專利名稱：晶圓盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其涉及一種晶圓盒(load lock)。
背景技術(shù)：
晶圓由晶圓盒承載運(yùn)送至淀積腔，晶圓盒的作用有兩個(gè)第一，使晶圓從大氣壓環(huán) 境進(jìn)入真空環(huán)境，第二，對晶圓進(jìn)行預(yù)加熱，使晶圓進(jìn)入淀積腔后能很快達(dá)到淀積制程的溫度。如圖1所示，晶圓盒包括外殼(圖1中未示)和設(shè)置在外殼內(nèi)的加熱器100，所述 加熱器100上設(shè)有升降銷(lift pin) 101和定位銷(standoff pin) 102，所述升降銷101可 伸縮，改變其頂端面相對所述加熱器100的上表面103的高度，所述定位銷102用于支撐晶 圓。晶圓進(jìn)入晶圓盒前，所述升降銷101處于升高的狀態(tài)，機(jī)械手將晶圓放置在所述升降銷 101上，所述升降銷101通過收縮帶動晶圓下降，當(dāng)晶圓的底端面接觸到所述定位銷102后， 晶圓就支撐在所述定位銷102上，而所述升降銷101繼續(xù)收縮，與晶圓脫離，即最后晶圓由 所述定位銷102支撐著，晶圓在所述加熱器100中的位置由所述定位銷102決定。為防止 晶圓的底端面被所述加熱器100污染，所述定位銷102的頂端面高于所述加熱器100的上 表面103，如圖2所示，使晶圓的底端面與所述加熱器100的上表面103之間保持有一定距離。晶圓支撐在所述定位銷102上后，關(guān)閉晶圓盒的外殼，對晶圓盒進(jìn)行抽真空，使晶 圓盒內(nèi)部環(huán)境由大氣壓環(huán)境變?yōu)檎婵窄h(huán)境，同時(shí)，所述加熱器100對晶圓進(jìn)行加熱，當(dāng)晶圓 盒的真空度和晶圓的溫度達(dá)到要求后，連通晶圓盒和淀積腔(淀積腔的真空度與晶圓盒的 真空度相同)，機(jī)械手將晶圓從晶圓盒移至淀積腔。晶圓的移動都由機(jī)械手操作完成，而機(jī) 械手的操作動作由預(yù)先設(shè)定的程序控制，因此，晶圓在所述加熱器100中的位置是否符合 預(yù)先設(shè)定(即晶圓在所述加熱器100中的定位)非常重要，例如，晶圓在所述加熱器100中 的位置偏離預(yù)先設(shè)定，機(jī)械手就不能準(zhǔn)確抓取晶圓，也就無法將晶圓從晶圓盒移至淀積腔， 甚至在抓取過程中，機(jī)械手會損傷到晶圓，另外，晶圓偏離預(yù)先設(shè)定的位置，受熱會不均勻。在抽真空的過程中，所述定位銷102會出現(xiàn)跳動現(xiàn)象，產(chǎn)生原因如下如圖3所示， 所述定位銷102底部下方存在一些氣體104不易被抽走，這樣，在所述定位銷102的頂端面 與底端面之間存在壓差，這個(gè)壓差推動所述定位銷102向上運(yùn)動，即產(chǎn)生跳動現(xiàn)象，所述定 位銷102的跳動將影響晶圓的放置位置，使晶圓偏離預(yù)先設(shè)定的位置。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓盒，避免產(chǎn)生定位銷跳動現(xiàn)象，精確定位晶 圓。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型提供一種晶圓盒，包括加熱器，所述加熱器上設(shè) 有定位銷，所述定位銷設(shè)有毛細(xì)管，該毛細(xì)管從所述定位銷的底端貫穿至所述定位銷的頂端。[0008]上述晶圓盒，其中，所述毛細(xì)管的直徑為1 2mm。上述晶圓盒，其中，所述毛細(xì)管位于所述定位銷的正中央。上述晶圓盒，其中，所述定位銷的頂端面高于所述加熱器的上表面。上述晶圓盒，其中，所述定位銷為圓柱體。本實(shí)用新型晶圓盒的定位銷設(shè)有毛細(xì)管，該毛細(xì)管連通定位銷底部下方的氣體和 定位銷頂部上方的氣體，使定位銷的頂端面與底端面之間不存在壓差，因此能避免產(chǎn)生定 位銷跳動現(xiàn)象，有利于晶圓在加熱器中的定位。

本實(shí)用新型的晶圓盒由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1是現(xiàn)有技術(shù)的晶圓盒的示意圖。圖2是現(xiàn)有技術(shù)中定位銷的側(cè)視圖。圖3是定位銷跳動現(xiàn)象產(chǎn)生的原理圖。圖4是本實(shí)用新型晶圓盒的示意圖。圖5是本實(shí)用新型中定位銷的側(cè)視圖。
具體實(shí)施方式
以下將結(jié)合圖4 圖5對本實(shí)用新型的晶圓盒作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。本實(shí)用新型晶圓盒包括加熱器，所述加熱器上設(shè)有定位銷，所述定位銷設(shè)有毛細(xì) 管，該毛細(xì)管從所述定位銷的底端貫穿至所述定位銷的頂端。本實(shí)用新型晶圓盒的定位銷設(shè)有毛細(xì)管，該毛細(xì)管連通定位銷底部下方的氣體和 定位銷頂部上方的氣體，使定位銷的頂端面與底端面之間不存在壓差，因此能避免產(chǎn)生定 位銷跳動現(xiàn)象，有利于晶圓在加熱器中的定位?，F(xiàn)以一具體實(shí)施例詳細(xì)說明本實(shí)用新型的晶圓盒參見圖4，本實(shí)施例的晶圓盒包括外殼(圖4中未示)和設(shè)置在外殼內(nèi)的加熱器 200，所述加熱器200上設(shè)有3個(gè)升降銷201和9個(gè)定位銷202 ；所述3個(gè)升降銷201均勻分布在同一圓周內(nèi)；所述9個(gè)定位銷202設(shè)置在所述3個(gè)升降銷201形成的圓周內(nèi)；所述9個(gè)定位銷202中，有6個(gè)所述定位銷202均勻分布在同一圓周內(nèi)，其余3個(gè) 所述定位銷202也均勻分布在同一圓周內(nèi)，且6個(gè)所述定位銷202形成的圓周大于3個(gè)所 述定位銷202形成的圓周；所述升降銷201可伸縮，所述升降銷201的伸縮可改變其頂端面相對所述加熱器 200的上表面203的高度；所述定位銷202用于支撐晶圓。參見圖5，所述加熱器200設(shè)有定位銷槽204，所述定位銷202設(shè)置在所述定位銷 槽204內(nèi)，所述定位銷202的頂端2021高于所述加熱器200的上表面203 ；所述定位銷202設(shè)有毛細(xì)管205，該毛細(xì)管205從所述定位銷202的底端2022貫 穿至所述定位銷202的頂端2021，連通所述定位銷202底部下方的氣體和所述定位銷202 頂部上方的氣體；[0031]所述毛細(xì)管205的直徑為1 2mm ；所述毛細(xì)管位于所述定位銷202的正中央；本實(shí)施例中，所述定位銷202為圓柱體，所述毛細(xì)管205沿圓柱體的長度方向設(shè) 置，且位于圓柱體的正中央。定位銷中的毛細(xì)管保證定位銷底端的壓力始終等于定位銷頂端的壓力，在定位銷 頂端面與底端面之間不存在壓差，因此能避免產(chǎn)生定位銷跳動現(xiàn)象。
權(quán)利要求1.一種晶圓盒，包括加熱器，所述加熱器上設(shè)有定位銷，其特征在于，所述定位銷設(shè)有 毛細(xì)管，該毛細(xì)管從所述定位銷的底端貫穿至所述定位銷的頂端。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒，其特征在于，所述毛細(xì)管的直徑為1 2mm。
3.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒，其特征在于，所述毛細(xì)管位于所述定位銷的正中央。
4.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒，其特征在于，所述定位銷的頂端面高于所述加熱器的 上表面。
5.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒，其特征在于，所述定位銷為圓柱體。
專利摘要本實(shí)用新型的晶圓盒包括加熱器，所述加熱器上設(shè)有定位銷，其特征在于，所述定位銷設(shè)有毛細(xì)管，該毛細(xì)管從所述定位銷的底端貫穿至所述定位銷的頂端。本實(shí)用新型的晶圓盒可避免產(chǎn)生定位銷跳動現(xiàn)象，精確定位晶圓。
文檔編號H01L21/673GK201918372SQ20102068317
公開日2011年8月3日 申請日期2010年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月27日
發(fā)明者姜再培, 李祥福, 汪少軍 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司, 武漢新芯集成電路制造有限公司