專利名稱：干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及刻蝕設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及干法刻蝕設(shè)備中真空密封門 (Vacuum Gate)的安裝結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
目前在干法刻蝕(Dry Etch)設(shè)備中，真空密封門通過(guò)螺釘進(jìn)行安裝和緊固。螺釘 數(shù)量多，拆裝比較繁瑣，而且所述真空密封門的安裝空間有限，不利于拆裝。每次更換真空 門0形密封圈(O-Ring)時(shí)，都需要拆卸并重新安裝所述真空密封門，過(guò)程復(fù)雜。然而，由于 干法刻蝕設(shè)備中反應(yīng)所產(chǎn)生的等離子體(Plasma)對(duì)0型密封圈有腐蝕性，因此真空密封門 工作用0型密封圈需要定期更換，所述真空密封門也就需要定期的拆裝，長(zhǎng)期下來(lái)，耗費(fèi)大 量的人力和維護(hù)工作用時(shí)間。而且因?yàn)楦鼡Q次數(shù)多，安裝螺釘用的螺紋安裝孔很容易損壞， 維修起來(lái)難度大。

實(shí)用新型內(nèi)容本發(fā)明的實(shí)施例提供一種干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，簡(jiǎn)化了真空密 封門安裝程序，使得真空密封門易于維護(hù)和安裝。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案一種干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，包括升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)上設(shè) 有支撐所述真空密封門的支撐體?，F(xiàn)有技術(shù)干法刻蝕設(shè)備中的真空密封門采用螺釘進(jìn)行緊固和安裝，使得真空門0 型密封圈更換程序繁瑣，且由于更換頻繁，而容易損壞。本實(shí)用新型提供的真空密封門包括 用來(lái)控制整個(gè)安裝結(jié)構(gòu)的高度的升降機(jī)構(gòu)，還包括設(shè)置在升降機(jī)構(gòu)上用于支撐所述真空密 封門的支撐體。沒(méi)有采用螺釘固定真空密封門，不需要螺釘?shù)牟鹦栋惭b過(guò)程。在安裝所述 真空密封門時(shí)，將所述安裝結(jié)構(gòu)對(duì)準(zhǔn)所述真空密封門的安裝位置，通過(guò)所述升降機(jī)構(gòu)調(diào)整 所述安裝結(jié)構(gòu)的高度適合，給真空密封門一個(gè)支撐力，使其緊密地與安裝面貼合，便可以完 成所述真空密封門的安裝。在拆卸所述真空密封門時(shí)，只需降低所述升降機(jī)構(gòu)的高度，所 述真空密封門也會(huì)隨之降下，便可完成所述真空密封門的拆卸。簡(jiǎn)化了空密封門的拆裝過(guò) 程，易于操作和維護(hù)，且避免了螺釘安裝和拆卸過(guò)程中對(duì)螺紋的安裝孔造成的損壞。

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn) 有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本 發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可 以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖；圖2為本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行 清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的 實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下 所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。本實(shí)用新型提供了一種干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，如圖1所示，所 述安裝結(jié)構(gòu)包括用來(lái)控制整個(gè)安裝結(jié)構(gòu)高度的升降機(jī)構(gòu)1，還包括設(shè)置在所述升降機(jī)構(gòu)1 上用于支撐所述真空密封門的支撐體2。當(dāng)我們進(jìn)行真空密封門的拆卸操作時(shí)，將本機(jī)構(gòu)的 支撐體2等其他部分準(zhǔn)備好，將所述升降機(jī)構(gòu)1降下，所述真空密封門也會(huì)隨之降下，所述 真空密封門的拆卸完成。當(dāng)我們進(jìn)行真空密封門的安裝操作時(shí)，首先將所述真空密封門放 置到所述支撐體2上，然后將機(jī)構(gòu)支撐體2等其他部分放置到合適的位置準(zhǔn)備好，將所述升 降機(jī)構(gòu)1升起，所述真空密封門也會(huì)隨之升起，直至到達(dá)安裝位置，所述真空密封門的安裝 完成。真空密封門采用此安裝結(jié)構(gòu)后，不再有螺釘?shù)牟鹧b過(guò)程，只需通過(guò)所述升降機(jī)構(gòu)1調(diào) 整安裝結(jié)構(gòu)的高度適合，所述安裝結(jié)構(gòu)給真空密封門一個(gè)支撐力，使其緊密地與安裝面貼 合，簡(jiǎn)化了真空密封門拆裝過(guò)程，易于操作和維護(hù)，且避免了螺釘安裝和拆卸過(guò)程中對(duì)螺紋 安裝孔造成的損壞。如圖2所示，作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選的實(shí)施方式，本實(shí)用新型提供了一種干 法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，包括用來(lái)控制整個(gè)安裝結(jié)構(gòu)高度的升降機(jī)構(gòu)5，還包 括設(shè)置在所述升降機(jī)構(gòu)5上用于支撐所述真空密封門的支撐體3。所述干法刻蝕設(shè)備中真 空密封門的安裝結(jié)構(gòu)還包括底座4，所述底座4用于固定所述升降機(jī)構(gòu)5。所述升降機(jī)構(gòu)可以通過(guò)螺釘連接或者焊接的方式固定在所述底座4上，為了簡(jiǎn)化 拆裝程序，本實(shí)用新型優(yōu)選使用螺釘連接的方式將所述升降機(jī)構(gòu)固定在所述底座4上。作為本實(shí)用新型的一種改進(jìn)，所述升降機(jī)構(gòu)可以是液壓機(jī)構(gòu)。當(dāng)我們進(jìn)行真空密封門的拆卸操作時(shí)，首先將本結(jié)構(gòu)的底座4、支撐體3等其他部 分準(zhǔn)備好，然后將所述液壓機(jī)構(gòu)降下，真空密封門也會(huì)隨之降下，所述真空密封門的拆卸完 成。當(dāng)我們進(jìn)行真空密封門的安裝操作時(shí)，首先將機(jī)構(gòu)的底座4、支撐體3等其他部分準(zhǔn)備 好，然后將所述液壓機(jī)構(gòu)升起，所述真空密封門也會(huì)隨之升起，直至到達(dá)安裝位置，所述真 空密封門的安裝完成。作為本實(shí)施例的一種替換方式，所述液壓機(jī)構(gòu)可以用氣壓機(jī)構(gòu)或者機(jī)械式升降機(jī) 構(gòu)替代。本實(shí)用新型提供另一種改進(jìn)的實(shí)施方式，所述支撐體3包括與升降機(jī)構(gòu)接觸的井 字梁、以及與所述真空密封門支撐的井字梁，所述兩個(gè)井字梁之間通過(guò)立柱支撐。這樣的結(jié) 構(gòu)制作簡(jiǎn)單，制作材料可以采用鋁合金或者鋼等常用的型材即可。如圖2所示，作為本實(shí)用新型的一種改進(jìn)，可以在所述升降機(jī)構(gòu)5的頂部設(shè)置有容 置槽6。所述支撐體3的底部設(shè)置在所述容置槽6內(nèi)。所述容置槽可以使所述支撐體穩(wěn)固的安放在液壓機(jī)構(gòu)上。一般情況下，在所述升降機(jī)構(gòu)上可以設(shè)置多個(gè)容置槽，并在每個(gè)容置槽內(nèi)分別放 置支撐體，以便通過(guò)多個(gè)支撐體實(shí)現(xiàn)對(duì)真空密封門的支撐。[0021]本實(shí)用新型提供另一種改進(jìn)的實(shí)施方式，給所述液壓機(jī)構(gòu)設(shè)置機(jī)械鎖定裝置7， 所述機(jī)械鎖定裝置7與所述液壓機(jī)構(gòu)在同一支撐面上。比如所述機(jī)械鎖定裝置7可以設(shè)在 液壓機(jī)構(gòu)5內(nèi)部的液壓腔外。所述機(jī)械鎖定裝置是為防止所述液壓機(jī)構(gòu)在使用過(guò)程中失效或者出現(xiàn)故障而設(shè) 計(jì)的。當(dāng)所述液壓機(jī)構(gòu)在使用過(guò)程中失效或者出現(xiàn)故障時(shí)，所述機(jī)械鎖定裝置可以使所 述液壓機(jī)構(gòu)繼續(xù)保持原來(lái)的高度，使所述安裝結(jié)構(gòu)提供給所述真空密封門的支撐力保持不 變，使所述真空密封門不受所述液壓機(jī)構(gòu)在使用過(guò)程中失效或者出現(xiàn)故障的影響。所述機(jī)械鎖定裝置可以使用一根或者多根螺桿或者一個(gè)或者多個(gè)交叉液壓支架 實(shí)現(xiàn)。鑒于螺桿提供支撐力相對(duì)于液壓支架更均勻更容易調(diào)節(jié)，且安裝簡(jiǎn)易，本實(shí)用新型采 用兩根螺桿實(shí)現(xiàn)所述機(jī)械鎖定裝置。作為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，所述機(jī)械鎖定裝置7的兩根螺桿設(shè)在所述液壓 機(jī)構(gòu)縱向?qū)挾戎虚g，相距500毫米。當(dāng)所述真空密封門通過(guò)液壓機(jī)構(gòu)上升至安裝位置，便將 所述機(jī)械鎖定裝置7鎖定，以保證當(dāng)液壓機(jī)構(gòu)失效或者出現(xiàn)故障時(shí)，所述真空密封門不會(huì) 產(chǎn)生移動(dòng)，確保整個(gè)真空密封門使用的安全性。本實(shí)用新型提供另一種改進(jìn)的實(shí)施方式，所述支撐體上3設(shè)置有微調(diào)裝置8。所述支撐體3通過(guò)微調(diào)裝置8與真空密封門緊密配合，避免因真空密封門與安裝 面貼和不好而影響反應(yīng)腔(Process Chamber)的密封性。本實(shí)用新型提供一種優(yōu)選實(shí)施方式，可以在所述支撐體3上設(shè)有至少兩個(gè)螺紋安 裝孔，所述螺紋安裝孔內(nèi)安裝有螺桿，所述微調(diào)裝置8為安裝在所述螺紋安裝孔內(nèi)的螺桿。通過(guò)調(diào)節(jié)所述螺桿的高度，用多個(gè)點(diǎn)接觸取代面接觸，使整個(gè)真空密封門表面受 力均勻。所述螺桿的數(shù)量越多越好，但是為了便于操作和維護(hù)，本實(shí)用新型的優(yōu)選方式采 用12個(gè)螺桿構(gòu)成所述微調(diào)裝置8。本實(shí)用新型提供另一種改進(jìn)的實(shí)施方式，所述螺桿頂端設(shè)有滾珠9。安裝時(shí)，所述 螺桿的頂端的滾珠9與所述真空密封門接觸。在所述螺桿與真空密封門接觸端安裝滾珠9， 所述滾珠9的圓形表面可以減少所述螺桿同真空密封門的接觸面積，減少摩擦，進(jìn)而減少 對(duì)真空密封門的損壞。作為本實(shí)用新型另一種改進(jìn)的實(shí)施方式，所述底座4與所述升降機(jī)構(gòu)5 —體成型； 或者所述升降機(jī)構(gòu)5與所述支撐體3 —體成型；或者所述底座4、所述升降機(jī)構(gòu)5和所述支 撐體3 —體成型；或者所述機(jī)械鎖定裝置7與所述升降機(jī)構(gòu)5 —體成型。上述機(jī)械鎖定裝置與所述升降機(jī)構(gòu)一體成型，也可以用于所述升降機(jī)構(gòu)由液壓機(jī) 構(gòu)組成時(shí)，所述機(jī)械鎖定裝置與所述液壓機(jī)構(gòu)一體成型。本實(shí)用新型省去底座4和支撐體3，只用液壓機(jī)構(gòu)部分也可以實(shí)現(xiàn)，但這樣的機(jī)構(gòu) 成本較高。為了方便本實(shí)用新型所述安裝結(jié)構(gòu)的移動(dòng)，可以在所述底座上設(shè)置滾輪和/或支 撐腳，比如可以在所述底座的底部設(shè)有滾輪和/或支撐腳。可以在所述底座4的底部設(shè)有 滾輪10。為了方便本實(shí)用新型所述安裝結(jié)構(gòu)的固定，也可以在所述底座4的底部設(shè)置支撐 腳11?；蛘咴诘鬃?的底部同時(shí)設(shè)置滾輪10和支撐腳11。當(dāng)需要移動(dòng)所述安裝結(jié)構(gòu)時(shí)，將支撐腳旋起，用滾輪進(jìn)行支撐移動(dòng)，當(dāng)所述安裝結(jié)構(gòu)達(dá)到安裝位置，并且不再需要移動(dòng)，將滾輪旋起用支撐腳進(jìn)行支撐，使整個(gè)真空密封門安 裝結(jié)構(gòu)固定在安裝點(diǎn)。本實(shí)用新型提供了另一種改進(jìn)的實(shí)施方式，在液壓機(jī)構(gòu)上安裝壓力探測(cè)計(jì)12。當(dāng)液壓機(jī)構(gòu)達(dá)到工作位置，所述微調(diào)裝置與真空密封門完全接觸，為保證真空密 封門與安全面的貼合力度，則需要保證所述液壓機(jī)構(gòu)的支撐力。本實(shí)用新型通過(guò)壓力探測(cè) 計(jì)的作用，控制所述液壓機(jī)構(gòu)的支撐力。當(dāng)所述壓力探測(cè)計(jì)探測(cè)到壓力不合格時(shí)，便將不合 格信息傳輸給設(shè)備控制端，所述設(shè)備控制端通過(guò)判斷和控制，能夠停止進(jìn)行真空密封門的 安裝和拆卸操作。所述壓力探測(cè)計(jì)還能在液壓機(jī)構(gòu)失效時(shí)，通過(guò)與設(shè)備控制端通訊，停止真 空密封門的安裝和拆卸等操作。本實(shí)用新型提供了另一種改進(jìn)的實(shí)施方式，所述機(jī)械鎖定裝置7安裝有探測(cè)傳感 器13。本實(shí)用新型實(shí)施例采用紅外式對(duì)射傳感器，當(dāng)機(jī)械鎖定裝置沒(méi)有設(shè)置到指定位 置時(shí)，紅外對(duì)射傳感器之間的信號(hào)沒(méi)有被阻斷，所述紅外對(duì)射傳感器之間有信號(hào)傳遞。通過(guò) 設(shè)備控制端程序的判斷和控制，不能進(jìn)行真空密封門的安裝和拆卸操作。當(dāng)所述機(jī)械鎖定 裝置設(shè)置到指定位置后，所述機(jī)械鎖定裝置介于紅外對(duì)射傳感器之間，所述機(jī)械鎖定裝置 阻斷了紅外對(duì)射傳感器之間的信號(hào)傳遞，所述紅外對(duì)射傳感器之間無(wú)信號(hào)傳遞，通過(guò)設(shè)備 控制端程序的判斷和控制，設(shè)備控制端認(rèn)定機(jī)械鎖定裝置安裝正常，可以進(jìn)行真空密封門 的安裝和拆卸等操作。所述探測(cè)傳感器可以固定安裝到所述機(jī)械鎖定裝置上，但為了靈活適應(yīng)機(jī)械鎖定 裝置的高度，最好采用可以移動(dòng)位置的安裝方式將所述探測(cè)傳感器安裝到所述機(jī)械鎖定裝置上。 本實(shí)用新型主要應(yīng)用于干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝。 以上所述，僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限 于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化 或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)所述以權(quán) 利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)上設(shè)有支撐所述真空密封門的支撐體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述 干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)還包括底座，所述底座用于固定所述升降機(jī)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述 升降機(jī)構(gòu)為液壓機(jī)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述 液壓機(jī)構(gòu)設(shè)有與所述液壓機(jī)構(gòu)在同一支撐面上的機(jī)械鎖定裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3或4所述的干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在 于，所述升降機(jī)構(gòu)的頂部設(shè)置有容置槽，所述支撐體設(shè)置在所述容置槽內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述 支撐體包括與升降機(jī)構(gòu)接觸的井字梁、以及與所述真空密封門支撐的井字梁，所述兩個(gè)井 字梁之間通過(guò)立柱支撐。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所 述支撐體上設(shè)置有微調(diào)裝置，通過(guò)微調(diào)裝置與真空密封門緊密配合。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述 支撐體上設(shè)有至少兩個(gè)螺紋安裝孔，所述微調(diào)裝置為安裝在所述螺紋安裝孔內(nèi)的螺桿。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述 螺桿頂端設(shè)有滾珠。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述 底座與所述升降機(jī)構(gòu)一體成型、或者所述升降機(jī)構(gòu)與所述支撐體一體成型、或者所述底座、 所述升降和所述支撐體一體成型。
11.根據(jù)權(quán)利要求4所述的干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述 機(jī)械鎖定裝置與所述液壓機(jī)構(gòu)一體。
12.根據(jù)權(quán)利要求2所述的干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述 底座的底部設(shè)有滾輪和/或支撐腳。
13.根據(jù)權(quán)利要求3所述的干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述 液壓機(jī)構(gòu)上設(shè)置壓力探測(cè)計(jì)。
14.根據(jù)權(quán)利要求4所述的干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述 機(jī)械鎖定裝置上設(shè)有探測(cè)傳感器。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，涉及刻蝕設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，解決了現(xiàn)有技術(shù)中真空密封門安裝程序復(fù)雜的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種干法刻蝕設(shè)備中真空密封門的安裝結(jié)構(gòu)，包括升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)上設(shè)有支撐所述真空密封門的支撐體。本實(shí)用新型主要應(yīng)用于干法刻蝕設(shè)備真空密封門的安裝。
文檔編號(hào)H01L21/3065GK201725781SQ20102017146
公開日2011年1月26日 申請(qǐng)日期2010年4月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月21日
發(fā)明者劉華鋒, 肖紅璽, 蘇順康, 陳正偉 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司