專利名稱：用于置放儲(chǔ)存匣的電子貨架的制作方法
專利說明本實(shí)用新型關(guān)于一種電子貨架(E-Rack)，尤指一種于制造工廠中，用來置放儲(chǔ)存 匣的電子貨架。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的演進(jìn)，許多產(chǎn)業(yè)，諸如顯示器制造廠、半導(dǎo)體制造廠、太陽(yáng)能設(shè) 備制造廠等，皆會(huì)進(jìn)行半導(dǎo)體相關(guān)組件的處理或制造，而于制造過程中需要將半導(dǎo)體相關(guān) 組件，如半導(dǎo)體晶圓、光罩等，于不同的位置間移動(dòng)，因此，于該等半導(dǎo)體相關(guān)組件移動(dòng)或 存放時(shí)，皆會(huì)將之置放在一特制的儲(chǔ)存匣中以避免被雜質(zhì)污染。此外，當(dāng)不需要使用這些半 導(dǎo)體相關(guān)組件時(shí)，該等儲(chǔ)存匣會(huì)被存放在特定的貨架上以待下一次的取用使用。傳統(tǒng)上，儲(chǔ)存匣會(huì)被置放在一經(jīng)過標(biāo)示的特定位置上，并于每次使用完畢放回此 特定位置，雖然此種儲(chǔ)物系統(tǒng)的建置成本低廉，但對(duì)于動(dòng)則上萬片光罩或芯片的晶圓廠來 說，此種儲(chǔ)物方式將耗費(fèi)相當(dāng)高的人事成本，且易出差錯(cuò)?，F(xiàn)有技術(shù)如中國(guó)臺(tái)灣公開第200821241號(hào)的“被搬送物儲(chǔ)存系統(tǒng)”專利案，公開一 種全自動(dòng)化控制的儲(chǔ)存系統(tǒng)，借由軌道、天車(0ΗΤ)、及倉(cāng)儲(chǔ)柜(stocker)的組合，每一儲(chǔ)存 匣皆可被安排在該倉(cāng)儲(chǔ)柜的專屬位置中，當(dāng)生產(chǎn)在線需要使用某一儲(chǔ)存匣內(nèi)的晶圓或光罩 等組件時(shí)，通過系統(tǒng)的操作即可令該天車依循軌道自動(dòng)地至該倉(cāng)儲(chǔ)柜中取出該儲(chǔ)存匣，再 透過軌道將該儲(chǔ)存匣運(yùn)送至生產(chǎn)在線。此系統(tǒng)全由計(jì)算機(jī)所監(jiān)控，其好處在于任何儲(chǔ)存匣 皆能被正確地放置到其各自專屬的位置上，而不會(huì)錯(cuò)放至其它的存放位置。然而，此種系統(tǒng) 的建置成本相當(dāng)高昂且相當(dāng)占空間，舉例來說，一個(gè)晶圓廠的運(yùn)作可能就需要上千上萬片 的光罩或芯片，該些光罩或芯片皆需要有獨(dú)立的儲(chǔ)存匣，若將所有的儲(chǔ)存匣皆以該現(xiàn)有技 術(shù)的儲(chǔ)存系統(tǒng)來存放時(shí)，系統(tǒng)的建置成本勢(shì)必大幅提高，再者，一個(gè)廠房運(yùn)作時(shí)需要運(yùn)送 儲(chǔ)存匣的次數(shù)相當(dāng)多，運(yùn)送時(shí)的等待時(shí)間亦會(huì)造成產(chǎn)能的降低。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的一目的在于提供一種低成本、高效率的電子貨架。本實(shí)用新型的另一目的在于提供一種相較于現(xiàn)有技術(shù)較不占空間且空間安排彈 性大的電子貨架。本實(shí)用新型的再一目的在于提供一種可供在線操作人員對(duì)于置放的儲(chǔ)存匣，可放 了即走(put & go)的電子貨架。為達(dá)上述目的及其它目的，本實(shí)用新型提供一種用于置放儲(chǔ)存匣的電子貨架，應(yīng) 用于將該電子貨架上儲(chǔ)存匣的數(shù)據(jù)傳送予一遠(yuǎn)程服務(wù)器，該電子貨架包含復(fù)數(shù)個(gè)置放區(qū)， 每一置放區(qū)用于置放一儲(chǔ)存匣；及復(fù)數(shù)個(gè)無線射頻感應(yīng)器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，用以感應(yīng) 該置放區(qū)中儲(chǔ)存匣上的無線射頻標(biāo)簽，并取得該儲(chǔ)存匣的數(shù)據(jù)。于一實(shí)施例中，該電子貨架更可包含復(fù)數(shù)個(gè)動(dòng)作傳感器，設(shè)置于每一置放區(qū)中， 并電性連接對(duì)應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器，用以感測(cè)該儲(chǔ)存匣的置放狀態(tài)，并據(jù)以致能該無線射 頻感應(yīng)器。其中，該動(dòng)作傳感器可為一紅外線傳感器。于另一實(shí)施例中，該電子貨架更可包含復(fù)數(shù)個(gè)顯示器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對(duì)應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器，用以顯示該儲(chǔ)存匣的數(shù)據(jù)。于再一實(shí)施例中，該電子貨架更可包含復(fù)數(shù)個(gè)顯示器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電 性連接對(duì)應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器，用以顯示該儲(chǔ)存匣的數(shù)據(jù)，以及顯示該遠(yuǎn)程服務(wù)器下達(dá)的 指示；及復(fù)數(shù)個(gè)LED燈指示模塊，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對(duì)應(yīng)的無線射頻感應(yīng) 器，用以指示該置放區(qū)的狀態(tài)以及指示出該遠(yuǎn)程服務(wù)器下達(dá)的指示。于再一實(shí)施例中，該些儲(chǔ)存匣用于存放半導(dǎo)體芯片或光罩。于再一實(shí)施例中，該電子貨架的底部設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)輪子，以便于移動(dòng)。借此，本實(shí)用新型氣體循環(huán)式電子貨架結(jié)構(gòu)相較于現(xiàn)有技術(shù)可節(jié)省成本且日后 維護(hù) 成本低廉，再者，本實(shí)用新型于每一置放區(qū)中皆設(shè)置一無線射頻感應(yīng)器，使得在線操作 人員可直接將儲(chǔ)存匣置放在電子貨架上的任意置放區(qū)中，該無線射頻感應(yīng)器即會(huì)感應(yīng)儲(chǔ)存 匣上的無線射頻標(biāo)簽并取得儲(chǔ)存匣的數(shù)據(jù)，如識(shí)別數(shù)據(jù)(ID)，達(dá)到放了即走(put & go) 的功效；而不若傳統(tǒng)技術(shù)于置放儲(chǔ)存匣時(shí)，需根據(jù)架上的指示位置來置放。

圖1為本實(shí)用新型于一實(shí)施例中電子倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)的架構(gòu)圖。圖2為本實(shí)用新型于一實(shí)施例中電子貨架的立體圖。圖3為本實(shí)用新型于另一實(shí)施例中電子貨架的立體圖。圖4為本實(shí)用新型于再一實(shí)施例中電子貨架的立體圖。圖5為本實(shí)用新型于再一實(shí)施例中電子貨架的立體圖。圖6為本實(shí)用新型于再一實(shí)施例中電子貨架的立體圖。主要組件符號(hào)說明100電子倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)101遠(yuǎn)程服務(wù)器103集線器110電子貨架IlOa e電子貨架112置放區(qū)114無線射頻感應(yīng)器116顯示器117LED燈指示模塊118動(dòng)作傳感器119 輪子120儲(chǔ)存匣122無線射頻標(biāo)簽130網(wǎng)關(guān)器
具體實(shí)施方式
為充分了解本實(shí)用新型之目的、特征及功效，現(xiàn)借由下述具體的實(shí)施例，并配合所 附之圖式，對(duì)本實(shí)用新型做一詳細(xì)說明，說明如后[0039]于半導(dǎo)體廠、其它需對(duì)半導(dǎo)體芯片或光罩進(jìn)行存放之廠房、或其它倉(cāng)儲(chǔ)廠房皆可 使用本實(shí)用新型。本實(shí)用新型是應(yīng)用于一種電子倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)中。請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)用新型于一實(shí)施例中 電子倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)的架構(gòu)圖，該電子倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)100包含一遠(yuǎn)程服務(wù)器101、至少一集線器103、及 復(fù)數(shù)個(gè)電子貨架llOa-e，該等電子貨架llOa-e會(huì)回傳目前存放于架上的貨品資料，如識(shí) 別數(shù)據(jù)(ID)，而該等電子貨架llOa-e與該遠(yuǎn)程服務(wù)器101間的連接則可通過現(xiàn)有的網(wǎng)絡(luò)架 設(shè)技術(shù)來完成，以圖1所示，將每一電子貨架聯(lián)機(jī)至一集線器103，再連接至該遠(yuǎn)程服務(wù)器 101，該遠(yuǎn)程服務(wù)器101可通過無線或有線之方式來建立此連接，再者，該集線器103亦可再 并聯(lián)多個(gè)集線器以完成不同區(qū)之間的網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)，前述架設(shè)技巧與網(wǎng)絡(luò)階層的建置皆為現(xiàn)有 架設(shè)技術(shù)的不同變化，于此不再贅述。接著請(qǐng)參閱圖2，本實(shí)用新型于一實(shí)施例中電子貨架的立體圖。該電子貨架110于 此實(shí)施例中通過一網(wǎng)關(guān)130與該集線器103 (請(qǐng)參閱圖1)連接，以將數(shù)據(jù)傳送予該遠(yuǎn)程服 務(wù)器101(請(qǐng)參閱圖1)，如同前述，其網(wǎng)絡(luò)接線的各種變化是現(xiàn)有技術(shù)，于此不再贅述。該電 子貨架110用來存放復(fù)數(shù)個(gè)儲(chǔ)存匣120，舉例來說，該儲(chǔ)存匣120于半導(dǎo)體組件或光罩上的 應(yīng)用時(shí)，為一種前開式綜合儲(chǔ)存匣(Front-Opening Unified Pod，F(xiàn)0UP)，其符合SEMI標(biāo)準(zhǔn) E47. 1所規(guī)定。該儲(chǔ)存匣為一運(yùn)送用的儲(chǔ)存盒或容器。本實(shí)用新型中的置放區(qū)的數(shù)量可依 實(shí)際情況作改變，本實(shí)施例中提供的九個(gè)置放區(qū)僅為一種示例而非為一種限制。請(qǐng)繼續(xù)參閱圖2，該電子貨架110包含有復(fù)數(shù)個(gè)置放區(qū)112及復(fù)數(shù)個(gè)無線射頻感應(yīng) 器114，其中，每一置放區(qū)112是用來存放一儲(chǔ)存匣120，該等無線射頻感應(yīng)器114是用來 感應(yīng)該儲(chǔ)存匣120上的無線射頻標(biāo)簽122，該無線射頻標(biāo)簽122內(nèi)儲(chǔ)存有該儲(chǔ)存匣120的 數(shù)據(jù)，如識(shí)別數(shù)據(jù)(ID)。因此，當(dāng)操作員欲放回該儲(chǔ)存匣120時(shí)，可直接找一空的置放區(qū) 112置放該儲(chǔ)存匣120，達(dá)到放了即走(put & go)的功效，該電子貨架110會(huì)通過對(duì)應(yīng)的無 線射頻感應(yīng)器114取得該儲(chǔ)存匣120的數(shù)據(jù)，如識(shí)別數(shù)據(jù)(ID)，并將此數(shù)據(jù)回傳至該遠(yuǎn)程 服務(wù)器101 (請(qǐng)參閱圖1)。如此，該遠(yuǎn)程服務(wù)器101即會(huì)有目前位于架上之儲(chǔ)存匣120的資 料，在線操作者可根據(jù)該遠(yuǎn)程服務(wù)器101的數(shù)據(jù)找到其欲找尋的儲(chǔ)存匣位于廠房中的哪一 位置，只要該儲(chǔ)存匣未處于生產(chǎn)在線的使用中狀態(tài)。如此電子貨架將可使操作者不用為了 將儲(chǔ)存匣放入專屬位置而耗費(fèi)時(shí)間在尋找位置，而可放了即走(put & go)，也不需擔(dān)心儲(chǔ) 存匣是否會(huì)放錯(cuò)，因?yàn)樗F(xiàn)在被置放的位置會(huì)回傳至該遠(yuǎn)程服務(wù)器101，于下一次使用時(shí)仍 可被輕易地找出其置放的位置。接著請(qǐng)參閱圖3，是本實(shí)用新型于另一實(shí)施例中電子貨架的立體圖。所述的電子貨 架110更可包含復(fù)數(shù)個(gè)顯示器116，每一置放區(qū)112設(shè)置有一顯示器116，該顯示器116電 性連接對(duì)應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器114，用以顯示該儲(chǔ)存匣120的數(shù)據(jù)，其中，該數(shù)據(jù)系儲(chǔ)存于 該儲(chǔ)存匣120的無線射頻標(biāo)簽122中。接著請(qǐng)參閱圖4，本實(shí)用新型于再一實(shí)施例中電子貨架的之立體圖。所述的電子貨 架110更可包含復(fù)數(shù)個(gè)動(dòng)作傳感器118，每一置放區(qū)112是設(shè)置有一動(dòng)作傳感器118，該動(dòng) 作傳感器118電性連接對(duì)應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器114，用以感測(cè)該儲(chǔ)存匣120的置放狀態(tài)，并 據(jù)以致能該無線射頻感應(yīng)器114。即，當(dāng)該儲(chǔ)存匣120被置放入該置放區(qū)112時(shí)，對(duì)應(yīng)的動(dòng) 作傳感器118會(huì)感測(cè)到動(dòng)作的變化，并致能與其電性連接的無線射頻感應(yīng)器114，該無線射 頻感應(yīng)器114始進(jìn)行感應(yīng)，如此可節(jié)省電力的消耗。其中，該動(dòng)作傳感器118可為紅外線傳感器(IR sensor)或其它可達(dá)成相同功效的傳感器。接著請(qǐng)參閱圖5，是本實(shí)用新型于再一實(shí)施例中電子貨架的立體圖。如前所述，該 電子貨架110更可包含復(fù)數(shù)個(gè)顯示器116，每一置放區(qū)112設(shè)置有一顯示器116，該顯示器 116電性連接對(duì)應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器114，用以顯示該儲(chǔ)存匣120的資料，而可供操作人員 直接檢視。再者，該電子貨架110為便于移動(dòng)，更可于底部增設(shè)復(fù)數(shù)個(gè)輪子119，以便于機(jī) 動(dòng)使用，前述的實(shí)施例皆可增設(shè)該等輪子119。接著請(qǐng)參閱圖6，是本實(shí)用新型于再一實(shí)施例中電子貨架的立體圖。除了前述增 加的顯示器116外，更可于每一置放區(qū)中設(shè)置一 LED燈指示模塊117，其電性連接對(duì)應(yīng)的無 線射頻感應(yīng)器114，用以指示該置放區(qū)112的狀態(tài)以及指示出該遠(yuǎn)程服務(wù)器101(請(qǐng)參閱的 圖1)下達(dá)的指示。舉例來說，一種情況為當(dāng)該置放區(qū)112被正確置放儲(chǔ)存匣120時(shí)，可透 過該LED燈指示模塊117來指示出目前的正常置放狀態(tài)，如亮一綠燈燈號(hào)；而另一種情況 為當(dāng)該遠(yuǎn)程服務(wù)器101指示目前應(yīng)取用的儲(chǔ)存匣120位于哪一置放區(qū)112時(shí)，可通過該 LED燈指示模塊117來指示，如亮一紅燈燈號(hào)讓現(xiàn)場(chǎng)的操作人員清楚且快速地得知欲取用 的儲(chǔ)存匣120是位于哪一置放區(qū)112。再者，該顯示器116可顯示來自該遠(yuǎn)程服務(wù)器101下 達(dá)的指示，例如引導(dǎo)操作人員儲(chǔ)存匣該如何處理等事項(xiàng)。借此可快速且清楚地顯示與指示 出置放區(qū)與儲(chǔ)存匣的狀態(tài)，并可供遠(yuǎn)程服務(wù)器101下達(dá)欲交辦的指示。此外，如前所述，本 實(shí)施例中亦可增加動(dòng)作傳感器(圖未示)。本實(shí)用 新型的所有實(shí)施例中，顯示器116、LED燈指示模塊117、動(dòng)作傳感器118、及 輪子119皆可視需求于該電子貨架上進(jìn)行不同的搭配組合。綜上所述，本實(shí)用新型具體提供了一種低成本、高效率且機(jī)動(dòng)性高、空間安排彈性 大的電子貨架，在線操作者對(duì)于置放的儲(chǔ)存匣，可放了即走(put& go)，而不若傳統(tǒng)技術(shù)于 置放儲(chǔ)存匣時(shí)，需根據(jù)架上的指示位置來置放。本實(shí)用新型在上文中已以較佳實(shí)施例公開，然本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解的是，該實(shí) 施例僅用于描繪本實(shí)用新型，而不應(yīng)解讀為限制本實(shí)用新型的范圍。應(yīng)注意的是，舉凡與該 實(shí)施例等效的變化與置換，均應(yīng)設(shè)為涵蓋于本實(shí)用新型的范疇內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù) 范圍當(dāng)以所附的權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種用于置放儲(chǔ)存匣的電子貨架，應(yīng)用于將該電子貨架上儲(chǔ)存匣的數(shù)據(jù)傳送予一遠(yuǎn)程服務(wù)器，其特征在于該電子貨架包含復(fù)數(shù)個(gè)置放區(qū)，每一置放區(qū)用于置放一儲(chǔ)存匣；及復(fù)數(shù)個(gè)無線射頻感應(yīng)器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，用以感應(yīng)該置放區(qū)中儲(chǔ)存匣上的無線射頻標(biāo)簽，并取得該儲(chǔ)存匣的數(shù)據(jù)。
2.如權(quán)利要求1所述的電子貨架，其特征在于更包含復(fù)數(shù)個(gè)顯示器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對(duì)應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器，用以顯示該 儲(chǔ)存匣的數(shù)據(jù)。
3.如權(quán)利要求1所述的電子貨架，其特征在于更包含 復(fù)數(shù)個(gè)動(dòng)作傳感器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對(duì)應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器，用以感 測(cè)該儲(chǔ)存匣的置放狀態(tài)，并據(jù)以致能該無線射頻感應(yīng)器。
4.如權(quán)利要求3所述的電子貨架，其特征在于該動(dòng)作傳感器為一紅外線傳感器。
5.如權(quán)利要求3所述的電子貨架，其特征在于更包含復(fù)數(shù)個(gè)顯示器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對(duì)應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器，用以顯示該 儲(chǔ)存匣的數(shù)據(jù)。
6.如權(quán)利要求1所述的電子貨架，其特征在于更包含復(fù)數(shù)個(gè)顯示器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對(duì)應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器，用以顯示該 儲(chǔ)存匣的數(shù)據(jù)，以及顯示該遠(yuǎn)程服務(wù)器下達(dá)的指示；及復(fù)數(shù)個(gè)LED燈指示模塊，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對(duì)應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器，用 以指示該置放區(qū)的狀態(tài)以及指示出該遠(yuǎn)程服務(wù)器下達(dá)的指示。
7.如權(quán)利要求6所述的電子貨架，其特征在于更包含復(fù)數(shù)個(gè)動(dòng)作傳感器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對(duì)應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器，用以感 測(cè)該儲(chǔ)存匣的置放狀態(tài)，并據(jù)以致能該無線射頻感應(yīng)器。
8.如權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的電子貨架，其特征在于該些儲(chǔ)存匣用于存放半導(dǎo) 體芯片或光罩。
9.如權(quán)利要求8所述的電子貨架，其特征在于該電子貨架的底部設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)輪子。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種用于置放儲(chǔ)存匣的電子貨架，應(yīng)用于將該電子貨架上儲(chǔ)存匣的數(shù)據(jù)傳送予一遠(yuǎn)程服務(wù)器，該電子貨架包含復(fù)數(shù)個(gè)置放區(qū)及復(fù)數(shù)個(gè)無線射頻感應(yīng)器，其中，每一置放區(qū)中皆設(shè)置一無線射頻感應(yīng)器，使得在線操作人員可直接將儲(chǔ)存匣置放在電子貨架上的任意置放區(qū)中，該無線射頻感應(yīng)器即會(huì)感應(yīng)儲(chǔ)存匣上的無線射頻標(biāo)簽并取得儲(chǔ)存匣的數(shù)據(jù)，如識(shí)別數(shù)據(jù)(ID)，達(dá)到放了即走(put & go)的功效。
文檔編號(hào)H01L21/673GK201717248SQ20102010859
公開日2011年1月19日 申請(qǐng)日期2010年1月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月28日
發(fā)明者葉秀珢, 陳榮華 申請(qǐng)人:華景電通股份有限公司