專利名稱：一種輔助定位裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于定義宏觀可見缺陷所在的 單元芯片位置的輔助定位裝置。
背景技術(shù)：
由于硅片尺寸的不斷增大和集成電路(IC)圖形特征尺寸的急劇縮小，芯片結(jié)構(gòu) 更加復(fù)雜，缺陷密度對成品率的影響變得越來越突出。芯片生產(chǎn)的每道工序都可能機械或 人為地引入缺陷和沾污。這類問題如果不及時發(fā)現(xiàn)并加以解決，就會導(dǎo)致生產(chǎn)線成品率大 幅度下降。因此，在目前的出貨流程中，需要對晶片的正面進行宏觀目檢，以便及時發(fā)現(xiàn)晶 片上的一些明顯缺陷。但是由于晶片是在機臺內(nèi)部封閉環(huán)境下進行觀察，因此需要在宏觀 目檢時就要記錄缺陷所在的位置。由于每片晶片上通過行和列劃分成了很多的芯片單元，目前定位缺陷位置的方法 通常是從晶片邊緣向中心點數(shù)，記錄缺陷所在的行數(shù)和列數(shù)。如圖1所示，假設(shè)圖1中晶片 100上有一個宏觀可見的缺陷000，則按照目前所使用的記錄該缺陷位置的方法為從晶片 100邊緣向中心點數(shù)，其所在的位置為第7行與第17列的交界處。然而，由于宏觀目檢時沒有任何的輔助辨認設(shè)備，因此在確認缺陷位置時需要人 為辨認其所在的行和列，而現(xiàn)階段的NROM產(chǎn)品，一片晶片上有大于600個芯片單元，很容易 在辨認時發(fā)生錯誤。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種輔助定位裝置，以解決在晶片宏觀目檢的過程中，現(xiàn)有的缺 陷定位完全靠人為辨認，極易發(fā)生錯誤的問題。為解決上述問題，本實用新型提出一種輔助定位裝置，所述輔助定位裝置包括支 架，固定在所述支架上的投影裝置及位于所述投影裝置上方的點光源，所述投影裝置包括 一透明投影板，所述透明投影板上貼有不透光的黑色薄膜?？蛇x的，所述支架包括固定支架以及固定在所述固定支架上的可拆卸支架?？蛇x的，所述可拆卸支架包括頂部橫桿、環(huán)形軌道及連接頂部橫桿與環(huán)形軌道的
三根立桿?？蛇x的，所述三根立桿的位置在所述環(huán)形軌道的半圓范圍內(nèi)?？蛇x的，所述投影裝置還包括承托臺及設(shè)置于所述承托臺底部的滾珠。 可選的，所述透明投影板放置于所述承托臺內(nèi)?？蛇x的，所述透明投影板的形狀為圓片狀，所述承托臺為一圓環(huán)柱體結(jié)構(gòu)?？蛇x的，所述承托臺內(nèi)設(shè)置有環(huán)形臺階?？蛇x的，所述環(huán)形臺階的外徑大于等于所述透明投影板的直徑，所述環(huán)形臺階的 內(nèi)徑小于所述透明投影板的直徑?？蛇x的，所述承托臺的邊緣具有立柱。[0016]可選的，所述透明投影板的材質(zhì)為透明玻璃或透明塑料?？蛇x的，所述透明投影板的大小相對于所述晶片是按比例縮小的。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型所提供的輔助定位裝置包括支架，固定在所述支架 上的投影裝置及位于所述投影裝置上方的點光源，所述投影裝置包括一透明投影板，所述 透明投影板上貼有不透光的黑色薄膜，在宏觀目檢的過程中，所述點光源照射在所述透明 投影板上并投射到待目檢的晶片上，在所述待目檢的晶片上留下陰影區(qū)，在宏觀目檢的過 程中可利用所述的陰影區(qū)來調(diào)整透明投影板與晶片的平行，同時還可將所述陰影區(qū)作為參 照物來辨認缺陷所在的位置，只需記錄缺陷與所述陰影區(qū)的相對位置即可，從而簡化了操 作，提高了準確度。

圖1為現(xiàn)有的晶片缺陷定位方式示意圖；圖2為本實用新型提供的輔助定位裝置的原理圖；圖3為本實用新型實施例提供的輔助定位裝置的剖視圖；圖4為本實用新型實施例提供的輔助定位裝置的可拆卸支架底部環(huán)形導(dǎo)軌的示 意圖；圖5A為本實用新型實施例提供的輔助定位裝置中的投影裝置的剖視圖；圖5B為本實用新型實施例提供的輔助定位裝置中的承托臺的俯視圖；圖5C為本實用新型實施例提供的輔助定位裝置中的透明投影板的俯視圖；圖6為使用本實用新型所提供的輔助定位裝置定位缺陷的示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型提出的輔助定位裝置作進一步詳細說 明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均 采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實 施例的目的。本實用新型的核心思想在于，提供一種輔助定位裝置，以使宏觀目檢過程中，晶片 的缺陷定位有一個參照物，在辨認缺陷的位置時可以只記錄缺陷相對于所述參照物的位置 即可，從而簡化了操作程序，提高了缺陷定位的準確度。請參考圖2，圖2為本實用新型提供的輔助定位裝置的原理圖，如圖2所示，本實 用新型提供的輔助定位裝置的原理為在宏觀目檢的過程中，點光源400照射到透明投影 板310上，再投射到待目檢的晶片100上，調(diào)整透明投影板310的位置使透明投影板310 與晶片100平行，由于透明投影板310上貼有不透光的黑色薄膜311，因而在待目檢的晶片 100上留下陰影區(qū)，在辨認晶片上的缺陷位置時可以只記錄缺陷與所述陰影區(qū)的相對位置 即可，而不用從晶片的邊緣向中心數(shù)缺陷所在的行數(shù)和列數(shù)。請繼續(xù)參考圖3至圖4，其中，圖3為本實用新型實施例提供的輔助定位裝置的剖 視圖，圖4為本實用新型實施例提供的輔助定位裝置的可拆卸支架底部環(huán)形導(dǎo)軌的示意。 如圖3所示，該輔助定位裝置包括支架200，固定在所述支架200上的投影裝置300及位于 所述投影裝置上方的點光源400，所述投影裝置300包括一透明投影板310，所述透明投影
4板310上貼有不透光的黑色薄膜311。所述支架200包括固定支架210以及可拆卸支架220， 所述固定支架210與目檢機臺頂端500連為一體，所述可拆卸支架220通過螺釘230與所 述固定支架210相連。所述可拆卸支架220的底部為一圓環(huán)形的導(dǎo)軌222，如圖4所示。所 述圓環(huán)形導(dǎo)軌222通過三根立桿221與可拆卸支架220的頂部橫桿223相連，所述三根立 桿221的位置在所述環(huán)形軌道222的半圓范圍內(nèi)，以使所述投影裝置300能放入所述環(huán)形 導(dǎo)軌222上。請繼續(xù)參考圖5A至圖5C，其中，圖5A為本實用新型實施例提供的輔助定位裝置 中的投影裝置的剖視圖，圖5B為本實用新型實施例提供的輔助定位裝置中的承托臺的俯 視圖，圖5C為本實用新型實施例提供的輔助定位裝置中的透明投影板的俯視圖，如圖5A至 圖5C所示，所述投影裝置包括透明投影板310，承托臺320及設(shè)置于所述承托臺320底部 的滾珠321，所述透明投影板310放置于所述承托臺320內(nèi)，所述承托臺320置于所述可拆 卸支架220的環(huán)形軌道222上，所述設(shè)置于承托臺320底部的滾珠321接觸所述環(huán)形軌道 222，并可沿所述環(huán)形軌道222滑動。所述透明投影板310為圓片狀的透明玻璃，其大小相 對于待宏觀目檢的晶片是按比例縮小的，且其上面貼有12個不透光的黑色薄膜311，其中 黑色薄膜A至C用于宏觀目檢過程中確保透明投影板310與晶片100平行，黑色薄膜1至 9作為記錄缺陷位置的參照物。所述承托臺320為一圓環(huán)柱體結(jié)構(gòu)，其內(nèi)部設(shè)有一環(huán)形臺 階323，所述環(huán)形臺階323的外徑大于等于所述透明投影板310的直徑，所述環(huán)形臺階323 的內(nèi)徑小于所述透明投影板310的直徑，以使所述透明投影板310能放在所述環(huán)形臺階323 上。所述承托臺320的邊緣還設(shè)置有立柱322，在宏觀目檢的過程中通過撥動該立柱322可 使所述滾珠321在所述環(huán)形軌道222上滑動，從而使透明投影板310旋轉(zhuǎn)，通過調(diào)整所述透 明投影板310上的黑色薄膜A、B、C分別與晶片100最左、最右的第一個完整芯片單元、晶片 凹槽對齊以保證透明投影板310和晶片100平行。在本實用新型的一個具體實施例中，所述透明投影板的材質(zhì)為透明玻璃，而然應(yīng) 該認識到，所述透明投影板還可以是其它透明材質(zhì)，例如透明塑料。請繼續(xù)參考圖6，圖6為使用本實用新型所提供的輔助定位裝置定位缺陷的示意 圖，如圖6所示，透明投影板310上的圖案投影到晶片100上，假設(shè)晶片100上有一缺陷000， 則辨認該缺陷000的位置時只需記錄其與陰影區(qū)1至9的相對位置即可，該缺陷000的位 置可記錄為陰影區(qū)6下方的第二個單元芯片。綜上所述，本實用新型提供了一種輔助定位裝置，該輔助定位裝置包括支架，固定 在所述支架上的投影裝置及位于所述投影裝置上方的點光源，所述投影裝置包括一透明 投影板，所述透明投影板上貼有不透光的黑色薄膜，在宏觀目檢的過程中，所述點光源照射 在所述透明投影板上并投射到待目檢的晶片上，在所述待目檢的晶片上留下陰影區(qū)，在宏 觀目檢的過程中可利用所述的陰影區(qū)來調(diào)整透明投影板與晶片的平行，同時還可將所述陰 影區(qū)作為參照物來辨認缺陷所在的位置，只需記錄缺陷與所述陰影區(qū)的相對位置即可，從 而簡化了操作，提高了準確度。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及 其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求一種輔助定位裝置，用于輔助定位晶片上的缺陷的位置，其特征在于，包括支架，固定在所述支架上的投影裝置及位于所述投影裝置上方的點光源，所述投影裝置包括一透明投影板，所述透明投影板上貼有不透光的黑色薄膜。
2.如權(quán)利要求1所述的輔助定位裝置，其特征在于，所述支架包括固定支架以及固定 在所述固定支架上的可拆卸支架。
3.如權(quán)利要求2所述的輔助定位裝置，其特征在于，所述可拆卸支架包括頂部橫桿、環(huán) 形軌道及連接頂部橫桿與環(huán)形軌道的三根立桿。
4.如權(quán)利要求3所述的輔助定位裝置，其特征在于，所述三根立桿的設(shè)置位置在所述 環(huán)形軌道的半圓范圍內(nèi)。
5.如權(quán)利要求1所述的輔助定位裝置，其特征在于，所述投影裝置還包括承托臺及設(shè) 置在所述承托臺底部的滾珠。
6.如權(quán)利要求5所述的輔助定位裝置，其特征在于，所述透明投影板放置于所述承托 臺內(nèi)。
7.如權(quán)利要求6所述的輔助定位裝置，其特征在于，所述透明投影板的形狀為圓片狀， 所述承托臺為一圓環(huán)柱體結(jié)構(gòu)。
8.如權(quán)利要求7所述的輔助定位裝置，其特征在于，所述承托臺內(nèi)設(shè)置有環(huán)形臺階。
9.如權(quán)利要求8所述的輔助定位裝置，其特征在于，所述環(huán)形臺階的外徑大于等于所 述透明投影板的直徑，所述環(huán)形臺階的內(nèi)徑小于所述透明投影板的直徑。
10.如權(quán)利要求9所述的輔助定位裝置，其特征在于，所述承托臺的邊緣具有立柱。
11.如權(quán)利要求1所述的輔助定位裝置，其特征在于，所述透明投影板的材質(zhì)為透明玻 璃或透明塑料。
12.如權(quán)利要求11所述的輔助定位裝置，其特征在于，所述透明投影板的大小相對于 所述晶片是按比例縮小的。
專利摘要本實用新型揭露了一種輔助定位裝置，所述輔助定位裝置包括支架，固定在所述支架上的投影裝置及位于所述投影裝置上方的點光源，所述投影裝置包括一透明投影板，所述透明投影板上貼有不透光的黑色薄膜，在宏觀目檢的過程中，所述點光源照射在所述透明投影板上并投射到待目檢的晶片上，在所述待目檢的晶片上留下陰影區(qū)，在宏觀目檢的過程中可利用所述的陰影區(qū)來調(diào)整透明投影板與晶片的平行，同時還可將所述陰影區(qū)作為參照物來辨認缺陷所在的位置，只需記錄缺陷與所述陰影區(qū)的相對位置即可，從而簡化了操作，提高了準確度。
文檔編號H01L21/68GK201681804SQ20102020094
公開日2010年12月22日 申請日期2010年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月21日
發(fā)明者劉蓓蓓, 方明海 申請人:武漢新芯集成電路制造有限公司;中芯國際集成電路制造(上海)有限公司