專利名稱：一種晶圓夾的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種固定晶圓的裝載裝置，特別涉及一種半導體PVD制程中BPS 機臺的晶圓夾。
背景技術：
隨著科技的進步，各式各樣的電子產品已經(jīng)深入你我的生活之中，而這些電子產 品的內部，大部分為半導體晶片。隨著集成電路技術的進步，半導體晶片的集成度越來越 高，機能越來越多，現(xiàn)在的集成電路一般適合大量生產，采用所謂的整批處理方式，可將多 數(shù)個構成集成電路的基本晶片本身同時形成一塊晶圓片之中，晶圓是指硅半導體積體電路 制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元 件結構，而成為有特定電性功能之IC產品。在實際PVD生產中一般要將晶圓通過晶圓夾固 定在機臺上才能進行加工制作，目前BPS機臺使用的晶圓夾由晶圓夾外座、不銹鋼卡榫、冷 卻板等組成，裝載晶圓時，首先將晶圓放在晶圓夾外座上，然后在晶圓上蓋上冷卻板，最后 卡上兩個卡榫。由于冷卻板和晶圓夾外座材質較硬，但晶圓材質很脆，故此種裝載方式存在 晶圓缺角、破片的風險，這些缺角、破片的晶圓往往不能再繼續(xù)使用，只能作為廢品處理，造 成了資源浪費，提高了生產成本。

實用新型內容針對上述現(xiàn)有技術的不足，本實用新型要解決的技術問題是提供一種新型結構的 晶圓夾，該晶圓夾不僅可以消除晶圓缺角、破片的風險，而且操作方便。為解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案一種晶圓夾，包括一基座，所述基座上形成一圓形槽，所述基座圓形槽的外周緣上 設有數(shù)個卡榫裝置，所述卡榫裝置包括卡榫卡槽、卡榫彈片和卡榫固定塊，所述卡榫卡槽形 成于基座上，所述卡榫彈片位于卡榫卡槽內，并可在卡榫卡槽內來回移動，所述卡榫固定塊 固定在卡榫卡槽上。基于上述主要技術特征，所述基座圓形槽的外周緣上設有一防轉動裝置，所述防 轉動裝置包括防轉動裝置卡槽、防轉動裝置固定塊，防轉動裝置彈片和彈簧，所述防轉動裝 置卡槽形成于基座上，所述防轉裝置彈片位于防轉動裝置卡槽內，并可在防轉動裝置卡槽 內來回移動，所述防轉裝置彈片與所述彈簧的一端連接，所述彈簧的另一端與基座連接，所 述防轉動裝置固定塊固定在防轉動裝置卡槽上?；谏鲜鲋饕夹g特征，所述基座圓形槽的外周緣上設有四個卡榫裝置，所述四 個卡榫裝置分別位于所述基座圓形槽位于兩根互相垂直的軸線的兩端?；谏鲜鲋饕卣?，所述卡榫彈片及所述防轉裝置彈片為鐵弗龍材質。上述技術方案具有如下有益效果采用此晶圓夾裝載晶圓時，將晶圓放在晶圓夾 基座上，然后推動卡榫裝置的卡榫彈片以固定晶圓，卡榫為鐵弗龍材質，且和晶圓有一定的 距離，避免晶圓受碰撞和擠壓。而固定在晶圓夾基座上的防轉動裝置可防止晶圓在生產過程中發(fā)生轉動，故此裝置可以達到消除晶圓缺角或破片風險的目的，從而達到減少浪費，節(jié) 約生產成本的目的。上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本實 用新型的技術手段，并可依照說明書的內容予以實施，以下以本實用新型的較佳實施例并 配合附圖詳細說明如后。本實用新型的具體實施方式
由以下實施例及其附圖詳細給出。

圖1是本實用新型實施例的機構示意圖。圖2是本實用新型實施例卡榫裝置的放大的結構示意圖。圖3是本實用新型實施例防轉動裝置的放大的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的優(yōu)選實施例進行詳細介紹如圖1所示，作為本實用新型的一個實施例，該晶圓夾包括基座1，基座1上形成 一圓形槽2，在圓形槽外周緣上設有四個卡榫裝置3，四個卡榫裝置分別位于基座1圓形槽 位于兩根互相垂直的軸線的兩端，在圓形槽外周緣上還設有一防轉動裝置4。如圖2所示， 卡榫裝置3包括形成與基座1上的卡榫卡槽31，卡榫卡槽31內設有卡榫彈片32，卡榫彈片 32可在卡榫卡槽內來回移動，卡榫固定塊33固定在卡榫卡槽上，防止卡榫彈片32滑出。如 圖3所示，防轉動裝置4包括設在基座1上的防轉動裝置卡槽41，防轉動裝置卡槽41內設 有防轉裝置彈片42，防轉裝置彈片42與彈簧44的一端連接，彈簧44的另一端與固定在基 座1上的固定塊45連接，防轉動裝置固定塊43固定在防轉動裝置卡槽41上，防止防轉裝 置彈片42滑出?？ㄩ緩椘?2及所述防轉裝置彈片42為鐵弗龍材質。裝載晶圓前，先將卡榫彈片32裝到卡榫卡槽31中，然后用卡榫固定塊33將卡榫 固定，卡榫彈片32可在卡榫槽內31上下推動，然后將彈簧44裝到防轉動裝置的卡槽41內， 彈簧44的一端和防轉動裝置彈片42相連，再用防轉動裝置固定塊43將防轉動裝置彈片42 固定。將卡榫裝置3和防轉動裝置4裝好后，將卡榫彈片32推到卡榫卡槽31的最末端，再 裝載晶圓。晶圓的卡口需和防轉動裝置彈片42在同一位置處，防轉動裝置彈片42的凸起 卡住晶圓卡口，保證晶圓不會發(fā)生轉動。然后將4個卡榫彈片32推到卡榫卡槽31的最前 端，從而完成整個晶圓裝載過程。由于卡榫裝置和晶圓有一定的距離，避免晶圓受碰撞和擠 壓。而固定在晶圓夾基座上的防轉動裝置可防止晶圓在生產過程中發(fā)生轉動，故此裝置可 以達到消除晶圓缺角或破片風險的目的，從而減少浪費，節(jié)約生產成本。以上對本實用新型實施例所提供的一種晶圓夾進行了詳細介紹，對于本領域的一 般技術人員，依據(jù)本實用新型實施例的思想，在具體實施方式
及應用范圍上均會有改變之 處，綜上所述，本說明書內容不應理解為對本實用新型的限制，凡以本實用新型設計思想所 做任何改變，均在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.一種晶圓夾，包括一基座，所述基座上形成一圓形槽，其特征在于所述基座圓形槽 的外周緣上設有數(shù)個卡榫裝置，所述卡榫裝置包括卡榫卡槽、卡榫彈片和卡榫固定塊，所述 卡榫卡槽形成于基座上，所述卡榫彈片位于卡榫卡槽內，并可在卡榫卡槽內來回移動，所述 卡榫固定塊固定在卡榫卡槽上。
2.如權利要求1所述的一種晶圓夾，其特征在于所述基座圓形槽的外周緣上設有一 防轉動裝置，所述防轉動裝置包括防轉動裝置卡槽、防轉動裝置固定塊，防轉動裝置彈片和 彈簧，所述防轉動裝置卡槽形成于基座上，所述防轉裝置彈片位于防轉動裝置卡槽內，并可 在防轉動裝置卡槽內來回移動，所述防轉裝置彈片與所述彈簧的一端連接，所述彈簧的另 一端與基座連接，所述防轉動裝置固定塊固定在防轉動裝置卡槽上。
3.如權利要求2所述的一種晶圓夾，其特征在于所述基座圓形槽的外周緣上設有四 個卡榫裝置，所述四個卡榫裝置分別位于所述基座圓形槽位于兩根互相垂直的軸線的兩 端。
4.如權利要求3所述的一種晶圓夾，其特征在于所述卡榫彈片及所述防轉裝置彈片 為鐵弗龍材質。
專利摘要本實用新型公開了一種晶圓夾，包括一基座，所述基座上形成一圓形槽，基座圓形槽的外周緣上設有數(shù)個卡榫裝置，卡榫裝置包括卡榫卡槽、卡榫彈片和卡榫固定塊，卡榫卡槽形成于基座上，卡榫彈片位于卡榫卡槽內，并可在卡榫卡槽內來回移動，卡榫固定塊固定在卡榫卡槽上。由于卡榫和晶圓有一定的距離，可避免晶圓受碰撞或擠壓，而固定在晶圓夾基座上的防轉動裝置可防止晶圓在生產過程中發(fā)生轉動，故此裝置可以達到消除晶圓缺角或破片風險的目的，從而達到減少浪費，節(jié)約生產成本的目的。
文檔編號H01L21/687GK201845753SQ20102058978
公開日2011年5月25日 申請日期2010年11月3日 優(yōu)先權日2010年11月3日
發(fā)明者陳秀龍 申請人:頎中科技(蘇州)有限公司