專利名稱：半導(dǎo)體器件分揀裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及器件分揀裝置，尤其涉及一種用于可以根據(jù)分揀標準自動分揀諸如 半導(dǎo)體芯片的器件的半導(dǎo)體器件分揀裝置。
背景技術(shù)：
已經(jīng)過封裝工藝的半導(dǎo)體器件(以下將稱作“器件”)經(jīng)受各種測試，諸如電測 試、以及抗熱或抗壓的可靠性測試。這些器件測試中的一個是老化測試，其通過將多個器件插入老化板，將老化板 容置于老化測試裝置中，并且隨后在測試時間內(nèi)對老化板加熱或加壓，來測試器件是否 劣質(zhì)。用于老化測試的分揀裝置表示了一種裝置，其用于將待老化測試的新器件裝載 至(插入)放置器件的老化板的空的空間(槽)，同時基于每一個器件的測試結(jié)果，根據(jù) 應(yīng)用于包括良品和不良品的每一個器件的分揀標準，將器件從裝載老化測試器件的老化 板卸載(分揀)至每一個托盤?；诿啃r分揀的單元的數(shù)量(UPH 單元每小時)估計分揀裝置的性能。并 且，通過在分揀裝置的每一個部件之間傳送器件和老化板所花費的時間確定該UPH。為了提高UPH，需要改進分揀裝置的各個部件的配置和布置。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的一個目的是提供一種通過減少板裝載器和X-Y工作臺之間的老 化板交換時間，能夠顯著提高處理速度的半導(dǎo)體器件分揀裝置。本發(fā)明的另一個目的是提供一種通過由安裝升降機單元而減少板裝載器和X-Y 工作臺之間的老化板交換時間，能夠顯著提高處理速度的半導(dǎo)體器件分揀裝置，升降機 單元用于機架(rack)收回以及在一對其上具有機架(機架上具有老化板)的機架裝載單元 之間與X-Y工作臺交換老化板。本發(fā)明的又一個目的是提供一種通過由安裝老化板交換緩沖單元而減少板裝載 器和X-Y工作臺之間的老化板交換時間，能夠顯著提高處理速度的半導(dǎo)體器件分揀裝 置，老化板交換緩沖單元用于在X-Y工作臺和板裝載器之間交換老化板，并且與水平方 向一起在向上和向下的方向移動老化板交換緩沖單元，從而由裝載在板裝載器中的機架 收回老化板。如在此具體表達和寬泛描述的，為了獲得這些和其它優(yōu)點并根據(jù)本發(fā)明的目 的，提供了一種半導(dǎo)體器件分揀裝置，包括X-Y工件臺，用于裝載具有插入其中的第 二器件的老化板；X-Y工作臺驅(qū)動單元，用于移動X-Y工作臺，從而通過與第二傳送工 具互相配合工作從老化板收回第二器件，將第一器件插入老化板空的部分，并且當?shù)谝?器件和第二器件已經(jīng)完成在老化板上的交換時，將X-Y工作臺移動至老化板交換位置； 板裝載器，用于順序裝載具有插入其中的第二器件的老化板，并且老化板具有插入其中的第一器件，從而將具有插入其中的第一器件的老化板傳送至老化測試單元；以及老化 板交換緩沖單元，用于交換具有插入其中的X-Y工作臺的第一器件的老化板和具有插入 其中的板裝載器的第二器件的老化板。X-Y工作臺可以包括一對老化板裝配單元，分別用于在上部位置和下部位置 裝配老化板；以及老化板上下移動單元，用于沿一對老化板裝配單元之間的向上和向下 方向中的至少一個方向，移動裝配在所述一對老化裝配單元中的一個的老化板，其中， 老化板交換緩沖單元包括一對老化板緩沖單元，其分別用于將老化板裝配在相應(yīng)于X-Y 工作臺的老化板裝配單元的上部位置和下部位置?？梢詫⑵渖暇哂械诙骷睦匣鍙陌逖b載器收回，并經(jīng)設(shè)置在老化板交換緩 沖單元的上側(cè)的老化板緩沖單元，傳送至設(shè)置在X-Y工作臺的上側(cè)的老化板裝配單元， 并且將其上具有第一器件的老化板從設(shè)置在X-Y工作臺的下側(cè)的老化板裝配單元收回， 并經(jīng)設(shè)置在老化板交換緩沖單元的下側(cè)的老化板緩沖單元，傳送至板裝載器。可以通過老化板交換緩沖單元和板裝載器之間的一個或更多個子指狀物 (sub-finger)傳送老化板，并且子指狀物可以配置以在老化板交換緩沖單元和板裝載器之 間、在與其相應(yīng)的多個移動子部分上移動老化板。板裝載器可以包括設(shè)置在X-Y工作臺的Y-軸方向的一對機架裝載單元，用于以 多個堆疊的形式在其上裝載機架，機架在其上具有多個老化板；以及升降機單元，安裝 在兩個機架裝載單元之間，用于從機架裝載單元收回機架并且在向上和向下方向移動機架。板裝載器可以包括相應(yīng)于兩個機架裝載單元的一對機架收回單元，用于收回裝 載在兩個機架裝載單元的每一個上的機架。根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，提供了一種半導(dǎo)體器件分揀裝置，包括裝載單 元，用于裝載其上具有第一器件的托盤；第二傳送工具，用于從老化板收回第二器件； 第一傳送工具，用于將裝載在裝載單元的托盤上的第一器件插入老化板空的部分；卸載 單元，用于通過裝載第二器件到托盤上，由第二傳送工具從老化板卸載第二器件；X-Y 工作臺，用于裝載具有插入其中的第二器件的老化板；X-Y工作臺驅(qū)動單元，用于通過 與第一傳送工具和第二傳送工具互相配合工作，在X和Y方向移動X-Y工作臺，并且用 于當?shù)谝黄骷偷诙骷呀?jīng)完成在老化板上的交換時，將X-Y工作臺移動至老化板交 換位置；板裝載器，具有多個機架裝載單元，用于裝載其上具有多個老化板的機架；以 及老化板交換緩沖單元，安裝在板裝載器和X-Y工作臺之間，從而在板裝載器和X-Y工 作臺之間交換老化板，并且用于從裝載在板裝載器上的機架收回具有插入其中的第二器 件的老化板，并從X-Y工作臺將具有插入的第一器件的老化板插入到裝載在板裝載器上 的機架的空的部分。半導(dǎo)體器件分揀裝置還可以包括交換緩沖驅(qū)動單元，用于驅(qū)動老化板交換緩沖 單元的垂直和水平移動，以使得老化板交換緩沖單元將老化板從裝載在每一個機架裝載 單元上的機架收回。交換緩沖驅(qū)動單元可以包括第一驅(qū)動單元，用于基于裝載在板裝載器上的機架 的上部分和下部分，驅(qū)動老化板交換緩沖單元的上下移動；以及第二驅(qū)動單元，用于基 于布置在板裝載器上的機架的水平方向，驅(qū)動老化板交換緩沖單元的水平移動。
如在此具體表達和寬泛描述的，為了獲得這些和其它優(yōu)點并且根據(jù)本發(fā)明的目 的，還提供了半導(dǎo)體器件分揀裝置的板裝載器模塊，包括老化板交換緩沖單元和交換緩 沖驅(qū)動單元的板裝載器模塊作為一個模塊。根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體器件分揀裝置可以具有以下優(yōu)點。第一，半導(dǎo)體器件分揀裝置設(shè)有老化板交換緩沖單元，用于當在X-Y工作臺上 在老化板上裝載器件或從老化板收回器件時，從板裝載器交換老化板，并且用于在X-Y 工作臺上在老化板上裝載器件或從老化板收回器件完成之后，交換老化板和X-Y工作 臺。這可以使老化板的交換時間縮短，以提高處理速度。第二，半導(dǎo)體器件分揀裝置設(shè)有升降機單元，用于收回機架并且在其上裝載機 架(機架上具有老化板)的一對機架裝載單元之間與X-Y工作臺交換老化板。該升降機 單元可以預(yù)先收回機架，從而縮短了在板裝載器和X-Y工作臺之間的老化板交換時間， 因此顯著提高了半導(dǎo)體器件分揀裝置的處理速度。第三，半導(dǎo)體器件分揀裝置設(shè)有老化板交換緩沖單元，用于在X-Y工作臺和板 裝載器之間交換老化板，并且在向上和向下的方向以及水平方向移動老化板交換緩沖單 元，從而從裝載在板裝載器上的機架收回老化板。這可以使老化板的交換時間縮短，以 提高處理速度。當結(jié)合附圖，由下面的本發(fā)明的詳細描述，本發(fā)明的上述和其它目的、特征、 方面和優(yōu)點將變得更加明顯。


所包括的附圖用于進一步理解本發(fā)明并且結(jié)合入該說明書并組成該說明書的一 部分，附圖例示了本發(fā)明的實施方式，并且連同說明用于解釋本發(fā)明的原理。在圖中圖1是示出了根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體器件分揀裝置的示例的示意圖；圖2是示出了圖1的半導(dǎo)體器件分揀裝置的配置的平面圖；圖3是示出了圖1的半導(dǎo)體器件分揀裝置的第一和第二移動緩沖器的配置的剖面 圖；圖4是示出了圖1的半導(dǎo)體器件分揀裝置的移動X-Y工作臺和老化板的過程的 視圖；圖5是示出了圖1的半導(dǎo)體器件分揀裝置的X-Y工作臺和老化板交換緩沖單元 之間的老化板交換過程的示意圖，其中圖5A是示出了在XY工作臺和老化板交換緩沖單元之間交換老化板之前的第一 狀態(tài)的視圖，以及圖5B是示出了在X-Y工作臺和老化板交換緩沖單元之間交換老化板之后的狀態(tài) 的視圖；圖5C和5D是示出了在X-Y工作臺和老化板交換緩沖單元之間交換老化板的過 程的視圖；圖6是示出了圖1的半導(dǎo)體器件分揀裝置的老化板交換緩沖單元和板裝載器之間 的老化板交換過程的示意圖，其中
圖6A是示出了在老化板交換緩沖單元和板裝載器之間交換老化板之前的狀態(tài)的 視圖，圖6B是示出了向老化板交換緩沖單元和板裝載器之間的板裝載器的機架中引入 老化板的中間狀態(tài)的視圖，圖6C是示出了向老化板交換緩沖單元和板裝載器之間的板裝載器的機架中引入 老化板之后的狀態(tài)的視圖，圖6D是示出了從老化板交換緩沖單元和板裝載器之間的板裝載器的機架收回老 化板的中間狀態(tài)的視圖，圖6E是示出了從老化板交換緩沖單元和板裝載器之間的板裝載器的機架收回老 化板之后的狀態(tài)的視圖；圖7是示出了板裝載器的配置的側(cè)剖面圖；圖8A是示出了圖1的半導(dǎo)體器件分揀裝置的老化板交換緩沖單元和板裝載器的 變型示例的側(cè)剖面圖；以及圖8B是示出了圖8A的板裝載器的側(cè)剖面圖。
具體實施例方式參照附圖，現(xiàn)在給出本發(fā)明的詳細描述。為了參照附圖簡潔描述起見，相同或等同的部件將具有相同的附圖標記，并且 將不再重復(fù)其描述。下面，將參照附圖更詳細地闡述根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體器件分揀裝置(將稱作 “器件分揀裝置”)。如圖1和2所示，根據(jù)本發(fā)明的器件分揀裝置包括，裝載單元100、卸載單元 200、分揀單元300和用于傳送器件10的多個傳送工具510、520、530、540、550和 560。老化板20表示第一器件10裝載于其上以在老化測試裝置(未示出)中經(jīng)受老化 測試的板。而且，老化板20設(shè)有用于在其中插入器件10的槽，從而執(zhí)行針對高溫下的 電特性和信號特性的測試。從裝配在器件分揀裝置的X-Y工作臺410上的老化板20收回已經(jīng)經(jīng)歷老化測試 的第二器件10，并且將第一器件10裝載在老化板20上。將X-Y工作臺410配置為裝載具有插入其中的第二器件10的老化板20，并且卸 載具有插入其中的第一器件10的老化板20。如圖1、2和4所示，X-Y工作臺410包括 老化板交換構(gòu)件(未示出)，其用于接收執(zhí)行器件10的交換的老化板20，或用于釋放具 有已經(jīng)經(jīng)過器件10的交換的老化板20。將X-Y工作臺410配置為通過由X-Y工作臺驅(qū) 動單元(未示出)驅(qū)動來移動老化板，使得可以將第一器件10插入老化板20空的部分或 者可以通過稍后將描述的第一傳送工具530從老化板20收回第二器件10。可以對X-Y工作臺驅(qū)動單元進行各種配置。例如，可以將X-Y工作臺驅(qū)動單 元配置為通過與第二傳送工具540和第一傳送工具530互相配合工作，在X-Y方向或在 X-Y- θ方向移動具有裝載于其上的老化板20的X-Y工作臺410，以使得第二傳送工具 540和第一傳送工具530能夠容易地將器件10從老化板20收回或插入老化板20中。
更具體地，可以將X-Y工作臺驅(qū)動單元配置為移動X-Y工作臺410，以通過與 第二傳送工具540互相配合工作從老化板20收回第二器件10，并且將第一器件10插入老 化板20空的部分。一旦第一器件10已經(jīng)全部插入老化板20，X-Y工作臺驅(qū)動單元可以 將X-Y工作臺移動至老化板交換位置。X-Y工作臺410安裝在根據(jù)本發(fā)明的器件分揀裝置的主體40上。并且，主體 40可以包括具有開口 41的上板42，通過第一傳送工具530和第二傳送工具540，器件10 經(jīng)開口 41從老化板20收回或插入老化板20中。將裝載單元100配置為裝載其上具有待裝載到老化板20的第一器件10的托盤 30 (下文中該托盤30將稱作“裝載托盤”)，并且可以有各種配置。將卸載單元200配置為通過將第二器件10中的優(yōu)良器件(下文中將稱作“良 品”)裝載到托盤30 (下文中該托盤30將稱作“卸載托盤”)上，來執(zhí)行卸載，并可以 有各種配置。如圖2所示，裝載單元100和卸載單元200中的每一個通常配置為包括用于引導(dǎo) 托盤30的移動的一對導(dǎo)軌110、210和用于移動托盤30的驅(qū)動單元(未示出)。裝載單元100和卸載單元200可以根據(jù)設(shè)計條件有各種布置。如圖1和2所 示，裝載單元100和卸載單元200通常布置為相互平行，以使得測試單元170、卸載單元 200、分揀單元300、第一移動緩沖器600、第二移動緩沖器700等等可以安裝在裝載單元 100和卸載單元200之間。然而，本發(fā)明并不限于此。在第一器件10已經(jīng)從裝載單元100的托盤30收回后，可以通過托盤傳送單元 (未示出)將空的托盤30傳送至卸載單元200，以使得第二器件10可以裝載于其上。在此，器件10可以保留在托盤30上。因此，可以進一步安裝用于旋轉(zhuǎn)托盤30 的托盤旋轉(zhuǎn)單元150，從而在托盤30從裝載單元100傳送至卸載單元200之前，去除保留 在托盤30上的器件10。如圖1和2所示，將托盤旋轉(zhuǎn)單元150安裝在裝載單元100和卸載單元200之間 的托盤30的傳送路徑上。并且，將托盤旋轉(zhuǎn)單元150配置為通過托盤傳送單元旋轉(zhuǎn)從裝 載單元100接收的托盤30，并隨后將托盤30傳送至卸載單元200。在托盤旋轉(zhuǎn)單元150的一側(cè)，可以進一步安裝空的托盤單元160，用于將空的托 盤30提供至分揀單元300、卸載單元200等，或用于從裝載單元200臨時裝載空的托盤 30。器件分揀裝置還可以設(shè)有測試單元170，用于在將第一器件10裝載在老化板20 上之前，測試從裝載單元100接收的器件10的諸如DC特性的電特性，以在老化板20上 僅裝載第一優(yōu)良器件10。測試單元170可以安裝在裝載單元100和第一移動緩沖器600之間，并且包括與 第一器件10電連接的多個槽。優(yōu)選地，可以在水平方向安裝與托盤30在水平方向相同 數(shù)量的槽。測試單元170對第一器件10的測試結(jié)果作為用于通過稍后將描述的分揀單元300 進行分揀的數(shù)據(jù)。根據(jù)本發(fā)明的器件分揀裝置可以包括分揀單元300，用于在其上裝載確定為不合 格產(chǎn)品的第一不合格器件10，以及根據(jù)測試單元170的測試結(jié)果被分揀的第二不合格器件10。分揀單元300可以根據(jù)布置和分揀標準具有各種配置，并包括根據(jù)每一個分揀 標準(優(yōu)良，不合格1(接觸不合格)、不合格2 (DC故障)等)在其上裝載器件10的預(yù) 定數(shù)量的托盤30 (分揀托盤)。分揀單元可以具有與前述裝載單元100相似的配置，并且 可以在裝載單元100和卸載單元200之間以固定的狀態(tài)布置在主體40上，如圖1和2所示。分揀單元300可以具有類似于裝載單元100和卸載單元200的配置，而不是如圖 1和2所示的固定安裝的配置。也就是，分揀單元300可以包括一對用于引導(dǎo)托盤30的 移動的導(dǎo)軌和用于移動托盤30的驅(qū)動單元(未示出)。傳送工具配置為在老化板20、裝載單元100、測試單元170、卸載單元200、分 揀單元300、第一移動緩沖器600和第二移動緩沖器700的兩個之間或之中傳送器件10， 并可以根據(jù)各個部件的布置具有各種配置。例如，傳送工具可以包括用于在裝載單元100和測試單元170之間傳送器件10 的第三傳送工具510、用于在測試單元170和第一移動緩沖器600之間傳送器件10的第四 傳送工具520、用于在第二移動緩沖器700和卸載單元200之間傳送器件10的第五傳送工 具550，和用于在第一及第二移動緩沖器600、700和分揀單元300之間傳送器件10的分 揀工具560。傳送工具510、520、530、540、550、560可以配置為包括第一傳送工具530和 第二傳送工具540，第一傳送工具530用于接收裝載在裝載單元100的托盤30上的器件 10并且將所接收的器件10在第一移動緩沖器600和老化板20之間插入老化板20空的部 分，第二傳送工具540用于在老化板20和第二移動緩沖器700之間傳送來自老化板20的
第二器件10。裝載在老化板20上的器件10，與裝載在裝載單元100的托盤30上的器件10布 置的不同，并且裝載在老化板20上的器件10的數(shù)量大于裝載在裝載單元100的托盤30 上的器件10的數(shù)量。因此，將器件10傳送至老化板20或從老化板20收回器件10的第一傳送工具 530和第二傳送工具540，可以優(yōu)選配置為比剩余的傳送工具傳送更多數(shù)量的器件10。例 如，將第一傳送工具530和第二傳送工具540配置為傳送12X 2的器件，而將剩余的傳送 工具配置為傳送8X1，8X2等的器件。在這些配置下，用于傳送較少數(shù)量的器件10的傳送工具可以用在除了需要較多 數(shù)量的器件10的位置之外的、需要數(shù)量較少的器件的位置。這可以減少器件分揀裝置的 制造成本，并可以提高器件分揀裝置的尺寸和穩(wěn)定性?？紤]到器件10交替地裝載在老化板20上并從老化板20上收回，第一傳送工具 530和第二傳送工具540可以配置為整體移動。由于第三傳送工具510和第四傳送工具520在測試單元170設(shè)置于其間的狀態(tài)下 傳送器件10，第三傳送工具510和第四傳送工具520也可以配置為整體移動?？紤]到器件10的效率，第一傳送工具530和第二傳送工具540在水平方向的拾 取器的數(shù)量可以等于水平方向的器件容納槽(未示出)的數(shù)量，器件容納槽用于在第一移 動緩沖器600和第二移動緩沖器700中在其上裝載器件10。
分揀工具560可以有各種配置。例如，分揀工具560可以配置為數(shù)量上為一個 或多個?；蛘?，分揀工具560可以包括至少一個第二分揀工具520，第二分揀工具520用 于在第一移動緩沖器600和分揀單元300之間傳送器件10，并且在第二移動緩沖器700和 分揀單元300之間傳送器件10。每一個傳送工具可以包括一個或更多個在其端部具有用于通過真空壓力吸取器 件10的吸頭的拾取器，和用于在X-Z方向、Y-Z方向或X-Y-Z方向傳送拾取器的拾取 器傳送器件。特別地，傳送工具的拾取器可以布置為一條線或諸如12X2的多條線。為了快速地從裝載單元100將第一器件10裝載到老化板20上，或從老化板20 將第二器件10收回至卸載單元200，根據(jù)本發(fā)明的器件分揀裝置可以包括第一移動緩沖 器600和第二移動緩沖器700，第一移動緩沖器600安裝在裝載單元100和老化板20之間 并且配置為臨時在其上裝載并傳送第一器件10，第二移動緩沖器700安裝在老化板20和 卸載單元200之間并配置為臨時在其上裝載并傳送第二器件20。第一移動緩沖器600和第二移動緩沖器700可移動地安裝在主體40上，并使得 通過移動用于與老化板20交換器件10的器件交換位置③、用于與裝載單元100或卸載單 元200交換器件10的器件交換位置①、和用于與分揀單元300交換器件10的分揀位置 ②，能夠連續(xù)并順暢地執(zhí)行器件10的交換。因此，第一移動緩沖器600和第二移動緩沖 器700可以顯著地提高分揀速度。第一移動緩沖器600配置為，移動至用于通過第二傳送工具540裝載從測試單元 170接收的第一器件10的裝載位置(器件交換位置)①，用于通過分揀工具560將不合格 器件10傳送至分揀單元300的分揀托盤30的分揀位置②，和用于通過稍后將描述的第三 傳送工具510將剩余的第一器件裝載到X-Y工作臺410的老化板20的裝載位置(器件交 換位置)③。如圖3所示，第一移動緩沖器600包括用于在其上裝載器件10的器件容納單元 610、用于在主體40上可移動地支撐器件容納單元610的引導(dǎo)構(gòu)件620、和用于通過引導(dǎo) 構(gòu)件620移動器件容納單元610的移動器件(未示出)。為了在裝載位置③裝載更多數(shù)量的器件10，器件容納單元610水平方向的器件 容納槽的數(shù)量優(yōu)選大于托盤30水平方向的器件容納槽的數(shù)量。在此，用于在其上裝載器件10的器件容納單元610可以配置為直接在其上裝載 器件10，并且根據(jù)被分揀的器件10的類型可以具有不同的尺寸。因此，器件容納單元 610可以包括具有器件容納槽的附加容納構(gòu)件610a。如圖1和2所示，第一移動緩沖器600優(yōu)選在數(shù)量上以三個形成，從而在每個位 置(①，②，③)同時執(zhí)行每個過程。在此，引導(dǎo)構(gòu)件620配置為在移動時不與其它引 導(dǎo)構(gòu)件620相干擾。更具體地，如圖3所示，第一移動緩沖器600可以包括，通過由第一引導(dǎo)構(gòu)件 621支撐而水平移動的第一器件容納單元611、通過由第二引導(dǎo)構(gòu)件622支撐而水平移動 的第二器件容納單元612、和通過由第三引導(dǎo)構(gòu)件623支撐而水平移動的第三器件容納單 元 613。第一至第三引導(dǎo)構(gòu)件621、622和623配置為引導(dǎo)器件容納單元611、612和613的水平移動，并且可以具有各種配置。如圖4所示，第一引導(dǎo)構(gòu)件621可以安裝在主體 40的支撐構(gòu)件640的上端，第二引導(dǎo)構(gòu)件622可以安裝在支撐構(gòu)件640的中端，并且第三 引導(dǎo)構(gòu)件623可以安裝在主體40的上板42或支撐構(gòu)件640的下端。在此，第一至第三 引導(dǎo)構(gòu)件621、622和623可以成對地形成，從而穩(wěn)定地支撐器件容納單元610。用于水平移動第一至第三引導(dǎo)構(gòu)件621、622和623的移動器件630可以根據(jù)驅(qū) 動方法具有各種配置。移動器件630可以包括用于分別水平移動第一至第三引導(dǎo)構(gòu)件 621、622和623的第一至第三移動器件631、632和633。在此，第一至第三移動器件 631、632和633可以通過用于產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)力的電機以及與第一至第三引導(dǎo)構(gòu)件621、622和 623連接的皮帶實現(xiàn)。特別地，第一至第三移動器件631、632和633可以通過結(jié)合同步 皮帶和滑輪實現(xiàn)。下面，將更加詳細地說明第一移動緩沖器600的操作。一旦第一移動緩沖器600設(shè)置在裝載位置①，執(zhí)行裝載過程，也就是第一器件 10從測試單元170裝載至器件容納單元610。在此，裝載至器件容納單元610的第一器 件10可以包括至少一個由測試單元170確定為不合格產(chǎn)品的第一不合格器件10。這需要 第一器件10的分揀。因此，第一移動緩沖器600移動至分揀位置②，從而在器件10已經(jīng)在裝載位置 ①裝載之后，分揀第一不合格器件10。一旦第一移動緩沖器600設(shè)置在分揀位置②，執(zhí)行第一分揀過程，也就是通過 傳送工具將第一不合格器件10從器件容納單元610傳送至分揀單元300。在此，根據(jù)不 良標準將每一個不合格器件10裝載至分揀單元300的托盤30上。在分揀位置②，在第一不合格器件10已經(jīng)被去除的器件容納單元610的位置， 插入按測試單元170的測試結(jié)果確定為良品的優(yōu)良器件(下文中將稱作“第一優(yōu)良器 件” 10)，第一優(yōu)良器件10已經(jīng)被裝載在第一固定緩沖器341上(緩沖過程)。第一固定緩沖器341安裝在主體40上，并設(shè)有預(yù)先裝載于其上的第一優(yōu)良器件 10。如果使第一固定緩沖器341在初始時間或在操作時是空的，則第一優(yōu)良器件10可以 裝載在設(shè)置于分揀位置②的第一移動緩沖器600的器件容納單元610上。一旦第一分揀過程已經(jīng)完成，第一移動緩沖器600從分揀位置②移動至裝載位 置③。那么，裝載在第一移動緩沖器600上的第一優(yōu)良器件10通過傳送工具裝載至老化 板20?！┦沟谝灰苿泳彌_器600的器件容納單元610完全是空的，第一移動緩沖器 600從裝載位置③移動至裝載位置①，從而在其上裝載第一器件10。因此，再次執(zhí)行裝 載過程。第二移動緩沖器700與第一移動緩沖器600具有相似的配置。更具體地，第二 移動緩沖器700配置為，反復(fù)移動至用于通過第二傳送工具540裝載從老化板20接收的 第二器件10的裝載位置(器件交換位置)③、用于通過傳送工具將第二不合格器件10傳 送至分揀單元300的托盤30 (分揀托盤)的分揀位置②、和用于通過第五傳送工具550將 剩余的第二器件10裝載到托盤30 (卸載托盤)上的卸載位置(器件交換位置)①。第二移動緩沖器700具有與第一移動緩沖器600相似的配置。更具體地，如圖 3所示，第二移動緩沖器700包括用于在其上裝載器件10的器件容納單元710、用于在主體40上可移動地支撐器件容納單元710的引導(dǎo)構(gòu)件720、和用于通過弓I導(dǎo)構(gòu)件720水平移 動器件容納單元710的移動器件730。為了在裝載位置③裝載更多數(shù)量的器件10，器件容納單元710在水平方向的器 件容納槽的數(shù)量優(yōu)選大于托盤30在水平方向的器件容納槽的數(shù)量。在此，用于在其上裝載器件10的器件容納單元710可以配置為直接在其上裝載 器件10，并且根據(jù)被分揀的器件10的類型可以具有不同的尺寸。因此，器件容納單元 710可以包括具有器件容納槽的附加容納構(gòu)件610a。如圖1和2所示，第二移動緩沖器700在數(shù)量上優(yōu)選以三個形成，從而在每個位 置(①，②，③)執(zhí)行每個過程。在此，引導(dǎo)構(gòu)件720配置為在移動時不與其它引導(dǎo)構(gòu) 件720相干擾。更具體地，如圖3所示，第二移動緩沖器700可以包括，通過由第一引導(dǎo)構(gòu)件 721支撐而水平移動的第一器件容納單元711、通過由第二引導(dǎo)構(gòu)件722支撐而水平移動 的第二器件容納單元712、和通過由第三引導(dǎo)構(gòu)件723支撐而水平移動的第三器件容納單 元 713。第一至第三引導(dǎo)構(gòu)件721、722和723配置為引導(dǎo)緩沖器711、712和713的水平 移動，并可以具有各種配置。如圖4所示，第一引導(dǎo)構(gòu)件721可以安裝在主體40的支撐 構(gòu)件740的上端，第二引導(dǎo)構(gòu)件722可以安裝在支撐構(gòu)件740的中端，并且第三引導(dǎo)構(gòu)件 723可以安裝在主體40的上板42或支撐構(gòu)件740的下端。在此，第一至第三引導(dǎo)構(gòu)件 721、722和723可以成對地形成，從而穩(wěn)定地支撐器件容納單元720。用于水平移動第一至第三引導(dǎo)構(gòu)件721、722和723的移動器件730可以根據(jù)驅(qū) 動方法具有各種配置。移動器件730可以包括用于分別水平移動第一至第三引導(dǎo)構(gòu)件 721、722和723的第一至第三移動器件731、732和733。在此，第一至第三移動器件 731、732和733可以通過用于產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)力的電機以及與第一至第三引導(dǎo)構(gòu)件721、722和 723連接的皮帶實現(xiàn)。特別地，第一至第三移動器件731、732和733可以通過結(jié)合同步 皮帶和滑輪實現(xiàn)。第二移動緩沖器700的操作方式類似于第一移動緩沖器600。更具體地，第二 移動緩沖器700配置為，在裝載位置③執(zhí)行將第二器件10從老化板20裝載至器件容納單 元710的裝載過程，在分揀位置②執(zhí)行將第二不合格器件10傳送至分揀單元300的第二 分揀過程，并且在卸載位置①執(zhí)行將剩余的第二器件10傳送至卸載單元200的托盤30的 卸載過程。在裝載過程期間，與裝載在第一移動緩沖器600上的器件10同樣數(shù)量的器件， 例如以12X2布置的器件，在同一時間傳送。在第二分揀過程期間，通過傳送工具將第二不合格器件10從器件容納單元710 傳送至分揀單元300。在此，根據(jù)不良標準將每一個第二不合格器件10裝載至分揀單元 300的托盤30上。在分揀位置②，在第二不合格器件10已經(jīng)被去除的器件容納單元710的位置， 插入已經(jīng)被裝載在第二固定緩沖器342上的第二優(yōu)良器件10(緩沖過程)。第二固定緩沖器342安裝在主體40上，并設(shè)有預(yù)先裝載在其上的第二優(yōu)良器件 10。如果使第二固定緩沖器342在初始時間或在操作時是空的，則第二優(yōu)良器件10可以裝載在設(shè)置于分揀位置②的第二移動緩沖器700的器件容納單元710上。一旦第一器件10和第二器件10的交換已經(jīng)在X-Y工作臺410的老化板20上完 成，X-Y工作臺410與板裝載器800交換在其上具有第二器件10的新的老化板20。當在X-Y工作臺410和板裝載器800之間交換老化板20時，停止第一器件10 的裝載和第二器件10的卸載。這會引起器件10的裝載和卸載被老化板的交換時間(持 續(xù)期間)延遲。如果老化板20的交換時間減少，可以提高器件分揀裝置所謂“UPH”的處理速 度。為此，根據(jù)本發(fā)明的器件分揀裝置還包括老化板交換緩沖單元420，用于以交替的方 式臨時存儲其上具有第一器件10的老化板20和其上具有第二器件10的老化板20，并且 用于交換在X-Y工作臺410上的具有插入其中的第一器件10的老化板20和具有插入其 中的第二器件10的并選自其上具有多個老化板20的板裝載器800的老化板20。老化板交換緩沖單元420配置為，通過安裝在板裝載器800和X_Y工作臺410之 間使老化板20可以交換。在此，老化板交換緩沖單元420可以根據(jù)設(shè)計進行各種配置。根據(jù)器件分揀裝置的配置，老化板交換緩沖單元420可以安裝在主體40的移動 區(qū)域(特別是X-Y工作臺410)中最外端的一側(cè)，或在板裝載器800的內(nèi)側(cè)。為了縮短老化板20的交換時間，優(yōu)選X-Y工作臺410和老化板交換緩沖單元 420同時交換其上具有第一器件10的老化板20和其上具有第二器件10的老化板20。為了同時交換老化板20，X-Y工作臺410可以包括分別用于將老化板20裝配在 上部位置和下部位置的一對老化板裝配單元411，以及老化板上下移動單元412，用于在 兩個老化板裝配單元411之間沿向上和向下方向中的至少一個方向，移動裝配在一對老 化板裝配單元411之一中的老化板20。在此，老化板交換緩沖單元420可以包括一對老化板緩沖單元421，分別用于將 老化板20裝配在相應(yīng)于X-Y工作臺410的老化板裝配單元411的上部位置和下部位置。老化板緩沖單元421可以具有任何配置，以在其上裝載老化板20。優(yōu)選地，老 化板緩沖單元421配置為不與稍后將說明的第一指狀物單元441、第二指狀物單元442等 的移動相干擾。如圖5Α至5D所示，通過第一和第二指狀物單元441和442在X-Y工作臺410 和老化板交換緩沖單元420之間傳送老化板20。在此，第一和第二指狀物單元441和442 的配置和安裝位置可根據(jù)設(shè)計而變化。X-Y工作臺410和老化板交換緩沖單元420之間的老化板20的交換過程可以根 據(jù)每一種配置以各種方式執(zhí)行。參照附圖將更詳細地說明交換過程的一個示例。如圖5Α和5Β所示，Χ_Υ工作臺410起初從老化板交換緩沖單元420接收其上具 有第二器件10的老化板20。在此，在老化板20布置在上部位置和下部位置的情況下， X-Y工作臺410可以從上側(cè)或下側(cè)接收來自老化板交換緩沖單元420的老化板20。優(yōu)選 地，如圖6D和6Ε所示，X-Y工作臺410自上側(cè)接收來自老化板交換緩沖單元420的老 化板20。在X-Y方向驅(qū)動已接收其上具有第二器件10的老化板20的X-Y工作臺410， 以使得通過開口 41可以執(zhí)行第二器件10的卸載和第一器件10的裝載。當X-Y工作臺410為了第二器件10的卸載和第一器件10的裝載而移動時，向老化板交換緩沖單元420提供來自板裝載器800的其上具有第二器件10的老化板20。一旦完成第二器件10的卸載和第一器件10的裝載，如圖5C所示，其上具有第 一器件10的老化板20移動至老化板交換緩沖單元420，以使得可以提供另一個其上具有 第二器件10的老化板20。如圖5C所示，當X-Y工作臺410朝老化板交換緩沖單元420移動，X_Y工作 臺410上的老化板20通過老化板上下移動單元412向下移動，從而通過老化板交換緩沖 單元420與老化板20交換。如圖5D所示，向已經(jīng)移動至老化板交換緩沖單元420的Χ_Υ工作臺410提供設(shè) 置在老化板交換緩沖單元420上面的老化板20。在此，設(shè)置在X-Y工作臺410下面的老 化板20移動至設(shè)置在老化板交換緩沖單元420上面的老化板緩沖單元421。優(yōu)選地，同時執(zhí)行X-Y工作臺410和老化板交換緩沖單元420之間的老化板20 的交換，從而縮短交換時間。如圖1和2所示，根據(jù)本發(fā)明的器件分揀裝置包括板裝載器800，安裝在其一側(cè) 并配置為連續(xù)設(shè)有老化板20。板裝載器800配置為，以堆疊的方式裝載具有插入其中的第二器件20的老化板 20，并且順序地在其上裝載老化板20，老化板20具有插入其中的第一器件10，從而將老 化板20傳送至老化測試單元。也就是，板裝載器800配置為連續(xù)與X-Y工作臺410交 換老化板20，并且可以具有各種配置。一旦第一器件10已經(jīng)裝載在一個機架50的所有老化板20上，其上完全裝載有 第一器件10的機架50與具有裝載第二器件10的老化板20的另一個機架50交換。在 此，X-Y工作臺410必須在板裝載器800上等待，直至在機架50已經(jīng)相互交換后向其提 供新的老化板20。這會降低器件分揀裝置的處理速度。因此，如圖7所示，器件分揀裝置的板裝載器800可以包括一對設(shè)置在X-Y 工作臺410的Y-軸方向的機架裝載單元810，用于以多個堆疊的形式在其上裝載機架， 機架在其上具有多個老化板；以及安裝在兩個機架裝載單元810之間的升降機單元820， 用于從機架裝載單元810收回機架50并且在向上和向下的方向移動機架50，而不影響老 化板上器件的裝載和卸載。機架裝載單元810可以具有任何配置，以在其上裝載機架50。優(yōu)選地，機架裝載單元810配置為一對，并且安裝在升降機單元820的兩側(cè)。在設(shè)置有X-Y工作臺410和老化板交換緩沖單元420的情況下，升降機單元820 配置為通過從機架裝載單元810收回機架50并且通過上下移動收回的機架50，與老化板 交換緩沖單元420交換老化板20。板裝載器800包括相應(yīng)于兩個機架裝載單元810的一對機架收回單元830，并且 配置為收回裝載在每一個機架裝載單元810上的機架50。機架收回單元830配置為從機架裝載單元810將機架50收回至升降機單元820 的支撐單元821，或配置為從升降機單元820將機架50裝載到機架裝載單元810上。老化板交換緩沖單元420和板裝載器800之間的老化板20的交換可以根據(jù)每一 種配置以各種方式執(zhí)行。參照附圖將更詳細地說明交換過程的一個示例。如圖6C和6D所示，老化板交換緩沖單元420起初從板裝載器800接收其上具有第二器件10的老化板20。在此，在老化板20布置在向上和向下的方向的情況下，X-Y 工作臺410可以從上側(cè)或下側(cè)接收來自板裝載器800的老化板20。優(yōu)選地，考慮X-Y工 作臺410和老化板交換緩沖單元420之間的老化板的交換，X-Y工作臺410從上側(cè)接收 老化板20。也就是，其上具有第二器件10的老化板20從板裝載器800收回，并且經(jīng)設(shè)置在 老化板交換緩沖單元420上面的老化板緩沖單元421，傳送至老化板裝配單元411。并 且，經(jīng)設(shè)置在X-Y工作臺410下面的老化板裝配單元411，將其上具有第一器件10的老 化板20傳送至板裝載器800。在與X-Y工作臺410完全交換老化板20之后，老化板交換緩沖單元420通過如 圖6A和6B所示的過程與板裝載器800交換老化板20。老化板交換緩沖單元420將從X-Y工作臺410接收的老化板20，特別是裝配在 老化板緩沖單元421的下側(cè)的老化板20，提供至板裝載器800的機架50的空的部分。優(yōu) 選地，機架50通過升降機單元820上下移動，以向其提供老化板20或從其收回老化板 20。為了順暢地交換老化板20，最上面的機架50和最下面的機架50中的至少一個不設(shè) 有老化板20。老化板交換緩沖單元420從機架50收回其上具有第二器件10的新的老化板20。 在此，老化板20從機架50收回，從而被安裝至老化板交換緩沖單元420，特別是設(shè)置在 上側(cè)的老化板緩沖單元421。如圖6A至6D所示，通過由老化板交換緩沖單元420和板裝載器800之間的一 個或更多個子指狀物443和444傳送老化板20，執(zhí)行老化板交換緩沖單元420和板裝載器 800之間的老化板20的交換。在此，子指狀物443和444可以配置為在老化板交換緩沖單元420和板裝載器 800之間的移動部分中與其相應(yīng)的多個移動子部分上傳送老化板20。如圖8A和8B所示，根據(jù)本發(fā)明的器件分揀裝置可以配置為只包括用于在其上 裝載機架50的機架裝載單元810，而不包括用于上下移動機架50的升降機單元820。并 且，根據(jù)本發(fā)明的器件分揀裝置可以配置為在上、下、右和左方向移動老化板交換緩沖 單元420，以使得可以從裝載在每個機架裝載單元810上的機架50收回老化板20。如圖8B所示，板裝載器800可以包括機架裝載部分810，分別用于裝載機架 50，也就是，在優(yōu)選實施例中的九個機架裝載部分810。如圖8A和8B所示，根據(jù)本發(fā)明的器件分揀裝置還可以包括用于老化板交換緩 沖單元420的水平和垂直移動的交換緩沖驅(qū)動單元430。可以以各種方式配置交換緩沖驅(qū)動單元430，以在上、下、右和左方向，也就是 在水平和垂直方向驅(qū)動老化板交換緩沖單元420，使得可以從裝載在每一個機架裝載部分 810上的機架50收回老化板20。交換緩沖驅(qū)動單元430可以包括第一驅(qū)動單元431和第二驅(qū)動單元432，第一驅(qū) 動單元431用于基于裝載在板裝載器800上的機架50的上部和下部驅(qū)動老化板交換緩沖 單元420的上下移動，第二驅(qū)動單元432用于基于布置在板裝載器800上的機架50的垂 直方向，驅(qū)動老化板交換緩沖單元420的水平移動。如圖8A和8B所示，第一和第二驅(qū)動單元431、432可以設(shè)有螺旋千斤頂、線性移動裝置等，從而通過支撐老化板交換緩沖單元420移動老化板交換緩沖單元420。在根據(jù)本發(fā)明的器件分揀裝置中，在機架50固定的狀態(tài)下，通過在上、下、右 和左方向移動老化板交換緩沖單元420，收回老化板20。這可以減少老化板20的收回時 間，從而大大提高器件分揀裝置的處理速度。而且，在老化板交換緩沖單元420在上、下、右和左方向移動的配置下，板裝 載器800不需要具有升降機單元。這可以使板裝載器800具有簡化的配置。同樣，增加 裝載在板裝載器800上的機架50的數(shù)量，以延長機架50的交換周期，從而提高操作效率。老化板交換緩沖單元420和交換緩沖驅(qū)動單元430可以與板裝載器800 —起配置 為一個板裝載器模塊。前述實施例和優(yōu)點只是示例性的并不理解為限制本公開。當前教導(dǎo)可以容易地 應(yīng)用于其它類型的裝置。該描述旨在說明而不是限制權(quán)利要求的范圍。很多替代、修改 和變型對于本領(lǐng)域技術(shù)人員是顯而易見的?？梢砸愿鞣N方式結(jié)合在此描述的示例性實施 例的特征、結(jié)構(gòu)、方法和其它特性，以獲得附加的和/或替代性的示例性實施例。由于當前特征可以以幾種形式具體實現(xiàn)而不悖離其特性，應(yīng)理解的是除非另外 說明，上面描述的實施例不受前述描述的任何細節(jié)限制，而應(yīng)該寬泛理解為在如所附權(quán) 利要求限定的其范圍之內(nèi)，因此落入權(quán)利要求的邊界和界限、或這些邊界和界限的等同 物之內(nèi)的所有變化和修改由所附權(quán)利要求囊括。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體器件分揀裝置，包括X-Y工件臺，用于裝載具有插入其中的第二器件的老化板；X-Y工作臺驅(qū)動單元，用于移動所述X-Y工作臺，以通過與第二傳送工具互相配合 工作從所述老化板收回第二器件，將第一器件插入所述老化板空的部分，并且當?shù)谝黄?件和第二器件已經(jīng)完成在所述老化板上的交換時，將所述X-Y工作臺移動至老化板交換 位置；板裝載器，用于順序裝載具有插入其中的第二器件的老化板，以及具有插入其中的 第一器件的老化板，從而將具有插入其中的第一器件的老化板傳送至老化測試單元；以 及老化板交換緩沖單元，用于交換具有插入其中的所述X-Y工作臺的第一器件的老化 板和具有插入其中的所述板裝載器的第二器件的老化板。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述X-Y工作臺包括一對老化板裝配單元，分別用于在上部位置和下部位置裝配老化板；以及老化板上下移動單元，用于在所述一對老化板裝配單元之間沿向上和向下方向中的 至少一個方向移動裝配在所述一對老化板裝配單元之一中的老化板，其中，所述老化板交換緩沖單元包括一對老化板緩沖單元，分別用于將老化板裝配 在相應(yīng)于所述X-Y工作臺的所述老化板裝配單元的上部位置和下部位置。
3.如權(quán)利要求1或2所述的裝置，其中，將其上具有第二器件的所述老化板從所述板 裝載器收回，并經(jīng)設(shè)置在所述老化板交換緩沖單元的上側(cè)的所述老化板緩沖單元，傳送 至設(shè)置在所述X-Y工作臺的上側(cè)的所述老化板裝配單元，并且將其上具有第一器件的所述老化板從設(shè)置在所述X-Y工作臺的下側(cè)的所述老化板裝 配單元收回，并且經(jīng)設(shè)置在所述老化板交換緩沖單元的下側(cè)的所述老化板緩沖單元，傳 送至所述板裝載器。
4.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，通過所述老化板交換緩沖單元和所述板裝載器之 間的一個或更多個子指狀物傳送老化板，并且配置所述子指狀物，以在所述老化板交換緩沖單元和所述板裝載器之間與其相應(yīng)的 多個移動子部分上移動老化板。
5.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述板裝載器包括一對機架裝載單元，設(shè)置在所述X-Y工作臺的Y-軸方向，用于以多個堆疊的形式在 其上裝載機架，所述機架在其上具有多個老化板；以及升降機單元，安裝在兩個機架裝載單元之間，用于從所述機架裝載單元收回所述機 架，并且在向上和向下方向移動所述機架。
6.如權(quán)利要求5所述的裝置，其中，所述板裝載器包括相應(yīng)于所述兩個機架裝載單元 的一對機架收回單元，用于收回裝載在所述兩個機架裝載單元的每一個上的所述機架。
7.—種半導(dǎo)體器件分揀裝置，包括裝載單元，用于裝載其上具有第一器件的托盤；第二傳送工具，用于從老化板收回第二器件；第一傳送工具，用于將裝載在所述裝載單元的所述托盤上的所述第一器件插入所述 老化板空的部分；卸載單元，用于通過在托盤上裝載所述第二器件，由所述第二傳送工具卸載從所述 老化板收回的所述第二器件；X-Y工作臺，用于裝載具有插入其中的第二器件的老化板；X-Y工作臺驅(qū)動單元，用于通過與所述第一和所述第二傳送工具互相配合工作在X 和Y方向移動所述X-Y工作臺，并且用于當?shù)谝黄骷偷诙骷呀?jīng)完成在所述老化板 上的交換時，將所述X-Y工作臺移動至老化板交換位置；板裝載器，具有多個機架裝載單元，用于裝載其上具有多個老化板的機架；以及老化板交換緩沖單元，安裝在所述板裝載器和所述X-Y工作臺之間以在所述板裝載 器和所述X-Y工作臺之間交換老化板，用于從裝載在所述板裝載器上的所述機架收回具 有插入其中的第二器件的老化板，并且從所述X-Y工作臺將具有被插入的第一器件的老 化板插入裝載在所述板裝載器上的所述機架的空的部分。
8.如權(quán)利要求7所述的裝置，還包括交換緩沖驅(qū)動單元，用于驅(qū)動所述老化板交換緩 沖單元的垂直和水平移動，以使得所述老化板交換緩沖單元從裝載在每一個所述機架裝 載單元上的所述機架收回老化板。
9.如權(quán)利要求8所述的裝置，其中，所述交換緩沖驅(qū)動單元包括第一驅(qū)動單元，用于基于裝載在所述板裝載器上的所述機架的上部和下部部分，驅(qū) 動所述老化板交換緩沖單元的上下移動；以及第二驅(qū)動單元，用于基于布置在所述板裝載器上的所述機架的水平方向，驅(qū)動所述 老化板交換緩沖單元的水平移動。
10.如權(quán)利要求7-9中任一項所述的半導(dǎo)體器件分揀裝置的板裝載模塊，包括所述老 化板交換緩沖單元和所述交換緩沖驅(qū)動單元的所述板裝載模塊作為一個模塊。
全文摘要
公開了一種半導(dǎo)體器件分揀裝置，包括X-Y工件臺，用于裝載具有插入其中的第二器件的老化板；X-Y工作臺驅(qū)動單元，用于移動X-Y工作臺，以通過與第二傳送工具互相配合工作從老化板收回第二器件，將第一器件插入老化板空的部分，并且當?shù)谝黄骷偷诙骷呀?jīng)完成在老化板上的交換時，將X-Y工作臺移動至老化板交換位置；板裝載器，用于順序裝載具有插入其中的第二器件的老化板，并且老化板具有插入其中的第一器件，從而將具有插入其中的第一器件的老化板傳送至老化測試單元；以及老化板交換緩沖單元，用于交換具有插入其中的X-Y工作臺的第一器件的老化板和具有插入其中的板裝載器的第二器件的老化板。
文檔編號H01L21/00GK102013390SQ20101027529
公開日2011年4月13日 申請日期2010年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月3日
發(fā)明者尹蕓重, 柳弘俊 申請人:宰體有限公司