專利名稱：射頻等離子的透明導電膜的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種導電復合材料，尤其涉及一種使用射頻等離子技術制備的透明導 電膜。
背景技術：
透明導電膜是制備太陽能電池、液晶顯示器等器件的重要材料，透明導電膜是在 透明基材上覆透明導電層形成，為了提高基材與導電層之間的界面粘合力，往往需要在基 材和透明導電層之間加一層硬化涂層，該硬化涂層需要在高溫條件下才能固化，但是在高 溫處理過程中，基材表面的分子結構分布不均勻就會產生散射現象，形成“彩虹紋”進而影 響產品的視覺效果和透光度，另外，硬化涂層使用的各種物料、溶劑也增大了產品的制造成 本。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的是克服現有技術存在的不足，提供一種射頻等離子的透明導電膜。本發(fā)明的目的通過以下技術方案來實現射頻等離子的透明導電膜，基材為PET膜，特點所述PET膜的正面涂有硬化涂層， 硬化涂層表面覆有PE保護膜；所述PET膜的背面形成有RF等離子處理層，RF等離子處理 層上濺鍍有透明導電層。進一步地，上述的射頻等離子的透明導電膜，所述透明導電層上覆有PE保護膜。本發(fā)明技術方案的實質性特點和進步主要體現在采用射頻等離子技術對基材進行表面處理，不僅能夠改善基材表面的化學組分和 浸潤性能，保證基材與導電層之間可靠的粘附效果，而且能夠降低導電膜的表面粗糙度和 方塊電阻；導電層直接在基材表面通過真空濺鍍的方式形成的，省去了使用光學膠粘貼導 電膜的步驟，節(jié)省了成本；在基材正面涂硬化涂層，提高表面耐劃傷性和耐化學腐蝕性，大 大延長了產品的使用壽命。


下面結合附圖對本發(fā)明技術方案作進一步說明圖1 本發(fā)明的截面示意圖；圖中各附圖標記的含義I-PET膜，2-硬化涂層，3RF等離子處理層，4_透明導電層，5PE保護膜，6-PE保護膜。
具體實施例方式如圖1所示，射頻等離子的透明導電膜，基材為PET膜1，PET膜1的正面涂有硬化 涂層2，硬化涂層2表面覆有PE保護膜5 ；PET膜1的背面經過射頻等離子處理形成有RF等離子處理層3，RF等離子處理層3上濺鍍有透明導電層4，透明導電層4上覆有PE保護膜 6。PET膜1的透光率在90%以上，介電強度為16. 9KV/mm，可阻擋紫外線，氣體和水蒸 氣滲透率低。PET膜的正面涂有硬化涂層，硬化涂層表面覆有PE保護膜；硬化涂層2硬化 后的表面硬度達到3H/750g以上，透光率> 90%，硬化涂層的硬化過程是在光照的條件下 完成；透明導電層4的材料為納米銦錫金屬氧化物，其中Ln2O3和Sn2O3的比例為9:1。采用聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜為基材，在賦予材料高透光性的前提下，提 供了復合材料加工成不同結構的可能，在PET背面以RF等離子處理層代替硬化涂層，保證 基材與導電層間有可靠的附著效果，同時還可以降低導電膜的表面粗糙度和方塊電阻；該 透明導電膜的透明導電層使用真空濺鍍的方式濺鍍納米銦錫金屬氧化物，省去在基材上通 過光學膠水粘貼導電膜的步驟，節(jié)省了成本；在基板正面涂上硬化涂層可以提高產品的耐 劃傷性，延長產品的使用壽命。本發(fā)明可以廣泛應用于觸控面板、電子游戲機、幼兒教學機、 智能手機、平板電腦等方面。需要強調的是以上僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上 的限制，凡是依據本發(fā)明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾， 均仍屬于本發(fā)明技術方案的范圍內。
權利要求
1.射頻等離子的透明導電膜，基材為PET膜，其特征在于所述PET膜的正面涂有硬化 涂層，硬化涂層表面覆有PE保護膜；所述PET膜的背面形成有RF等離子處理層，RF等離子 處理層上濺鍍有透明導電層。
2.根據權利要求1所述的射頻等離子的透明導電膜，其特征在于所述透明導電層上 覆有PE保護膜。
全文摘要
本發(fā)明提供一種射頻等離子的透明導電膜，基材為PET膜，PET膜的正面涂有硬化涂層，硬化涂層表面覆有PE保護膜；PET膜的背面形成有RF等離子處理層，RF等離子處理層上濺鍍有透明導電層，透明導電層上覆有PE保護膜。該透明導電薄膜在結構上減省了一層硬化涂層，卻增加了RF等離子處理層，使透明導電層與PET薄膜間仍有可靠的附著效果，即使經過高溫回火后電阻值仍然具有可以保持均勻穩(wěn)定的優(yōu)異特性，可廣泛應用于觸控面板、電子游戲機、幼兒教學機、智能手機、平板電腦等方面。
文檔編號H01B5/14GK102074281SQ20101059934
公開日2011年5月25日 申請日期2010年12月21日 優(yōu)先權日2010年12月21日
發(fā)明者武俊, 汪倩文 申請人:蘇州禾盛新型材料股份有限公司