專利名稱：晶片校準(zhǔn)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種晶片校準(zhǔn)器，尤其涉及該晶片校準(zhǔn)器中垂直軸的銷腳結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
校準(zhǔn)器決定了晶片的中心、定位；對(duì)晶片進(jìn)行再調(diào)整，調(diào)整平面或刻痕出用戶所需 的角度。如果出現(xiàn)以下情況晶片處理系統(tǒng)需要校準(zhǔn)器A、晶片刻痕必須適應(yīng)一些工具的軸線；B、晶片較卡式公差允許更加需要置于過程或者較大精度的測(cè)量工具；C、晶片樣品必須置于過程或者測(cè)量工具用于圖像識(shí)別照相機(jī)。如圖1所示當(dāng)機(jī)械手臂在加工另一個(gè)晶片時(shí)校準(zhǔn)器可以獨(dú)立定位一個(gè)晶片，卡 盤1在LED陣列2和CCD陣列3時(shí)旋轉(zhuǎn)晶片4，三個(gè)插片舉起移動(dòng)晶片。校準(zhǔn)器放大器中 用蓋板蓋住的控制器放大脈沖寬頻調(diào)制電機(jī)驅(qū)動(dòng)信號(hào)來驅(qū)動(dòng)預(yù)校準(zhǔn)器中三電機(jī)。在校準(zhǔn)期 間，三條伺服軸移向三個(gè)不同方向垂直軸(Z軸)控制銷腳提升下降；水平軸(R軸)控制銷腳水平移動(dòng)；旋轉(zhuǎn)軸(T軸)控制卡盤水平旋轉(zhuǎn)。通過帶電荷力偶設(shè)備(CXD)處理晶片邊緣影像數(shù)據(jù)，在晶片校準(zhǔn)期間，(XD/LED合 作監(jiān)控晶片的邊緣。由圖2、圖3可見垂直軸(Z軸)在使用過程中，銷腳11的上升是依靠馬達(dá)帶動(dòng) 旋轉(zhuǎn)凸輪10來完成，下降是在馬達(dá)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)凸輪不工作的時(shí)候利用重力自行完成。由于使 用年限的長(zhǎng)久以及銷腳的頻繁上升下降，從而導(dǎo)致滾珠滑塊12的老化或磨損，使垂直軸(Z 軸)下降時(shí)，無法順利下降或卡死在下降途中，影響了垂直軸(Z軸)的銷腳無法回到原始 點(diǎn)(最低下)，最終不能完全定位。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型需要解決的技術(shù)問題是提供了一種晶片校準(zhǔn)器，旨在解決上述的問題。為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的本實(shí)用新型包括旋轉(zhuǎn)凸輪；所述的旋轉(zhuǎn)凸輪通過滾珠滑塊與銷腳相連；所述 的銷腳形狀為下方是板狀，上方為“ □，，形；板狀的右上端與滾珠滑塊的對(duì)應(yīng)點(diǎn)相連； “ □，，形的右上端與滾珠滑塊的對(duì)應(yīng)點(diǎn)相連。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是由于使垂直軸(Z軸)下降時(shí)，也是和 上升時(shí)一樣，是依靠馬達(dá)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)凸輪來完成，這樣就不存在下降時(shí)的偏差。
圖1是晶片校準(zhǔn)器結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是現(xiàn)有技術(shù)中垂直軸的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是圖2中銷腳的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是圖5中銷腳的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述由圖4、圖5可見本實(shí)用新型包括旋轉(zhuǎn)凸輪10 ；所述的旋轉(zhuǎn)凸輪10通過滾珠滑 塊12與銷腳110相連；所述的銷腳110形狀為下方是板狀111，上方為“ □，，形112;板狀 111的右上端與滾珠滑塊12的對(duì)應(yīng)點(diǎn)相連；“ □，，形112的右上端與滾珠滑塊12的對(duì)應(yīng) 點(diǎn)相連。通過本實(shí)用新型中銷腳的形狀改變，使得銷腳在上升和下降都有馬達(dá)帶動(dòng)，而不 是在下降中靠自重下降，使得都能進(jìn)行正確定位。
權(quán)利要求1. 一種晶片校準(zhǔn)器，包括旋轉(zhuǎn)凸輪；所述的旋轉(zhuǎn)凸輪通過滾珠滑塊與銷腳相連；其特 征在于所述的銷腳形狀為下方是板狀，上方為“ □，，形；板狀的右上端與滾珠滑塊的對(duì) 應(yīng)點(diǎn)相連；“ □，，形的右上端與滾珠滑塊的對(duì)應(yīng)點(diǎn)相連。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種晶片校準(zhǔn)器，包括旋轉(zhuǎn)凸輪；所述的旋轉(zhuǎn)凸輪通過滾珠滑塊與銷腳相連；所述的銷腳形狀為下方是板狀，上方為“”形；板狀的右上端與滾珠滑塊的對(duì)應(yīng)點(diǎn)相連；“”形的右上端與滾珠滑塊的對(duì)應(yīng)點(diǎn)相連；本實(shí)用新型的有益效果是由于使垂直軸(Z軸)下降時(shí)，也是和上升時(shí)一樣，是依靠馬達(dá)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)凸輪來完成，這樣就不存在下降時(shí)的偏差。
文檔編號(hào)H01L21/68GK201918377SQ20102060776
公開日2011年8月3日 申請(qǐng)日期2010年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月15日
發(fā)明者陳波 申請(qǐng)人:上海矽維電子科技有限公司