專利名稱：一種金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)測(cè)方法。
背景技術(shù)：
在集成電路制造工藝中，為滿足集成電路對(duì)金屬導(dǎo)線電阻大小的要求，在金屬層刻蝕之后通常還會(huì)包括金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)測(cè)步驟。在金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)測(cè)步驟中，獲取金屬導(dǎo)線的寬度和厚度，并計(jì)算出金屬導(dǎo)線的橫截面積。金屬導(dǎo)線的橫截面積直接的影響了其電阻大小，其橫截面積越大則電阻越小，橫截面積越小則電阻越大。因此，可以通過(guò)監(jiān)測(cè)并調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸實(shí)現(xiàn)調(diào)整金屬導(dǎo)線的電阻大小。現(xiàn)有的一種金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)測(cè)方法為測(cè)量金屬導(dǎo)線頂部的寬度并測(cè)量金屬導(dǎo)線的厚度，以金屬導(dǎo)線頂部的寬度作為金屬導(dǎo)線的寬度，根據(jù)金屬導(dǎo)線的寬度和厚度來(lái)計(jì)算其橫截面積。后續(xù)步驟中可以根據(jù)金屬導(dǎo)線電阻橫截面積計(jì)算出其電阻值，若金屬導(dǎo)線電阻滿足集成電路中的要求，則保持現(xiàn)有金屬層刻蝕制程中的工藝參數(shù)，使金屬導(dǎo)線尺寸保持不變，否則，根據(jù)集成電路中對(duì)金屬導(dǎo)線電阻的要求，調(diào)整金屬層刻蝕制程中的工藝參數(shù)，以調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸。但是，在實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景中，不同的刻蝕設(shè)備或同一刻蝕設(shè)備在不同的時(shí)期刻蝕形成的金屬導(dǎo)線的橫截面形狀不一致，如圖1所示的金屬導(dǎo)線的橫截面比較垂直，約為87°， 其頂部和底部的寬度差別較小，如圖2所示的金屬導(dǎo)線的橫截面比較傾斜，約為83°，其頂部和底部的寬度差別較大。圖1所示的金屬導(dǎo)線頂部寬度和圖2所示的金屬導(dǎo)線的頂部寬度相同，但底部寬度不同，所以其橫截面積不同，電阻也不同?？芍绊懡饘賹?dǎo)線電阻的參數(shù)實(shí)際是其橫截面積，不是其橫截面的頂部寬度。因此，現(xiàn)有的金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)測(cè)方法存在以下缺陷其所監(jiān)測(cè)的金屬導(dǎo)線尺寸變化不能準(zhǔn)確的反映出金屬導(dǎo)線橫截面積變化，進(jìn)而金屬導(dǎo)線尺寸變化不能準(zhǔn)確的反映金屬導(dǎo)線電阻的變化，因此難以通過(guò)調(diào)整金屬導(dǎo)線尺寸實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)線電阻的準(zhǔn)確調(diào)整。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)測(cè)方法，使監(jiān)測(cè)到金屬導(dǎo)線尺寸變化能準(zhǔn)確的反映其電阻的變化，進(jìn)而通過(guò)調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)線電阻的準(zhǔn)確調(diào)整。為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明實(shí)施例提供了如下技術(shù)方案—種金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)控方法，在預(yù)設(shè)了金屬導(dǎo)線電阻的區(qū)間后，包括根據(jù)金屬導(dǎo)線電阻的區(qū)間計(jì)算得到金屬導(dǎo)線橫截面積的區(qū)間；根據(jù)金屬導(dǎo)線橫截面積的區(qū)間和其厚度計(jì)算得到金屬導(dǎo)線的尺寸區(qū)間，即第一尺寸區(qū)間；根據(jù)所述第一尺寸區(qū)間監(jiān)控并調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸，所述金屬導(dǎo)線的尺寸包括其橫截面的頂部寬度和底部寬度。
優(yōu)選的，所述第一尺寸區(qū)間為金屬導(dǎo)線橫截面的頂部寬度和底部寬度的平均值。優(yōu)選的，所述金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)控方法，還包括預(yù)先設(shè)定金屬導(dǎo)線頂部寬度的尺寸區(qū)間，即第二尺寸區(qū)間；當(dāng)所述頂部寬度不滿足第二尺寸區(qū)間時(shí)，調(diào)整所述金屬導(dǎo)線的尺寸。優(yōu)選的，所述金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)控方法，還包括預(yù)先設(shè)定金屬導(dǎo)線底部寬度的尺寸區(qū)間，即第三尺寸區(qū)間；當(dāng)所述底部寬度不滿足第三尺寸區(qū)間時(shí)，調(diào)整所述金屬導(dǎo)線的尺寸。優(yōu)選的，所述監(jiān)控并調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸，包括分別測(cè)量獲取金屬導(dǎo)線橫截面的頂部寬度和底部寬度。優(yōu)選的，所述監(jiān)控并調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸，包括通過(guò)調(diào)整金屬層刻蝕中的工藝參數(shù)，調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸。優(yōu)選的，所述金屬導(dǎo)線的橫截面為梯形，其頂部寬度小于其底部寬度。優(yōu)選的，所述金屬導(dǎo)線的橫截面積為其頂部寬度和底部寬度的平均值與其厚度的乘積，所述金屬導(dǎo)線的頂部寬度和底部寬度的平均值與其電阻成反比。與現(xiàn)有技術(shù)相比，上述技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明實(shí)施例所提供的技術(shù)方案，通過(guò)同時(shí)監(jiān)測(cè)金屬導(dǎo)線橫截面的頂部寬度和底部寬度，能夠準(zhǔn)確的獲知具有一定傾斜角度的金屬導(dǎo)線的橫截面積，進(jìn)而使監(jiān)測(cè)的金屬導(dǎo)線尺寸變化能夠準(zhǔn)確的反映金屬導(dǎo)線電阻的變化，因此能夠通過(guò)調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)線電阻的準(zhǔn)確調(diào)整。


為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為背景技術(shù)部分提供的一種金屬導(dǎo)線的橫截面測(cè)量方式示意圖；圖2為背景技術(shù)部分提供的另一種金屬導(dǎo)線的橫截面測(cè)量方式示意圖；圖3為實(shí)施例一提供的金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)控方法流程示意圖；圖4為實(shí)施例一提供的金屬導(dǎo)線的橫截面測(cè)量方式示意圖；圖5為實(shí)施例二提供的金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)控方法流程示意圖；圖6為實(shí)施例三提供的金屬導(dǎo)線的橫截面測(cè)量方式示意圖。
具體實(shí)施例方式正如背景技術(shù)部分所述，不同的刻蝕設(shè)備或同一刻蝕設(shè)備在不同的時(shí)期刻蝕形成的金屬導(dǎo)線的橫截面的形狀不一致，具有不同傾角的金屬導(dǎo)線的頂部和底部的尺寸的差別不同，因此不同的金屬導(dǎo)線可能會(huì)存在橫截面頂部寬度相同，底部寬度不同，橫截面積不同，電阻也不同的情況。可知，影響金屬導(dǎo)線電阻的參數(shù)實(shí)際是其橫截面積，不是頂部的寬度。因此，現(xiàn)有的金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)測(cè)方法存在以下缺陷其所監(jiān)測(cè)的金屬導(dǎo)線尺寸變化不能準(zhǔn)確的反映出金屬導(dǎo)線橫截面積變化，進(jìn)而可知其所監(jiān)測(cè)的金屬導(dǎo)線尺寸變化不能準(zhǔn)確的反映金屬導(dǎo)線電阻的變化，因此調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸不能實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)線電阻的準(zhǔn)確調(diào)整?；谏鲜鲅芯康幕A(chǔ)上，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)控方法，在預(yù)設(shè)了金屬導(dǎo)線電阻的區(qū)間后，該方法包括以下步驟根據(jù)金屬導(dǎo)線電阻的區(qū)間計(jì)算得到金屬導(dǎo)線橫截面積的區(qū)間；根據(jù)金屬導(dǎo)線橫截面積的區(qū)間和其厚度計(jì)算得到金屬導(dǎo)線的尺寸區(qū)間，即第一尺寸區(qū)間；根據(jù)所述第一尺寸區(qū)間監(jiān)控并調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸，所述金屬導(dǎo)線的尺寸包括其橫截面的頂部寬度和底部寬度。本發(fā)明實(shí)施例所提供的技術(shù)方案，通過(guò)同時(shí)監(jiān)測(cè)金屬導(dǎo)線橫截面的頂部寬度和底部寬度，能夠準(zhǔn)確的獲知具有一定傾斜角度的金屬導(dǎo)線的橫截面積，進(jìn)而使監(jiān)測(cè)的金屬導(dǎo)線尺寸變化能夠準(zhǔn)確的反映金屬導(dǎo)線電阻的變化，因此能夠通過(guò)調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)線電阻的準(zhǔn)確調(diào)整。以上是本申請(qǐng)的核心思想，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例， 而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是本發(fā)明還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來(lái)實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本發(fā)明不受下面公開(kāi)的具體實(shí)施例的限制。其次，本發(fā)明結(jié)合示意圖進(jìn)行詳細(xì)描述，在詳述本發(fā)明實(shí)施例時(shí)，為便于說(shuō)明，表示器件結(jié)構(gòu)的剖面圖會(huì)不依一般比例作局部放大，而且所述示意圖只是示例，其在此不應(yīng)限制本發(fā)明保護(hù)的范圍。此外，在實(shí)際制作中應(yīng)包含長(zhǎng)度、寬度及深度的三維空間尺寸。實(shí)施例一本發(fā)明實(shí)施例提供了一種金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)控方法，如圖3所示，為該方法的一種流程示意圖，該方法具體包括以下步驟步驟S301 預(yù)先設(shè)定金屬導(dǎo)線電阻的區(qū)間。所述金屬導(dǎo)線電阻的區(qū)間可以根據(jù)對(duì)所要形成的半導(dǎo)體器件的電性要求設(shè)定，受現(xiàn)有工藝水平的限制。步驟S302 根據(jù)金屬導(dǎo)線電阻的區(qū)間計(jì)算得到金屬導(dǎo)線橫截面積的區(qū)間。通常，金屬導(dǎo)線的電阻值與其橫截面積成反比。步驟S303 根據(jù)金屬導(dǎo)線橫截面積的區(qū)間和其厚度計(jì)算得到金屬導(dǎo)線的尺寸區(qū)間，即第一尺寸區(qū)間；通常刻蝕后形成的金屬導(dǎo)線的兩側(cè)邊并不垂直于晶片，而是具有一定的傾斜角度，其橫截面為梯形結(jié)構(gòu)，且頂部寬度小于其底部寬度。
由于用于刻蝕形成導(dǎo)線的金屬層厚度通常為設(shè)定的值，不用作調(diào)整，因此刻蝕后形成的金屬導(dǎo)線的厚度固定，所以金屬導(dǎo)線的寬度可以準(zhǔn)確的反映出其橫截面積的大小， 進(jìn)而金屬導(dǎo)線的寬度可以準(zhǔn)確的反映出其電阻的大小。因金屬導(dǎo)線的寬度與其橫截面積成正比，金屬導(dǎo)線的橫截面積與其電阻成反比，所以金屬導(dǎo)線的寬度與其電阻成反比。因此， 可以通過(guò)增加金屬導(dǎo)線的寬度實(shí)現(xiàn)減小其電阻值，通過(guò)減小金屬導(dǎo)線的寬度實(shí)現(xiàn)增加其電阻值。由于金屬導(dǎo)線橫截面為梯形結(jié)構(gòu)，其頂部寬度和底部寬度不同，金屬導(dǎo)線的橫截面積為其頂部寬度和底部寬度的平均值與其厚度的乘積，金屬導(dǎo)線的頂部寬度和底部寬度的平均值與其電阻成反比。因此，如果僅監(jiān)測(cè)并調(diào)整其頂部寬度，則無(wú)法準(zhǔn)確的調(diào)整金屬導(dǎo)線的橫截面積，進(jìn)而無(wú)法使金屬導(dǎo)線的電阻滿足設(shè)定的區(qū)間。本實(shí)施例中所述第一尺寸區(qū)間為金屬導(dǎo)線橫截面的頂部寬度和底部寬度的平均值。步驟S304 根據(jù)所述第一尺寸區(qū)間監(jiān)控并調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸，所述金屬導(dǎo)線的尺寸包括其橫截面的頂部寬度和底部寬度。相比于現(xiàn)有技術(shù)中僅監(jiān)測(cè)調(diào)整金屬導(dǎo)線頂部寬度的方案，本實(shí)施例中，可以在生產(chǎn)過(guò)程中分別測(cè)量獲取金屬導(dǎo)線橫截面的頂部寬度和底部寬度(如圖4提供的金屬導(dǎo)線測(cè)量示意圖所示)，具體的可以通過(guò)調(diào)整金屬層刻蝕中的工藝參數(shù)，調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸，如可以通過(guò)調(diào)整刻蝕時(shí)掩模圖形的寬度或調(diào)整刻蝕用量來(lái)調(diào)整金屬導(dǎo)線的寬度。一般情況下，在增加金屬導(dǎo)線頂部寬度的同時(shí)，其底部寬度也會(huì)相應(yīng)的增加，其橫截面積增加、電阻減小。本發(fā)明實(shí)施例所提供的技術(shù)方案，通過(guò)同時(shí)監(jiān)測(cè)金屬導(dǎo)線橫截面的頂部寬度和底部寬度，能夠準(zhǔn)確的獲知具有一定傾斜角度的金屬導(dǎo)線的橫截面積，進(jìn)而使監(jiān)測(cè)的金屬導(dǎo)線尺寸變化能夠準(zhǔn)確的反映金屬導(dǎo)線電阻的變化，因此能夠通過(guò)調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)線電阻的準(zhǔn)確調(diào)整。實(shí)施例二為防止金屬導(dǎo)線在橫截面積一定的情況下，其局部寬度或形狀發(fā)生變形，本發(fā)明提供的技術(shù)方案還可以包括對(duì)金屬導(dǎo)線頂部寬度的監(jiān)測(cè)的限制。具體的可以預(yù)先設(shè)置限制金屬導(dǎo)線頂部寬度在第二尺寸區(qū)間內(nèi)，當(dāng)監(jiān)測(cè)發(fā)現(xiàn)所述頂部寬度不滿足第二尺寸區(qū)間時(shí)， 通過(guò)調(diào)整金屬層刻蝕中的工藝參數(shù)，實(shí)現(xiàn)調(diào)整金屬導(dǎo)線的頂部寬度。因此本實(shí)施例提供的金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)控方法，如圖5提供的方法流程示意圖，還可以包括以下步驟步驟S501，預(yù)先設(shè)定金屬導(dǎo)線頂部寬度的尺寸區(qū)間，即第二尺寸區(qū)間；步驟S502，判斷所述頂部寬度是否滿足第二尺寸區(qū)間，如果否則執(zhí)行步驟S503 ；步驟S503，調(diào)整所述金屬導(dǎo)線的尺寸，使所述頂部寬度滿足第二尺寸區(qū)間。本實(shí)施例中，通過(guò)單獨(dú)監(jiān)測(cè)調(diào)整金屬導(dǎo)線頂部的寬度可以防止金屬導(dǎo)線在橫截面積一定的情況下，其局部寬度或形狀發(fā)生變形，因此能夠更加準(zhǔn)確的實(shí)現(xiàn)根據(jù)對(duì)電阻的需求調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸。實(shí)施例三為防止金屬導(dǎo)線在橫截面積一定的情況下，其局部寬度或形狀發(fā)生變形，本發(fā)明提供的技術(shù)方案還可以包括對(duì)金屬導(dǎo)線底部寬度的監(jiān)測(cè)的限制。具體的可以預(yù)先設(shè)置限制金屬導(dǎo)線底部在第三尺寸區(qū)間內(nèi)，當(dāng)監(jiān)測(cè)發(fā)現(xiàn)所述底部寬度不滿足第三尺寸區(qū)間時(shí)，通過(guò)調(diào)整金屬層刻蝕中的工藝參數(shù)，實(shí)現(xiàn)調(diào)整金屬導(dǎo)線的底部寬度。因此本實(shí)施例提供的金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)控方法，如圖6提供的方法流程示意圖，還可以包括以下步驟步驟S601，預(yù)先設(shè)定金屬導(dǎo)線底部寬度的尺寸區(qū)間，即第三尺寸區(qū)間；步驟S602，判斷所述底部寬度是否滿足第三尺寸區(qū)間，如果否則執(zhí)行步驟S603 ；步驟S603，調(diào)整所述金屬導(dǎo)線的尺寸，使所述底部寬度滿足第三尺寸區(qū)間。本實(shí)施例中，通過(guò)單獨(dú)監(jiān)測(cè)調(diào)整金屬導(dǎo)線頂部的寬度可以防止金屬導(dǎo)線在橫截面積一定的情況下，其局部寬度或形狀發(fā)生變形，因此能夠更加準(zhǔn)確的實(shí)現(xiàn)根據(jù)對(duì)電阻的需求調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸。本發(fā)明實(shí)施例所提供的技術(shù)方案，通過(guò)同時(shí)監(jiān)測(cè)金屬導(dǎo)線橫截面的頂部寬度和底部寬度，能夠準(zhǔn)確的獲知具有一定傾斜角度的金屬導(dǎo)線的橫截面積，進(jìn)而使監(jiān)測(cè)的金屬導(dǎo)線尺寸變化能夠準(zhǔn)確的反映金屬導(dǎo)線電阻的變化，因此能夠通過(guò)調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)線電阻的準(zhǔn)確調(diào)整。本說(shuō)明書(shū)中各個(gè)部分采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)部分重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他部分的不同之處，各個(gè)部分之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求
1.一種金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)控方法，其特征在于，在預(yù)設(shè)了金屬導(dǎo)線電阻的區(qū)間后，包括 根據(jù)金屬導(dǎo)線電阻的區(qū)間計(jì)算得到金屬導(dǎo)線橫截面積的區(qū)間；根據(jù)金屬導(dǎo)線橫截面積的區(qū)間和其厚度計(jì)算得到金屬導(dǎo)線的尺寸區(qū)間，即第一尺寸區(qū)間；根據(jù)所述第一尺寸區(qū)間監(jiān)控并調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸，所述金屬導(dǎo)線的尺寸包括其橫截面的頂部寬度和底部寬度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括所述第一尺寸區(qū)間為金屬導(dǎo)線橫截面的頂部寬度和底部寬度的平均值。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括 預(yù)先設(shè)定金屬導(dǎo)線頂部寬度的尺寸區(qū)間，即第二尺寸區(qū)間； 當(dāng)所述頂部寬度不滿足第二尺寸區(qū)間時(shí)，調(diào)整所述金屬導(dǎo)線的尺寸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括 預(yù)先設(shè)定金屬導(dǎo)線底部寬度的尺寸區(qū)間，即第三尺寸區(qū)間； 當(dāng)所述底部寬度不滿足第三尺寸區(qū)間時(shí)，調(diào)整所述金屬導(dǎo)線的尺寸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述監(jiān)控并調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸，包括 分別測(cè)量獲取金屬導(dǎo)線橫截面的頂部寬度和底部寬度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述監(jiān)控并調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸，包括 通過(guò)調(diào)整金屬層刻蝕中的工藝參數(shù)，調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述金屬導(dǎo)線的橫截面為梯形，其頂部寬度小于其底部寬度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述金屬導(dǎo)線的橫截面積為其頂部寬度和底部寬度的平均值與其厚度的乘積，所述金屬導(dǎo)線的頂部寬度和底部寬度的平均值與其電阻成反比。
全文摘要
本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種金屬導(dǎo)線尺寸監(jiān)控方法，該方法在預(yù)設(shè)了金屬導(dǎo)線電阻的區(qū)間后，包括根據(jù)金屬導(dǎo)線電阻的區(qū)間計(jì)算得到其橫截面積的區(qū)間；根據(jù)金屬導(dǎo)線橫截面積的區(qū)間和其厚度計(jì)算得到金屬導(dǎo)線的尺寸區(qū)間，即第一尺寸區(qū)間；根據(jù)所述第一尺寸區(qū)間監(jiān)控并調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸，所述金屬導(dǎo)線的尺寸包括其橫截面的頂部寬度和底部寬度。本發(fā)明通過(guò)同時(shí)監(jiān)測(cè)金屬導(dǎo)線橫截面的頂部寬度和底部寬度，能夠準(zhǔn)確的獲知具有一定傾斜角度的金屬導(dǎo)線的橫截面積，進(jìn)而使監(jiān)測(cè)的金屬導(dǎo)線尺寸變化能夠準(zhǔn)確的反映金屬導(dǎo)線電阻的變化，因此能夠通過(guò)調(diào)整金屬導(dǎo)線的尺寸實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)線電阻的準(zhǔn)確調(diào)整。
文檔編號(hào)H01L21/66GK102569114SQ20101059358
公開(kāi)日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2010年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月17日
發(fā)明者李健, 胡駿 申請(qǐng)人:無(wú)錫華潤(rùn)上華半導(dǎo)體有限公司, 無(wú)錫華潤(rùn)上華科技有限公司