專利名稱：化學(xué)機械拋光設(shè)備的硅片固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種化學(xué)機械拋光設(shè)備，具體涉及一種化學(xué)機械拋光設(shè)備的硅片 固定裝置。
背景技術(shù)：
化學(xué)機械拋光(Chemical mechanical polisher, CMP)工藝是用藥液研磨硅片的 正面。研磨完成之后需要對硅片進行清洗，其中刷子的清洗是比較重要部分。在刷子的清 洗過程中，硅片的固定和自身旋轉(zhuǎn)是必不可少的步驟?，F(xiàn)有的硅片固定方式如

圖1所示，依靠硅片自身的重力將硅片10置于其底部的三 個滾軸1上，然后通過旋轉(zhuǎn)馬達帶動滾軸1滾動來帶動硅片10旋轉(zhuǎn)。這種硅片固定方式的缺點是，單純依靠硅片10自身的重力，底部滾軸1摩擦?xí)?充分，引起硅片10的旋轉(zhuǎn)時斷時續(xù)，造成刷子的清洗效果就不理想，甚至導(dǎo)致顆粒的殘留， 進而影響到芯片的成品率。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種化學(xué)機械拋光設(shè)備的硅片固定裝置， 它可以改善清洗效果。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型化學(xué)機械拋光設(shè)備的硅片固定裝置的技術(shù)解決 方案為包括多個底部滾軸，設(shè)置于處于垂直狀態(tài)的硅片的底部，所述底部滾軸設(shè)有滾軸 旋轉(zhuǎn)機構(gòu)；所述硅片的頂部還設(shè)置有多個頂部滾軸，頂部滾軸的初始位置偏離硅片的正上 方；所述頂部滾軸設(shè)有滾軸平移機構(gòu)。所述頂部滾軸設(shè)有滾軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。所述滾軸平移機構(gòu)包括滑塊、絲桿、平動馬達，所述頂部滾軸通過滑塊連接絲桿， 絲桿的尾端連接平動馬達；滑塊套設(shè)于絲桿上，滑塊與絲桿之間為螺紋連接；平動馬達能 夠使頂部滾軸在水平方向上平動。所述滑塊的頂部通過彈簧連接氣缸；氣缸能夠使頂部滾 軸在垂直方向上平動。所述多個頂部滾軸通過同一個平動馬達驅(qū)動，或者每個頂部滾軸分別通過平動馬 達驅(qū)動。所述頂部滾軸的滾軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括皮帶輪、皮帶、驅(qū)動帶、旋轉(zhuǎn)馬達；多個頂部滾 軸分別連接皮帶輪，各皮帶輪通過皮帶連接；其中一個皮帶輪通過驅(qū)動帶連接一旋轉(zhuǎn)馬達； 旋轉(zhuǎn)馬達能夠通過驅(qū)動帶和皮帶帶動多個頂部滾軸同步旋轉(zhuǎn)。所述頂部滾軸的旋轉(zhuǎn)馬達與底部滾軸的滾軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)馬達的性能參數(shù)相 同，馬達的旋轉(zhuǎn)方向相同。所述皮帶的直徑為8cm，驅(qū)動帶的直徑為12cm，橫截面直徑為0. 5cm。本實用新型可以達到的技術(shù)效果是[0015]本實用新型在硅片的上方增設(shè)有頂部滾軸，該頂部滾軸能夠在水平方向和垂直方向上平動，通過頂部滾軸的平動，能夠?qū)⒐杵瑠A緊于頂部滾軸和底部滾軸之間，實現(xiàn)硅片的 固定。本實用新型的頂部滾軸設(shè)有滾軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，通過頂部滾軸和底部滾軸的同步旋 轉(zhuǎn)，帶動硅片旋轉(zhuǎn)，使硅片的旋轉(zhuǎn)順暢、平穩(wěn)。本實用新型設(shè)置于化學(xué)機械拋光設(shè)備的后洗凈部分，能夠固定硅片并使硅片旋 轉(zhuǎn)，減少清洗過程中故障的發(fā)生率，有效提高顆粒的清除能力，進而提高產(chǎn)品的成品率。
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步詳細的說明圖1是現(xiàn)有技術(shù)硅片固定的示意圖；圖2是本實用新型化學(xué)機械拋光設(shè)備的硅片固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是圖2的側(cè)視圖；圖4是本實用新型帶有滾軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的示意圖。圖中附圖標記說明1為底部滾軸，2為頂部滾軸，3為氣缸，4為滑塊，5為絲桿，6為平動馬達，7為支架，8為皮帶輪，81為皮帶，82為驅(qū)動帶，9為旋轉(zhuǎn)馬達，10為硅片。
具體實施方式
如圖2、圖3所示，本實用新型化學(xué)機械拋光設(shè)備的硅片固定裝置，包括五個滾軸， 三個底部滾軸1設(shè)置于處于垂直狀態(tài)的硅片10的底部，兩個頂部滾軸2設(shè)置于硅片10的 頂部，頂部滾軸2的初始位置偏離硅片10的正上方。底部滾軸1與現(xiàn)有技術(shù)的滾軸相同， 頂部滾軸2的結(jié)構(gòu)與底部滾軸1相同。兩個頂部滾軸2通過一滑塊4連接絲桿5，絲桿5的尾端連接平動馬達6 ；滑塊4 套設(shè)于絲桿5上，滑塊4與絲桿5之間為螺紋連接；平動馬達6能夠使頂部滾軸2在水平方 向上平動；滑塊4的頂部通過彈簧連接氣缸3 ；氣缸3能夠使頂部滾軸2在垂直方向上平動， 實現(xiàn)五個滾軸所組成的夾子的開合。彈簧的作用是使五個滾軸所組成的夾子在閉合時有一定的許容空間，防止閉合過 程中被卡住。頂部滾軸2固定設(shè)置于支架7上。頂部滾軸2與同一個滑塊4固定連接，平動馬達6能夠通過滑塊4帶動兩個頂部 滾軸2同步移動。兩個頂部滾軸2也可以分別通過滑塊4連接平動馬達6，通過兩個平動馬達6分別 驅(qū)動頂部滾軸2移動。[0037]如圖4所示，兩個頂部滾軸2分別連接皮帶輪8，兩個皮帶輪8通過皮帶81連接；其中一個皮帶輪8通過驅(qū)動帶82連接一旋轉(zhuǎn)馬達9。旋轉(zhuǎn)馬達9能夠通過驅(qū)動帶82和皮 帶81帶動兩個頂部滾軸2同步旋轉(zhuǎn)。皮帶81的直徑為8cm，驅(qū)動帶82的直徑為12cm，橫截面直徑都為0. 5cm。使用時，將硅片10從上方放入三個底部滾軸1內(nèi)；驅(qū)動馬達6使絲桿5旋轉(zhuǎn)，絲桿 5的旋轉(zhuǎn)帶動滑塊4沿絲桿5平動，滑塊4的移動帶動頂部滾軸2在水平方向上平動，使兩 個頂部滾軸2向左移動至硅片10的正上方；驅(qū)動氣缸3，使頂部滾軸2向下移動，直至與底部滾軸1共同將硅片10夾緊。驅(qū)動旋轉(zhuǎn)馬達9，旋轉(zhuǎn)馬達9通過驅(qū)動帶82及皮帶81帶動兩個皮帶輪8旋轉(zhuǎn)，兩 個皮帶輪8進而帶動兩個頂部滾軸2同步旋轉(zhuǎn)，從而使硅片旋轉(zhuǎn)。頂部滾軸2的旋轉(zhuǎn)馬達9與原有的底部滾軸1的旋轉(zhuǎn)馬達的性能參數(shù)相同，且馬 達的旋轉(zhuǎn)方向也相同，以使五個滾軸同步旋轉(zhuǎn)。
權(quán)利要求一種化學(xué)機械拋光設(shè)備的硅片固定裝置，包括多個底部滾軸，設(shè)置于處于垂直狀態(tài)的硅片的底部，所述底部滾軸設(shè)有滾軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)；其特征在于所述硅片的頂部還設(shè)置有多個頂部滾軸，頂部滾軸的初始位置偏離硅片的正上方；所述頂部滾軸設(shè)有滾軸平移機構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)機械拋光設(shè)備的硅片固定裝置，其特征在于所述頂部 滾軸設(shè)有滾軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的化學(xué)機械拋光設(shè)備的硅片固定裝置，其特征在于所述 滾軸平移機構(gòu)包括滑塊、絲桿、平動馬達，所述頂部滾軸通過滑塊連接絲桿，絲桿的尾端連 接平動馬達；滑塊套設(shè)于絲桿上，滑塊與絲桿之間為螺紋連接；平動馬達能夠使頂部滾軸 在水平方向上平動。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的化學(xué)機械拋光設(shè)備的硅片固定裝置，其特征在于所述滑塊 的頂部通過彈簧連接氣缸；氣缸能夠使頂部滾軸在垂直方向上平動。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的化學(xué)機械拋光設(shè)備的硅片固定裝置，其特征在于所述多個 頂部滾軸通過同一個平動馬達驅(qū)動，或者每個頂部滾軸分別通過平動馬達驅(qū)動。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)機械拋光設(shè)備的硅片固定裝置，其特征在于所述頂部 滾軸的滾軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括皮帶輪、皮帶、驅(qū)動帶、旋轉(zhuǎn)馬達；多個頂部滾軸分別連接皮帶輪， 各皮帶輪通過皮帶連接；其中一個皮帶輪通過驅(qū)動帶連接一旋轉(zhuǎn)馬達；旋轉(zhuǎn)馬達能夠通過 驅(qū)動帶和皮帶帶動多個頂部滾軸同步旋轉(zhuǎn)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的化學(xué)機械拋光設(shè)備的硅片固定裝置，其特征在于所述頂部 滾軸的旋轉(zhuǎn)馬達與底部滾軸的滾軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)馬達的性能參數(shù)相同，馬達的旋轉(zhuǎn)方向 相同。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的化學(xué)機械拋光設(shè)備的硅片固定裝置，其特征在于所述皮帶 的直徑為8cm，驅(qū)動帶的直徑為12cm，橫截面直徑為0. 5cm。
專利摘要本實用新型公開了一種化學(xué)機械拋光設(shè)備的硅片固定裝置，包括多個底部滾軸，設(shè)置于處于垂直狀態(tài)的硅片的底部，所述底部滾軸設(shè)有滾軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)；所述硅片的頂部還設(shè)置有多個頂部滾軸，頂部滾軸的初始位置偏離硅片的正上方；所述頂部滾軸設(shè)有滾軸平移機構(gòu)和滾軸旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。本實用新型在硅片的上方增設(shè)有頂部滾軸，該頂部滾軸能夠在水平方向和垂直方向上平動，通過頂部滾軸的平動，能夠?qū)⒐杵瑠A緊于頂部滾軸和底部滾軸之間，實現(xiàn)硅片的固定。本實用新型設(shè)置于化學(xué)機械拋光設(shè)備的后洗凈部分，能夠固定硅片并使硅片旋轉(zhuǎn)，減少清洗過程中故障的發(fā)生率，有效提高顆粒的清除能力，進而提高產(chǎn)品的成品率。
文檔編號H01L21/304GK201573111SQ201020036339
公開日2010年9月8日 申請日期2010年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月18日
發(fā)明者斯健全, 瞿治軍, 金新 申請人:上海華虹Nec電子有限公司