專(zhuān)利名稱(chēng)：緊鎖機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種板類(lèi)部件的固定裝置，尤其涉及一種適用于將腔門(mén)緊鎖于腔 體壁上且能解除鎖接的緊鎖機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件或平板顯示器件的制造工藝中，為了保證較高的清潔度，常常需要 在真空設(shè)備中完成各種工藝，因此用于制造半導(dǎo)體器件或平板顯示器件的設(shè)備，一般被設(shè) 計(jì)成將基板輸送到真空設(shè)備中并利用等離子體對(duì)基板執(zhí)行所需的工藝，以0LED(0rganic Light-Emitting Diode，有機(jī)發(fā)光二極管)的真空蒸鍍?yōu)槔?，將加工好的基板傳輸至密封?真空工藝室內(nèi)，在真空條件下，將真空工藝室內(nèi)的固體材料加熱蒸發(fā)，蒸發(fā)出來(lái)的原子或分 子自由地吸附在基板上逐漸形成薄膜，進(jìn)而形成OLED的各個(gè)材料層?，F(xiàn)有的真空加工設(shè)備通常包括三種真空腔室，即負(fù)載室、傳送室及工藝室，負(fù)載室 用于從外部站臺(tái)接收將要在設(shè)備中進(jìn)行加工的基板以便裝載基板，或用來(lái)輸出設(shè)備中加工 完成的基板以便卸載基板；傳送室用于在各個(gè)腔室之間傳送基板；工藝室用來(lái)在真空環(huán)境 下利用等離子體或熱能對(duì)基板執(zhí)行所需的工藝，如真空蒸鍍或蝕刻工藝等。由于工藝室利 用各種加工氣體或等離子氣體來(lái)重復(fù)大量工藝，因此，工藝室內(nèi)的設(shè)備易于受損或受污染， 從而需要定期更換或維修。因此，工藝室一般設(shè)計(jì)成由中空結(jié)構(gòu)的腔體和可啟閉的腔門(mén)密 封構(gòu)成，腔門(mén)可以打開(kāi)以便對(duì)工藝室內(nèi)部進(jìn)行維護(hù)或更換，而在執(zhí)行工藝步驟時(shí)腔門(mén)關(guān)閉 且要能保證工藝室內(nèi)部的密封性，因此常常在腔門(mén)內(nèi)側(cè)安裝密封圈，當(dāng)腔門(mén)關(guān)閉時(shí)保證腔 門(mén)與腔體密封，腔門(mén)關(guān)閉后還需要一固定裝置將腔門(mén)與腔體進(jìn)行固定連接，以進(jìn)一步加強(qiáng) 真空工藝室的密封性并保證操作的安全性?，F(xiàn)有的用于將腔門(mén)固定于腔體壁上的裝置，一般采用頭部具有螺紋的旋鈕，旋鈕 的中部具有壓紋，在腔門(mén)上貫穿開(kāi)設(shè)有與旋鈕相對(duì)應(yīng)的安裝孔，腔體壁上開(kāi)設(shè)有與安裝孔 相對(duì)應(yīng)的螺紋孔，用于與旋鈕配合連接，腔門(mén)關(guān)閉時(shí)，將旋鈕的頭部旋入腔體壁上的螺紋孔 內(nèi)使腔門(mén)與腔體壁固定，腔門(mén)與腔體壁壓緊實(shí)現(xiàn)真空工藝室的密封；然而，為了保持真空 工藝室的密封需要最大限度的旋進(jìn)壓紋旋鈕，這樣所有的壓力都需要由腔門(mén)上的密封圈承 擔(dān)，導(dǎo)致密封圈壓迫量過(guò)大而影響密封效果，同時(shí)也縮短了密封圈的使用壽命；需要開(kāi)啟腔 門(mén)時(shí)，需要將旋鈕旋出腔體壁上的螺紋孔，這樣在腔門(mén)開(kāi)啟過(guò)程中旋鈕在重力的作用下容 易脫離腔門(mén)上的安裝孔，為使用帶來(lái)諸多不便。因此，急需一種能分擔(dān)密封圈壓迫量，在腔門(mén)開(kāi)啟時(shí)能防止脫落且操作簡(jiǎn)便的鎖 緊裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種能分擔(dān)密封圈壓迫量，在腔門(mén)開(kāi)啟時(shí)能防止脫落 且操作簡(jiǎn)便的固定裝置。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為提供一種緊鎖機(jī)構(gòu)，適用于將腔門(mén)緊鎖于腔體壁上且能解除鎖接，其包括手柄及彈簧，所述手柄向外凸伸出凸臺(tái)，所述凸臺(tái)向外 凸伸出連接桿，所述連接桿的末端開(kāi)設(shè)有螺紋并形成螺紋部，所述凸臺(tái)開(kāi)設(shè)有環(huán)繞所述連 接桿的第一環(huán)槽，所述彈簧穿設(shè)于所述連接桿上且一端安裝于所述第一環(huán)槽內(nèi)，所述彈簧 的另一端凸伸出所述第一環(huán)槽，所述腔門(mén)貫穿開(kāi)設(shè)有安裝孔，所述安裝孔內(nèi)開(kāi)設(shè)有內(nèi)螺紋， 所述腔體壁正對(duì)所述安裝孔開(kāi)設(shè)有具有內(nèi)螺紋的螺紋孔，所述連接桿的螺紋部與所述安裝 孔螺紋連接，所述凸臺(tái)與所述腔門(mén)的外表面分離地接觸。較佳地，所述腔門(mén)的外表面上具有與所述第一環(huán)槽相對(duì)應(yīng)的第二環(huán)槽，所述第二 環(huán)槽用于容納所述彈簧伸出第一環(huán)槽的一端，手柄的螺紋部旋入腔體壁上的安裝孔內(nèi)而與 腔體壁連接時(shí)，手柄的凸臺(tái)與所述腔門(mén)的外表面相抵觸，彈簧伸出第一環(huán)槽的一端容置于 腔門(mén)上的第二環(huán)槽內(nèi)并被壓縮，彈簧產(chǎn)生的彈力減小手柄的凸臺(tái)對(duì)腔門(mén)施加的壓力，使腔 門(mén)與腔體壁保持適合的距離，分擔(dān)腔門(mén)與腔體壁之間的密封圈的壓迫量，即保持腔門(mén)與腔 體壁之間的密封圈具有適合的壓迫量，保證腔門(mén)與腔體壁之間良好的密封效果，且增長(zhǎng)密 封圈的使用壽命。較佳地，所述腔體壁上安裝有密封圈，腔門(mén)與腔體壁壓合時(shí)，對(duì)密封圈施加壓力， 使腔門(mén)與腔體壁之間保持良好的密封性，保持工藝腔室內(nèi)部具有良好的真空性。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本實(shí)用新型緊鎖機(jī)構(gòu)包括手柄及彈簧，所述手柄向外凸伸 出凸臺(tái)，所述凸臺(tái)向外凸伸出連接桿，所述連接桿的末端開(kāi)設(shè)有螺紋并形成螺紋部，所述凸 臺(tái)開(kāi)設(shè)有環(huán)繞所述連接桿的第一環(huán)槽，所述彈簧穿設(shè)于所述連接桿上且一端安裝于所述第 一環(huán)槽內(nèi)，所述彈簧的另一端凸伸出所述第一環(huán)槽，所述腔門(mén)貫穿開(kāi)設(shè)有安裝孔，所述安 裝孔內(nèi)開(kāi)設(shè)有內(nèi)螺紋，所述腔體壁正對(duì)所述安裝孔開(kāi)設(shè)有具有內(nèi)螺紋的螺紋孔，所述連接 桿的螺紋部與所述安裝孔螺紋連接，所述凸臺(tái)與所述腔門(mén)的外表面分離地接觸；腔門(mén)關(guān)閉 時(shí)，旋轉(zhuǎn)手柄使螺紋部伸出腔門(mén)上的安裝孔，并將螺紋部旋進(jìn)腔體壁上的螺紋孔內(nèi)，使螺紋 部與腔體壁螺紋連接，將腔門(mén)固定于腔體壁上，手柄的凸臺(tái)與所述腔門(mén)的外表面相抵觸，凸 臺(tái)上安裝的彈簧與腔門(mén)相抵觸并被壓縮，彈簧產(chǎn)生的彈力減小手柄的凸臺(tái)對(duì)腔門(mén)施加的壓 力，使腔門(mén)與腔體壁保持適合的距離，使腔門(mén)與腔體壁之間的密封圈保持有適合的壓迫量， 進(jìn)而保證腔門(mén)與腔體壁的密封效果，同時(shí)延長(zhǎng)密封圈的使用壽命；開(kāi)啟腔門(mén)時(shí)，旋轉(zhuǎn)手柄使 螺紋部退出腔體壁的螺紋孔，并使螺紋部與腔門(mén)上的安裝孔螺紋連接，手柄的凸臺(tái)與腔門(mén) 的外表面相分離，腔門(mén)開(kāi)啟的過(guò)程中，緊鎖機(jī)構(gòu)不會(huì)脫離腔門(mén)，方便腔門(mén)的頻繁開(kāi)啟，同時(shí) 該緊鎖機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作簡(jiǎn)便省力。

圖1是本實(shí)用新型緊鎖機(jī)構(gòu)的截面示意圖。圖2是圖1所示緊鎖機(jī)構(gòu)的分解截面示意圖。圖3是圖1所示緊鎖機(jī)構(gòu)的使用狀態(tài)的截面示意圖。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)在參考附圖描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，附圖中類(lèi)似的元件標(biāo)號(hào)代表類(lèi)似的元 件。如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型緊鎖機(jī)構(gòu)300用于將閉合于腔體壁100上的腔門(mén)200鎖緊，且能拆除所接使腔門(mén)200打開(kāi)，緊鎖機(jī)構(gòu)300包括手柄310及彈簧320，手柄310 向外凸伸出凸臺(tái)311，凸臺(tái)311向外凸伸出連接桿312，連接桿312的末端開(kāi)設(shè)有螺紋并形 成螺紋部313，凸臺(tái)311上開(kāi)設(shè)有環(huán)繞連接桿312的第一環(huán)槽314，彈簧320穿設(shè)于連接桿 312上且一端安裝于第一環(huán)槽314內(nèi)，彈簧320的另一端凸伸出第一環(huán)槽314 ；腔門(mén)200具 有內(nèi)表面201及外表面202，內(nèi)表面201與腔體壁100配合連接，在腔門(mén)200上貫穿開(kāi)設(shè)有 與手柄310相對(duì)應(yīng)的安裝孔203，安裝孔203內(nèi)開(kāi)設(shè)有與螺紋部313相對(duì)應(yīng)的內(nèi)螺紋；腔體 壁100上正對(duì)安裝孔203開(kāi)設(shè)有具有內(nèi)螺紋的螺紋孔101，螺紋孔101用于與連接桿312末 端的螺紋部313螺紋連接；手柄310末端的螺紋部313由腔門(mén)外表面202伸入腔門(mén)200上 的安裝孔203內(nèi)并與安裝孔203螺紋連接，凸臺(tái)311與腔門(mén)200的外表面202分離地抵觸； 在腔門(mén)200的外表面202上還設(shè)置有與第一環(huán)槽314相對(duì)應(yīng)的第二環(huán)槽204，第二環(huán)槽204 用于容納彈簧320伸出第一環(huán)槽314的一端。安裝時(shí)，將彈簧320穿設(shè)于連接桿312上并 將其一端裝入凸臺(tái)311上的第一環(huán)槽314內(nèi)，彈簧320的另一端伸出第一環(huán)槽314，安裝好 彈簧320后，將連接桿312末端的螺紋部313由腔門(mén)200的外表面202伸入安裝孔203內(nèi) 并使螺紋部313與安裝孔203螺紋連接，凸臺(tái)311與腔門(mén)200的外表面202分離地抵觸；腔 體壁100上還安裝有密封圈102。如圖3所示，使用時(shí)，腔門(mén)200閉合于腔體壁100上且兩者之間通過(guò)安裝于腔體壁 100上的密封圈102達(dá)到密封，緊鎖機(jī)構(gòu)300用于將閉合于腔體壁100上的腔門(mén)200固定， 當(dāng)腔門(mén)200關(guān)閉時(shí)，旋轉(zhuǎn)手柄310，使連接桿312末端的螺紋部313穿過(guò)安裝孔203并旋入 腔體壁100上的螺紋孔101內(nèi)，手柄310與腔體壁100螺紋連接，使腔門(mén)200與腔體壁100 固定連接，腔體壁100上安裝的密封圈102受到腔門(mén)200的壓力使腔體壁100與腔門(mén)200 很好地密封，手柄310的螺紋部313旋入腔體壁100上的螺紋孔101后，彈簧320伸出第一 環(huán)槽314的一端容納于腔門(mén)200上的第二環(huán)槽204內(nèi)，凸臺(tái)311與腔門(mén)200外表面202相 接觸，彈簧320被壓縮，彈簧320產(chǎn)生的彈力減小凸臺(tái)311對(duì)腔門(mén)200施加的壓力，使腔門(mén) 200與腔體壁100之間保持適合的距離，進(jìn)而緩解安裝于腔體壁100上的密封圈102的壓 力，改善密封圈102的壓迫量，使腔門(mén)200與腔體壁100之間的密封效果更好，并提高密封 圈102的使用壽命；當(dāng)需要打開(kāi)腔門(mén)200時(shí)，旋轉(zhuǎn)手柄310使連接桿312末端的螺紋部313 退出腔體壁100上的螺紋孔101，并使螺紋部313與腔門(mén)200上的安裝孔203螺紋連接，凸 臺(tái)311與腔門(mén)200外表面202相分離，在腔門(mén)200開(kāi)啟后，由于手柄310的螺紋部與與腔門(mén) 200上的安裝孔203螺紋連接，手柄310不會(huì)脫離腔門(mén)200，方便腔門(mén)200的頻繁開(kāi)啟，且方 便裝配和更換，操作簡(jiǎn)便省力。由于本實(shí)用新型緊鎖機(jī)構(gòu)300包括手柄310及彈簧320，手柄310向外凸伸出凸 臺(tái)311，凸臺(tái)311向外凸伸出連接桿312，連接桿312的末端開(kāi)設(shè)有螺紋并形成螺紋部313， 凸臺(tái)311上開(kāi)設(shè)有環(huán)繞連接桿312的第一環(huán)槽314，彈簧320穿設(shè)于連接桿312上且一端 安裝于第一環(huán)槽314內(nèi)，彈簧320的另一端凸伸出第一環(huán)槽314，腔門(mén)200貫穿開(kāi)設(shè)有安裝 孔203，安裝孔203內(nèi)開(kāi)設(shè)有與螺紋部313相對(duì)應(yīng)的內(nèi)螺紋，腔體壁100正對(duì)安裝孔203開(kāi) 設(shè)有具有內(nèi)螺紋的螺紋孔101，連接桿312的螺紋部313與安裝孔203螺紋連接，凸臺(tái)311 與腔門(mén)200的外表面202分離地接觸；腔門(mén)200關(guān)閉時(shí)，旋轉(zhuǎn)連接桿312使其前端的螺紋部 313伸出安裝孔203，并將螺紋部313旋進(jìn)腔體壁100上的螺紋孔101內(nèi)，使螺紋部313與 腔體壁100螺紋連接，將腔門(mén)200固定于腔體壁100上，手柄310的凸臺(tái)311與腔門(mén)200的外表面202相抵觸，凸臺(tái)311上安裝的彈簧320與腔門(mén)100相抵觸并被壓縮，彈簧320產(chǎn)生 的彈力減小凸臺(tái)311對(duì)腔門(mén)200施加的壓力，使腔門(mén)200與腔體壁100保持適合的距離，使 安裝于腔體壁100上的密封圈102保持有適合的壓迫量，進(jìn)而保證腔門(mén)200與腔體壁100 的密封效果，同時(shí)延長(zhǎng)密封圈102的使用壽命；開(kāi)啟腔門(mén)200時(shí)，旋轉(zhuǎn)手柄310使螺紋部313 退出腔體壁100的螺紋孔101，并使螺紋部313與腔門(mén)200上的安裝孔203螺紋連接，手柄 310的凸臺(tái)311與腔門(mén)200的外表面202相分離，腔門(mén)200開(kāi)啟的過(guò)程中，手柄310不會(huì)脫 離腔門(mén)200，方便腔門(mén)200的頻繁開(kāi)啟，且方便裝配和更換，操作簡(jiǎn)便省力。本實(shí)用新型緊鎖機(jī)構(gòu)300并不限于將閉合于腔體壁100上的腔門(mén)200固定，還可 根據(jù)實(shí)際需要，用于相類(lèi)似的板類(lèi)部件的固定。本實(shí)用新型中腔門(mén)200與腔體壁100的安裝方式、密封圈102的安裝方式等均為 本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所熟知，在此不再做詳細(xì)的說(shuō)明。以上所揭露的僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來(lái)限定本實(shí)用新 型之權(quán)利范圍，因此依本實(shí)用新型申請(qǐng)專(zhuān)利范圍所作的等同變化，仍屬本實(shí)用新型所涵蓋 的范圍。
權(quán)利要求一種緊鎖機(jī)構(gòu)，適用于將腔門(mén)緊鎖于腔體壁上且能解除鎖接，其特征在于所述緊鎖機(jī)構(gòu)包括手柄及彈簧，所述手柄向外凸伸出凸臺(tái)，所述凸臺(tái)向外凸伸出連接桿，所述連接桿的末端開(kāi)設(shè)有螺紋并形成螺紋部，所述凸臺(tái)開(kāi)設(shè)有環(huán)繞所述連接桿的第一環(huán)槽，所述彈簧穿設(shè)于所述連接桿上且一端安裝于所述第一環(huán)槽內(nèi)，所述彈簧的另一端凸伸出所述第一環(huán)槽，所述腔門(mén)貫穿開(kāi)設(shè)有安裝孔，所述安裝孔內(nèi)開(kāi)設(shè)有內(nèi)螺紋，所述腔體壁正對(duì)所述安裝孔開(kāi)設(shè)有具有內(nèi)螺紋的螺紋孔，所述連接桿的螺紋部與所述安裝孔螺紋連接，所述凸臺(tái)與所述腔門(mén)的外表面分離地接觸。
2.如權(quán)利要求1所述的緊鎖機(jī)構(gòu)，其特征在于所述腔門(mén)的外表面上具有與所述第一 環(huán)槽相對(duì)應(yīng)的第二環(huán)槽。
3.如權(quán)利要求1所述的緊鎖機(jī)構(gòu)，其特征在于所述腔體壁上安裝有密封圈。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種緊鎖機(jī)構(gòu)，適用于將腔門(mén)緊鎖于腔體壁上且能解除鎖接，其包括手柄、阻擋件及彈簧，手柄向外凸伸出凸臺(tái)，凸臺(tái)向外凸伸出連接桿，連接桿的末端開(kāi)設(shè)有螺紋并形成螺紋部，凸臺(tái)開(kāi)設(shè)有環(huán)繞連接桿的第一環(huán)槽，彈簧穿設(shè)于連接桿上且一端安裝于第一環(huán)槽內(nèi)，彈簧的另一端凸伸出第一環(huán)槽，腔門(mén)貫穿開(kāi)設(shè)有安裝孔，所述安裝孔內(nèi)開(kāi)設(shè)有內(nèi)螺紋，所述腔體壁正對(duì)所述安裝孔開(kāi)設(shè)有具有內(nèi)螺紋的螺紋孔，所述連接桿的螺紋部與所述安裝孔螺紋連接，所述凸臺(tái)與所述腔門(mén)的外表面分離地接觸；本實(shí)用新型緊鎖機(jī)構(gòu)能分擔(dān)腔門(mén)上密封圈的壓迫量，在腔門(mén)開(kāi)啟時(shí)不會(huì)脫落，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作簡(jiǎn)便省力。
文檔編號(hào)H01L21/00GK201629299SQ201020108840
公開(kāi)日2010年11月10日 申請(qǐng)日期2010年1月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月29日
發(fā)明者劉惠森, 葉宗鋒, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良, 郭遠(yuǎn)倫 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司