專利名稱：用于轉移硅片的工具的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種太陽能電池的制作工具，尤其涉及一種用于轉移硅片的工具。
背景技術：
太陽能電池是一種將光能直接轉化為電能的器件，其基本原理是利用PN結的光 生伏特效應將光能轉化成電能，由于其清潔、無污染，取之不盡，用之不竭，逐漸成為一種重 要的發(fā)電方式，近年來備受矚目。其中，晶體硅太陽能電池占有絕大部分的份額。目前，在晶體硅太陽能電池的生產過程中，用于制作PN結的擴散制結工序是關鍵 工序之一。該工序要求嚴格的工藝衛(wèi)生，需要一種專用的工具來轉移硅片，以避免人手直接 接觸硅片，從而保證硅片的潔凈度，減少硅片表面少子復合，增強了太陽能電池轉換效率的 穩(wěn)定性。另一方面，現(xiàn)有的晶體硅太陽能電池擴散工藝均采用水平臥式擴散爐，擴散爐內 配有水平臥式石英舟承載硅片，生產時需要人工向石英舟槽內插入硅片。為了保證擴散環(huán) 境的潔凈度，在進行擴散插片作業(yè)時，人員需佩戴無塵手套進行操作，同時需要使用輕巧、 方便、少污染的硅片轉移工具；而硅片出爐后溫度較高，又要求該工具能耐較高的溫度而不 變形。因此，現(xiàn)有的用于轉移硅片的工具均采用石英材料制成?，F(xiàn)有的用于轉移硅片的工具主要包括吸盤、中空的石英握管和中空真空管，所述 中空真空管設于吸盤和石英握管之間，中空真空管的一端與吸盤連通，另一端與石英握管 連通；石英握管的頂部還設有抽真空接管；石英握管的外壁設有抽真空開關。所述抽真空 開關通常是一個開孔。工作時，先將抽真空接管與抽真空設備(如真空泵)連接，啟動抽真 空，用手握持石英握管，食指按住抽真空開關的開孔，將吸盤輕輕放在硅片邊緣，吸起硅片， 將硅片插于石英舟槽內，然后最后松開食指，完成硅片轉移動作。然而，在實際應用中發(fā)現(xiàn)，由于抽真空開關的開孔較大(一般為13平方毫米)，當工 人用食指按住抽真空開關的開孔時，手上的無塵手套會被局部吸進石英握管內，在石英握 管內形成1個大氣泡，從而造成操作中斷，影響連續(xù)生產。
發(fā)明內容本實用新型目的是提供一種適于實用的用于轉移硅片的工具。為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是一種用于轉移硅片的工具，包括 吸盤、中空的石英握管和中空真空管，所述中空真空管的一端與吸盤連通，另一端與石英握 管連通；所述石英握管的管壁上設有抽真空開關，所述抽真空開關包括至少2個開孔，各開 孔的面積小于等于1平方毫米，開孔的總面積為0. 2、平方毫米。上文中，將抽真空開關設置成至少2個開孔，形成勻溜口型抽真空開關，使吸力均 勻分散，防止無塵手套被吸入石英握管內。所述石英握管一般為普通的石英管，其管徑一般大于所述中空真空管的管徑，以便于握持。進一步的技術方案，所述開孔為9個，構成3X3點陣結構，設于石英握管的管壁 上，各個開孔的面積均為0. 5平方毫米。上述技術方案中，所述開孔為圓孔。當然也可以是其他規(guī)則圖形(如三角形)或其 它不規(guī)則圖形。上述技術方案中，所述石英握管的外表面設有防滑結構。該防滑結構可以是磨砂 結構或凹凸結構等，便于手握持同時也可以起到防滑的作用。由于上述技術方案運用，本實用新型與現(xiàn)有技術相比具有的優(yōu)點是1、本實用新型將抽真空開關設置成多個開孔，形成勻溜口型抽真空開關，使吸力 均勻分散，并限定了開孔的面積，從而可以防止無塵手套被吸入石英握管內，保證了該工具 可以連續(xù)使用，不會影響連續(xù)生產；2、本實用新型在石英握管的外表面設有防滑結構，便于工人用手握持，同時也可 以起到防滑的作用；3、本實用新型結構簡單，便于制備，且具有良好的可操作性、實用性，適于推廣應用。

圖1是本實用新型實施例一的結構示意圖；圖2是圖1的A部放大圖。其中1、吸盤；2、石英握管；3、中空真空管；4、開孔。
具體實施方式

以下結合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述實施例一參見圖廣2所示，一種用于轉移硅片的工具，包括吸盤1、中空的石英握管2和中空 真空管3，所述中空真空管的一端與吸盤連通，另一端與石英握管連通；所述石英握管的管 壁上設有抽真空開關，所述抽真空開關包括9個開孔4，構成3X3點陣結構，設于石英握管的管壁上，各 個開孔的面積均為0. 5平方毫米。所述開孔為圓孔。所述石英握管的外表面設有防滑結構， 防滑結構未畫出。
權利要求1.一種用于轉移硅片的工具，包括吸盤(1)、中空的石英握管(2)和中空真空管(3)， 所述中空真空管的一端與吸盤連通，另一端與石英握管連通；所述石英握管的管壁上設有 抽真空開關，其特征在于所述抽真空開關包括至少2個開孔G)，各開孔的面積小于等于1 平方毫米，開孔的總面積為0. 2、平方毫米。
2.根據權利要求1所述的用于轉移硅片的工具，其特征在于所述開孔為9個，構成 3X3點陣結構，設于石英握管的管壁上，各個開孔的面積均為0.5平方毫米。
3.根據權利要求1所述的用于轉移硅片的工具，其特征在于所述開孔為圓孔。
4.根據權利要求1所述的用于轉移硅片的工具，其特征在于所述石英握管的外表面 設有防滑結構。
專利摘要本實用新型公開了一種用于轉移硅片的工具，包括吸盤、中空的石英握管和中空真空管，所述中空真空管的一端與吸盤連通，另一端與石英握管連通；所述石英握管的管壁上設有抽真空開關，所述抽真空開關包括至少2個開孔，各開孔的面積小于等于1平方毫米，開孔的總面積為0.2~9平方毫米。本實用新型可以防止無塵手套被吸入石英握管內，保證了該工具可以連續(xù)使用，不會影響連續(xù)生產。
文檔編號H01L31/18GK201877411SQ20102064036
公開日2011年6月22日 申請日期2010年12月2日 優(yōu)先權日2010年12月2日
發(fā)明者黨繼東, 孟祥熙, 王虎, 章靈軍, 衡陽, 費倍輩, 辛國軍 申請人:蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司, 阿特斯(中國)投資有限公司