施例1相比，本實(shí)施例的激光器從關(guān)斷到開(kāi)啟的過(guò)渡時(shí)間更短， 脈沖能量更高，脈寬更短。實(shí)施例3 如圖3所示，本實(shí)施例與實(shí)施例2的區(qū)別有如下兩點(diǎn)1)將所述諧振腔1內(nèi)的第二透射式聚焦鏡105去除而僅保留第一透射式聚焦鏡 104，且該第一透射式聚焦鏡104與諧振腔1本身的輸出透反鏡102相對(duì)布置而構(gòu)成望遠(yuǎn)準(zhǔn) 直系統(tǒng)，并且所述機(jī)械調(diào)制盤(pán)106也恰好位于該望遠(yuǎn)準(zhǔn)直系統(tǒng)的共焦面上。2)結(jié)合圖4、圖5所示，本實(shí)施例中的機(jī)械調(diào)制盤(pán)106相對(duì)激光光軸以角度θ傾 斜放置，所述θ為機(jī)械調(diào)制盤(pán)106的轉(zhuǎn)軸與激光光軸的水平方向夾角，本實(shí)施例中的θ取 值為20°。本實(shí)施例其余同實(shí)施例2相同。本實(shí)施例中同樣在諧振腔1內(nèi)引入了望遠(yuǎn)準(zhǔn)直系統(tǒng)，但同時(shí)本實(shí)施例還通過(guò) 將機(jī) 械調(diào)制盤(pán)106傾斜布置的方式縮短了激光束2從關(guān)斷到開(kāi)啟的開(kāi)啟時(shí)間，從而提高了脈沖 的峰值功率。故相比實(shí)施例2，本實(shí)施例的激光器從關(guān)斷到開(kāi)啟的過(guò)渡時(shí)間更短，脈沖能量 更高，脈寬更短。當(dāng)然上述實(shí)施例只為說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù) 的人能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本發(fā) 明主要技術(shù)方案的精神實(shí)質(zhì)所做的等效變換或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
一種高功率調(diào)Q脈沖激光器，包括由輸出透反鏡(102)和全反鏡(103)構(gòu)成的諧振腔(1)及置于所述諧振腔(1)內(nèi)的連續(xù)泵浦單元(101)和Nd:YAG激勵(lì)介質(zhì)；其特征在于還包括一位于諧振腔(1)內(nèi)并由高速電機(jī)(107)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)的機(jī)械調(diào)制盤(pán)(106)，所述機(jī)械調(diào)制盤(pán)(106)由遮光材料制成并且其上設(shè)有至少一個(gè)供激光光軸穿過(guò)的通光部位。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高功率調(diào)Q脈沖激光器，其特征在于所述通光部位是開(kāi)設(shè)于 機(jī)械調(diào)制盤(pán)(106)外緣上的通光切口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高功率調(diào)Q脈沖激光器，其特征在于所述通光部位是通光孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高功率調(diào)Q脈沖激光器，其特征在于所述通光部位大于一個(gè) 時(shí)，部分為通光孔，而余下的則為開(kāi)設(shè)于機(jī)械調(diào)制盤(pán)(106)外緣上的通光切口。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高功率調(diào)Q脈沖激光器，其特征在于所述通光部位大于一個(gè) 時(shí)，呈圓周等間距或非等間距分布于機(jī)械調(diào)制盤(pán)(106)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4或5所述的高功率調(diào)Q脈沖激光器，其特征在于所述 諧振腔內(nèi)還設(shè)有一對(duì)透射式聚焦鏡(104、105)，該對(duì)透射式聚焦鏡(104、105)于激光光軸 上相對(duì)布置而構(gòu)成望遠(yuǎn)準(zhǔn)直系統(tǒng)，并且前述機(jī)械調(diào)制盤(pán)(106)恰好位于該望遠(yuǎn)準(zhǔn)直系統(tǒng)的 共焦面上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4或5所述的高功率調(diào)Q脈沖激光器，其特征在于所述 諧振腔內(nèi)還設(shè)有一個(gè)透射式聚焦鏡(104)，該透射式聚焦鏡(104)與所述輸出透反鏡(102) 相對(duì)布置而構(gòu)成望遠(yuǎn)準(zhǔn)直系統(tǒng)，并且前述機(jī)械調(diào)制盤(pán)(106)恰好位于該望遠(yuǎn)準(zhǔn)直系統(tǒng)的共 焦面上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4或5所述的高功率調(diào)Q脈沖激光器，其特征在于所述 機(jī)械調(diào)制盤(pán)(106)相對(duì)激光光軸以角度e傾斜放置，所述e為機(jī)械調(diào)制盤(pán)(106)的轉(zhuǎn)軸 與激光光軸的水平方向夾角，其取值為10° 45°。
9.根據(jù)權(quán)利要求2或4所述的高功率調(diào)Q脈沖激光器，其特征在于所述通光切口為錐 形切口。
10.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的高功率調(diào)Q脈沖激光器，其特征在于所述通光孔為錐形孔。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種高功率調(diào)Q脈沖激光器，包括由輸出透反鏡和全反鏡構(gòu)成的諧振腔及置于所述諧振腔內(nèi)的連續(xù)泵浦單元和Nd:YAG激勵(lì)介質(zhì)；其特征在于還包括一位于諧振腔內(nèi)并由高速電機(jī)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)的機(jī)械調(diào)制盤(pán)，所述機(jī)械調(diào)制盤(pán)由遮光材料制成并且其上設(shè)有至少一個(gè)供激光光軸穿過(guò)的通光部位。本發(fā)明能夠提供穩(wěn)定性高、重復(fù)頻率高、峰值功率高、脈沖能量高及脈寬短的脈沖激光輸出，其被應(yīng)用于激光打孔時(shí)可以加工更深厚度的材料，應(yīng)用于激光毛化領(lǐng)域時(shí)可以生產(chǎn)更深的毛化點(diǎn)和表面粗糙度。
文檔編號(hào)H01S3/121GK101872934SQ201010205190
公開(kāi)日2010年10月27日 申請(qǐng)日期2010年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月22日
發(fā)明者孫長(zhǎng)東, 梁?jiǎn)檀? 談賢杰, 陳培鋒 申請(qǐng)人:蘇州市博海激光科技有限公司