專(zhuān)利名稱(chēng)：激光選擇性燒結(jié)柔性太陽(yáng)電池光陽(yáng)極的方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于太陽(yáng)電池技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及到一種激光選擇性燒結(jié)柔性太陽(yáng)電池 光陽(yáng)極的方法及裝置，主要用于激光選擇性燒結(jié)塑料基板柔性染料敏化太陽(yáng)電池的納米 顆粒膜。
背景技術(shù)：
柔性染料敏化太陽(yáng)電池主要技術(shù)在于將高性能的染料與高比表面積的納米晶薄 膜有機(jī)地結(jié)合，納米晶薄膜的多孔性使得它的總表面積遠(yuǎn)大于其幾何面積，可以吸附大 量的染料，從而可有效吸收太陽(yáng)光，并轉(zhuǎn)換成電能。柔性染料敏化太陽(yáng)電池的結(jié)構(gòu)如圖1 所示，是由柔性塑料基板1、氧化物導(dǎo)電薄膜2、電解質(zhì)3、染料4和納米半導(dǎo)體多孔膜6 構(gòu)成，其中，納米半導(dǎo)體多孔膜6由納米半導(dǎo)體顆粒5物理點(diǎn)接觸而成(見(jiàn)圖2所示)。由 于使用透明導(dǎo)電柔性塑料基板，不但大大減輕了電池重量，也降低了電池的制作成本， 其簡(jiǎn)單的制作工藝和極其低廉的成本(預(yù)計(jì)只有晶體硅太陽(yáng)電池成本的1/10到1/5)和接 近產(chǎn)業(yè)化的效率而成為目前研究的熱點(diǎn)。而且因其可彎曲變形，便于電池的卷軸式連續(xù) 制造工藝，大大拓展了柔性染料敏化太陽(yáng)電池的應(yīng)用范圍，增加了新用途。特別是現(xiàn)代 社會(huì)對(duì)便攜式電子設(shè)備需求急劇增多，如可穿戴電子產(chǎn)品、電子紙、靈敏標(biāo)簽、筆記本 電腦和手機(jī)等，也需要這種可變形、體積小和重量輕的柔性太陽(yáng)電池來(lái)補(bǔ)充電能。在柔性染料敏化太陽(yáng)電池的制備中，由柔性塑料基板1、導(dǎo)電薄膜2和納米半導(dǎo) 體多孔膜6構(gòu)成光陽(yáng)極10的制備是柔性染料敏化太陽(yáng)電池的關(guān)鍵步驟，要求沉積在導(dǎo)電 塑料基板(包括柔性塑料基板1和導(dǎo)電薄膜2)上的納米半導(dǎo)體多孔膜6 (厚度約1-30 μ m) 必須在450-550°C左右進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)熱處理，去除納米半導(dǎo)體薄膜中的殘余有機(jī)物并使納 米半導(dǎo)體顆粒5之間以及納米半導(dǎo)體顆粒5與導(dǎo)電薄膜2之間由物理點(diǎn)接觸7 (見(jiàn)圖3所 示)轉(zhuǎn)變成頸型化學(xué)連接8 (見(jiàn)圖4所示)，獲得與導(dǎo)電膜之間的良好附著力，減小電子在 納米半導(dǎo)體顆粒之間的傳輸以及由半導(dǎo)體顆粒膜向?qū)щ娔鬏數(shù)淖枇?，改善納米半導(dǎo)體 顆粒5之間以及納米半導(dǎo)體顆粒5與導(dǎo)電薄膜2之間的電學(xué)連續(xù)性、從而提高電子在半導(dǎo) 體導(dǎo)帶中的擴(kuò)散系數(shù)和電子收集效率，從而改善染料敏化太陽(yáng)電池的光電轉(zhuǎn)換效率。用于制備柔性染料敏化太陽(yáng)電池的塑料基板1通常是透明材料。目前常用的主 要有聚酯(PET和PEN)，它們的熱穩(wěn)定最高溫度約為150°C，無(wú)法滿足納米薄膜450°C以 上高溫?zé)Y(jié)熱處理的要求。因而目前制備透明導(dǎo)電柔性塑料基板的光陽(yáng)極10的方法只能 在低溫條件下進(jìn)行。常用的制備方法有加壓法、水熱法、低溫?zé)Y(jié)法、紫外光(UV) 輻照法、化學(xué)氣相沉積(CVD)處理和微波加熱法等方法。以上這些方法雖然可以使柔性 染料敏化太陽(yáng)電池的電子在半導(dǎo)體納米材料顆粒之間的擴(kuò)散過(guò)程和染料敏化太陽(yáng)電池的 效率得到一定的改善，但仍然未達(dá)到納米半導(dǎo)體顆粒5之間以及納米半導(dǎo)體顆粒5與導(dǎo)電 薄膜2之間形成頸型化學(xué)連接的理想效果，而且還存在著工藝較復(fù)雜，加熱時(shí)間長(zhǎng)使生 產(chǎn)效率低，難以大規(guī)模生產(chǎn)等問(wèn)題。因此，研究如何能使納米半導(dǎo)體多孔膜6在450°C以上進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)熱處理的同時(shí)又不破壞支撐半導(dǎo)體多孔膜6的柔性塑料基板1是柔性染料敏化太陽(yáng)電池制備、發(fā)展和 應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)之一。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種激光選擇性燒結(jié)制備塑料基板柔性染料 敏化太陽(yáng)電池光陽(yáng)極的方法，該方法可對(duì)柔性染料敏化太陽(yáng)電池的半導(dǎo)體多孔膜進(jìn)行高 溫?zé)Y(jié)熱處理而不會(huì)對(duì)光陽(yáng)極的柔性塑料基板造成任何損傷；本發(fā)明還提供了實(shí)現(xiàn)該方 法的裝置。本發(fā)明提供的一種激光選擇性燒結(jié)制備柔性太陽(yáng)電池光陽(yáng)極的方法，其特征在 于，該方法采用波長(zhǎng)為355nm 3.4 μ m的激光束作用于納米半導(dǎo)體顆粒多孔膜，使納米 半導(dǎo)體顆粒多孔膜中的納米半導(dǎo)體顆粒之間以及納米半導(dǎo)體顆粒與導(dǎo)電膜之間由物理點(diǎn) 接觸轉(zhuǎn)化為頸型化學(xué)連接；激光的功率密度為1-100瓦/cm2，掃描速度為l-900mm/S。實(shí)現(xiàn)上述方法的裝置，其特征在于，該裝置包括依次位于同一光路上的激光 器、均分鏡、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡、光闌、導(dǎo)光鏡和聚焦鏡，光闌為活動(dòng)安裝，能夠根據(jù)激光聚 焦光斑的要求進(jìn)行替換，均分鏡為整形鏡或積分鏡。本發(fā)明提供的一種激光選擇性燒結(jié)柔性染料敏化太陽(yáng)電池的納米半導(dǎo)體顆粒多 孔膜的方法，該方法利用激光可選擇性以及快速加熱和冷卻特點(diǎn)，對(duì)柔性染料敏化太陽(yáng) 電池的納米半導(dǎo)體顆粒多孔膜進(jìn)行燒結(jié)而又不損傷光陽(yáng)極的柔性塑料基板，從而可解決 以上瓶頸問(wèn)題。其基本原理是利用激光單色性的特點(diǎn)和納米半導(dǎo)體顆粒多孔膜(如Ti02、 NiO或其它ρ型納米顆粒材料)、柔性塑料基板(如PEN或PET)以及導(dǎo)電薄膜(如 ITO、FTO或AZO)對(duì)某段波長(zhǎng)的激光具有不同吸收和透射率特性，使激光大部分能量只 被納米半導(dǎo)體顆粒吸收而不被柔性塑料基板和導(dǎo)電薄膜吸收，通過(guò)精確控制激光功率密 度、作用時(shí)間和作用方式使納米半導(dǎo)體顆粒在極短的時(shí)間內(nèi)(微納秒時(shí)間)被迅速加熱到 450 600C°左右，實(shí)現(xiàn)納米半導(dǎo)體顆粒之間頸型化學(xué)連接以及納米半導(dǎo)體顆粒與導(dǎo)電 薄膜之間產(chǎn)生良好附著力，從而提高電子在納米半導(dǎo)體材料導(dǎo)帶中的擴(kuò)散系數(shù)和染料敏 化太陽(yáng)電池的效率。由于激光僅與納米半導(dǎo)體顆粒產(chǎn)生作用，而且作用時(shí)間極短(可在 微納秒時(shí)間內(nèi)完成)以及柔性塑料基板和導(dǎo)電薄膜對(duì)激光具有較高的透射性，因此，激 光對(duì)納米半導(dǎo)體顆粒450C°以上高溫?zé)Y(jié)熱處理時(shí)，柔性塑料基板的溫度依然保持在室 溫范圍左右，從而達(dá)到既滿足納米半導(dǎo)體顆粒多孔膜高溫?zé)Y(jié)的需求，又不會(huì)損傷柔性 塑料基板的要求。同時(shí)，通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，對(duì)激光光束進(jìn)行擴(kuò)束準(zhǔn)直和整形以及選形 聚焦，使激光光束形成所需要的光斑尺寸以及在光斑尺寸內(nèi)的能量密度分布均勻化，并 與納米半導(dǎo)體膜的尺寸相匹配，可保證在激光高速燒結(jié)納米半導(dǎo)體膜的同時(shí)，燒結(jié)質(zhì)量 的穩(wěn)定性和一致性，以突破目前柔性染料敏化太陽(yáng)電池制備工藝所遇到的瓶頸障礙。綜 上所述，激光選擇性燒結(jié)柔性塑料基板染料敏化太陽(yáng)電池的納米半導(dǎo)體顆粒多孔膜技術(shù) 具有如下優(yōu)點(diǎn)(1)在一定溫度范圍內(nèi)，可實(shí)現(xiàn)任意溫度燒結(jié)納米半導(dǎo)體顆粒多孔膜而不損壞導(dǎo) 電薄膜和柔性塑料基板；(2)極短的激光燒結(jié)時(shí)間可實(shí)現(xiàn)快速激光掃描燒結(jié)納米半導(dǎo)體顆粒多孔膜，大大 提高納米半導(dǎo)體顆粒多孔膜燒結(jié)效率，實(shí)現(xiàn)印刷制備納米結(jié)構(gòu)光陽(yáng)極方式的高效大規(guī)模生產(chǎn)；(3)通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)調(diào)制，可實(shí)現(xiàn)所需要的激光光斑尺寸和均勻的能量密度分部， 在通過(guò)激光束燒結(jié)過(guò)程中，確保一定寬度尺寸和厚度的納米半導(dǎo)體顆粒膜在迅速通過(guò)激 光束時(shí)，能達(dá)到所需要的燒結(jié)效果的一致性和穩(wěn)定性。


圖1柔性染料敏化太陽(yáng)電池結(jié)構(gòu)示意圖；圖2柔性染料敏化太陽(yáng)電池中光陽(yáng)極結(jié)構(gòu)示意圖；圖3柔性染料敏化太陽(yáng)電池中光陽(yáng)極的納米半導(dǎo)體顆粒之間以及納米半導(dǎo)體顆 粒與導(dǎo)電膜之間物理點(diǎn)接觸示意圖；圖4柔性染料敏化太陽(yáng)電池中納米半導(dǎo)體顆粒之間以及納米半導(dǎo)體顆粒與導(dǎo)電 膜之間頸型化學(xué)連接示意圖；圖5為實(shí)施本發(fā)明方法的一種裝置具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖6為實(shí)施本發(fā)明方法的另一種裝置具體實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明方法采用波長(zhǎng)為355nm 3.4 μ m的激光束在基材上進(jìn)行掃描，激光束穿 過(guò)柔性塑料基板和導(dǎo)電薄膜作用于納米半導(dǎo)體顆粒多孔膜或直接照射納米半導(dǎo)體顆粒多 孔膜，使納米半導(dǎo)體顆粒多孔膜中的納米半導(dǎo)體顆粒之間由物理點(diǎn)接觸轉(zhuǎn)化為頸型化學(xué) 連接；基材依次由柔性有塑料基板、導(dǎo)電薄膜和納米半導(dǎo)體顆粒多孔膜疊置而成，激光 的功率密度為1 100瓦/cm2，掃描速度為1 900mm/s。如圖5和圖6所示，實(shí)現(xiàn)該發(fā)明的裝置由依次位于同一光路上的激光器20、均分 鏡21、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡22、光闌23、導(dǎo)光鏡24和聚焦鏡25構(gòu)成，光闌23為活動(dòng)安裝，可根 據(jù)激光聚焦光斑的要求進(jìn)行替換。均分鏡為整形鏡或積分鏡。柔性光陽(yáng)極10裝在傳送輪27上組成傳送裝置，由計(jì)算機(jī)40是控制傳送裝置， 同時(shí)計(jì)算機(jī)40具有控制激光器的激光參數(shù)以及開(kāi)啟和關(guān)斷激光束功能。本發(fā)明的具體實(shí)施方式
一如圖5所示由計(jì)算機(jī)40調(diào)節(jié)激光器，輸出合適的激 光功率，控制激光器20輸出大部分功率可以透過(guò)柔性塑料基板1和導(dǎo)電薄膜2，但被納米 半導(dǎo)體顆粒5吸收的激光束30 (如355nm 3.4 μ m波長(zhǎng)的激光束)，經(jīng)過(guò)均分鏡21進(jìn)行 整形均光，形成激光束截面功率密度分布均勻激光束31，再通過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡22進(jìn)行擴(kuò)束 準(zhǔn)直，形成激光束32，經(jīng)光闌23選擇所需要的激光光斑尺寸33，再由導(dǎo)光鏡24將激光 束33輸入聚焦鏡25，形成所需要的點(diǎn)、線或面激光聚焦光斑34，穿過(guò)柔性塑料基板1和 導(dǎo)電薄膜2，射入納米半導(dǎo)體顆粒5，對(duì)光陽(yáng)極10的納米半導(dǎo)體顆粒多孔膜6進(jìn)行高溫?zé)?處理燒結(jié)。同時(shí)計(jì)算機(jī)40向傳送輪27發(fā)出指令，讓傳送輪27以一定的轉(zhuǎn)速帶動(dòng)光陽(yáng)極 10以一定的線速度向前轉(zhuǎn)送，通過(guò)優(yōu)化激光能量密度和光陽(yáng)極10的傳送速度，達(dá)到高溫 燒結(jié)熱處理，去除納米半導(dǎo)體薄膜中的殘余有機(jī)物并使納米半導(dǎo)體顆粒5之間以及納米 半導(dǎo)體顆粒5與導(dǎo)電膜2之間由物理點(diǎn)接觸7轉(zhuǎn)變成頸型化學(xué)連接8，獲得良好化學(xué)連接 以及與導(dǎo)電膜之間的良好附著力而不損傷柔性塑料基板1和導(dǎo)電薄膜2的效果，改善納米 半導(dǎo)體顆粒之間的電學(xué)性能、提高電子在半導(dǎo)體導(dǎo)帶中的擴(kuò)散系數(shù)和染料敏化太陽(yáng)電池的效率。本發(fā)明的具體實(shí)施方式
二如圖6所示由計(jì)算機(jī)40調(diào)節(jié)激光器，輸出合適的激 光功率，控制激光器20輸出大部分功率可以透過(guò)柔性塑料基板1和導(dǎo)電薄膜2，但被納米 半導(dǎo)體顆粒5吸收的激光束30 (如355nm 3.4 μ m波長(zhǎng)的激光束)，經(jīng)過(guò)均分鏡21進(jìn)行 整形均光，形成激光束截面功率密度分布均勻激光束31，再通過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡22進(jìn)行擴(kuò)束 準(zhǔn)直，形成激光束32，經(jīng)光闌23選擇所需要的激光光斑尺寸33，再由導(dǎo)光鏡24將激光 束33輸入聚焦鏡25，形成所需要的點(diǎn)、線或面激光聚焦光斑34，直接照射納米半導(dǎo)體顆 粒5，對(duì)光陽(yáng)極10的納米半導(dǎo)體顆粒多孔膜6進(jìn)行高溫?zé)崽幚頍Y(jié)。同時(shí)計(jì)算機(jī)40向傳 送輪27發(fā)出指令，讓傳送輪27以一定的轉(zhuǎn)速帶動(dòng)光陽(yáng)極10以一定的線速度向前轉(zhuǎn)送， 通過(guò)優(yōu)化激光能量密度和光陽(yáng)極10的傳送速度，達(dá)到高溫?zé)Y(jié)熱處理，去除納米半導(dǎo)體 薄膜中的殘余有機(jī)物并使納米半導(dǎo)體顆粒5之間以及納米半導(dǎo)體顆粒5與導(dǎo)電膜2之間由 物理點(diǎn)接觸7轉(zhuǎn)變成頸型化學(xué)連接8，獲得良好化學(xué)連接以及與導(dǎo)電膜之間的良好附著力 而不損傷柔性塑料基板1和導(dǎo)電薄膜2的效果，改善納米半導(dǎo)體顆粒之間的電學(xué)性能、提 高電子在半導(dǎo)體導(dǎo)帶中的擴(kuò)散系數(shù)和染料敏化太陽(yáng)電池的效率。實(shí)例1 本發(fā)明采用了雷石公司制作的型號(hào)3W 3.4微米中紅外OPO激光器，輸出波長(zhǎng)為 3.4 μ m，連續(xù)輸出功率從0到10瓦。聚焦光斑尺寸為10mmX0.2mm，穿過(guò)0.2mm厚 的PEN柔性塑料基板和IOOrnn厚的ITO導(dǎo)電膜，對(duì)Ti02納米顆粒多孔膜進(jìn)行燒結(jié)。激 光輸出方式為連續(xù)輸出，TiO2光陽(yáng)極的傳送速度從lOmm/s到900mm/S。調(diào)節(jié)激光功 率密度從5瓦/cm2到100瓦/cm2變化時(shí)，TiO2納米顆粒多孔膜的TiO2納米顆粒之間以 及TiO2納米顆粒與導(dǎo)電膜之間由物理點(diǎn)接觸轉(zhuǎn)化為頸型化學(xué)連接。當(dāng)激光能量密度較高 時(shí)，TiO2納米顆粒將被燒熔化，但PEN柔性塑料基板無(wú)任何損傷。本發(fā)明的各實(shí)例中，激光束的掃描速度均等于光陽(yáng)極的傳送速度。實(shí)例2 本發(fā)明采用了 IPG公司制作的YLR-5-LP型號(hào)光纖激光器，輸出波長(zhǎng)為 1071nm,連續(xù)輸出功率從O到50瓦。聚焦光斑尺寸為10mmX0.2mm，穿過(guò)0.2mm厚的 PEN柔性塑料基板和IOOrnn厚的ITO導(dǎo)電膜，對(duì)TiO2納米顆粒多孔膜進(jìn)行燒結(jié)。激光 輸出方式為連續(xù)輸出，TiO2光陽(yáng)極的傳送速度從100-700mm/S，調(diào)節(jié)激光器輸出的光束 的功率密度從3瓦/cm2到60瓦/cm2變化時(shí)，TiO2納米顆粒多孔膜的TiO2納米顆粒之間 以及TiO2納米顆粒與導(dǎo)電膜之間由物理點(diǎn)接觸轉(zhuǎn)化為頸型化學(xué)連接，當(dāng)激光能量密度較 高時(shí)，TiO2納米顆粒將被燒熔化，但PEN柔性塑料基板無(wú)任何損傷。實(shí)例3 本發(fā)明采用了美國(guó)光波公司制作的AwaVe-532-20W-25K型號(hào)全固態(tài)調(diào)Q綠光激 光器，輸出波長(zhǎng)為532nm，TiO2光陽(yáng)極的傳送速度10-900mm/s，頻率設(shè)定為150kHz， 聚焦光斑尺寸為10mmX0.2mm，穿過(guò)0.2mm厚的PEN柔性塑料基板和IOOnm厚的ITO導(dǎo) 電膜，對(duì)TiO2納米顆粒多孔膜進(jìn)行燒結(jié)，準(zhǔn)連續(xù)功率密度從8-100瓦/cm2變化時(shí)，TiO2 納米顆粒多孔膜的TiO2納米顆粒之間以及TiO2納米顆粒與導(dǎo)電膜之間由物理點(diǎn)接觸轉(zhuǎn)化 為頸型化學(xué)連接直到TiO2納米顆粒被燒熔化，但PEN柔性塑料基板無(wú)任何損傷。實(shí)例4:
本發(fā)明采用了美國(guó)光波公司制作的AwaVe-355-10W-25K型號(hào)全固態(tài)調(diào)Q紫外 激光器，輸出波長(zhǎng)為355nm，頻率設(shè)定為150kHz，聚焦光斑尺寸為10mmX0.2mm，穿過(guò) 0.2mm厚的PET柔性塑料基板和IOOrnn厚的ITO導(dǎo)電膜，對(duì)TiO2納米顆粒多孔膜進(jìn)行燒 結(jié)，準(zhǔn)連續(xù)功率密度從3-50瓦/cm2變化，TiO2光陽(yáng)極的傳送速度l_40mm/s時(shí)，TiO2 納米顆粒多孔膜的TiO2納米顆粒之間以及TiO2納米顆粒與導(dǎo)電膜之間由物理點(diǎn)接觸轉(zhuǎn)化 為頸型化學(xué)連接直到TiO2納米顆粒被燒熔化，但PET柔性塑料基板無(wú)任何損傷。實(shí)例5 本發(fā)明采用了美國(guó)光波公司制作的AwaVe-355-10W-25K型號(hào)全固態(tài)調(diào)Q紫外 激光器，輸出波長(zhǎng)為355nm，頻率設(shè)定為150kHz，聚焦光斑尺寸為10mmX0.2mm，直接 對(duì)沉積在0.2mm厚的PEN柔性塑料基板和IOOnm厚的ITO導(dǎo)電膜上的TiO2納米顆粒多 孔膜進(jìn)行燒結(jié)，準(zhǔn)連續(xù)功率密度從1-50瓦/cm2變化，TiO2光陽(yáng)極的傳送速度IO-SOmm/ s時(shí)，TiO2納米顆粒多孔膜的TiO2納米顆粒之間以及TiO2納米顆粒與導(dǎo)電膜之間由物理 點(diǎn)接觸轉(zhuǎn)化為頸型化學(xué)連接直到TiO2納米顆粒被燒熔化，但PEN柔性塑料基板無(wú)任何損 傷。以上所述為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，但本發(fā)明不應(yīng)該局限于該實(shí)施例和附圖 所公開(kāi)的內(nèi)容。所以凡是不脫離本發(fā)明所公開(kāi)的精神下完成的等效或修改，都落入本發(fā) 明保護(hù)的范圍。
權(quán)利要求
1.一種激光選擇性燒結(jié)制備柔性太陽(yáng)電池光陽(yáng)極的方法，其特征在于，該方法采用 波長(zhǎng)為355nm 3.4μιη的激光束作用于納米半導(dǎo)體顆粒多孔膜，使納米半導(dǎo)體顆粒多孔 膜中的納米半導(dǎo)體顆粒之間以及納米半導(dǎo)體顆粒與導(dǎo)電膜之間由物理點(diǎn)接觸轉(zhuǎn)化為頸型 化學(xué)連接；激光的功率密度為1-100瓦/cm2，掃描速度為l-900mm/S。
2.—種實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求1所述方法的裝置，其特征在于，該裝置包括依次位于同一光 路上的激光器(20)、均分鏡(21)、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡(22)、光闌(23)、導(dǎo)光鏡(24) 和聚焦鏡(25)，光闌為活動(dòng)安裝，能夠根據(jù)激光聚焦光斑的要求進(jìn)行替換，均分鏡(21)為整形鏡或積分鏡。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種激光選擇性燒結(jié)制備柔性染料敏化太陽(yáng)電池的光陽(yáng)極的方法及裝置。方法采用波長(zhǎng)為355nm～3.4μm的激光束作用于納米半導(dǎo)體顆粒多孔膜，使納米半導(dǎo)體顆粒多孔膜中的納米半導(dǎo)體顆粒之間以及納米半導(dǎo)體顆粒與導(dǎo)電膜之間由物理點(diǎn)接觸轉(zhuǎn)化為頸型化學(xué)連接；激光的功率密度為1-100瓦/cm2，掃描速度為1-900mm/s。該裝置包括依次位于同一光路上的激光器、均分鏡、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡、光闌、導(dǎo)光鏡和聚焦鏡，光闌為活動(dòng)安裝，可以根據(jù)激光聚焦光斑的要求進(jìn)行替換，均分鏡為整形鏡或積分鏡。本發(fā)明可對(duì)柔性染料敏化太陽(yáng)電池的納米半導(dǎo)體顆粒多孔膜進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)熱處理但不會(huì)對(duì)光陽(yáng)極的柔性塑料基板造成任何損傷。
文檔編號(hào)H01L51/48GK102013332SQ201010557809
公開(kāi)日2011年4月13日 申請(qǐng)日期2010年11月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月24日
發(fā)明者曾曉雁, 段軍, 王鳴魁, 程一兵 申請(qǐng)人:華中科技大學(xué)