專利名稱：固定裝置及固定方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及固定裝置及固定方法。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體制造裝置具有將漿糊涂敷在引線框等上的工序(涂敷工序)；在涂敷工序 后，在該涂敷的漿糊上固定芯片的工序(固定工序)。作為涂敷工序，有使用轉(zhuǎn)印針的類型 (專利文獻(xiàn)1及專利文獻(xiàn)2)。而且，作為固定工序，通常利用筒夾的真空吸附力(專利文獻(xiàn) 3及專利文獻(xiàn)4)。使用圖9說明涂敷工序。首先，形成使轉(zhuǎn)印針1位于漿糊盤2上的狀態(tài)，從該狀態(tài) 開始使轉(zhuǎn)印針ι下降，在將轉(zhuǎn)印針1的下端浸漬在漿糊盤2的漿糊中后，使轉(zhuǎn)印針1如箭頭 A所示那樣上升。由此，漿糊附著在轉(zhuǎn)印針1上。在該狀態(tài)下，使轉(zhuǎn)印針1沿箭頭B方向水 平移動，而位于工件(引線框)3的上方。然后，使轉(zhuǎn)印針1如箭頭C所示下降，將附著在轉(zhuǎn) 印針1上的漿糊50向工件3的表面轉(zhuǎn)印，從而進(jìn)行涂敷。然后，在使轉(zhuǎn)印針1上升后，使其 沿與箭頭B相反的方向在水平方向上移動，返回初始狀態(tài)。反復(fù)進(jìn)行該動作。接下來，使用圖10說明固定工序。使筒夾(吸附筒夾)5位于撿拾位置上，在該狀 態(tài)下使筒夾5如箭頭D2所示那樣下降，吸附撿拾位置上的芯片6。然后，使筒夾5如箭頭 Dl所示那樣上升后，使其如箭頭El所示那樣沿水平方向移動，而位于結(jié)合位置上。接下來， 使筒夾5如箭頭Fl所示那樣下降，而將吸附于筒夾5上的芯片6固定(結(jié)合)在工件3的 固定位置。此時(shí)，解除筒夾5對芯片6的吸附。然后，在使筒夾5如箭頭F2所示那樣上升 后，使其如箭頭E2所示那樣向水平方向移動而位于撿拾位置上。然后經(jīng)過所述工序，依次 將芯片6結(jié)合。這樣的涂敷工序和固定工序通常連續(xù)進(jìn)行。即，通過輸送機(jī)構(gòu)將工件3即引線框 從上游側(cè)的涂敷工序生產(chǎn)線向下游側(cè)的固定工序生產(chǎn)線進(jìn)行間距(Pitch)輸送。并且，如 圖7所示，在上游側(cè)的預(yù)成形范圍的預(yù)成形生產(chǎn)線L上，在工件3的固定位置沿Y軸方向依 次涂敷漿糊50。涂敷有該漿糊50 (參照圖9)的工件3通過輸送機(jī)構(gòu)進(jìn)行間距輸送(X軸方 向的輸送)。并且，在位于距預(yù)成形范圍規(guī)定尺寸的下游側(cè)的固定生產(chǎn)線L3上，沿Y軸方向 依次固定芯片6。專利文獻(xiàn)1 日本特開平1-183827號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2002-198382號公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特開2003-174042號公報(bào)專利文獻(xiàn)4 日本特開2004-288715號公報(bào)然而，如圖8所示，作為工件3的引線框以規(guī)定間距具有固定部位形成區(qū)域10，如 此，在固定部位形成區(qū)域10內(nèi)，沿長度方向及與長度方向正交的方向的寬度方向形成有多 個(gè)固定部位。這種情況下，固定部位形成區(qū)域10內(nèi)的固定部位的長度方向間距Pl與相鄰 的固定部位形成區(qū)域10間的間距P不同。具體來說，P > P1。在將固定生產(chǎn)線L3設(shè)置在接近預(yù)成形范圍的位置的情況下，將引線框的固定部位(島)對應(yīng)于預(yù)成形生產(chǎn)線L進(jìn)行輸送時(shí)，由于固定部位形成區(qū)域10內(nèi)的固定部位的長 度方向間距Pl與相鄰的固定部位形成區(qū)域10間的間距P不同，因此在使引線框移動該間 距P的量時(shí)，形成接下來應(yīng)該來到固定生產(chǎn)線L3上的固定部位不位于該固定生產(chǎn)線L3上 的狀態(tài)。因此，為了對應(yīng)于此種引線框的固定部位的間距配置，以往，如圖7所示，使固定 生產(chǎn)線L3從預(yù)成形范圍離開較大。即，在預(yù)成形范圍的尺寸為H1，從預(yù)成形范圍到固定生 產(chǎn)線L3的尺寸為H2時(shí)，Hl < H2。如此，使固定生產(chǎn)線L3從預(yù)成形范圍離開較大時(shí)，能夠 吸收這種間距配置。即，能夠在相對于一個(gè)工件3在全部固定部位上涂敷了涂敷劑50后進(jìn) 行固定工序，由此，能夠不產(chǎn)生涂敷工序中的涂敷脫落或固定工序中的固定脫落。然而，如圖7所示，在使固定生產(chǎn)線L3從預(yù)成形范圍離開較大時(shí)，在涂敷了漿糊50 后，涂敷有該漿糊50的固定部位到達(dá)固定生產(chǎn)線的距離變長。然而，在此種裝置中，多張長 方狀的工件(引線框)依次由輸送機(jī)構(gòu)輸送。因此，第一張工件(引線框)僅預(yù)成形就花 費(fèi)較多的動作時(shí)間，最終的工件(引線框)僅固定就花費(fèi)較多的動作時(shí)間。因此，導(dǎo)致生產(chǎn) 性的下降。另外，從涂敷漿糊50開始到固定芯片6的時(shí)間變長，因而在固定時(shí)漿糊50有可能 變干。若如此產(chǎn)生變干，則產(chǎn)生涂敷形狀變形等問題，從而導(dǎo)致固定品質(zhì)的下降。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明鑒于此種情況，提供一種能夠使固定生產(chǎn)線接近預(yù)成形生產(chǎn)線，能夠 提高生產(chǎn)性，并且在固定之前涂敷劑難以變干而能夠進(jìn)行高品質(zhì)的固定的固定裝置及固定 方法。本發(fā)明的固定裝置在工件的固定部位上固定芯片，其中，具備預(yù)成形機(jī)構(gòu)，其在 上游側(cè)的預(yù)成形范圍內(nèi)的第一預(yù)成形位置或第二預(yù)成形位置對所述固定部位涂敷漿糊狀 的涂敷劑；固定機(jī)構(gòu)，其在下游側(cè)的固定位置將芯片固定在涂敷有涂敷劑的固定部位上； 輸送機(jī)構(gòu)，其將所述工件從上游側(cè)向下游側(cè)進(jìn)行間距輸送；第一調(diào)整機(jī)構(gòu)，其在利用所述間 距輸送進(jìn)行工件輸送而未涂敷涂敷劑狀態(tài)的固定部位未對應(yīng)于所述任一預(yù)成形位置時(shí)，調(diào) 整所述預(yù)成形機(jī)構(gòu)以使其對應(yīng)于其它的預(yù)成形位置；第二調(diào)整機(jī)構(gòu)，其在利用所述間距輸 送進(jìn)行工件輸送而固定部位未對應(yīng)于固定位置時(shí)，調(diào)整工件的位置以使固定部位對應(yīng)于固 定位置。在此，預(yù)成形是指涂敷涂敷劑，所述預(yù)成形范圍是指進(jìn)行涂敷涂敷劑的工序的范 圍，預(yù)成形位置是指涂敷涂敷劑的位置。在本發(fā)明的固定裝置中，利用第一調(diào)整機(jī)構(gòu)，在工件輸送中未涂敷涂敷劑狀態(tài)的 固定部位未對應(yīng)于所述任一預(yù)成形位置(預(yù)成形生產(chǎn)線)時(shí)，能夠使其對應(yīng)于其它的預(yù)成 形位置(預(yù)成形生產(chǎn)線)。因此，不會將未涂敷涂敷劑的固定部位輸送到固定位置(固定生 產(chǎn)線)。而且，利用第二調(diào)整機(jī)構(gòu)，在固定部位未對應(yīng)于固定位置時(shí)調(diào)整工件，能夠使固定部 位對應(yīng)于固定位置(固定生產(chǎn)線)。因此，能夠在涂敷有涂敷劑的固定部位不浪費(fèi)地將芯 片固定成連續(xù)狀。而且，無需像現(xiàn)有技術(shù)那樣使從預(yù)成形位置到固定位置的距離形成得大。 如此，能夠減小從預(yù)成形位置到固定位置的距離，從而能夠縮短從預(yù)成形(涂敷涂敷劑)到 將芯片固定在該涂敷部上的時(shí)間，能夠在涂敷劑變干之前，即在涂敷劑硬化之前進(jìn)行固定。第一調(diào)整機(jī)構(gòu)能夠在利用第二調(diào)整機(jī)構(gòu)進(jìn)行工件的位置調(diào)整時(shí)變更預(yù)成形位置。即，在利用第二調(diào)整機(jī)構(gòu)調(diào)整工件時(shí)，存在未涂敷涂敷劑的固定部位不對應(yīng)于調(diào)整前的預(yù) 成形位置的情況。因此，通過將該不對應(yīng)的預(yù)成形位置變更為其它的預(yù)成形位置，能夠使該 不對應(yīng)的固定部位對應(yīng)于預(yù)成形位置?？梢允顾龉潭ㄎ恢檬菑挠深A(yù)成形機(jī)構(gòu)確定的預(yù)成形范圍結(jié)束位置向下游側(cè)離 開與所述預(yù)成形范圍相同尺寸或比預(yù)成形范圍小規(guī)定尺寸的位置。在一個(gè)工件中，能夠設(shè)定為，從最初的固定動作開始時(shí)到最終的預(yù)成形動作結(jié)束 為止，在預(yù)成形動作中進(jìn)行固定動作。通過如此設(shè)定，從最初的固定動作開始時(shí)到最終的預(yù) 成形動作結(jié)束為止，能夠同時(shí)進(jìn)行預(yù)成形動作和固定動作。即，能夠?qū)㈩A(yù)成形位置和固定位 置配置在比較近的位置，在從生產(chǎn)開始(對一個(gè)工件的預(yù)成形開始)到安裝結(jié)束(對一個(gè) 工件的固定結(jié)束)為止的生產(chǎn)中的大部分能夠同時(shí)進(jìn)行固定動作和預(yù)成形動作。本發(fā)明的固定方法是在上游側(cè)的預(yù)成形位置對工件的固定部位涂敷漿糊狀的涂 敷劑后，在下游側(cè)的固定位置，將芯片依次固定在涂敷有涂敷劑的固定部位上的固定方法， 在工件的固定部位未對應(yīng)于所述預(yù)成形位置時(shí)，將預(yù)成形位置變更為對應(yīng)于固定部位，在 固定部位未對應(yīng)于固定位置時(shí)，調(diào)整工件的位置，以使固定部位對應(yīng)于固定位置。在本發(fā)明的固定方法中，在工件輸送中未涂敷涂敷劑狀態(tài)的固定部位未對應(yīng)于所 述任一預(yù)成形位置時(shí)能夠使其對應(yīng)于其它的預(yù)成形位置。因此，不會將未涂敷涂敷劑的固 定部位輸送到固定位置。而且，在固定部位未對應(yīng)于固定位置時(shí)調(diào)整工件而能夠使固定部 位對應(yīng)于固定位置。因此，能夠在涂敷有涂敷劑的固定部位不浪費(fèi)地將芯片固定成連續(xù)狀。 而且，無需像現(xiàn)有技術(shù)那樣使從預(yù)成形位置到固定位置的距離形成得大。在所述固定方法中，優(yōu)選在調(diào)整工件的位置的同時(shí)，變更預(yù)成形位置而使未涂敷 涂敷劑狀態(tài)的固定部位對應(yīng)于預(yù)成形位置。由此，在調(diào)整工件時(shí)，通過將未對應(yīng)的預(yù)成形位 置變更為其它的預(yù)成形位置，從而能夠使該未對應(yīng)的固定部位對應(yīng)于預(yù)成形位置。發(fā)明效果在本發(fā)明中，能夠在涂敷有涂敷劑的固定部位不浪費(fèi)地將芯片固定成連續(xù)狀，而 且，無需像現(xiàn)有技術(shù)那樣使從預(yù)成形位置到固定位置的距離形成得大，能夠縮短整個(gè)工序 時(shí)間，從而能夠提高生產(chǎn)性。而且，能夠縮短從預(yù)成形(涂敷涂敷劑)到將芯片固定在該涂 敷部為止的時(shí)間，能夠在涂敷劑變干之前，即涂敷劑硬化之前進(jìn)行固定，從而涂敷形狀不會 變形，能夠?qū)崿F(xiàn)高品質(zhì)化。通過調(diào)整工件的位置，能夠使未對應(yīng)的固定部位對應(yīng)于預(yù)成形位置，從而能夠?qū)?現(xiàn)更進(jìn)一步的作業(yè)的高效化。尤其是在一個(gè)工件中，從最初的固定動作開始時(shí)到最終的預(yù)成形動作結(jié)束為止， 能夠在預(yù)成形動作過程中進(jìn)行固定動作，從而不會成為在預(yù)成形動作過程中無法進(jìn)行固定 動作的狀態(tài)，也不會成為在固定動作中無法進(jìn)行預(yù)成形動作的狀態(tài)。因此，能夠進(jìn)行生產(chǎn)性 極為優(yōu)良的作業(yè)。


圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式的固定裝置的簡要框圖。圖2是使用所述固定裝置進(jìn)行的作業(yè)工序的說明圖。圖3是使用所述固定裝置進(jìn)行的作業(yè)工序的說明圖。
圖4是使用所述固定裝置進(jìn)行的預(yù)成形工序(涂敷工序)的流程圖。圖5是使用所述固定裝置進(jìn)行的固定工序的流程圖。圖6是示出預(yù)成形生產(chǎn)線與固定生產(chǎn)線的關(guān)系的簡圖。圖7是示出現(xiàn)有的預(yù)成形生產(chǎn)線與固定生產(chǎn)線的關(guān)系的簡圖。圖8是引線框的簡圖。圖9是在預(yù)成形工序中使用的預(yù)成形機(jī)構(gòu)的簡圖。圖10是在固定工序中使用的固定機(jī)構(gòu)的簡圖。符號說明20固定部位21 芯片22預(yù)成形機(jī)構(gòu)23固定機(jī)構(gòu)24輸送機(jī)構(gòu)25控制機(jī)構(gòu)30第一調(diào)整機(jī)構(gòu)31第二調(diào)整機(jī)構(gòu)50涂敷劑(漿糊)W 工件
具體實(shí)施例方式以下，基于圖1 圖6說明本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1示出本發(fā)明的固定裝置的簡要框圖，如圖2和圖3等所示，該固定裝置是在工 件W(引線框)的固定部位(島)20上依次固定芯片21的裝置。該固定裝置具備在固定 部位20涂敷漿糊狀的涂敷劑50的預(yù)成形機(jī)構(gòu)22 ；在涂敷有涂敷劑的固定部位20上固定 芯片21的固定機(jī)構(gòu)23 ；將工件W從上游側(cè)向下游側(cè)進(jìn)行間距輸送的輸送機(jī)構(gòu)M等。輸送機(jī)構(gòu)M例如可以由夾持傳送裝置(省略圖示)構(gòu)成。夾持傳送裝置具備 夾持(把持)工件W的單邊(一個(gè)側(cè)邊)的夾持部；用于在把持工件W的狀態(tài)下驅(qū)動該夾 持部的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。驅(qū)動機(jī)構(gòu)例如具備伺服電動機(jī)等，根據(jù)來自控制機(jī)構(gòu)25(參照圖1)的信 號，能夠?qū)A持部驅(qū)動設(shè)定的任意的間距量而將工件W以規(guī)定的間距從上游側(cè)向下游側(cè)輸 送(間距輸送)。作為控制機(jī)構(gòu)25，可以由微型計(jì)算機(jī)(微機(jī))等構(gòu)成。預(yù)成形機(jī)構(gòu)22可以由圖9所示的涂敷裝置構(gòu)成，固定機(jī)構(gòu)23可以由圖10所示的 固定裝置構(gòu)成。然而，如圖2和圖3所示，所述工件W具備形成有沿工件W的長度方向及寬 度方向分別以規(guī)定間距P1、P2配設(shè)的多個(gè)固定部位(島)20的固定部位形成區(qū)域沈(由雙 點(diǎn)劃線包圍的范圍)。多個(gè)固定部位形成區(qū)域26以與固定部位20的長度方向間距Pl不同 的間距P配設(shè)。這種情況下，P>P1。預(yù)成形機(jī)構(gòu)22在上游側(cè)的預(yù)成形范圍內(nèi)的第一預(yù)成形位置(第一預(yù)成形生產(chǎn)線) Ll(參照圖加等)或在第二預(yù)成形位置(第二預(yù)成形生產(chǎn)線)L2(參照圖2f等)對各固定 部位20涂敷涂敷劑。這種情況下，第一預(yù)成形生產(chǎn)線Ll配設(shè)在下游側(cè)，第二預(yù)成形生產(chǎn)線 L2配設(shè)在上游側(cè)。
因此，在預(yù)成形機(jī)構(gòu)22對第一預(yù)成形生產(chǎn)線Ll或第二預(yù)成形生產(chǎn)線L2的固定部 位20涂敷涂敷劑50時(shí)，將前端附著有涂敷劑50的轉(zhuǎn)印針1以與固定部位20相對應(yīng)的方 式，在與輸送方向(圖6的X軸方向)正交的方向(圖6的Y軸方向)上每隔規(guī)定間距P2 錯開，其中固定部位20沿第一預(yù)成形生產(chǎn)線Ll或第二預(yù)成形生產(chǎn)線L2在寬度方向上以規(guī) 定間距P2配設(shè)。固定機(jī)構(gòu)23是沿著一個(gè)固定位置(固定生產(chǎn)線)L3，在涂敷有涂敷劑50的固定 部位20上固定芯片21的部件。這種情況下，吸附芯片21的筒夾5以對應(yīng)于沿固定生產(chǎn)線 L3配設(shè)的固定部位20的方式，沿所述Y軸方向每隔規(guī)定間距P2錯開。然而，固定部位形成區(qū)域沈內(nèi)的固定部位20的長度方向間距Pl與相鄰的固定部 位形成區(qū)域沈間的間距P不同。因此，在將工件W以長度方向間距Pl進(jìn)行間距輸送時(shí)，在 涂敷了下游側(cè)的固定部位形成區(qū)域26的最上游的固定部位20后，使工件W以長度方向間 距Pl錯開，如此，則成為預(yù)成形生產(chǎn)線未對應(yīng)于該下一個(gè)固定部位形成區(qū)域沈中的最下游 的固定部位20的狀態(tài)。因此，在本發(fā)明中，如上所述，預(yù)成形機(jī)構(gòu)22能夠沿第一預(yù)成形生產(chǎn)線Ll或第二 預(yù)成形生產(chǎn)線L2進(jìn)行涂敷作業(yè)。即，在固定部位20未對應(yīng)于第一預(yù)成形生產(chǎn)線Ll時(shí)，將 預(yù)成形生產(chǎn)線變更為第二預(yù)成形生產(chǎn)線L2，在固定部位20未對應(yīng)于第二預(yù)成形生產(chǎn)線L2 時(shí)，將預(yù)成形生產(chǎn)線變更為第一預(yù)成形生產(chǎn)線Li。因此，在本發(fā)明中，具備用于變更預(yù)成形機(jī)構(gòu)22的預(yù)成形生產(chǎn)線的第一調(diào)整機(jī)構(gòu) 30。例如，預(yù)先將工件W的固定部位20的數(shù)據(jù)輸入控制機(jī)構(gòu)25，基于該數(shù)據(jù)，根據(jù)來自第一 調(diào)整機(jī)構(gòu)30的指令，變更預(yù)成形生產(chǎn)線。這種情況下的第一調(diào)整機(jī)構(gòu)30所進(jìn)行的調(diào)整使 轉(zhuǎn)印針1如圖9所示那樣以對應(yīng)于各預(yù)成形生產(chǎn)線Li、L2上的固定部位20的上方的方式 移動。另外，在將工件W以長度方向間距Pl進(jìn)行間距輸送時(shí)，存在固定部位20未對應(yīng)于 配置在比該預(yù)成形范圍靠下游側(cè)的固定生產(chǎn)線L3的情況。這種情況下，由于固定生產(chǎn)線L3 固定，因此使工件W移動而使固定部位20與固定生產(chǎn)線L3對合。因此，如圖1所示，在該裝置中設(shè)有第二調(diào)整機(jī)構(gòu)31。將預(yù)先輸入的工件W的固定 部位20的數(shù)據(jù)從控制機(jī)構(gòu)25向第二調(diào)整機(jī)構(gòu)31發(fā)送，基于該數(shù)據(jù)，根據(jù)來自第二調(diào)整機(jī) 構(gòu)31的指令，能夠變更構(gòu)成所述輸送機(jī)構(gòu)M的夾持傳送裝置的移動量。接下來，說明使用該固定裝置的固定方法。首先，在預(yù)成形工序中，設(shè)定預(yù)成形機(jī) 構(gòu)22以在第一預(yù)成形生產(chǎn)線Ll進(jìn)行預(yù)成形。然后，將工件(引線框)W向構(gòu)成輸送機(jī)構(gòu)M 的夾持傳送裝置上供給，在如圖加所示，該引線框W的最下游的固定部位組Ml (沿寬度方 向以規(guī)定間距P2配設(shè)的多個(gè)固定部位20)對應(yīng)于該第一預(yù)成形生產(chǎn)線Ll時(shí)，停止工件輸 送，利用預(yù)成形機(jī)構(gòu)22在沿第一預(yù)成形生產(chǎn)線Ll配設(shè)的固定部位20 (未涂敷涂敷劑的狀 態(tài)下的固定部位)上依次涂敷涂敷劑。在向該固定部位組Ml的各固定部位20的涂敷劑的涂敷結(jié)束時(shí)，如圖2b所示，將 工件W向下游側(cè)輸送長度方向間距Pl量。由此，能夠使下一個(gè)固定部位組M2與第一預(yù)成 形生產(chǎn)線Ll對合。如此，若固定部位組M2對應(yīng)于第一預(yù)成形生產(chǎn)線Li，則能夠在該固定部 位組M2的各固定部位20上涂敷涂敷劑。以后，進(jìn)行此種間距輸送，如圖2c、圖2d及圖加所示，使固定部位組M3、M4、M5依次對應(yīng)于第一預(yù)成形生產(chǎn)線Li，從而能夠在各固定部位組M3、M4、M5的固定部位20上涂敷 涂敷劑50。然后，若從圖2e開始以所述間距Pl輸送工件W，則無法使固定部位組M6對應(yīng) 于第一預(yù)成形生產(chǎn)線Li。因此，通過使預(yù)成形機(jī)構(gòu)22的預(yù)成形生產(chǎn)線向第二預(yù)成形生產(chǎn)線 L2移動，能夠使固定部位組M6對應(yīng)于第二預(yù)成形生產(chǎn)線L2。然而，在涂敷裝置上具備圖像處理機(jī)構(gòu)，該圖像處理機(jī)構(gòu)具有確認(rèn)工件W的固定 部位20的相機(jī)。即，能夠基于由該圖像處理機(jī)構(gòu)檢測的固定部位20而對工件位置進(jìn)行修 正。因此，能夠如上所述那樣基于工件數(shù)據(jù)進(jìn)行該預(yù)成形生產(chǎn)線L1、L2與固定部位20未對 應(yīng)的判斷，但也可以使用該圖像處理機(jī)構(gòu)進(jìn)行判斷，還可以并用工件數(shù)據(jù)及圖像處理機(jī)構(gòu)。因此，能夠在該固定部位組M6的固定部位20上涂敷涂敷劑50。以后，進(jìn)行間距 Pl的間距輸送，能夠依次使固定部位組對應(yīng)于該第二預(yù)成形生產(chǎn)線L2，從而能夠在各固定 部位組的固定部位20上涂敷涂敷劑。因此，該涂敷工序(預(yù)成形工序)(僅為預(yù)成形工序)如圖4所示的流程進(jìn)行。艮口， 進(jìn)行間距輸送(步驟Si)，然后，在步驟S2中判斷固定部位是否對應(yīng)于預(yù)成形位置，如果是 對應(yīng)的狀態(tài)，則繼續(xù)該間距輸送，如果在步驟S2中固定部位未對應(yīng)于預(yù)成形位置，則向步 驟S3移動而將預(yù)成形位置從第一預(yù)成形位置Ll變更為第二預(yù)成形位置L2。然后，向步驟 S4移動，判斷該涂敷工序結(jié)束是否結(jié)束。在判斷為結(jié)束時(shí)結(jié)束，在判斷為未結(jié)束時(shí)，返回步 馬聚Sl0在該實(shí)施方式中，如圖加所示，在最下游的固定部位組Ml到達(dá)固定生產(chǎn)線L3時(shí)， 通過固定機(jī)構(gòu)23在該固定部位組Ml的各固定部位20上固定芯片21。以后，進(jìn)行間距Pl的間距輸送，如圖2f、圖3a、圖北、圖3c所示，通過依次使固定 部位組對應(yīng)于固定生產(chǎn)線(固定位置)L3而能夠在各固定部位組的固定部位20上固定芯 片21。然而，在從圖3c所示的狀態(tài)開始進(jìn)行間距Pl的間距輸送時(shí)，固定部位組M6未對 應(yīng)于固定生產(chǎn)線L3。因此，如圖3d所示，變更工件W的輸送量，而使該固定部位組M6對應(yīng) 于固定生產(chǎn)線L3。在此，在固定裝置上具備圖像處理機(jī)構(gòu)，該圖像處理機(jī)構(gòu)具有確認(rèn)工件W的固定 位置的相機(jī)。即，能夠基于該圖像處理機(jī)構(gòu)檢測到的固定位置對工件位置進(jìn)行修正。因此， 能夠如上所述那樣基于工件數(shù)據(jù)進(jìn)行該固定位置與固定部位20未對應(yīng)的判斷，但也可以 使用該圖像處理機(jī)構(gòu)進(jìn)行判斷，還可以并用工件數(shù)據(jù)及圖像處理機(jī)構(gòu)。以后，進(jìn)行間距Pl的間距輸送，如圖!Be及圖3f所示，通過使固定部位組依次對應(yīng) 于固定生產(chǎn)線L3，而能夠在各固定部位組的固定部位20上固定芯片21。因此，該固定工序(僅固定)如圖5所示的流程進(jìn)行。即，進(jìn)行間距輸送(步驟 S6)，在步驟S7中判斷固定部位20是否對應(yīng)于固定位置(固定生產(chǎn)線)L3。并且，在固定部 位20對應(yīng)于固定位置時(shí)返回步驟S6，反復(fù)進(jìn)行間距輸送。另外，在步驟S7中固定部位20 未對應(yīng)于固定生產(chǎn)線L3時(shí)，向步驟S8移動，調(diào)整工件W的輸送量而使該固定部位20與固 定生產(chǎn)線L3對合。然后，向步驟S9移動，判斷該固定工序是否結(jié)束。判斷為結(jié)束時(shí)結(jié)束， 判斷為未結(jié)束時(shí)，返回步驟S6。然而，在所述說明中，說明了獨(dú)立的預(yù)成形工序和固定工序，但實(shí)際上，預(yù)成形工 序和固定工序連動進(jìn)行。即，在圖加所示的狀態(tài)下，進(jìn)行涂敷劑50向第一預(yù)成形生產(chǎn)線Ll上的固定部位20的涂敷和芯片21向固定生產(chǎn)線L3上的固定部位20的固定。因此，從該 圖加所示的狀態(tài)開始依次進(jìn)行預(yù)成形工序和固定工序時(shí)，在圖3c所示的狀態(tài)之前，能夠進(jìn) 行間距Pl的間距輸送。然而，從該圖3c所示的狀態(tài)向圖3d所示的狀態(tài)移動時(shí)，以不是所 述Pl的間距對工件W進(jìn)行輸送。在此種情況下，在第二預(yù)成形生產(chǎn)線L2上的預(yù)成形工序中，一個(gè)固定部位組比該 第二預(yù)成形生產(chǎn)線L2靠下游側(cè)。因此，若保持現(xiàn)狀而進(jìn)行間距輸送，則無法在該固定部位 組的固定部位上涂敷涂敷劑，而無法在該固定部位上固定芯片21。因此，如圖3d所示，通過使預(yù)成形生產(chǎn)線返回到原來的第一預(yù)成形生產(chǎn)線Li，而 使無法涂敷涂敷劑的固定部位組對應(yīng)于該第一預(yù)成形生產(chǎn)線Li。由此，能夠在該固定部位 組的固定部位20上涂敷涂敷劑。另外，在該實(shí)施方式中，若從圖3d所示的狀態(tài)開始如圖!Be所示那樣以間距Pl進(jìn) 行間距輸送時(shí)，則無法由第一預(yù)成形生產(chǎn)線Ll對應(yīng)。因此，再次將預(yù)成形生產(chǎn)線變更為第 二預(yù)成形生產(chǎn)線L2。然后，如圖3f所示，進(jìn)行間距輸送。如此，通過僅變更預(yù)成形生產(chǎn)線、 或工件W僅變更間距輸送的間距、或變更預(yù)成形生產(chǎn)線及間距輸送的間距，能夠?qū)σ粡埞?件W在全部固定部位上穩(wěn)定地固定芯片21。如圖6所示，該固定裝置在預(yù)成形范圍內(nèi)具備下游側(cè)的第一預(yù)成形生產(chǎn)線Ll和上 游側(cè)的第二預(yù)成形生產(chǎn)線L2，固定生產(chǎn)線L3與現(xiàn)有的裝置(參照圖7)相比更接近。S卩，在 本發(fā)明中，通過設(shè)定為“在工件W的固定部位20未對應(yīng)于預(yù)成形位置時(shí)將預(yù)成形位置變更 為對應(yīng)于固定部位20，并在固定部位20未對應(yīng)于固定位置時(shí)調(diào)整工件W的位置以使固定部 位20對應(yīng)于固定位置”，能夠使固定生產(chǎn)線L3接近預(yù)成形生產(chǎn)線范圍。因此，能夠使固定 位置(固定生產(chǎn)線L3)成為由預(yù)成形機(jī)構(gòu)確定的預(yù)成形范圍結(jié)束位置向下游側(cè)離開與所述 預(yù)成形范圍相同尺寸或比預(yù)成形范圍小規(guī)定尺寸的位置。此外，在圖7中，輸送方向是箭頭 X方向的輸送，在各預(yù)成形生產(chǎn)線Li、L2上是沿Y軸方向的涂敷作業(yè)，在固定生產(chǎn)線L3上 是沿Y軸方向的固定作業(yè)。具體來說，在使預(yù)成形范圍的尺寸Hl為45mm時(shí)，可使從預(yù)成形范圍下游端到固定 生產(chǎn)線L3的距離H2為45mm左右。相對于此，在圖7的現(xiàn)有的固定裝置中，在預(yù)成形范圍 Hl為45mm時(shí)，從預(yù)成形范圍下游端到固定生產(chǎn)線L3的距離H2為135mm左右。在此，作為所述規(guī)定尺寸，在“一個(gè)工件W中，在最初的固定動作開始時(shí)到最終的 預(yù)成形動作結(jié)束為止，能在預(yù)成形動作過程中進(jìn)行固定動作”范圍內(nèi)，能夠根據(jù)涂敷裝置、 固定裝置的尺寸、動作范圍等進(jìn)行各種變更。而且，預(yù)成形范圍是指預(yù)成形裝置(涂敷裝 置)的動作范圍。根據(jù)使用了本發(fā)明的涂敷裝置的涂敷方法，能夠在涂敷有涂敷劑50的固定部位 20上不浪費(fèi)地將芯片21固定成連續(xù)狀，而且，無需如以往那樣使從預(yù)成形位置(預(yù)成形生 產(chǎn)線)到固定位置(固定生產(chǎn)線)的距離形成得大，能夠縮短整個(gè)工序時(shí)間，能夠提高生產(chǎn) 性。而且，能夠縮短從預(yù)成形(涂敷涂敷劑50)到將芯片21固定在該涂敷部(固定部位 20)為止的時(shí)間，能夠在涂敷劑50變干之前，S卩在涂敷劑50硬化之前進(jìn)行固定，從而涂敷形 狀不會變形，能夠?qū)崿F(xiàn)高品質(zhì)化。通過調(diào)整工件W的位置，能夠使未對應(yīng)的固定部位20對應(yīng)于預(yù)成形位置，從而能 夠?qū)崿F(xiàn)更進(jìn)一步的作業(yè)的高效化。
尤其是，在一個(gè)工件W中，從最初的固定動作開始時(shí)到最終的預(yù)成形動作結(jié)束為 止，能在預(yù)成形動作過程中進(jìn)行固定動作，因此不會成為在預(yù)成形動作過程中無法進(jìn)行固 定動作的狀態(tài)，也不會成為在固定動作中無法進(jìn)行預(yù)成形動作的狀態(tài)。以上，說明了本發(fā)明的實(shí)施方式，但本發(fā)明并不局限于所述實(shí)施方式而能夠進(jìn)行 各種變形，例如，作為涂敷裝置，在所述實(shí)施方式中使用了轉(zhuǎn)印針，但也可以使用具備噴出 涂敷劑的噴嘴的分配裝置。而且，作為輸送機(jī)構(gòu)，在所述實(shí)施方式中使用了夾持傳送裝置， 但也可以使用內(nèi)置有加熱器的加熱軌等。另外，作為工件W為長方狀基板，除所述引線框之外，還包含配置有各種電子部件 等的基板(例如，印制基板等)。固定部位的長度方向間距Pl及寬度方向間距P2可以任意 設(shè)定，一張工件W中的固定部位形成區(qū)域數(shù)及各固定部位形成區(qū)域內(nèi)的固定部位數(shù)也可以 任意設(shè)定。工業(yè)實(shí)用性能夠使用于半導(dǎo)體制造裝置中的固定工序。固定工序使筒夾位于撿拾位置上，在 該狀態(tài)下使筒夾下降，吸附撿拾位置上的芯片。然后，在使筒夾上升后，使其位于結(jié)合位置 上。將筒夾吸附的芯片固定(結(jié)合)在工件的固定位置。
權(quán)利要求
1.一種固定裝置，在工件的固定部位上固定芯片，其特征在于，具備預(yù)成形機(jī)構(gòu)，其在上游側(cè)的預(yù)成形范圍內(nèi)的第一預(yù)成形位置或第二預(yù)成形位置對所述 固定部位涂敷漿糊狀的涂敷劑；固定機(jī)構(gòu)，其在下游側(cè)的固定位置將芯片固定在涂敷有涂 敷劑的固定部位上；輸送機(jī)構(gòu)，其將所述工件從上游側(cè)向下游側(cè)進(jìn)行間距輸送；第一調(diào)整 機(jī)構(gòu)，其在利用所述間距輸送進(jìn)行工件輸送而未涂敷涂敷劑狀態(tài)的固定部位未對應(yīng)于所述 任一預(yù)成形位置時(shí)，調(diào)整所述預(yù)成形機(jī)構(gòu)以使其對應(yīng)于其它的預(yù)成形位置；第二調(diào)整機(jī)構(gòu)， 其在利用所述間距輸送進(jìn)行工件輸送而固定部位未對應(yīng)于固定位置時(shí)，調(diào)整工件的位置以 使固定部位對應(yīng)于固定位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固定裝置，其特征在于，第一調(diào)整機(jī)構(gòu)在通過第二調(diào)整機(jī)構(gòu)進(jìn)行工件的位置調(diào)整時(shí)變更預(yù)成形位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的固定裝置，其特征在于，所述固定位置是從由預(yù)成形機(jī)構(gòu)確定的預(yù)成形范圍結(jié)束位置向下游側(cè)離開與所述預(yù) 成形范圍相同尺寸或比預(yù)成形范圍小規(guī)定尺寸的位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的固定裝置，其特征在于，在一個(gè)工件中，從最初的固定動作開始時(shí)到最終的預(yù)成形動作結(jié)束為止，在預(yù)成形動 作過程中能夠進(jìn)行固定動作。
5.一種固定方法，在上游側(cè)的預(yù)成形位置對工件的固定部位涂敷漿糊狀的涂敷劑后， 在下游側(cè)的固定位置，將芯片依次固定在涂敷有涂敷劑的固定部位上，所述固定方法的特 征在于，在工件的固定部位未對應(yīng)于所述預(yù)成形位置時(shí)，將預(yù)成形位置變更為對應(yīng)于固定部 位，在固定部位未對應(yīng)于固定位置時(shí)，調(diào)整工件的位置，以使固定部位對應(yīng)于固定位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的固定方法，其特征在于，在調(diào)整工件的位置的同時(shí)，變更預(yù)成形位置而使未涂敷涂敷劑狀態(tài)的固定部位對應(yīng)于 預(yù)成形位置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠使固定生產(chǎn)線接近預(yù)成形生產(chǎn)線，能夠提高生產(chǎn)性，而且在固定時(shí)之前涂敷劑不易變干，能夠進(jìn)行高品質(zhì)的固定的固定裝置及固定方法。在上游側(cè)的預(yù)成形位置對工件(W)的固定部位(20)涂敷漿糊狀的涂敷劑(50)后，在下游側(cè)的固定位置將芯片(21)依次固定在涂敷有涂敷劑(50)的固定部位(20)上。在工件(W)的固定部位(20)未對應(yīng)于預(yù)成形位置時(shí)，變更預(yù)成形位置以使其對應(yīng)于固定部位。在固定部位(20)未對應(yīng)于固定位置時(shí)，調(diào)整工件(W)的位置以使固定部位(20)對應(yīng)于固定位置。
文檔編號H01L21/58GK102082076SQ20101056250
公開日2011年6月1日 申請日期2010年11月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月26日
發(fā)明者林洋志 申請人:佳能機(jī)械株式會社