專利名稱：二極管用玻璃鈍化工藝的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種硅半導體二極管制造領域，特別是涉及二極管用玻璃鈍化工藝。

背景技術：
整流二極管是最基本的電子組件，可將發(fā)電廠所供應之交流電轉變?yōu)殡姍C系統(tǒng)與電子電路所使用之直流電，其功能很單純卻也很重要，小至家電用品，大至工業(yè)設備用電， 整流半導體扮演的角色舉足輕重，無所不在，少了它電器產(chǎn)品將無法運作，早已經(jīng)普遍應用在各式各樣的電器用品中，然而自從美國GE公司發(fā)明了性能優(yōu)異的GI^R玻璃球全包覆形式之整流二極管后，直到現(xiàn)在將近三十年的時間，整流二極管鈍化的技術，并無太大的變化。 若要使整流二極管達成整流效果，電流必須只能從節(jié)點(Junction)接合處通過，才能有整流作用；但在逆向偏壓狀態(tài)下，電流也會不經(jīng)過Junction面的阻擋，由晶粒的切割面，透過空氣直接由N面流到P面，產(chǎn)生逆向漏電(IR)的現(xiàn)象，此現(xiàn)象在高電壓下尤其明顯；因此在切割面上，還要做鈍化(Passivation)的處理，以隔絕空氣及污染，并避免P_N接口之損傷， 來達成整流之作用，也可以說鈍化效果的好壞，為決定整流二極管質量好壞的最關鍵因素。說明書內(nèi)容針對現(xiàn)有技術的不足，本發(fā)明提供二極管用玻璃鈍化工藝。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術方案實現(xiàn)二極管用玻璃鈍化工藝，以玻璃為鈍化材料，由以下步驟構成a.晶圓涂附在晶圓表面涂附光阻劑；b.晶圓切割將上述a步驟中得到的晶圓切割成晶粒；c.晶粒酸洗將上述b步驟中得到的晶粒放入滾籃內(nèi)，放入混合酸腐蝕液中進行腐蝕，轉動滾籃，將腐蝕溫度控制在_5°C 0°C，腐蝕時間控制在300s 500s，酸洗后去除表面雜質；d.配制玻璃漿用溶劑將乙基纖維素和丙酮稀釋劑的投料為Ig 5ml Ig 20ml，將配置好的混合液放在燒杯中加熱攪拌溶解，制得所需的玻璃漿用溶劑；e.配制玻璃漿將步驟(3)中制得的玻璃漿用溶劑和鉛系玻璃粉按3ml 5g比例倒入茄形瓶中進行攪拌，制得所需的玻璃漿；f.晶粒接點面鈍化上述c步驟中得到的晶粒，將其切割面涂附玻璃漿，將其放置到石英舟內(nèi)，將預燒溫度控制在575 585°C，加熱20min，進行第一段預燒，調(diào)整爐溫，將爐溫升高至820°C，加熱20min ；g.晶粒金屬化上述d步驟中得到的晶粒，將其表面鍍上金屬膜，形成所需的產(chǎn)
品；上述步驟c中所述的混合酸腐蝕液，由硝酸、氫氟酸和冰乙酸組成，所述的硝酸、 氫氟酸和冰乙酸按體積比計，投料比為9 9 12；上述步驟d中所述的玻璃漿，由乙基纖維素和丙酮稀釋劑組成，所述的乙基纖維素和丙酮稀釋劑按體積比計，投料比為5 18。
本發(fā)明的有益效果在于利用低溫緩慢酸洗腐蝕來保證切割面的正角，常規(guī)的開溝腐蝕會造成切割面的負角及一定角度的傾斜坡度，無法完成鈍化玻璃的包封，即使包封成功，良品率及可靠性能都會很低。
具體實施例方式實施例1
二極管用玻璃鈍化工藝，以玻璃為鈍化材料，由以下步驟構成a.晶圓涂附在晶圓表面涂附光阻劑；b.晶圓切割將上述a步驟中得到的晶圓切割成晶粒；c.晶粒酸洗將上述b步驟中得到的晶粒放入滾籃內(nèi)，放入混合酸腐蝕液中進行腐蝕，轉動滾籃，將腐蝕溫度控制在_5°C，腐蝕時間控制在300s，酸洗后去除表面雜質；d.配制玻璃漿用溶劑將乙基纖維素和丙酮稀釋劑的投料為lg 5ml，將配置好的混合液放在燒杯中加熱攪拌溶解，制得所需的玻璃漿用溶劑；e.配制玻璃漿將步驟(3)中制得的玻璃漿用溶劑和鉛系玻璃粉按3ml 5g比例倒入茄形瓶中進行攪拌，制得所需的玻璃漿；f.晶粒接點面鈍化上述c步驟中得到的晶粒，將其切割面涂附玻璃漿，將其放置到石英舟內(nèi)，將預燒溫度控制在575°C，加熱20min，進行第一段預燒，調(diào)整爐溫，將爐溫升高至820°C，加熱20min ；g.晶粒金屬化上述d步驟中得到的晶粒，將其表面鍍上金屬膜，形成所需的產(chǎn)
P
m ；上述步驟a中所述的光阻劑為市場所購成品。上述步驟c中所述的混合酸腐蝕液，由硝酸、氫氟酸和冰乙酸組成，所述的硝酸、 氫氟酸和冰乙酸按體積比計，投料比為9 9 12；上述步驟d中所述的玻璃漿，由乙基纖維素和丙酮稀釋劑組成，所述的乙基纖維素和丙酮稀釋劑按體積比計，投料比為5 18。實施例2二極管用玻璃鈍化工藝，以玻璃為鈍化材料，由以下步驟構成a.晶圓涂附在晶圓表面涂附光阻劑；b.晶圓切割將上述a步驟中得到的晶圓切割成晶粒；c.晶粒酸洗將上述b步驟中得到的晶粒放入滾籃內(nèi)，放入混合酸腐蝕液中進行腐蝕，轉動滾籃，將腐蝕溫度控制在0°c，腐蝕時間控制在500s，酸洗后去除表面雜質；d.配制玻璃漿用溶劑將乙基纖維素和丙酮稀釋劑的投料為Ig 20ml，將配置好的混合液放在燒杯中加熱攪拌溶解，制得所需的玻璃漿用溶劑；e.配制玻璃漿將步驟(3)中制得的玻璃漿用溶劑和鉛系玻璃粉按3ml 5g比例倒入茄形瓶中進行攪拌，制得所需的玻璃漿；f.晶粒接點面鈍化上述c步驟中得到的晶粒，將其切割面涂附玻璃漿，將其放置到石英舟內(nèi)，將預燒溫度控制在585°C，加熱20min，進行第一段預燒，調(diào)整爐溫，將爐溫升高至820°C，加熱20min ；g.晶粒金屬化上述d步驟中得到的晶粒，將其表面鍍上金屬膜，形成所需的產(chǎn)P
m ；上述步驟a中所述的光阻劑為市場所購成品。上述步驟c中所述的混合酸腐蝕液，由硝酸、氫氟酸和冰乙酸組成，所述的硝酸、 氫氟酸和冰乙酸按體積比計，投料比為9 9 12；上述步驟d中所述的玻璃漿，由乙基纖維素和丙酮稀釋劑組成，所述的乙基纖維素和丙酮稀釋劑按體積比計，投料比為5 18。實施例3二極管用玻璃鈍化工藝，以玻璃為鈍化材料，由以下步驟構成a.晶圓涂附在晶圓表面涂附光阻劑；b.晶圓切割將上述a步驟中得到的晶圓切割成晶粒；c.晶粒酸洗將上述b步驟中得到的晶粒放入滾籃內(nèi)，放入混合酸腐蝕液中進行腐蝕，轉動滾籃，將腐蝕溫度控制在_3°C，腐蝕時間控制在400s，酸洗后去除表面雜質；d.配制玻璃漿用溶劑將乙基纖維素和丙酮稀釋劑的投料為Ig 15ml，將配置好的混合液放在燒杯中加熱攪拌溶解，制得所需的玻璃漿用溶劑；e.配制玻璃漿將步驟(3)中制得的玻璃漿用溶劑和鉛系玻璃粉按3ml 5g比例倒入茄形瓶中進行攪拌，制得所需的玻璃漿；f.晶粒接點面鈍化上述c步驟中得到的晶粒，將其切割面涂附玻璃漿，將其放置到石英舟內(nèi)，將預燒溫度控制在580°C，加熱20min，進行第一段預燒，調(diào)整爐溫，將爐溫升高至820°C，加熱20min ；g.晶粒金屬化上述d步驟中得到的晶粒，將其表面鍍上金屬膜，形成所需的產(chǎn)
P
m ；上述步驟a中所 述的光阻劑為市場所購成品。上述步驟c中所述的混合酸腐蝕液，由硝酸、氫氟酸和冰乙酸組成，所述的硝酸、 氫氟酸和冰乙酸按體積比計，投料比為9 9 12；上述步驟d中所述的玻璃漿，由乙基纖維素和丙酮稀釋劑組成，所述的乙基纖維素和丙酮稀釋劑按體積比計，投料比為5 18。
權利要求
1. 二極管用玻璃鈍化工藝，以玻璃為鈍化材料，其特征在于，由以下步驟構成a.晶圓涂附在晶圓表面涂附光阻劑；b.晶圓切割將上述a步驟中得到的晶圓切割成晶粒；c.晶粒酸洗將上述b步驟中得到的晶粒放入滾籃內(nèi)，放入混合酸腐蝕液中進行腐蝕， 轉動滾籃，將腐蝕溫度控制在_5°C 0°C，腐蝕時間控制在300s 500s，酸洗后去除表面雜質；d.配制玻璃漿用溶劑將乙基纖維素和丙酮稀釋劑的投料為Ig 5ml Ig 20ml, 將配置好的混合液放在燒杯中加熱攪拌溶解，制得所需的玻璃漿用溶劑；e.配制玻璃漿將步驟(3)中制得的玻璃漿用溶劑和鉛系玻璃粉按:3ml 5g比例倒入茄形瓶中進行攪拌，制得所需的玻璃漿；f.晶粒接點面鈍化上述c步驟中得到的晶粒，將其切割面涂附玻璃漿，將其放置到石英舟內(nèi)，將預燒溫度控制在575 585°C，加熱20min，進行第一段預燒，調(diào)整爐溫，將爐溫升高至820°C，加熱20min ；g.晶粒金屬化上述d步驟中得到的晶粒，將其表面鍍上金屬膜，形成所需的產(chǎn)品； 上述步驟c中所述的混合酸腐蝕液，由硝酸、氫氟酸和冰乙酸組成，所述的硝酸、氫氟酸和冰乙酸按體積比計，投料比為9 9 12；上述步驟d中所述的玻璃漿，由乙基纖維素和丙酮稀釋劑組成，所述的乙基纖維素和丙酮稀釋劑按體積比計，投料比為5 18。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種二極管用玻璃鈍化工藝，以玻璃為鈍化材料，包括晶圓涂附，晶圓切割，晶粒酸洗，配制玻璃漿用溶劑，配制玻璃漿，晶粒接點面鈍化及晶粒金屬化，本發(fā)明有益效果在于，利用低溫緩慢酸洗腐蝕來保證切割面的正角，常規(guī)的開溝腐蝕會造成切割面的負角及一定角度的傾斜坡度，無法完成鈍化玻璃的包封，即使包封成功，良品率及可靠性能都會很低。
文檔編號H01L21/329GK102157376SQ201010614028
公開日2011年8月17日 申請日期2010年12月30日 優(yōu)先權日2010年12月30日
發(fā)明者郭寧 申請人:常州星海電子有限公司