專利名稱：硅板舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及的是一種新型的硅板舟，能防止硅板舟插棒歪斜。
背景技術(shù)：
在硅片進(jìn)行預(yù)擴(kuò)散和再擴(kuò)散時(shí)，需要把硅片與硼磷紙疊于硅板舟上進(jìn)行擴(kuò)散。 此時(shí)我們需要用氮化硅插棒插于硅板舟上以便固定硅片，使硅片均勻的進(jìn)行雜質(zhì)注入。目前二極管擴(kuò)散工藝，預(yù)擴(kuò)和再擴(kuò)溫度都在1200多度，由于長(zhǎng)時(shí)間的高溫，和 磷硼等化合物的腐蝕，硅板舟上的插孔會(huì)因腐蝕而變大，致使氮化硅插棒歪斜，從而固 定不了硅片。在磷、硼雜質(zhì)熔融的狀態(tài)下，疊在一起擴(kuò)散的硅片很容易變形，從而使擴(kuò) 散不均勻，嚴(yán)重影響產(chǎn)品電性良率。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型針對(duì)以上問題，提供了一種能避免插棒相對(duì)于舟體歪斜，從而改善 氮化硅插棒歪斜所導(dǎo)致的硅片擴(kuò)散不均勻現(xiàn)象的硅板舟。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是包括設(shè)插孔的平板型舟體和插棒，所述插孔為錐 孔，所述插棒底部呈錐形，所述插棒底部錐形最小部位的直徑比所述錐孔最小部位的直 徑大1.1-1.5倍。本實(shí)用新型把硅板舟插孔設(shè)計(jì)成錐形，氮化硅插棒底部也設(shè)計(jì)為錐形。這樣 兩者間形成錐面連接關(guān)系，可以確保兩者間的同軸度，進(jìn)而保證插棒與舟體之間的垂直 度。此外，為能在磨損中繼續(xù)利用，而插棒底端不伸出舟體底面，本實(shí)用新型的插棒最 小直徑大于錐孔的最小直徑。本實(shí)用新型起到防止硅片歪斜的作用，起到改善擴(kuò)散的效
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圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖圖中1是舟體，2是插棒；圖2是圖1的俯視圖圖中3是錐孔，4是錐形，5是硅片。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型如圖1，2所示，包括設(shè)插孔的平板型舟體1和插棒2，所述插孔為錐 孔3，所述插棒2底部呈錐形4，所述插棒2底部錐形最小部位的直徑比所述錐孔3最小 部位的直徑大1.1-1.5倍。使用一段時(shí)間后，硅板舟插孔(錐孔3)受磨損變大，由于此碳化硅插棒2為錐 形，所以插棒2整體向下移，仍保證插棒2與舟體1垂直，從而避免硅片5歪斜。
權(quán)利要求1.硅板舟，包括設(shè)插孔的平板型舟體和插棒，其特征在于，所述插孔為錐孔，所 述插棒底部呈錐形，所述插棒底部錐形最小部位的直徑比所述錐孔最小部位的直徑大 1.1-1.5 倍。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種新型的硅板舟。能避免插棒相對(duì)于舟體歪斜，從而改善氮化硅插棒歪斜所導(dǎo)致的硅片擴(kuò)散不均勻現(xiàn)象的硅板舟。包括設(shè)插孔的平板型舟體和插棒，所述插孔為錐孔，所述插棒底部呈錐形，所述插棒底部錐形最小部位的直徑比所述錐孔最小部位的直徑大1.1-1.5倍。本實(shí)用新型把硅板舟插孔設(shè)計(jì)成錐形，氮化硅插棒底部也設(shè)計(jì)為錐形。這樣兩者間形成錐面連接關(guān)系，可以確保兩者間的同軸度，進(jìn)而保證插棒與舟體之間的垂直度。此外，為能在磨損中繼續(xù)利用，而插棒底端不伸出舟體底面，本實(shí)用新型的插棒最小直徑大于錐孔的最小直徑。本實(shí)用新型起到防止硅片歪斜的作用，起到改善擴(kuò)散的效果。
文檔編號(hào)H01L21/673GK201796873SQ201020536540
公開日2011年4月13日 申請(qǐng)日期2010年9月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月19日
發(fā)明者游佩武, 裘立強(qiáng) 申請(qǐng)人:揚(yáng)州杰利半導(dǎo)體有限公司