專利名稱：基板對位裝置、基板對位平臺和基板傳送設備的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型涉及液晶顯示器制造技術(shù)，特別涉及一種基板對位裝置、基板對位平 臺和基板傳送設備。
背景技術(shù)：
在薄膜晶體管液晶顯示器的制造過程中，為了實現(xiàn)玻璃基板的正常傳動，存在很 多玻璃基板對位步驟。目前常用的是通過基板對位裝置進行玻璃基板的定位。圖1為現(xiàn)有技術(shù)基板對位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，該基板對位裝置可以包 括氣缸主體11、運動活塞12、活動件導軌13、運動活塞位置檢測傳感器14和對位針15。其 中，活動件導軌13設置在氣缸主體11的下方，運動活塞12活動設置在氣缸主體11內(nèi)，可以 沿活動件導軌13進行往復運動；對位針15固定設置在運動活塞12的端部，可以隨著運動 活塞12 —起運動，該對位針15上設置有對位滾輪；運動活塞位置檢測傳感器14用于檢測 運動活塞12的運動位置。該基板對位裝置在工作時，外部驅(qū)動信號驅(qū)動電磁閥門開啟，向 氣缸主體11內(nèi)通入作為動力的壓縮空氣，驅(qū)動運動活塞12沿活動件導軌13做往復運動， 并帶動對位針15 —起運動對基板進行位置校正。運動活塞位置檢測傳感器14可以將運動 活塞12的位置信息反饋至控制系統(tǒng)，確保運動活塞12運動到位。但是，上述現(xiàn)有技術(shù)的基板對位裝置存在如下技術(shù)缺陷運動活塞在帶動對位針 運動的過程中，緩沖性較差，容易使得對位過程中的硬力損傷玻璃基板，造成玻璃基板破 碎。例如特別是對于制造小尺寸的液晶顯示器中所使用的薄玻璃基板損傷較大，造成玻璃 基板破碎的高發(fā)，降低了產(chǎn)品良率。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種基板對位裝置、基板對位平臺和基板傳送設備，以 解決基板對位過程中易發(fā)生基板破碎的問題，實現(xiàn)降低對位過程中的玻璃基板損傷率，提 高基板對位時的產(chǎn)品良率。本實用新型提供一種基板對位裝置，包括支持部件、氣缸主體、活塞氣缸、運動活 塞、對位部件、彈性部件和導軌；所述氣缸主體固定在所述支持部件上，兩個所述活塞氣缸設置在所述氣缸主體 內(nèi)，且兩個所述活塞氣缸之間存在間隙；所述支持部件的端部設置有端部體，所述運動活塞 的一端設置在所述活塞氣缸內(nèi)，另一端與所述端部體相對；所述對位部件包括對位支架、對位滾輪、活動件和滑塊；所述對位滾輪設置在所述 對位支架上，所述活動件固接在所述對位支架的下部，且所述活動件上設置有穿設孔，所述 運動活塞穿設于所述穿設孔中；所述滑塊設置在所述活動件的底部且與所述支持部件上設 置的導軌滑動連接；所述彈性部件的一端連接所述活動件，另一端連接所述端部體。如上所述的基板對位裝置，所述彈性部件為彈簧。如上所述的基板對位裝置，還包括調(diào)節(jié)部件；所述調(diào)節(jié)部件包括調(diào)節(jié)桿和固定件；所述調(diào)節(jié)桿設置于兩個所述運動活塞之間的間隙處，且穿設于所述彈簧；所述調(diào)節(jié)桿 的一端連接所述活動件，另一端穿過所述端部體伸出后由所述固定件鎖緊。如上所述的基板對位裝置，所述固定件為調(diào)節(jié)螺母。如上所述的基板對位裝置，還包括基板檢測部件；所述基板檢測部件包括檢測 支架和檢測傳感器；所述檢測支架設置在所述氣缸主體的靠近所述對位部件的端部位置， 所述檢測傳感器設置在所述檢測支架上。如上所述的基板對位裝置，所述檢測支架固定在所述氣缸主體上。如上所述的基板對位裝置，所述氣缸主體的靠近所述對位部件的端部位置還設置 有活動件定位停止裝置，所述活動件定位停止裝置的一端伸出所述氣缸主體的端部。如上所述的基板對位裝置，所述檢測傳感器的數(shù)量與所述對位滾輪的數(shù)量相等。如上所述的基板對位裝置，所述檢測傳感器為光感傳感器。本實用新型提供一種基板對位平臺，包括平臺支架和本實用新型所述的基板對位 裝置，所述基板對位裝置固定在所述平臺支架上。本實用新型提供一種基板傳送設備，包括基板傳送軌道和本實用新型所述的基板 對位平臺，所述基板對位平臺設置在所述基板傳送軌道上。本實用新型的基板對位裝置、基板對位平臺和基板傳送設備，通過設置彈性部件 等緩沖結(jié)構(gòu)，解決了基板對位過程中易發(fā)生基板破碎的問題，降低了對位過程中的玻璃基 板損傷率，提高了基板對位時的產(chǎn)品良率。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例 或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是 本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下， 還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術(shù)基板對位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型基板對位裝置實施例的俯視圖；圖3為本實用新型基板對位裝置實施例的側(cè)視圖；圖4為本實用新型基板對位裝置實施例的應用示意圖。附圖標記說明11-氣缸主體；12-運動活S ； 13-活動件導軌[0027]14-運動活塞位置檢測傳感器；15-對位針；16-彈性部件；[0028]17-端部體；18-間隙； 19-對位支架；[0029]20-對位滾輪；21-活動件； 22-滑塊；[0030]23-調(diào)節(jié)桿；24-固定件； 25-檢測支架；[0031]26-檢測傳感器；27-基板對位裝置；28-基板；[0032]29-支持部件；30-活塞氣缸； 31-氣缸導軌；[0033]32-進出氣口 ；33-活動件定位停止裝置()具體實施方式
為使本實用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型實施 例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實 施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領 域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用 新型保護的范圍。本實用新型的主要技術(shù)方案為，在目前的基板對位裝置的結(jié)構(gòu)基礎上，增設了彈 性部件等，使得該對位裝置可以實現(xiàn)緩沖功能，以避免對位過程中的硬力對基板造成損傷， 提高產(chǎn)品的良率。下面通過附圖和具體實施例，對本實用新型的技術(shù)方案做進一步的詳細描述。圖2為本實用新型基板對位裝置實施例的俯視圖，圖3為本實用新型基板對位裝 置實施例的側(cè)視圖，如圖2和圖3所示，本實施例的基板對位裝置可以包括支持部件四、氣 缸主體11、兩個活塞氣缸30、運動活塞12、活動件導軌13、對位部件和彈性部件16。其中，活動件導軌13設置在氣缸主體11的下部，運動活塞12 —端設置在氣缸主 體11內(nèi)，另一端伸出氣缸主體11外。氣缸主體11的下部可以設置有氣缸導軌31，運動活 塞12的底部與氣缸導軌31構(gòu)成滑動連接，其可以在進出氣口 32通入的壓縮空氣動力的推 動下，沿氣缸導軌31往復運動。支持部件四的端部還設置有端部體17，運動活塞12 —端 設置在活塞氣缸30內(nèi)，另一端與端部體17相對。此外，兩個活塞氣缸30之間存在間隙18， 即兩個運動活塞12之間存在間隙18。對位部件包括對位支架19、對位滾輪20、活動件21和滑塊22。其中，對位滾輪20 設置在對位支架19上，例如本實施例中可以包括兩個對位滾輪20，分別設置在對位支架19 的兩端；其安裝個數(shù)可以根據(jù)實際需要確定。該對位滾輪20是可以在玻璃基板的行進方向 上自由轉(zhuǎn)動的圓柱體裝置，它的作用是在氣缸主體11收緊對位的情況下對玻璃基板進行 位置校正。活動件21固接在對位支架19的下部，且活動件21上設置有穿設孔，運動活塞12 由該穿設孔中穿過?；顒蛹?1的底部設置有滑塊22，該滑塊22與活動件導軌13構(gòu)成滑動 連接。上述結(jié)構(gòu)使得對位部件和運動活塞為同軌道設計，能夠有效保障氣缸主體收縮時運 動活塞12及活動件21的運動方向在一條直線上。彈性部件16設置在活動件21和運動活塞12的端部體17之間，其一端連接活動 件21，另一端連接端部體17。例如，該彈性部件16可以為彈簧。在氣缸主體11收緊定位 使得運動活塞12向氣缸主體11內(nèi)方向運動的過程中，運動活塞12端部的端部體17可以 將收緊力傳遞至與其連接的彈性部件16，再依靠彈性部件16的彈性將收緊力傳遞至對位 部件。上述的對位過程中的緩沖設計能夠有效降低硬力對玻璃基板的損傷。上述通過將對位部件設置為沿導軌滑動式，且增加了彈性部件，使得在基板的對 位過程中起到了緩沖作用，降低了對位過程中的基板損傷發(fā)生率，提高了產(chǎn)品良率。進一步的，本實施例的基板對位裝置還可以包括調(diào)節(jié)部件。該調(diào)節(jié)部件包括調(diào)節(jié) 桿23和固定件M。其中，調(diào)節(jié)桿23設置于兩個運動活塞12之間的間隙18的位置處，其一 端連接對位部件中的活動件21，另一端穿過運動活塞12的端部體17伸出，再由固定件M 將該調(diào)節(jié)桿23鎖緊固定。[0044]該調(diào)節(jié)桿23穿設于彈性部件16例如彈簧中，其作用是可以通過其穿設于彈簧的 長度的變化調(diào)整彈簧的壓縮程度，即調(diào)整彈簧的彈力；固定件M例如可以為調(diào)節(jié)螺母，當 調(diào)整調(diào)節(jié)桿23的伸出端部體17的長度后，可以用該固定件M鎖緊。調(diào)節(jié)部件可以通過其 中的調(diào)節(jié)桿23和固定件M調(diào)節(jié)彈簧的壓縮程度，在實際實施中，可以通過上述方法根據(jù)對 位力量的要求調(diào)節(jié)彈簧的緩沖力度。本實施例中，在氣缸主體11的靠近對位部件的端部位置，還可以設置有活動件定 位停止裝置33，該活動件定位停止裝置33的一端伸出氣缸主體11的端部，可以對活動件 21進行抵頂定位使其停止運動。進一步的，本實施例的基板對位裝置還可以包括基板檢測部件，該基板檢測部件 可以包括檢測支架25和檢測傳感器26。其中，檢測支架25設置在基板的校正位置，例如， 可以固定在氣缸主體11的靠近對位部件的端部位置，沿基板收緊對位的位置邊緣處設置。 檢測傳感器26設置在檢測支架25上。本實施例中的檢測傳感器沈的設置數(shù)量與對位部 件中的對位滾輪20的數(shù)量相等，也為兩個，且分別設置于檢測支架25的兩端。該檢測傳感器沈可以采用光感傳感器，可以通過該光感傳感器對基板進行當前 位置檢測和破損檢測，檢測基板是否達到了校正位置，并能夠及時檢測出基板的破碎情況， 降低后續(xù)工序中的設備停機時間，提高整個生產(chǎn)線的生產(chǎn)能力。在實際實施中，可以根據(jù)實 際需要預先設定檢測傳感器26的個數(shù)、設置位置以及檢出閥值等參數(shù)。例如，當基板尺寸 較大時，需要多個對位滾輪進行位置校正，此時，檢測傳感器沈通過檢測支架25安裝在校 正后的正確的與對位滾輪相應的下部。檢測傳感器26是通過接收自身發(fā)射光的反射光進 行檢驗的，因此可以設置其接收的反射光強檢測閥值，可以進行基板破碎檢測，以使得當其 中一個滾輪造成對位破損或者對位異常時能夠及時發(fā)現(xiàn)，進行調(diào)整。圖4為本實用新型基板對位裝置實施例的應用示意圖，如圖4所示，外部控制系統(tǒng) 可以發(fā)出驅(qū)動信號驅(qū)動電磁閥門開啟，對基板對位裝置27中的氣缸主體通入壓縮空氣，推 動運動活塞沿導軌運動。例如，氣缸主體收緊對位時，運動活塞向氣缸主體內(nèi)部運動，端部 體也隨之運動，并通過彈性部件將收緊力傳遞至對位部件，由對位部件對基板28進行位置 校正。其中，上述在基板觀的對位校正過程中，由于有彈性部件的緩沖作用，可以有效降低 硬力對基板觀的損傷，提高了產(chǎn)品良率。此外，設置在基板校正位置處的檢測部件可以實時檢測基板觀的當前位置，保證 基板28對位準確。并且，可以在每個對位滾輪處均設置該檢測部件，以及時檢測出基板洲 的破損情況，如果有基板觀發(fā)生破碎，可以被檢測部件及時檢出，避免了基板在設備入口 破損后進入設備腔體造成設備腔體的污染，處理需要加壓、降溫處理而導致的設備停機時 間過長，降低了后續(xù)工序中因基板破損所導致的設備停機時間，提高了整個生產(chǎn)線的生產(chǎn) 能力。本實施例的基板對位裝置，通過設置彈性部件等緩沖結(jié)構(gòu)，解決了基板對位過程 中易發(fā)生基板破碎的問題，降低了對位過程中的玻璃基板損傷率，提高了基板對位時的產(chǎn) 品良率；并且，通過設置檢測部件等基板位置和破損檢測結(jié)構(gòu)，可以及時檢測出基板的破損 情況，降低了后續(xù)工序中因基板破損所導致的設備停機時間，提高了生產(chǎn)率。 本實用新型還提供了 一種基板對位平臺，該平臺包括平臺支架和本實用新型任意 實施例所述的基板對位裝置，所述基板對位裝置固定在所述平臺支架上。[0052]本實用新型還提供了一種基板傳送設備，該設備包括基板傳送軌道和本實用新型 實施例所提供的基板對位平臺，所述基板對位平臺設置在所述基板傳送軌道上，可以在基 板傳送軌道上移動。最后應說明的是以上實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案，而非對其限制； 盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領域的普通技術(shù)人員應當理解: 其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進行等 同替換；而這些修改或者替換，并不使相應技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實用新型各實施例技術(shù) 方案的精神和范圍。
權(quán)利要求1.一種基板對位裝置，其特征在于，包括支持部件、氣缸主體、活塞氣缸、運動活塞、 對位部件和彈性部件；所述氣缸主體固定在所述支持部件上，兩個所述活塞氣缸設置在所述氣缸主體內(nèi)，且 兩個所述活塞氣缸之間存在間隙；所述支持部件的端部設置有端部體，所述運動活塞的一 端設置在所述活塞氣缸內(nèi)，另一端與所述端部體相對；所述對位部件包括對位支架、對位滾輪、活動件和滑塊；所述對位滾輪設置在所述對位 支架上，所述活動件固接在所述對位支架的下部，且所述活動件上設置有穿設孔，所述運動 活塞穿設于所述穿設孔中；所述滑塊設置在所述活動件的底部且與所述支持部件上設置的 活動件導軌滑動連接；所述彈性部件的一端連接所述活動件，另一端連接所述端部體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板對位裝置，其特征在于，所述彈性部件為彈簧。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板對位裝置，其特征在于，還包括調(diào)節(jié)部件；所述調(diào)節(jié)部 件包括調(diào)節(jié)桿和固定件；所述調(diào)節(jié)桿設置于兩個所述運動活塞之間的間隙處，且穿設于所述彈簧；所述調(diào)節(jié)桿 的一端連接所述活動件，另一端穿過所述端部體伸出后由所述固定件鎖緊。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板對位裝置，其特征在于，所述固定件為調(diào)節(jié)螺母。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板對位裝置，其特征在于，還包括基板檢測部件；所述基 板檢測部件包括檢測支架和檢測傳感器；所述檢測支架設置在所述氣缸主體的靠近所述對 位部件的端部位置，所述檢測傳感器設置在所述檢測支架上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板對位裝置，其特征在于，所述檢測支架固定在所述氣缸 主體上。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板對位裝置，其特征在于，所述氣缸主體的靠近所述對位 部件的端部位置還設置有活動件定位停止裝置，所述活動件定位停止裝置的一端伸出所述 氣缸主體的端部。
8.根據(jù)權(quán)利要求5-7任一所述的基板對位裝置，其特征在于，所述檢測傳感器的數(shù)量 與所述對位滾輪的數(shù)量相等。
9.根據(jù)權(quán)利要求5-7任一所述的基板對位裝置，其特征在于，所述檢測傳感器為光感 傳感器。
10.一種基板對位平臺，其特征在于，包括平臺支架和權(quán)利要求1 9任一所述的基板 對位裝置，所述基板對位裝置固定在所述平臺支架上。
11.一種基板傳送設備，其特征在于，包括基板傳送軌道和權(quán)利要求10所述的基板對 位平臺，所述基板對位平臺設置在所述基板傳送軌道上。
專利摘要本實用新型提供一種基板對位裝置、基板對位平臺和基板傳送設備，其中，對位裝置包括支持部件、氣缸主體、兩個運動活塞、導軌、對位部件和彈性部件；所述支持部件的端部設置有端部體，所述運動活塞的一端設置在所述活塞氣缸內(nèi)，另一端與所述端部體相對；所述對位部件包括對位支架、對位滾輪、活動件和滑塊；所述對位滾輪設置在所述對位支架上，所述活動件固接在所述對位支架的下部，且所述活動件上設置有穿設孔，所述運動活塞穿設于所述穿設孔中；所述滑塊設置在所述活動件的底部且與所述導軌滑動連接；所述彈性部件設置在活動件和端部體之間。本實用新型降低了對位過程中的玻璃基板損傷率，提高了基板對位時的產(chǎn)品良率。
文檔編號H01L21/68GK201845752SQ20102059216
公開日2011年5月25日 申請日期2010年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月29日
發(fā)明者吳健 申請人:北京京東方光電科技有限公司