專利名稱：晶片腐蝕裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及機(jī)械設(shè)備，具體的說(shuō)是一種用于晶片加工的晶片腐蝕裝置。
背景技術(shù)：
晶片在磨圓的加工工序前，需要將晶片疊加，膠合在一起，磨圓工序后，對(duì)膠合在一起的晶片進(jìn)行腐蝕處理，重新分離成單片的晶片，直接將膠合的晶片浸泡在腐蝕液中，存在這效率低，晶片散落的缺陷。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對(duì)上述問(wèn)題，提出一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、效率高的晶片腐蝕裝置。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的本實(shí)用新型的一種晶片腐蝕裝置，它包括浸液槽，浸液槽內(nèi)有支架，支架上有一個(gè)傳動(dòng)軸，在浸液槽的一側(cè)有一個(gè)電機(jī)，電機(jī)連接輸出齒輪，輸出齒輪與傳動(dòng)軸上的輸入齒輪嚙合，其特征在于上述傳動(dòng)軸上分別有左聯(lián)動(dòng)齒輪和右聯(lián)動(dòng)齒輪，支架上端的凹槽內(nèi)放置浸洗罐，浸洗罐兩端有軸，一端的軸上有傳動(dòng)齒輪，浸洗罐的表面有孔，上述左聯(lián)動(dòng)齒輪和右聯(lián)動(dòng)齒輪分別與傳動(dòng)齒輪嚙合。本實(shí)用新型的晶片腐蝕裝置，使用時(shí)，可以將膠合在一起的晶片放入浸洗罐內(nèi)，腐蝕液由浸洗罐表面的孔進(jìn)入罐內(nèi)，并由電機(jī)帶動(dòng)浸洗灌轉(zhuǎn)動(dòng)，均勻快速腐蝕。因此，本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、效率高的特點(diǎn)，而且分離后的晶片在灌內(nèi)不散落。

圖1為本實(shí)用新型的晶片腐蝕裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖通過(guò)實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明如圖1所示，本實(shí)用新型的一種晶片腐蝕裝置，它包括浸液槽1，浸液槽1內(nèi)有支架 2，支架2上有一個(gè)傳動(dòng)軸7，在浸液槽1的一側(cè)有一個(gè)電機(jī)11，電機(jī)11連接輸出齒輪10， 輸出齒輪10與傳動(dòng)軸7上的輸入齒輪9嚙合，其特征在于上述傳動(dòng)軸7上分別有左聯(lián)動(dòng)齒輪4和右聯(lián)動(dòng)齒輪8，支架2上端的凹槽內(nèi)放置浸洗罐6，浸洗罐6兩端有軸3，其中一端的軸3上有傳動(dòng)齒輪5，浸洗罐6的表面有孔，上述左聯(lián)動(dòng)齒輪4和右聯(lián)動(dòng)齒輪8分別與傳動(dòng)齒輪5嚙合。
權(quán)利要求1. 一種晶片腐蝕裝置，它包括浸液槽(1)，浸液槽(1)內(nèi)有支架O)，支架( 上有一個(gè)傳動(dòng)軸(7)，在浸液槽(1)的一側(cè)有一個(gè)電機(jī)(11)，電機(jī)(11)連接輸出齒輪(10)，輸出齒輪(10)與傳動(dòng)軸(7)上的輸入齒輪(9)嚙合，其特征在于上述傳動(dòng)軸(7)上分別有左聯(lián)動(dòng)齒輪(4)和右聯(lián)動(dòng)齒輪(8)，支架( 上端的凹槽內(nèi)放置浸洗罐(6)，浸洗罐(6)兩端有軸 (3)，其中一端的軸( 上有傳動(dòng)齒輪(5)，浸洗罐(6)的表面有孔，上述左聯(lián)動(dòng)齒輪(4)和右聯(lián)動(dòng)齒輪(8)分別與傳動(dòng)齒輪( 嚙合。
專利摘要一種晶片腐蝕裝置，它包括浸液槽，浸液槽內(nèi)有支架，支架上有一個(gè)傳動(dòng)軸，在浸液槽的一側(cè)有一個(gè)電機(jī)，電機(jī)連接輸出齒輪，輸出齒輪與傳動(dòng)軸上的輸入齒輪嚙合，其特征在于上述傳動(dòng)軸上分別有左聯(lián)動(dòng)齒輪和右聯(lián)動(dòng)齒輪，支架上端的凹槽內(nèi)放置浸洗罐，浸洗罐兩端有軸，一端的軸上有傳動(dòng)齒輪，浸洗罐的表面有孔，上述左聯(lián)動(dòng)齒輪和右聯(lián)動(dòng)齒輪分別與傳動(dòng)齒輪嚙合。本實(shí)用新型的晶片腐蝕裝置，使用時(shí)，可以將膠合在一起的晶片放入浸洗罐內(nèi)，腐蝕液由浸洗罐表面的孔進(jìn)入罐內(nèi)，并由電機(jī)帶動(dòng)浸洗灌轉(zhuǎn)動(dòng)，均勻快速腐蝕。因此，本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、效率高的特點(diǎn)，而且分離后的晶片在灌內(nèi)不散落。
文檔編號(hào)H01L21/02GK201946577SQ20102061815
公開(kāi)日2011年8月24日 申請(qǐng)日期2010年11月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月23日
發(fā)明者盧巍 申請(qǐng)人:嘉興鯤鵬電子有限公司