專利名稱：等離子體處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對諸如板的待處理對象執(zhí)行等離子體處理的等離子體處理裝置。
背景技術(shù)：
等離子體處理被公知為一種用于清洗或刻蝕待處理對象(諸如其上安裝有電子部件的板)的表面處理方法。在等離子體處理中，待處理的板被放在形成處理腔的真空腔內(nèi)。然后，在處理腔內(nèi)產(chǎn)生等離子體放電，以使得作為等離子放電的結(jié)果而產(chǎn)生的離子和電子作用于板的表面，從而執(zhí)行所希望的表面處理。為了以較高的質(zhì)量穩(wěn)定地執(zhí)行等離子體處理，必須響應(yīng)于根據(jù)處理目的而已提前確定的放電條件來適當?shù)禺a(chǎn)生等離子體放電。因此，為了監(jiān)視等離子體的產(chǎn)生的狀態(tài)的目的，已提出了各種手段和方法(參見專利文件1至 3)。在專利文件1中，包括用于檢測電勢的探測電極的放電檢測傳感器被附接到包括處理腔的真空腔，并檢測根據(jù)等離子體的改變的、在探測電極處感應(yīng)的電勢的改變，從而檢測在處理腔中是否存在異常放電。在專利文件2中，由照相機來拍攝反應(yīng)腔的內(nèi)部的圖像， 并且通過檢測由異常放電造成的光的發(fā)射來指明異常放電的產(chǎn)生及產(chǎn)生位置。在專利文件3中，由諸如CCD的圖像傳感器來檢測等離子體腔中的等離子體光，從而監(jiān)視等離子體處理。相關(guān)技術(shù)文件專利文件專利文件1 JP-A-2001-319922專利文件2 JP-A-2003-318115專利文件3 JP-A-11-6773
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的問題近來，在制造要對其應(yīng)用等離子體處理的電子部件的領(lǐng)域中，對于需要高耐久性的諸如車載部件的高質(zhì)量的部件來說，需要與相關(guān)技術(shù)相比更詳細的質(zhì)量管理。為此，即使在等離子體處理過程中，也必須不僅通過只檢測異常放電而且通過查明異常的原因來穩(wěn)定
處理質(zhì)量。此外，即使在等離子體處理過程中，也已經(jīng)存在對保留歷史的不斷增長的需求，該歷史指示已對待處理對象適當執(zhí)行了等離子體處理，并且可以根據(jù)后續(xù)步驟或組裝了待處理對象的成品追溯該歷史，也即所謂的可追溯性。然而，僅根據(jù)關(guān)于是否已產(chǎn)生異常放電的信息還不能證明已正常執(zhí)行了等離子體處理。因此，已經(jīng)期望用于確保等離子體處理中的可追溯性的手段。然而，在上述專利文件中公開的相關(guān)技術(shù)中，可以檢測異常放電的產(chǎn)生，但不提供對查明異常的原因有用的數(shù)據(jù)。為此，當試圖查明異常的原因時，為了再現(xiàn)異常的目的，必須通過付出許多時間、努力和人力的反復(fù)實驗(trial and error)來重復(fù)測試。因為即使在上述再現(xiàn)測試中許多元素也與產(chǎn)生等離子體的狀態(tài)復(fù)雜相關(guān)，所以在嚴格的意義上不可能再現(xiàn)異常。因此，很難查明異常的原因。本發(fā)明的目的是提供一種能夠獲得對查明等離子體處理中的異常放電的原因有用的數(shù)據(jù)并能夠確?？勺匪菪缘牡入x子體處理裝置。解決向題的手段根據(jù)本發(fā)明的等離子體處理裝置包括真空腔、等離子體處理執(zhí)行部分和放電狀態(tài)檢測單元。所述真空腔形成其中容納待處理對象的處理腔。等離子體處理執(zhí)行部分在所述處理腔中的減小的壓力狀態(tài)下將等離子體產(chǎn)生氣體引入所述處理腔中，通過施加高頻電壓來激勵所述等離子體產(chǎn)生氣體，并對容納在所述處理腔中的待處理對象執(zhí)行等離子體處理。所述放電狀態(tài)檢測單元檢測所述處理腔中的異常放電。該等離子體處理裝置包括窗口部分，形成在所述真空腔處；照相機，通過所述窗口部分來拍攝所述真空腔的內(nèi)部的圖像，并輸出運動圖像數(shù)據(jù)；第一存儲部分，存儲從所述照相機輸出的運動圖像數(shù)據(jù)；第二存儲部分，存儲從所述第一存儲部分中提取的運動圖像數(shù)據(jù)；以及圖像數(shù)據(jù)提取單元，從所述第一存儲部分中提取運動圖像數(shù)據(jù)并且將所提取的運動圖像數(shù)據(jù)存儲到所述第二存儲部分中。所述圖像數(shù)據(jù)提取單元從所述第一存儲部分中提取顯示所述異常放電的產(chǎn)生狀態(tài)的運動圖像數(shù)據(jù)并且將所提取的運動圖像數(shù)據(jù)存儲到所述第二存儲部分中。當所述等離子體處理結(jié)束而沒有檢測到異常放電時，所述圖像數(shù)據(jù)提取單元從所述第一存儲部分中提取預(yù)定特定時段的運動圖像數(shù)據(jù)或自所述第一存儲部分的運動圖像數(shù)據(jù)中導(dǎo)出的特定時段的靜止圖像數(shù)據(jù)，并將所提取的運動圖像數(shù)據(jù)或所提取的靜止圖像數(shù)據(jù)存儲到所述第二存儲部分中。本發(fā)明的優(yōu)點根據(jù)本發(fā)明，通過當用于檢測處理腔中的異常放電的放電狀態(tài)檢測單元檢測到異常放電時存儲顯示異常放電的產(chǎn)生狀態(tài)的運動圖像數(shù)據(jù)、并當?shù)入x子體處理結(jié)束而沒有檢測到異常放電時存儲特定時段的運動圖像數(shù)據(jù)或靜止圖像數(shù)據(jù)，在所述處理腔中容納待處理對象并執(zhí)行等離子體處理的所述等離子體處理裝置可以獲得對于查明等離子體處理中的異常放電的原因有用的數(shù)據(jù)，并能保證可追溯性。


圖1是根據(jù)本發(fā)明的實施例的等離子體處理裝置的剖面圖。圖2(a)和圖2(b)是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的等離子體處理裝置的操作的視圖，其中，圖2(a)是示出蓋子部分被上移的狀態(tài)的視圖，且圖2(b)是示出蓋子部分被移下的狀態(tài)的視圖。圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的在等離子體處理裝置中使用的放電檢測傳感器的結(jié)構(gòu)的視圖。圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的等離子體處理裝置的控制部分的結(jié)構(gòu)和功能的框圖。圖5(a)和圖5(b)是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的等離子體處理裝置的放電狀態(tài)檢測部分的功能的視圖，其中，圖5(a)是示出放電狀態(tài)檢測部分的結(jié)構(gòu)的視圖，并且圖5(b)是示出作為波形的、電勢改變數(shù)據(jù)的圖形，該電勢改變數(shù)據(jù)是在等離子體處理裝置的操作時從放電檢測傳感器的探測電極輸出的且被存儲在電勢改變存儲部分中。圖6是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的等離子體處理裝置的圖像數(shù)據(jù)提取處理的視圖。圖7(a)和圖7(b)是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的等離子體處理裝置的結(jié)構(gòu)和操作的視圖，其中，圖7(a)是示出開口部分被打開的狀態(tài)的視圖，且圖7(b)是示出開口部分被關(guān)閉的狀態(tài)的視圖。圖8是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的等離子體處理裝置的操作和處理的時序圖。圖9是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的等離子體處理裝置的數(shù)據(jù)記錄處理的流程圖。圖10(a)、圖10(b)和圖10(c)是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的由等離子體處理裝置輸出的歷史數(shù)據(jù)文件的結(jié)構(gòu)的視圖，其中，圖10(a)是示出制造歷史文件的內(nèi)容的視圖， 圖10(b)是示出等離子體監(jiān)視文件的內(nèi)容的視圖，且圖10(c)是示出電勢改變文件的內(nèi)容的視圖。圖11 (a)和圖11 (b)是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的等離子體處理裝置的文件輸出部分的功能的視圖，其中，圖11(a)是示出文件輸出屏幕的視圖，且圖11(b)是電勢改變數(shù)據(jù)輸出屏幕的視圖。
具體實施例方式圖1是根據(jù)本發(fā)明的實施例的等離子體處理裝置的剖面圖，圖2(a)和圖2(b)是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的等離子體處理裝置的操作的視圖，圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的在等離子體處理裝置中使用的放電檢測傳感器的結(jié)構(gòu)的視圖，圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的等離子體處理裝置的控制部分的結(jié)構(gòu)和功能的框圖，圖5(a)和圖5(b)是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的等離子體處理裝置的放電狀態(tài)檢測部分的功能的視圖，圖6是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的等離子體處理裝置的圖像數(shù)據(jù)提取處理的視圖，圖7(a)和圖 7(b)是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的等離子體處理裝置的結(jié)構(gòu)和操作的視圖，圖8是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的等離子體處理裝置的操作和處理的時序圖，圖9是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的等離子體處理裝置的數(shù)據(jù)記錄處理的流程圖，圖10(a)、圖10(b)和圖10(c)是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的由等離子體處理裝置輸出的歷史數(shù)據(jù)文件的結(jié)構(gòu)的視圖，并且圖 11(a)和圖11(b)是示出根據(jù)本發(fā)明的實施例的等離子體處理裝置的文件輸出部分的功能的視圖。將首先參照圖1、圖2(a)和圖2(b)來描述等離子體處理裝置的結(jié)構(gòu)。在圖1、圖 2(a)和圖2(b)中，形成真空腔3以使得蓋子部分2被布置在水平基座部分1上，以便由提升單元(未示出)自由提升。如圖2(b)所示，在蓋子部分2被移下(箭頭“b”)并通過密封構(gòu)件4達到與基座部分1的上表面接觸的狀態(tài)中，真空腔3處于關(guān)閉狀態(tài)。由基座部分1 和蓋子部分2環(huán)繞的氣密閉合空間形成處理腔3a，處理腔3a中容納待處理對象，并使待處理對象經(jīng)歷等離子體處理。電極部分5被提供在處理腔3a中。電極部分5通過絕緣構(gòu)件 6從下側(cè)安裝到形成在基座部分1處的開口部分la。絕緣體7被附接到電極部分5的上表面。如圖2(a)所示，當作為待處理對象的板9的兩側(cè)端部分由引導(dǎo)構(gòu)件8來引導(dǎo)時，由板送入臂30來推動板的尾端部分。因此，板被按照板送入方向(箭頭“a”的方向)送入到絕緣體7的上表面上。形成在基座部分1處的開孔(open hole) Ib通過管線11連接到排氣閥12、壓力計 15、供氣閥13和真空閥14。此外，供氣閥13和真空閥分別被連接到供氣部分16和真空泵 17。當打開真空閥14并驅(qū)動真空泵17時，處理腔3a的內(nèi)部被排成真空。此時，通過壓力計15來檢測真空的程度。真空閥14和真空泵17形成真空排氣部分，通過其來將處理器3a 的內(nèi)部排成真空。當打開供氣閥13時，從供氣部分16向處理腔3a內(nèi)提供等離子體產(chǎn)生氣體。供氣部分16具有流速調(diào)節(jié)功能。因此，可以向處理腔3a內(nèi)提供任意量的等離子體產(chǎn)生氣體。當打開排氣閥12時，在真空被破差時空氣被引入處理腔3a中。電極部分5通過匹配單元18電連接到高頻電源部分19。當在完成真空排氣后等離子體產(chǎn)生氣體被提供到處理腔3a中的條件下驅(qū)動高頻電源部分19時，在電極部分5和被接地到接地部分10的蓋子部分2之間施加高頻電壓。因此，等離子體產(chǎn)生氣體在處理腔 3a中被激勵，從而產(chǎn)生等離子體。匹配單元18具有將等離子體放電電路的阻抗與高頻電源部分19的阻抗相匹配的功能，該等離子體放電電路在處理腔3a內(nèi)產(chǎn)生等離子體放電。在該實施例中，電極部分5、匹配單元18和高頻電源部分19形成通過激勵等離子體產(chǎn)生氣體來產(chǎn)生等離子體的等離子體產(chǎn)生單元。此外，具有上述結(jié)構(gòu)的真空排氣部分、供氣部分16、 電極部分5、高頻電源部分19、匹配部分18和控制這些各個部分的裝置控制部分40形成等離子體處理執(zhí)行部分。等離子體處理執(zhí)行部分通過這些各個部分對容納在處理腔3a中的待處理對象執(zhí)行等離子體處理。圓形窗口部分加形成在真空腔3的蓋子部分2的一側(cè)，操作者可以通過圓形窗口部分加從外部來觀看處理腔3a的內(nèi)部。包括電介質(zhì)構(gòu)件21和探測電極單元22的放電檢測傳感器23通過支撐構(gòu)件M從蓋子部分2的外部固定到窗口部分加。此外，在探測電極單元22的外部上，通過支撐支架25將照相機沈保持在蓋子部分2上。如圖2(b)所示，當蓋子部分2移下且形成處理腔3a時，照相機沈通過窗口部分加來拍攝處理腔3a的內(nèi)部的圖像。然后，照相機輸出所拍攝的圖像的結(jié)果作為數(shù)字化運動圖像數(shù)據(jù)。因此，可以通過運動圖像來可視地檢測在處理腔3a內(nèi)產(chǎn)生的等離子體的狀態(tài)(異常放電的產(chǎn)生狀態(tài))并記錄所檢測的狀態(tài)。因為照相機26包括LED照明部分^a，所以可以在通過開啟或關(guān)閉LED 照明部分26a而利用照明光照射處理腔3a的內(nèi)部時拍攝圖像，并且甚至當處理腔3a中沒有產(chǎn)生等離子體時也可以獲取處理腔3a內(nèi)的狀態(tài)作為圖像信息。這里將參照圖3來描述放電檢測傳感器23的結(jié)構(gòu)。由光學(xué)透明玻璃制成的電介質(zhì)構(gòu)件21被附接到形成在蓋子部分2處的窗口部分加。在處理腔3a中，在電極部分5和蓋子部分2之間產(chǎn)生等離子體。電介質(zhì)構(gòu)件21以如下形態(tài)附接到形成在真空腔3處的窗口部分加電介質(zhì)構(gòu)件21的一面面對處理腔3a中產(chǎn)生的等離子體。探測電極單元22被附接到電介質(zhì)構(gòu)件21的另一面，即真空腔3外部的那一面。探測電極單元22是集成部分，其中探測電極22b形成在玻璃板22a的一面上，而屏蔽 (shielding)電極22c形成在另一面上。當探測電極單元22被附接到電介質(zhì)構(gòu)件21且形成放電檢測傳感器23時，在探測電極22b與電介質(zhì)構(gòu)件21的外側(cè)面緊密接觸的條件下，探測電極單元22通過由導(dǎo)電金屬制成的支撐構(gòu)件M支撐在蓋子部分2處。探測電極22b通過檢測導(dǎo)線22d連接到控制部分20。當在處理腔3a中產(chǎn)生等離子體P時，探測電極22b通過電介質(zhì)構(gòu)件21和鞘(sheath) S電連接到等離子體P，所述鞘S是形成在等離子體P與電介質(zhì)構(gòu)件21之間的界面上的空間電荷層。即，如圖3所示，形成電容器C1、電容器C2和電阻器R串聯(lián)連接的電路， 其中，電容器Cl由電介質(zhì)構(gòu)件21形成，電容器C2的電容對應(yīng)于鞘S，且電阻器R具有等離子體P。在探測電極22b處感應(yīng)出與等離子體P的狀態(tài)對應(yīng)的電勢。在該實施例中，探測電極22b的電勢通過檢測導(dǎo)線22d引入到控制部分22，且由在控制部分20中提供的放電狀態(tài)檢測部分34(圖4)來分析與等離子體P的狀態(tài)對應(yīng)的電勢的改變的信號，從而作出放電狀態(tài)判斷。在處理腔3a中，當在放置在電極部分5上的板9的周圍產(chǎn)生異常放電時，在處理腔3a中產(chǎn)生的等離子體P的狀態(tài)波動。等離子體P的該波動改變上述電路的阻抗。因此， 將該波動檢測作為探測電極22b的電勢的改變。電勢的該改變被高靈敏地檢測。因此，該電勢的改變的檢測的特征在于可以精確地檢測甚至極小(minute)的改變，該改變通過相關(guān)技術(shù)的方法很少能夠檢測到。屏蔽電極22c具有電屏蔽探測電極22b的外部的功能。因此，在屏蔽電極22c處產(chǎn)生的電荷通過導(dǎo)電支撐構(gòu)件M釋放到接地的蓋子部分2。由于前面的內(nèi)容，關(guān)于在探測電極22b處感應(yīng)的電勢的改變的噪聲被降低。在該實施例中，以下述方式來形成探測電極22b和屏蔽電極22c兩者以薄膜的形狀在玻璃板22a的表面上鍍上諸如ITOandium Tin Oxide，氧化銦錫)的透明導(dǎo)電材料。 由于該結(jié)構(gòu)，當放電檢測傳感器23被附接到窗口部分加時，操作者可以利用照相機沈通過窗口部分加從蓋子部分2的外部來拍攝處理腔3a的內(nèi)部的圖像。也就是說，在該實施例中示出的放電檢測傳感器23包括板形的電介質(zhì)構(gòu)件21以及探測電極22b。板形的電介質(zhì)構(gòu)件21被附接到真空腔3，使得窗口部分加的一面面對在處理腔3a中產(chǎn)生的等離子體。 探測電極22b是由光學(xué)透明導(dǎo)電材料制成的透明電極，并且被提供在電介質(zhì)構(gòu)件21的另一面上。由于上述結(jié)構(gòu)，可以同時使用通過其來拍攝處理腔3a的內(nèi)部的圖像的窗口部分加和通過其來監(jiān)視等離子體放電狀態(tài)的探測電極22b兩者。等離子體處理裝置包括控制整體操作的控制部分20。當控制部分20控制排氣閥 12、供氣閥13、真空閥14、壓力計15、供氣部分16、真空泵17和高頻電源部分19時，可以執(zhí)行等離子體處理所必需的每個操作。此外，控制部分20接收由照相機沈拍攝的運動圖像數(shù)據(jù)。此外，控制部分20接收從形成等離子體處理執(zhí)行部分的高頻電源部分19、匹配單元 18、真空泵17、供氣部分16和壓力計15輸出的機器輸出數(shù)據(jù)、即表示當實際操作這些各個部分以執(zhí)行等離子體處理時的操作狀態(tài)的數(shù)據(jù)。顯示部分27、可移除存儲設(shè)備觀以及操作和輸入部分四連接到控制部分20。操作和輸入部分四在執(zhí)行等離子體處理操作時輸入各種操作和數(shù)據(jù)。顯示部分27顯示當由操作和輸出部分四執(zhí)行輸入操作時的操作屏幕。此外，顯示部分27顯示在控制部分20的每個存儲部分中存儲的數(shù)據(jù)等?？梢瞥鎯υO(shè)備觀是諸如USB存儲器的可移除存儲介質(zhì)， 并且存儲由照相機沈拍攝的運動圖像數(shù)據(jù)或由放電檢測傳感器23檢測的放電狀態(tài)檢測歷史數(shù)據(jù)。接下來，將參照圖4來描述控制部分20的結(jié)構(gòu)和功能。控制部分20包括A/D轉(zhuǎn)換器31、電勢改變存儲部分32、運動圖像存儲部分33、放電狀態(tài)檢測部分34、數(shù)據(jù)記錄部分 35、日期和時間數(shù)據(jù)創(chuàng)建部分36、工件(workpiece)信息存儲部分37、操作條件參數(shù)存儲部分38、輔助存儲部分39、裝置控制部分40、歷史信息存儲部分41和文件輸出部分42。
由控制部分20的結(jié)構(gòu)中的裝置控制部分40來執(zhí)行控制處理，該控制處理通過控制上述等離子體處理執(zhí)行部分來執(zhí)行等離子體處理操作。其他組件與創(chuàng)建可追溯性數(shù)據(jù)的功能有關(guān)。通過將表示通過等離子體處理裝置對其執(zhí)行等離子體處理的每個板9的處理歷史的制造歷史或處理腔3a中的放電狀態(tài)的檢測歷史改變?yōu)榫哂蓄A(yù)定格式的數(shù)據(jù)來獲得可追溯性數(shù)據(jù)。在該實施例中，如下數(shù)據(jù)被稱作歷史對象數(shù)據(jù)從上述放電檢測傳感器23輸出的并表示電勢的改變的電勢改變數(shù)據(jù)；從放電狀態(tài)檢測部分34輸出的檢測數(shù)據(jù)和判斷數(shù)據(jù)； 由照相機26在處理腔3a中拍攝的圖像數(shù)據(jù)；從匹配單元18、壓力計15和供氣部分16中輸出的機器輸出數(shù)據(jù)；等等。此外，這些歷史對象數(shù)據(jù)通過日期和時間數(shù)據(jù)與工件信息、操作條件參數(shù)等相關(guān)，并且由數(shù)據(jù)記錄部分35記錄在歷史信息存儲部分41中作為歷史數(shù)據(jù)。 工件信息指明(specify)作為待處理對象的每個板9，也即工件。操作條件參數(shù)是執(zhí)行等離子體處理的條件。此外，文件輸出部分42根據(jù)預(yù)定格式編輯存儲在歷史信息存儲部分41 中的歷史數(shù)據(jù)。因此，創(chuàng)建具有不同使用目的多類歷史文件作為可追溯性文件并將其輸出到外部。下面將描述每個功能的細節(jié)。A/D轉(zhuǎn)換器31將從探測電極22b、匹配單元18、壓力計15和供氣部分16輸出的模擬信號進行A/D轉(zhuǎn)換。在從探測電極22b輸出信號并對其進行A/D轉(zhuǎn)換之后與等離子體的狀態(tài)的改變對應(yīng)的電勢改變數(shù)據(jù)被存儲在電勢改變存儲部分32中，并且從照相機26輸出的運動圖像數(shù)據(jù)被存儲在運動圖像存儲部分33中。運動圖像存儲部分33對應(yīng)于存儲從照相機26輸出的運動圖像數(shù)據(jù)的第一存儲部分，且電勢改變存儲部分32對應(yīng)于存儲從作為透明電極的探測電極22b接收的電勢改變數(shù)據(jù)的第三存儲部分。電勢改變存儲部分32和運動圖像存儲部分33 二者具有預(yù)定存儲容量。電勢改變存儲部分和運動圖像存儲部分具有至少能夠存儲與一次等離子體處理對應(yīng)的運動圖像數(shù)據(jù)或電勢改變數(shù)據(jù)的存儲容量。將存儲在電勢改變存儲部分32和運動圖像存儲部分33中的、時間序列(time series)中的數(shù)據(jù)的舊數(shù)據(jù)替換為新數(shù)據(jù)。此外，以時間序列的方式指定特定時間點，使得可以分別指明與特定時間點對應(yīng)的電勢改變數(shù)據(jù)和運動圖像數(shù)據(jù)。放電狀態(tài)檢測部分34是監(jiān)視處理腔3a中的放電狀態(tài)的等離子體監(jiān)視器。放電狀態(tài)檢測部分34具有基于存儲在電勢改變存儲部分32中的電勢改變數(shù)據(jù)來檢測處理腔3a 中的放電狀態(tài)的功能以及基于針對作為待處理對象的每個板9的檢測數(shù)據(jù)來判斷放電狀態(tài)是好還是差的功能，諸如是否產(chǎn)生了異常放電。因為異常放電造成由于板9的熱破差等導(dǎo)致的質(zhì)量缺陷，所以需要盡可能地防止異常放電的產(chǎn)生。此外，如果檢查到異常放電的產(chǎn)生，則作為在產(chǎn)生異常放電的時間點待處理的對象的板9需要被指出并作為殘品而排除。 此外，需要記錄異常放電的產(chǎn)生歷史，并且需要能夠執(zhí)行來自后續(xù)步驟的回顧追究調(diào)查。為此目的，放電狀態(tài)檢測部分34具有監(jiān)視放電狀態(tài)的功能。將參照圖5 (a)和圖5 (b)來描述放電狀態(tài)檢測部分34的結(jié)構(gòu)和功能。如圖5 (a) 所示，放電狀態(tài)檢測部分34包括放電狀態(tài)分析部分34a、放電狀態(tài)判斷部分34b和檢測條件參數(shù)存儲部分34c。放電狀態(tài)分析部分34a執(zhí)行用于從存儲在電勢改變存儲部分32中的電勢改變數(shù)據(jù)中獲得數(shù)值的處理，該數(shù)值是放電狀態(tài)判斷部分34b判斷放電狀態(tài)是好還是差所必需的。檢測條件參數(shù)存儲部分34c存儲放電狀態(tài)分析部分34a所參考的判斷閾值或作為由放電狀態(tài)判斷部分34b判斷異常放電所參考的判斷基準的數(shù)值。接下來，將描述放電狀態(tài)分析部分34a的處理功能。圖5(b)是示出作為波形的、電勢改變數(shù)據(jù)的圖形，該電勢改變數(shù)據(jù)是在等離子體處理裝置的操作時刻從放電檢測傳感器23的探測電極22b輸出的且被存儲在電勢改變存儲部分32中。這里，圖5(b)示出檢測波形Wl和W2的示例。在判斷閾值Vl (+)被設(shè)置到正電壓側(cè)且判斷閾值V2(_)被設(shè)置到負電壓側(cè)的檢測條件下，波形Wl具有在正電壓側(cè)上超過判斷閾值Vl(+)且在負電壓側(cè)上超過判斷閾值V2(_)的圖形，并且波形W2具有在負電壓側(cè)上超過判斷閾值V2(_)的圖形。在等離子體處理裝置操作時檢測到與等離子體放電的狀態(tài)對應(yīng)的各種波形。各種波形包括表示等離子體放電正常開始的波形；以及與在電極部分5與放置在電極部分5 上的板9之間產(chǎn)生的異常放電對應(yīng)的波形，諸如異常電弧放電或不穩(wěn)定的輝光放電。因為這些波形中的每個具有特征波形圖形，所以可以通過區(qū)分所檢測到的波形圖形屬于哪種波形圖形并檢測何時及多久產(chǎn)生具有所區(qū)分的特定圖形的波形來判斷處理腔3a中的放電狀態(tài)是好還是差。放電狀態(tài)分析部分3 分析電勢改變數(shù)據(jù)，并獲得判斷放電狀態(tài)所必需的數(shù)值， 諸如波形的圖形超過判斷閾值Vl (+)和V2(_)的次數(shù)、波形Wl和W2產(chǎn)生的次數(shù)、波形Wl和 W2的產(chǎn)生時間段、或波形Wl和W2的產(chǎn)生頻率(每單位時間波形的產(chǎn)生次數(shù))。所述數(shù)值被輸出作為檢測數(shù)據(jù)(A)。放電狀態(tài)判斷部分34b通過判斷由放電狀態(tài)分析部分3 獲得的數(shù)值是否滿足預(yù)定條件來判斷是否存在異常放電或者是否達到維護時間。此外，如果在完成針對板9的等離子體處理之前沒有產(chǎn)生異常放電，則輸出“成功(Success)”作為判斷數(shù)據(jù)(B)。如果在等離子體處理期間檢測到異常放電，則輸出“錯誤(Error)”作為判斷數(shù)據(jù)(B)。判斷數(shù)據(jù)是表示放電狀態(tài)判斷的結(jié)果的數(shù)據(jù)。對已被執(zhí)行了等離子體處理的每個板9執(zhí)行放電狀態(tài)判斷。因此，可以判斷作為將由等離子體處理裝置的處理的對象的每個板9是否是已被以正常放電狀態(tài)執(zhí)行了等離子體處理的非殘品。由放電狀態(tài)分析部分34a 獲得的檢測數(shù)據(jù)(A)和由放電狀態(tài)判斷部分34b獲得的判斷數(shù)據(jù)(B) 二者被輸出到數(shù)據(jù)記錄部分35。在該實施例中，放電狀態(tài)檢測部分34、作為提供在探測電極單元22的另一面上的透明電極的探測電極22b、連接到探測電極22b的A/D轉(zhuǎn)換器31和電勢改變存儲部分32形成放電狀態(tài)檢測單元70，其檢測處理腔3a中的異常放電的產(chǎn)生。接下來，將描述數(shù)據(jù)記錄部分35的結(jié)構(gòu)和功能。數(shù)據(jù)記錄部分35具有將歷史對象數(shù)據(jù)記錄到歷史信息存儲部分41中的功能。從探測電極22b或照相機沈、供氣部分16、 壓力計15、匹配單元18和放電狀態(tài)檢測部分34中得到歷史對象數(shù)據(jù)。首先，數(shù)據(jù)記錄部分 35將等離子體監(jiān)視檢測數(shù)據(jù)記錄到歷史信息存儲部分41中。等離子體監(jiān)視檢測數(shù)據(jù)包括由上述放電狀態(tài)分析部分3 獲得的檢測數(shù)據(jù)(A)、由放電狀態(tài)判斷部分34b獲得的判斷數(shù)據(jù)(B)、以及檢測條件參數(shù)(C)。此外，數(shù)據(jù)記錄部分35包括臨時存儲部分35c、圖像數(shù)據(jù)提取部分3 和電勢改變數(shù)據(jù)提取部分3 作為內(nèi)部功能。電勢改變數(shù)據(jù)提取部分35a (電勢改變數(shù)據(jù)提取單元)具有從電勢改變存儲部分 32中提取將異常放電顯示為電勢改變的數(shù)據(jù)的功能(電勢改變數(shù)據(jù)提取處理)以及將數(shù)據(jù)記錄到歷史信息存儲部分41中作為異常放電的歷史數(shù)據(jù)的功能(電勢改變數(shù)據(jù)記錄處理)。待提取的數(shù)據(jù)的范圍包括包含至少異常放電的產(chǎn)生時段的時間段。在該實施例中，對應(yīng)于在還未產(chǎn)生異常放電時的時間與放電狀態(tài)檢測部分34檢測到異常放電的檢測時間點之間的時間段的數(shù)據(jù)(表示異常放電的產(chǎn)生狀態(tài)的電勢改變數(shù)據(jù))是待提取對象。也就是說，當放電狀態(tài)檢測部分34通過檢測數(shù)據(jù)(A)檢測到異常放電的產(chǎn)生時，電勢改變數(shù)據(jù)提取部分35a至少從作為第三存儲部分的電勢改變存儲部分32中讀出表示異常放電的產(chǎn)生狀態(tài)的電勢改變數(shù)據(jù)，并且將該電勢改變數(shù)據(jù)存儲到作為第四存儲部分的歷史信息存儲部分41中作為電勢改變數(shù)據(jù)41a。圖像數(shù)據(jù)提取部分35b (圖像數(shù)據(jù)提取單元)具有當產(chǎn)生異常放電時從運動圖像存儲部分33中提取示出異常放電的產(chǎn)生狀態(tài)的運動圖像數(shù)據(jù)的功能(圖像數(shù)據(jù)提取處理) 以及將異常放電記錄到歷史信息存儲部分41中作為能夠被可視地理解的歷史數(shù)據(jù)的功能 (運動圖像數(shù)據(jù)記錄處理)。將參照圖6描述圖像數(shù)據(jù)提取處理。在圖6中，箭頭*1表示在關(guān)閉真空腔3之后通過在處理腔3a中開始等離子體放電而執(zhí)行的等離子體處理過程中， 放電狀態(tài)檢測部分34檢測到異常放電且照相機26開始拍攝圖像的時間點。由于放電狀態(tài)檢測部分34的處理導(dǎo)致的時間延遲，實際的異常放電產(chǎn)生在檢測時間點*1之前的時間。等離子體處理中的異常放電的產(chǎn)生因素包括待處理板9的扭曲(warpage)、等離子體處理過程中板9的移動、板9中包含的有機材料或水分變?yōu)闅怏w并從板的表面排出的脫氣現(xiàn)象、雜質(zhì)材料沉積在引導(dǎo)板9的引導(dǎo)構(gòu)件8上，等等。當發(fā)生板9的扭曲或移動時， 在板9與絕緣體7之間形成縫隙，并在縫隙處產(chǎn)生異常放電。此外，當由于脫氣現(xiàn)象導(dǎo)致壓力在板9的表面上局部升高時，在該范圍內(nèi)局部產(chǎn)生異常放電，并且電荷在所沉積的雜質(zhì)材料上的積累也產(chǎn)生異常放電。在可能僅將異常放電的存在和產(chǎn)生異常放電的部分描述為圖像數(shù)據(jù)——所述圖像數(shù)據(jù)是將異常放電的產(chǎn)生狀態(tài)與產(chǎn)生因素相關(guān)聯(lián)所必需的——的情況下，在異常放電的產(chǎn)生時間點在處理腔3a中拍攝的運動圖像數(shù)據(jù)(即示出異常放電的產(chǎn)生狀態(tài)的運動圖像數(shù)據(jù))就足夠了。因此，在該情況下，圖像數(shù)據(jù)提取部分35b從作為第一存儲部分的運動圖像存儲部分33中提取運動圖像數(shù)據(jù)，并將該運動圖像數(shù)據(jù)存儲在作為第二存儲部分的歷史信息存儲部分41中作為(異常時的)運動圖像數(shù)據(jù)41b。該運動圖像數(shù)據(jù)與檢測時間點 *1和回顧時間點*2之間的時間段Tl對應(yīng)，作為可靠地包括示出異常放電的產(chǎn)生狀態(tài)的運動圖像數(shù)據(jù)的范圍，所述回顧時間點*2是至少從檢測到異常放電的檢測時間點*1回退預(yù)定回顧時間tbl的時間點。回顧時間段tbl可以至少為一秒或更多，優(yōu)選地為3秒或更多。 回顧時間段最長不可以超過等離子體產(chǎn)生時間點。同時，“檢測時間點*1和回顧時間點*2 之間的時間段Tl”意指不包括檢測時間點*1的時間段。相反，當僅通過指明產(chǎn)生異常放電的部分來獲得用于解釋產(chǎn)生因素的信息時，該信息是不夠的。需要來自等離子體處理開始時間點的運動圖像數(shù)據(jù)來檢查在產(chǎn)生異常放電之前是否發(fā)生異常放電的產(chǎn)生因素的事件，諸如板的熱變形或由于脫氣現(xiàn)象導(dǎo)致的局部壓力升高。也就是說，圖像數(shù)據(jù)提取部分35b從作為第一存儲部分的運動圖像存儲部分33中提取運動圖像數(shù)據(jù)，并將該運動圖像數(shù)據(jù)存儲在作為第二存儲部分的歷史信息存儲部分41 中作為(異常時的)運動圖像數(shù)據(jù)41b。該運動圖像數(shù)據(jù)與檢測時間點*1與至少等離子體產(chǎn)生時間點或等離子體產(chǎn)生時間點之前的第一運動圖像提取開始時間點*3之間的時間段 T2對應(yīng)。因此，可以通過運動圖像數(shù)據(jù)來檢查異常放電與在等離子體處理的執(zhí)行過程中產(chǎn)生的產(chǎn)生因素之間的相關(guān)性。同時，“檢測時間點與第一運動圖像提取開始時間點*3之間的時間段T2”意指不包括檢測時間點*1的時間段。此外，當板9被送入處理腔3a中時，需要記錄板送入操作的運動圖像數(shù)據(jù)來檢查是否已在等離子體處理的開始之前發(fā)生了作為異常放電的產(chǎn)生因素的事件，諸如板9的位置偏移。在該情況下，圖像數(shù)據(jù)提取部分3 從作為第一存儲部分的運動圖像存儲部分33 中提取運動圖像數(shù)據(jù)，并將該運動圖像數(shù)據(jù)存儲在作為第二存儲部分的歷史信息存儲部分 41中作為(異常時的)運動圖像數(shù)據(jù)41b。該運動圖像數(shù)據(jù)與檢測時間點*1和第二運動圖像提取開始時間點*4之間的時間段T3對應(yīng)。因此，可以通過運動圖像數(shù)據(jù)來檢查異常放電與在板的送入期間產(chǎn)生的產(chǎn)生因素之間的相關(guān)性，諸如板9的位置偏移或扭曲。即使在該情況下，“檢測時間點*1和第二運動圖像提取開始時間點*4之間的時間段T3”也意指不包括檢測時間點*1的時間段。由操作者預(yù)先在圖像數(shù)據(jù)提取部分35b中設(shè)置與從第一存儲部分中提取并存儲在第二存儲部分中的運動圖像數(shù)據(jù)對應(yīng)的時間段。因此，根據(jù)該設(shè)置由圖像數(shù)據(jù)提取部分 35b來執(zhí)行下面將描述的圖像數(shù)據(jù)提取處理。同時，在圖1、圖2 (a)和圖2 (b)中示出的等離子體處理裝置中，在蓋子部分2處提供照相機26，并且照相機沈與蓋子部分2—起被提升。因此，在如圖2(a)中所示的用于送入板9的操作中，照相機不能拍攝處理腔3a的內(nèi)部的圖像。為此，如果需要如上所述從送入開始時間點起來拍攝圖像，則不僅需要在蓋子部分2處提供照相機沈，而且需要在下述位置處單獨提供專用照相機在該位置處，當蓋子部分2被上移時，可以拍攝電極部分5或基座1的上表面的圖像。此外，如果圖像與板送入操作的圖像一起使用單個照相機來拍攝，則可以利用具有如圖7(a)和圖7(b)中的結(jié)構(gòu)的真空腔3A來代替真空腔3。在圖7(a)和圖7(b)中，真空腔3A由單個密封的容器50形成，并且容器50的內(nèi)部形成在其中對待處理板9執(zhí)行等離子體處理的處理腔50a。在處理腔50a中布置下電極51和上電極52。下電極具有在其上放置作為待處理對象的板9的托體(mount) 51a。上電極被布置在下電極51之上以面對下電極。在容器50的一側(cè)形成開口部分50b，通過該開口部分50b將板9送到托體51a上或從托體51a上移開，并且開口部分50b可以由開/閉機構(gòu)53來自由開閉。當開口部分 50b打開時，如圖7(a)中所示，利用吸引(suck)保持器55從上表面吸引并保持板9的板傳送機構(gòu)M在水平方向通過開口部分50b移動到下電極51上。因此，板9被放置在托體 51a 上。容器50的面對開口部分50b的相對側(cè)處形成與圖1中示出的窗口部分加一樣的窗口部分50c，以便對應(yīng)于托體51a的高度位置，并且與圖1中示出的照相機相同的照相機 26被附接到開口部分50b的外部。在通過板傳送機構(gòu)M將板9送入容器50內(nèi)的板送入操作中，可以通過操作照相機沈來拍攝板9的送入狀態(tài)的圖像并輸出運動圖像數(shù)據(jù)。圖7 (b)是示出在將板9送入容器50內(nèi)并關(guān)閉開口部分50b之后、撤回板傳送機構(gòu) 54的狀態(tài)的視圖。在該狀態(tài)下執(zhí)行要對板9執(zhí)行的等離子體處理，并且可以通過在該狀態(tài)下操作照相機26來拍攝等離子體處理過程中板9的狀態(tài)的圖像。S卩，在圖7(a)和圖7(b) 中示出的真空腔3A中，在等離子體處理過程中和板送入操作時都可以通過照相機沈來拍攝板9的狀態(tài)的圖像并輸出運動圖像數(shù)據(jù)。
當產(chǎn)生由于異常放電而導(dǎo)致的質(zhì)量缺陷時，可以在用于檢測處理腔中的異常放電的放電狀態(tài)檢測單元如上所述檢測到異常放電時通過存儲與提取對象時間段對應(yīng)的運動圖像數(shù)據(jù)來可視地了解產(chǎn)生異常放電的狀態(tài)，所述提取對象時間段被設(shè)置為包括異常放電的檢測時間點和從該異常放電的檢測時間點回退預(yù)定時間的回顧時間點，該回顧時間點諸如等離子體產(chǎn)生時間點或開始將板9送入真空腔3的操作的送入開始時間點。因此，可以獲得對于查明等離子體處理中的異常放電的原因有用的數(shù)據(jù)。同時，已經(jīng)描述了放電狀態(tài)檢測部分34檢測到異常放電時的處理。然而，當放電狀態(tài)檢測部分34沒有檢測到異常放電時，圖像數(shù)據(jù)提取部分35b提取用于證明在正常放電狀態(tài)中對板9執(zhí)行了等離子體處理的歷史圖像。優(yōu)選地是，在等離子體傾向于最穩(wěn)定的時段中拍攝的圖像(運動圖像或靜止圖像)是適合示出處理中的放電狀態(tài)的圖像，作為歷史圖像。因此，預(yù)先選擇等離子體被估計為穩(wěn)定的特定時段，并且通過事后從運動圖像存儲部分33中提取特定時段的運動圖像數(shù)據(jù)來獲得歷史圖像。在該實施例中，與圖像獲取時段*5 對應(yīng)的圖像數(shù)據(jù)(運動圖像數(shù)據(jù)或靜止圖像數(shù)據(jù))被用作歷史圖像，在停止等離子體處理的處理結(jié)束時間點t3之前瞬間設(shè)置所述圖像獲取時段*5，如圖6所示。從存儲在運動圖像存儲部分33中的運動圖像數(shù)據(jù)中導(dǎo)出靜止圖像數(shù)據(jù)，并且靜止圖像數(shù)據(jù)是運動圖像數(shù)據(jù)的一幀(一個間隙(comma))數(shù)據(jù)。當放電狀態(tài)檢測部分34沒有檢測到異常放電時，圖像數(shù)據(jù)提取部分35b從作為第一存儲部分的運動圖像存儲部分33中提取照相機26拍攝圖像的時間段中的特定時段內(nèi)的運動圖像數(shù)據(jù)或靜止圖像數(shù)據(jù)，并將該運動圖像數(shù)據(jù)或靜止圖像數(shù)據(jù)存儲到作為第二存儲部分的歷史信息存儲部分41中，作為歷史圖像數(shù)據(jù)41d。這里所獲得的運動圖像或靜止圖像被包括在下面將描述的制造歷史信息中。因此，可以根據(jù)后續(xù)步驟或組裝了板9的成品來回顧性探究和調(diào)查在等離子體處理過程中對板9適當?shù)貓?zhí)行了等離子體處理。因而，可以確保等離子體處理的可追溯性(traceability)。同時，作為歷史圖像而獲得的歷史圖像數(shù)據(jù)41d可以是運動圖像或靜止圖像中的任何一個。如果歷史圖像數(shù)據(jù)是運動圖像，則最多幾秒就足夠了。然而，出于節(jié)省存儲容量的目的，歷史圖像數(shù)據(jù)可以是靜止圖像。在數(shù)據(jù)記錄部分35處提供的臨時存儲部分35c具有臨時存儲并保持從匹配單元 18、壓力計15和供氣部分16輸出的機器輸出數(shù)據(jù)以及從日期和時間數(shù)據(jù)創(chuàng)建部分36輸出的日期和時間數(shù)據(jù)的功能。臨時存儲部分35c具有至少可以存儲與一輪的等離子體處理對應(yīng)的機器輸出數(shù)據(jù)的存儲容量。日期和時間數(shù)據(jù)創(chuàng)建部分36其中包括時鐘定時器，并且基于從數(shù)據(jù)記錄部分35輸出的日期和時間數(shù)據(jù)請求信號來向數(shù)據(jù)記錄部分35輸出指明時間點的日期和時間數(shù)據(jù)。這里輸出的日期和時間數(shù)據(jù)是能夠指明包括日期、時、分和秒的精細時刻的數(shù)據(jù)。也可以通過日期和時間數(shù)據(jù)來分別指明在異常放電等時刻發(fā)生的事件。所輸出的日期和時間數(shù)據(jù)被臨時存儲在臨時存儲部分35c中，并且被鏈接到上述機器輸出數(shù)據(jù)、存儲在電勢改變存儲部分32中的電勢改變數(shù)據(jù)、和存儲在運動圖像存儲部分33中的運動圖像數(shù)據(jù)。工件信息存儲部分37存儲工件信息，即指明作為待處理對象的板9的類型的數(shù)據(jù)以及指明應(yīng)用于該類板的操作條件參數(shù)的文件名。這些類型的工件信息由數(shù)據(jù)記錄部分35 讀出，并與各自指明處理后的板9的對象指明數(shù)據(jù)一起被存儲在歷史信息存儲部分41中， 作為處理后的工件信息41 j。對象指明數(shù)據(jù)包括指明存儲處理后的板9的倉庫(magazine)的倉庫指明數(shù)據(jù)以及表示在每個倉庫中存儲的板的位置的存儲臺架(stage)號等等。從計數(shù)器值(用于對存儲在倉庫中的板的位置(臺架號)進行計數(shù)的計數(shù)值)等中導(dǎo)出這些對象指明數(shù)據(jù)，當裝置控制部分40控制板收集機制用于將等離子體處理后的板9存儲到倉庫中的操作時參考該計數(shù)器值。由數(shù)據(jù)記錄部分35從裝置控制部分40中讀出對象指明數(shù)據(jù)， 并將其存儲到歷史信息存儲部分41中作為處理后的工件信息41 j。因此，裝置控制部分40 充當輸出用于指明待處理對象的對象指明數(shù)據(jù)的對象指明數(shù)據(jù)輸出部分。操作條件參數(shù)存儲部分38存儲為板9設(shè)置的操作條件參數(shù)，作為等離子體處理執(zhí)行部分的每個部分的操作條件。操作條件參數(shù)包括高頻電源部分19的高頻電源輸出、由供氣部分16提供的等離子體產(chǎn)生氣體的流速、執(zhí)行等離子體處理的處理時間、表示處理腔3a 中的真空的程度的處理壓力，等等。由數(shù)據(jù)記錄部分35讀出的操作條件參數(shù)被記錄到歷史信息存儲部分41中，作為表示實際應(yīng)用于作為歷史記錄對象的每個板9的操作條件的操作條件參數(shù)41h。如果當由控制部分20執(zhí)行處理時需要保持數(shù)據(jù)，則數(shù)據(jù)被頻繁和臨時地存儲到輔助存儲部分39中。裝置控制部分40控制由上述等離子體處理執(zhí)行部分執(zhí)行的等離子體處理的處理操作。當執(zhí)行等離子體處理時，基于存儲在操作條件參數(shù)存儲部分38中的操作條件的控制命令由裝置控制部分40輸出到具有上述結(jié)構(gòu)的等離子體處理執(zhí)行部分，并且等離子體處理執(zhí)行部分的每個部分根據(jù)這些控制命令而操作。在實際操作狀態(tài)下，從匹配單元18、 壓力計15和供氣部分16中輸出機器輸出數(shù)據(jù)，作為表示匹配單元、壓力計和供氣部分的操作狀態(tài)的信號。這里，記錄這些機器輸出數(shù)據(jù)，作為各個板9的處理歷史。當沒有產(chǎn)生異常放電時，機器輸出數(shù)據(jù)與期望數(shù)值相對應(yīng)。然而，當產(chǎn)生異常放電時，機器輸出數(shù)據(jù)與顯著不同于期望數(shù)值的數(shù)值相對應(yīng)。因此，可以通過在表示放電狀態(tài)檢測部分34中的判斷結(jié)果的判斷數(shù)據(jù)之外還參照機器輸出數(shù)據(jù)來更客觀地證明等離子體處理被正常執(zhí)行。以下是機器輸出數(shù)據(jù)的特定示例。首先，從供氣部分16中輸出流速數(shù)據(jù)，其表示等離子體產(chǎn)生氣體的流速的值。此外，從壓力計15中輸出真空程度信號，其表示處理腔3a 中的真空的程度。從匹配單元18中輸出RF入射信號、RF反射信號、LOAD(加載)信號、VDC 信號和PHASE (相位)信號。RF入射信號是表示從高頻電源部分19中輸出以產(chǎn)生等離子體的電功率(在高頻電路中流動)的電功率值的信號。RF反射信號是表示由于高頻電路的阻抗改變而反射的輸出電功率的電功率值的信號。LOAD信號和PHASE信號是在匹配單元18 中構(gòu)建的用于阻抗匹配的可變電容器的設(shè)置指令值，并且通過該狀態(tài)中極板之間的距離與可變距離范圍的比率(0至100%)來表示。VDC信號表示自偏置電壓的值，也即電極之間的電壓被偏置到在產(chǎn)生異常放電時的負側(cè)的電壓。在等離子體處理的執(zhí)行過程中，從裝置控制部分40中輸出表示其是預(yù)先設(shè)置的讀取時刻的機器輸出數(shù)據(jù)讀取命令，從而獲得機器輸出數(shù)據(jù)。當輸出機器輸出數(shù)據(jù)讀取命令時，數(shù)據(jù)記錄部分35 將從匹配單元18、壓力計15和供氣部分16輸出的機器輸出數(shù)據(jù)以及從日期和時間數(shù)據(jù)創(chuàng)建部分36中輸出的日期和時間數(shù)據(jù)保存到臨時存儲部分35c中；將機器輸出數(shù)據(jù)與日期和時間數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)；以及將數(shù)據(jù)記錄到歷史信息存儲部分41中作為機器輸出數(shù)據(jù)41c。此外，當數(shù)據(jù)記錄部分35要在歷史信息存儲部分41中記錄電勢改變數(shù)據(jù)、(異常時的)運動圖像數(shù)據(jù)、機器輸出數(shù)據(jù)、歷史圖像數(shù)據(jù)、檢測數(shù)據(jù)和判斷數(shù)據(jù)時，數(shù)據(jù)記錄部分在將由日期和時間數(shù)據(jù)創(chuàng)建部分36創(chuàng)建的日期和時間數(shù)據(jù)鏈接到電勢改變數(shù)據(jù)41a、 (異常時的)運動圖像數(shù)據(jù)41b和歷史圖像數(shù)據(jù)41d之后記錄這些數(shù)據(jù)。因此，可以通過公共的日期和時間數(shù)據(jù)將電勢改變數(shù)據(jù)41a、(異常時的)運動圖像數(shù)據(jù)41b和歷史圖像數(shù)據(jù)41d相關(guān)聯(lián)。也就是說，存儲在第二存儲部分中的歷史圖像數(shù)據(jù)41d和(異常時的)運動圖像數(shù)據(jù)41b以及存儲在第四存儲部分中的電勢改變數(shù)據(jù)41a包括作為連接信息的日期和時間數(shù)據(jù)，其將歷史圖像數(shù)據(jù)和運動圖像數(shù)據(jù)與電勢改變數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)。在記錄在歷史信息存儲部分41中的歷史信息中，當判斷結(jié)果是好時添加的處理后的工件信息41 j、操作條件參數(shù)41h、機器輸出數(shù)據(jù)41c、判斷數(shù)據(jù)41f和歷史圖像數(shù)據(jù) 41d與包括由等離子體處理執(zhí)行部分對待處理對象執(zhí)行的等離子體處理的處理歷史的制造歷史信息相對應(yīng)。也就是說，制造歷史信息包括每個待處理對象的放電狀態(tài)的是好還是差的判斷結(jié)果、指明處理執(zhí)行的日期和時間以及處理后的待處理對象的對象指明數(shù)據(jù)、作為等離子體處理執(zhí)行部分的每個部分的操作條件而設(shè)置的操作條件參數(shù)、以及從等離子體處理執(zhí)行部分輸出的作為表示實際操作狀態(tài)的數(shù)據(jù)的機器輸出數(shù)據(jù)。此外，電勢改變數(shù)據(jù)41a、(異常時的)運動圖像數(shù)據(jù)41b、檢測數(shù)據(jù)41e和檢測條件參數(shù)41g與表示由放電狀態(tài)檢測部分34檢測的放電狀態(tài)的檢測歷史的放電狀態(tài)檢測歷史信息相對應(yīng)。同時，如下所述，在該實施例中，當判斷放電狀態(tài)是好還是差時，僅在判斷放電狀態(tài)為差的情況下才在將這些類型的放電狀態(tài)檢測歷史信息包括在下面將描述的放電狀態(tài)檢測歷史文件的同時輸出這類放電狀態(tài)檢測歷史信息。下面，參照圖8和圖9，將描述數(shù)據(jù)記錄處理的過程，該處理在等離子體處理的執(zhí)行過程中由數(shù)據(jù)記錄部分35來提取上述制造歷史信息和放電狀態(tài)檢測歷史信息并將所提取的信息記錄到歷史信息存儲部分41中。對作為待處理對象的每個板9執(zhí)行數(shù)據(jù)記錄處理。在圖8中，當在時刻t0開始等離子體處理的操作時，首先，執(zhí)行將待處理板9送入處理腔3a中的板送入過程。也就是說，如圖2(a)所示，通過板送入臂30來推動從上游側(cè) (箭頭“a”)提供的板9的尾端部分，并且板9在被引導(dǎo)構(gòu)件8引導(dǎo)的同時被送入到電極部分5的絕緣體7的上表面上。此外，當板9被放置在絕緣體7上的處理位置處時，蓋子部分2被移下(箭頭“b”) 并得以與基座部分1接觸，并且真空腔3a被關(guān)閉，如圖2(b)所示。因此，可以由提供在蓋子部分2處的照相機26來拍攝處理腔3a的內(nèi)部的圖像，并且開始拍攝圖像以獲得運動圖像數(shù)據(jù)作為歷史信息。同時，當提供如圖7(A)和圖7(B)中示出的真空腔3A時，可以從開始送入板的送入開始時間點起由照相機26來拍攝圖像。之后，在關(guān)閉真空腔3的時刻tl操作真空泵17，從而處理腔3a的內(nèi)部開始被排為真空。當在處理腔3a中形成預(yù)定程度的真空時，操作供氣部分16并且將等離子體產(chǎn)生氣體提供到處理腔3a中。然后，在氣體流速達到特定速率的時刻t2操作高頻電源部分19， 從而高頻電壓被施加到電極部分5，且在處理腔3a中開始等離子體放電。因此，執(zhí)行對板9 的等離子體處理。隨后，在預(yù)定處理時間完畢的時刻t3停止排真空、供氣和施加高頻電壓，并且結(jié)束照相機26的圖像拍攝。此后，停止等離子體處理并且打開排氣閥12，從而處理腔3a對空氣開放。此外，從蓋子部分2被上移的時刻t4起處理腔完全對空氣開放且開始從處理腔撤離板，并且在時刻t5結(jié)束板從處理腔的撤離。因此，完成了一輪等離子體處理。在上述過程中，在結(jié)束等離子體處理的時刻t3之后，由數(shù)據(jù)記錄部分35來執(zhí)行一系列數(shù)據(jù)記錄處理，即記錄機器輸出數(shù)據(jù)、記錄日期和時間數(shù)據(jù)、記錄等離子體檢測數(shù)據(jù) (檢測數(shù)據(jù)、判斷數(shù)據(jù)和檢測條件參數(shù))、記錄操作條件參數(shù)、記錄處理后的工件信息和記錄歷史圖像。將參照圖9的流程來描述數(shù)據(jù)記錄處理。在圖8的時刻t2(即與等離子體處理的開始同時)執(zhí)行數(shù)據(jù)記錄處理。首先，數(shù)據(jù)記錄部分35將在開始等離子體處理時從日期和時間數(shù)據(jù)創(chuàng)建部分36中輸出的日期和時間數(shù)據(jù)保存到臨時存儲部分35c中(Si)。此后，數(shù)據(jù)記錄部分讀出從供氣部分16、壓力計15和匹配單元18輸出的機器輸出數(shù)據(jù)，并將機器輸出數(shù)據(jù)保存到臨時存儲部分35c中(S》。在(S》之后，數(shù)據(jù)記錄部分35檢查放電狀態(tài)檢測部分34是否檢測到異常放電(S3)。如果沒有檢測到異常放電，則數(shù)據(jù)記錄部分35判斷預(yù)定處理時間是否完畢以及等離子體放電是否結(jié)束(S6)。如果在(S6)中檢查出等離子體處理正在繼續(xù)，則數(shù)據(jù)記錄部分35重復(fù)執(zhí)行(Si)、(S2)和(S3)的處理。當?shù)入x子體處理在正常狀態(tài)中繼續(xù)(如上所述)時，由數(shù)據(jù)記錄部分35連續(xù)執(zhí)行(Si)和(S2)。結(jié)果，日期和時間數(shù)據(jù)以及機器輸出數(shù)據(jù)被以時間序列的方式存儲在臨時存儲部分35c中。如果在(S； )中檢測到異常放電，則由電勢改變數(shù)據(jù)提取部分3 來執(zhí)行電勢改變數(shù)據(jù)提取處理(S4)。此外，由圖像數(shù)據(jù)提取部分3 來執(zhí)行圖像數(shù)據(jù)提取處理(SO。在電勢改變數(shù)據(jù)提取處理中，電勢改變數(shù)據(jù)提取部分3 從電勢改變存儲部分32中提取一輪電勢改變數(shù)據(jù)，其包括表示異常放電的產(chǎn)生狀態(tài)的電勢改變數(shù)據(jù)。所提取的電勢改變數(shù)據(jù)由電勢改變數(shù)據(jù)提取部分35a臨時保存，直到在電勢改變數(shù)據(jù)記錄處理中被存儲到歷史信息存儲部分41中為止。在運動圖像記錄處理中提取與操作者預(yù)先設(shè)置的時間段(即Tl、T2 和T3)中的任一個對應(yīng)的運動圖像數(shù)據(jù)。每個時間段被設(shè)置為至少包括表示異常放電的產(chǎn)生狀態(tài)的運動圖像數(shù)據(jù)。所提取的運動圖像數(shù)據(jù)臨時由電勢改變數(shù)據(jù)提取部分3 保存， 直到在運動圖像數(shù)據(jù)記錄處理中被存儲到歷史信息存儲部分41中為止。如果在(S6)中檢查到等離子體處理結(jié)束，則由數(shù)據(jù)記錄部分35執(zhí)行一系列數(shù)據(jù)記錄處理，其將等離子體處理過程的歷史信息記錄到歷史信息存儲部分41中。同時，作為檢查到等離子體處理結(jié)束的情況，除了預(yù)定處理時間完畢和等離子體處理正常結(jié)束的情況之外，還存在檢測到異常放電時的自動停止或操作者的手動操作停止。首先，數(shù)據(jù)記錄部分35在所述一系列數(shù)據(jù)記錄處理中執(zhí)行日期和時間數(shù)據(jù)記錄處理(S7)。在該處理中，在保存在臨時存儲部分35c中的日期和時間數(shù)據(jù)之中，最后保存的日期和時間數(shù)據(jù)被存儲到歷史信息存儲部分41的日期和時間數(shù)據(jù)41k中。因此，如果等離子體放電正常結(jié)束，則歷史信息存儲部分41的日期和時間數(shù)據(jù)41k被用作執(zhí)行等離子體處理的日期和時間。如果檢測到異常放電，則歷史信息存儲部分41的日期和時間數(shù)據(jù)41k被用作檢測到異常放電的日期和時間。此后，數(shù)據(jù)記錄部分35執(zhí)行機器輸出數(shù)據(jù)記錄處理(S8)，并執(zhí)行操作條件參數(shù)記錄處理(S9)。在機器輸出數(shù)據(jù)記錄處理中，控制部分20從存儲在臨時存儲部分35c中的數(shù)據(jù)中提取與自停止等離子體放電的時刻t3起回退任意設(shè)置時間At的時刻[t3-At]對應(yīng)的機器輸出數(shù)據(jù)，并將該機器輸出數(shù)據(jù)存儲到歷史信息存儲部分41的機器輸出數(shù)據(jù)41c 中。記錄與時刻[t3-At]對應(yīng)的機器輸出數(shù)據(jù)的原因是與時刻t3對應(yīng)的機器輸出數(shù)據(jù)是表示去除等離子體之后的等離子體處理執(zhí)行部分的操作狀態(tài)的數(shù)據(jù)，并且不能作為用于可追溯性的數(shù)據(jù)。因此，時間回退到認為等離子體放電是穩(wěn)定的時刻，并且從臨時存儲部分 35c中提取與該時刻對應(yīng)的機器輸出數(shù)據(jù)并將其存儲到歷史信息存儲部分41的機器輸出數(shù)據(jù)41c中。時間At根據(jù)控制部分的處理速度而不同，但是優(yōu)選的是，時間At被設(shè)置在幾十ms至幾百ms的范圍中。此外，數(shù)據(jù)記錄部分35將在(S7)中記錄的日期和時間數(shù)據(jù)合并到機器輸出數(shù)據(jù)中作為連接信息，并且將日期和時間數(shù)據(jù)存儲到歷史信息存儲部分41 的機器輸出數(shù)據(jù)41c中?？梢岳迷谖募囊徊糠种惺褂萌掌诤蜁r間數(shù)據(jù)的方法作為合并日期和時間數(shù)據(jù)作為連接信息的方法。在操作條件參數(shù)記錄處理中，數(shù)據(jù)記錄部分35讀出存儲在操作條件參數(shù)存儲部分38中的操作條件參數(shù)，并將操作條件參數(shù)存儲到歷史信息存儲部分41的操作條件參數(shù) 41h中。此外，數(shù)據(jù)記錄部分35將在(S7)中記錄的日期和時間數(shù)據(jù)合并到操作條件參數(shù)中作為連接信息，并且將日期和時間數(shù)據(jù)存儲到歷史信息存儲部分41的操作條件參數(shù)41h 中。此后，數(shù)據(jù)記錄部分35執(zhí)行等離子體監(jiān)視檢測數(shù)據(jù)記錄處理(SlO)。從放電狀態(tài)檢測部分34中輸出的檢測數(shù)據(jù)(A)、判斷數(shù)據(jù)(B)和檢測條件參數(shù)(C)通過等離子體監(jiān)視檢測數(shù)據(jù)記錄處理而被分別存儲到歷史信息存儲部分41的檢測數(shù)據(jù)41e、判斷數(shù)據(jù)41f和檢測條件參數(shù)41g中。即使在等離子體監(jiān)視檢測數(shù)據(jù)記錄處理中，數(shù)據(jù)記錄部分35也將在 (S7)中記錄的日期和時間數(shù)據(jù)合并到檢測數(shù)據(jù)、判斷數(shù)據(jù)和檢測條件參數(shù)中作為連接信息，并且將日期和時間數(shù)據(jù)存儲到歷史信息存儲部分41中。此后，數(shù)據(jù)記錄部分35執(zhí)行處理后的工件信息記錄處理(Sll)。數(shù)據(jù)記錄部分35 從工件信息存儲部分37中讀出工件信息(指明板9的類型的信息和指明操作條件參數(shù)的文件名)，并從裝置控制部分中讀出指明每個板的對象指明數(shù)據(jù)。然后，數(shù)據(jù)記錄部分創(chuàng)建將(S7)的日期和時間數(shù)據(jù)合并到工件信息和對象指明信息中作為連接信息的處理后的工件信息。數(shù)據(jù)記錄部分35將所創(chuàng)建的處理后的工件信息存儲到歷史信息存儲部分41的處理后的工件信息41 j中。之后，數(shù)據(jù)記錄部分35檢查由放電狀態(tài)判斷部分34b執(zhí)行的板9的放電狀態(tài)是好還是差的判斷結(jié)果(S12)。板的放電狀態(tài)是好還是差的判斷結(jié)果被輸出為表示“成功 (Success)”(好)和“錯誤(Error)”(差)的判斷數(shù)據(jù)。如果判斷數(shù)據(jù)對應(yīng)于“成功”，則數(shù)據(jù)記錄部分35執(zhí)行用于記錄歷史圖像作為制造歷史的歷史圖像記錄處理(S13)，其中歷史圖像用于證明板9正常地經(jīng)歷了等離子體處理。因此，由數(shù)據(jù)記錄部分35將歷史圖像數(shù)據(jù)41d存儲到歷史信息存儲部分41中。然后，結(jié)束數(shù)據(jù)記錄處理。即使在該情況下，數(shù)據(jù)記錄部分35也將在(S7)中記錄的日期和時間數(shù)據(jù)合并到歷史圖像數(shù)據(jù)中作為連接信息， 并且將日期和時間數(shù)據(jù)存儲到歷史信息存儲部分41中。此外，如果(S12)中的結(jié)果對應(yīng)于“錯誤”，則數(shù)據(jù)記錄部分35執(zhí)行電勢改變數(shù)據(jù)記錄處理(S14)和運動圖像數(shù)據(jù)記錄處理(S15)。然后，數(shù)據(jù)記錄部分35結(jié)束數(shù)據(jù)記錄處理。在電勢改變數(shù)據(jù)記錄處理中，將由電勢改變數(shù)據(jù)提取部分35a保存的一輪電勢改變數(shù)據(jù)存儲到歷史信息存儲部分41的電勢改變數(shù)據(jù)41a中。在運動圖像數(shù)據(jù)記錄處理中，由圖像數(shù)據(jù)提取部分35b保持并包括示出異常放電的產(chǎn)生狀態(tài)的運動圖像數(shù)據(jù)的運動圖像數(shù)據(jù)被存儲到歷史信息存儲部分41的(異常時的)運動圖像數(shù)據(jù)中。由電勢改變數(shù)據(jù)提取部分3 將(S7)的日期和時間數(shù)據(jù)合并到存儲在歷史信息存儲部分41中的電勢改變數(shù)據(jù)中作為連接信息。此外，由圖像數(shù)據(jù)提取部分3 將(S7)的日期和時間數(shù)據(jù)合并到存儲在歷史信息存儲部分41中的運動圖像數(shù)據(jù)中作為連接信息。如上所述，數(shù)據(jù)記錄部分35通過執(zhí)行數(shù)據(jù)記錄處理而在歷史信息存儲部分41中存儲與板9有關(guān)的制造歷史信息和放電狀態(tài)檢測歷史信息。如上所述，每當結(jié)束對待處理對象的等離子體處理時，數(shù)據(jù)記錄部分35都在歷史信息存儲部分41中存儲日期和時間數(shù)據(jù)、機器輸出數(shù)據(jù)、操作條件參數(shù)、檢測數(shù)據(jù)、判斷數(shù)據(jù)、檢測條件參數(shù)、處理后的工件信息。此外，如果等離子體處理正常結(jié)束，則數(shù)據(jù)記錄部分 35在歷史信息存儲部分41中存儲歷史圖像數(shù)據(jù)。此外，如果產(chǎn)生異常放電，則數(shù)據(jù)記錄部分35在歷史信息存儲部分41中存儲電勢改變數(shù)據(jù)和運動圖像數(shù)據(jù)。因為作為連接信息的日期和時間數(shù)據(jù)被合并到存儲于歷史信息存儲部分41中的這些數(shù)據(jù)等中，所以可以容易地檢索和重排與具有某一線索(clue)的日期和時間數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)的數(shù)據(jù)。文件輸出部分42具有從歷史信息存儲部分41中讀出上述制造歷史信息和放電狀態(tài)檢測歷史信息的功能以及輸出信息作為制造歷史文件和放電狀態(tài)檢測歷史文件的功能。 根據(jù)需要將所創(chuàng)建的歷史文件輸出到可移除存儲設(shè)備28和臨時保存在輔助存儲部分39 中。根據(jù)使用目的，文件輸出部分42包括創(chuàng)建具有不同數(shù)據(jù)內(nèi)容的文件的制造歷史文件創(chuàng)建部分42a、等離子體監(jiān)視文件創(chuàng)建部分42b和電勢改變文件創(chuàng)建部分42c。制造歷史文件創(chuàng)建部分42a、等離子體監(jiān)視文件創(chuàng)建部分42b和電勢改變文件創(chuàng)建部分42c分別創(chuàng)建在圖10(a)、圖10(b)和圖10(c)中示出的制造歷史文件61、等離子體監(jiān)視文件62和電勢改變文件63。等離子體監(jiān)視文件62和電勢改變文件63是具有放電狀態(tài)檢測歷史信息作為數(shù)據(jù)內(nèi)容的放電狀態(tài)檢測歷史文件。放電狀態(tài)檢測歷史信息表示由放電狀態(tài)檢測部分 34檢測到放電狀態(tài)的檢測歷史。制造歷史文件61是通過以數(shù)據(jù)文件形式組織(form)制造歷史信息而得到的文件，制造歷史信息包括等離子體處理裝置的等離子體處理執(zhí)行部分對板9執(zhí)行的等離子體處理的處理歷史。制造歷史文件的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)被形成為使得裝置的用戶能夠使用該制造歷史文件作為制造管理中的可追溯性數(shù)據(jù)。如圖10(a)中所示，制造歷史文件61包括如下數(shù)據(jù)“倉庫” 61a、“存儲臺架號” 61b、“結(jié)果” 61c、“日期和時間” 61d、“設(shè)置程序” 61e、“操作條件參數(shù)” 61f、“機器輸出數(shù)據(jù)” 61g和“圖像” 61h。制造歷史文件的每行對應(yīng)于作為相應(yīng)待處理對象的一個板9?！皞}庫” 61a和“存儲臺架號” 61b是指明處理后的待處理對象的對象指明數(shù)據(jù)?！皞}庫”61a表示指明存儲等離子體處理后的板9的倉庫的數(shù)據(jù)，并且“存儲臺號” 61b表示倉庫中存儲板9的存儲臺號?！敖Y(jié)果”61c是示出板9的放電狀態(tài)是好還是差的判斷數(shù)據(jù)。當在正常放電模式中執(zhí)行等離子體處理時，輸出“成功”。當檢測到異常放電時，輸出“錯誤”及錯誤的內(nèi)容?！叭掌诤蜁r間”61d是指明執(zhí)行等離子體處理的日期和時間或者檢測到異常放電的日期和時間的日期和時間數(shù)據(jù)。指明關(guān)于板9的工件信息(即應(yīng)用于板9的工件類型和等離子體處理條件)的數(shù)據(jù)文件被輸出到“設(shè)置程序”61e?！皞}庫”61a、“存儲臺號”61b、“結(jié)果”61c、“日期和時間”61d和“設(shè)置程序”61e是與在歷史信息存儲部分41中記錄的處理后的工件信息 41 j對應(yīng)的數(shù)據(jù)。“操作條件參數(shù)”61f和“機器輸出數(shù)據(jù)”61g是與在歷史信息存儲部分41中記錄的操作條件參數(shù)41h和機器輸出數(shù)據(jù)41c分別對應(yīng)的數(shù)據(jù)。用于證明板9正常地經(jīng)歷了等離子體處理的歷史圖像(運動圖像或靜止圖像)與指明該圖像的數(shù)據(jù)名一起被輸出到“圖像” 6Ih。在本發(fā)明中，重要的是，制造歷史文件61不僅包括“結(jié)果”而且包括“機器輸出數(shù)據(jù)”61g。即使當指出是否存在異常放電的“結(jié)果”是“成功”時，也不能排除由于諸如設(shè)置放電狀態(tài)檢測部分34的檢測條件參數(shù)的錯誤或探測電極22b的失效等因素而導(dǎo)致輸出錯誤結(jié)果的可能性。然而，如果“機器輸出數(shù)據(jù)”61g被附加地包括在“結(jié)果”61c中，則使用機器輸出數(shù)據(jù)的數(shù)值證明等離子體處理執(zhí)行部分沒有執(zhí)行由于異常放電而導(dǎo)致的異常操作。 因此，“成功”被接受為更可靠的結(jié)果。此外，如果制造歷史文件61包括“操作條件參數(shù)”61f，則也可以獲得容易判斷機器輸出數(shù)據(jù)是否表示異常放電時的操作的益處。同時，雖然該實施例的制造歷史文件61已經(jīng)具有上述結(jié)構(gòu)，但是“操作條件參數(shù)” 61f和“圖像” 61h不一定需要被包括在制造歷史文件中。等離子體監(jiān)視文件62是通過以數(shù)據(jù)文件形式組織從放電狀態(tài)檢測部分34(即等離子體監(jiān)視器)中輸出的數(shù)據(jù)而得到的文件。等離子體監(jiān)視文件是為等離子體處理裝置的制造者而創(chuàng)建的，當制造者處理裝置的故障時參考該等離子體監(jiān)視文件。如圖10(b)中所示，等離子體監(jiān)視文件62包括“日期和時間”62a、“等離子體監(jiān)視檢測數(shù)據(jù)”62b和“運動圖像” 62c。等離子體監(jiān)視文件的每一行對應(yīng)于作為單個待處理對象的一個板9。“日期和時間”62a是指明執(zhí)行等離子體處理的日期和時間或者產(chǎn)生異常放電的日期和時間的日期和時間數(shù)據(jù)?！暗入x子體監(jiān)視檢測數(shù)據(jù)”62b是放電狀態(tài)檢測歷史信息。等離子體監(jiān)視檢測數(shù)據(jù)包括檢測條件參數(shù)、檢測數(shù)據(jù)和判斷數(shù)據(jù)。檢測條件參數(shù)被設(shè)置為檢測放電狀態(tài)的過程中的檢測條件。檢測數(shù)據(jù)表示從放電狀態(tài)檢測部分34中輸出的檢測結(jié)果，作為表示電勢改變數(shù)據(jù)的分析結(jié)果的數(shù)據(jù)。判斷數(shù)據(jù)表示判斷結(jié)果。同時，當判斷結(jié)果是“成功”時，針對該板9，不需要顯示與“等離子體監(jiān)視檢測數(shù)據(jù)”62b的每一項對應(yīng)的數(shù)據(jù)。僅當判斷結(jié)果是“錯誤”時，才輸出“等離子體監(jiān)視檢測數(shù)據(jù)”62b。此外，當判斷結(jié)果是“錯誤”時，在歷史信息存儲部分41中記錄的(異常時的)運動圖像數(shù)據(jù)與指明該運動圖像的數(shù)據(jù)名一起被輸出到“運動圖像” 62c。當在處理腔內(nèi)產(chǎn)生異常放電時，電勢改變文件63是通過以數(shù)據(jù)文件形式組織電勢改變數(shù)據(jù)而得到的文件。電勢改變數(shù)據(jù)以波形表示由異常放電導(dǎo)致的電勢改變的信號。 同樣，電勢改變文件63也是為等離子體處理裝置的制造者而創(chuàng)建的，當制造者處理裝置的故障時參考該電勢改變文件。如圖10(c)中所示，電勢改變文件63包括“日期和時間” 63a、 “波形數(shù)據(jù)” 63b和“運動圖像” 63c。“日期和時間” 63a是指明檢測到異常放電的日期和時間的日期和時間數(shù)據(jù)?！安ㄐ螖?shù)據(jù)” 63b是表示當放電狀態(tài)檢測部分34檢測到異常放電時通過電勢改變數(shù)據(jù)提取部分35a從電勢改變存儲部分32中讀出的電視改變的波形的數(shù)據(jù)。 與波形數(shù)據(jù)對應(yīng)且記錄在歷史信息存儲部分41中的(異常時的)運動圖像數(shù)據(jù)與指明該運動圖像的數(shù)據(jù)名一起被輸出到“運動圖像” 63c。同時，作為制造歷史文件61、等離子體監(jiān)視文件62和電勢改變文件63的數(shù)據(jù)格式，可以根據(jù)參考這些文件的主體來選擇文件格式。例如，可以選擇易于裝置的用戶為制造管理而閱讀的文件格式(諸如CSV文件格式)來作為制造歷史文件61。此外，可以為等離子體監(jiān)視文件62和電勢改變文件63選擇這樣的文件格式當必要時，能夠隱藏數(shù)據(jù)內(nèi)容， 且通常適合裝置的制造者通過網(wǎng)絡(luò)從遠程位置訪問以參考這些歷史文件。因此，可以方便且適當?shù)毓芾砥渥鳛閮?nèi)容的數(shù)據(jù)特征彼此不同的多類歷史文件。文件輸出部分42在顯示部分27上顯示如圖11(a)所示的文件輸出屏幕64。文件輸出部分42向可移除存儲設(shè)備觀輸出根據(jù)來自文件輸出屏幕64的操作按鈕的輸入而輸出的文件。在文件輸出屏幕64上提供4個操作按鈕，其對應(yīng)于“制造歷史”6 、“等離子體監(jiān)視歷史”64b、“電勢改變數(shù)據(jù)”6 和“當前數(shù)據(jù)”64d。根據(jù)目的，通過任一個操作按鈕的操作以不同的組合形式輸出“制造歷史”、“等離子體監(jiān)視歷史”、“電勢改變數(shù)據(jù)”和“當前數(shù)據(jù)”。也就是說，通過“制造歷史” 64a的操作，在時段輸入欄64e中顯示輔助輸入對要保持的時段的結(jié)束時間的指定以及輔助在選擇是否附加圖像的復(fù)選框64f中輸入復(fù)選標記的屏幕。同時，根據(jù)該時間點自動顯示要保持的時段的起始日。通過輸入要保持的時段的結(jié)束時間和復(fù)選標記，與所指定的要保持的時段對應(yīng)的制造歷史文件61 (圖10(a))被輸出到可移除存儲設(shè)備觀。當裝置的用戶要輸出制造歷史文件61作為用于制造管理的數(shù)據(jù)時，選擇該輸出操作。類似地，通過“等離子體監(jiān)視歷史”64b的操作，在時段輸入欄64g中顯示輔助輸入對要保持的時段的結(jié)束時間的指定以及輔助在用于選擇是否附加圖像的復(fù)選框64h中輸入復(fù)選標記的屏幕。通過輸入要保持的時段的結(jié)束時間和復(fù)選標記，與所指定的要保持的時段對應(yīng)的制造歷史文件61和等離子體監(jiān)視文件62 (圖10(b))被輸出到可移除存儲設(shè)備觀。當裝置的制造者要將制造歷史信息與異常放電檢測歷史信息相比較并回顧性地探究和調(diào)查發(fā)生問題(諸如等離子體處理質(zhì)量的缺陷)時的問題成因時，選擇該輸出操作。通過“電勢改變數(shù)據(jù)” 64c的操作來顯示如圖11(b)示出的電勢改變數(shù)據(jù)輸出屏幕56，并且可以從多個電勢改變數(shù)據(jù)中僅選擇被判斷為必需的數(shù)據(jù)。即，在電勢改變數(shù)據(jù)輸出屏幕56上已經(jīng)以表格的形式顯示了示出在歷史信息存儲部分41中記錄的波形數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)顯示欄65a。列出了以時間序列的方式對這些數(shù)據(jù)給出的數(shù)據(jù)號6 和與這些數(shù)據(jù)號6 對應(yīng)的數(shù)據(jù)名65c (這里，產(chǎn)生異常放電時的日期和時間被原樣地用作相應(yīng)數(shù)據(jù)的文件名)。當要輸出電勢改變數(shù)據(jù)時，首先，基于產(chǎn)生異常放電的日期和時間來從數(shù)據(jù)顯示欄 65a中列出的多個數(shù)據(jù)中選擇數(shù)據(jù)。此外，光標指向被判斷為不必要的數(shù)據(jù)，并且通過“刪除”6 的操作來刪除這些不必要的數(shù)據(jù)。當要取消“刪除”操作時，操作“返回”65d。如果數(shù)據(jù)量較大，則通過操作“下一頁”65f來顯示下一頁，并且執(zhí)行如上所述的相同操作。當對復(fù)選框65g輸入了復(fù)選標記以選擇是否附加圖像/運動圖像時，通過“執(zhí)行” 65h的操作將所選擇的電勢改變數(shù)據(jù)輸出到可移除存儲設(shè)備觀。當在發(fā)生上述問題時判斷需要作為波形可視地檢查電勢改變數(shù)據(jù)時，選擇該輸出操作。此外，以制造歷史文件61、等離子體監(jiān)視文件62和電勢改變文件63的形式輸出在那個時間點記錄的所有歷史信息，并通過“當前數(shù)據(jù)” 64d的操作將其存儲到可移除存儲設(shè)備觀中。因此，可以防止分散(dissipation)所獲得的歷史數(shù)據(jù)。所有如上創(chuàng)建并輸出的制造歷史文件61、等離子體監(jiān)視文件62和電勢改變文件 63都具有包括連接信息的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，該連接信息通過公共的日期和時間數(shù)據(jù)將其歷史文件的各個數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)。為此，即使這些文件被作為獨立文件輸出，也可以通過公共的日期和時間來比較這些歷史文件的相應(yīng)數(shù)據(jù)并在處理問題時合適地分析因素。如上所述，可以為各個產(chǎn)品安排諸如制造歷史信息或放電狀態(tài)檢測歷史信息的處理歷史信息，并且可以根據(jù)需要以良好的操作性輸出它們。因此，可以確保對各個產(chǎn)品的等離子體處理的質(zhì)量，可以根據(jù)已發(fā)生問題的后續(xù)步驟來執(zhí)行回顧性調(diào)查，并可以保證等離子體處理中的可追溯性。同時，在該實施例中，在制造歷史文件61、等離子體監(jiān)視文件62和電勢改變文件 63中已包括了運動圖像或靜止圖像的數(shù)據(jù)。然而，諸如這些運動圖像或靜止圖像的圖像數(shù)據(jù)并非制造歷史信息或放電狀態(tài)檢測歷史信息的必要組成，并且可以不包括這些圖像數(shù)據(jù)。雖然已參照具體或特定實施例描述了本發(fā)明，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說顯然的是，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，本發(fā)明可以具有各種修改或改變。本申請基于2009年1月26日提交的日本專利申請(日本專利申請 No. 2009-013993)，通過引用將其全部內(nèi)容合并于此。工業(yè)實用性根據(jù)本發(fā)明的等離子體處理裝置具有獲得對查明等離子體處理中的異常放電的原因有用的數(shù)據(jù)并確?？勺匪菪缘膬?yōu)點，并且在對諸如板的待處理對象執(zhí)行等離子體處理
的領(lǐng)域有用。附圖標記說明2 蓋子部分2a 窗口部分3 真空腔3a 處理腔5:電極部分9 板15 壓力計16 供氣部分17 真空泵18 匹配單元19:高頻電源部分21 電介質(zhì)構(gòu)件22:探測電極單元22b 探測電極23 放電檢測傳感器26 照相機P 等離子體
權(quán)利要求
1.一種等離子體處理裝置，包括 真空腔，形成容納待處理對象的處理腔；等離子體處理執(zhí)行部分，在所述處理腔中的減小的壓力狀態(tài)下將等離子體產(chǎn)生氣體引入所述處理腔中，通過施加高頻電壓來激勵所述等離子體產(chǎn)生氣體，并對容納在所述處理腔中的待處理對象執(zhí)行等離子體處理；以及放電狀態(tài)檢測單元，檢測所述處理腔中的異常放電， 其中，所述等離子體處理裝置包括 窗口部分，形成在所述真空腔處；照相機，通過所述窗口部分來拍攝所述真空腔的內(nèi)部的圖像，并輸出運動圖像數(shù)據(jù)； 第一存儲部分，存儲從所述照相機輸出的運動圖像數(shù)據(jù)； 第二存儲部分，存儲從所述第一存儲部分中提取的運動圖像數(shù)據(jù)；以及圖像數(shù)據(jù)提取單元，從所述第一存儲部分中提取所述運動圖像數(shù)據(jù)并且將所提取的運動圖像數(shù)據(jù)存儲到所述第二存儲部分中，其中，當所述放電狀態(tài)檢測單元檢測到所述異常放電時，所述圖像數(shù)據(jù)提取單元從所述第一存儲部分中至少提取示出所述異常放電的產(chǎn)生狀態(tài)的運動圖像數(shù)據(jù)，并且將所提取的運動圖像數(shù)據(jù)存儲到所述第二存儲部分中，并且其中，當?shù)入x子體處理結(jié)束而沒有檢測到所述異常放電時，所述圖像數(shù)據(jù)提取單元從所述第一存儲部分中提取預(yù)定特定時段的運動圖像數(shù)據(jù)或從所述第一存儲部分的運動圖像數(shù)據(jù)中導(dǎo)出的特定時段的靜止圖像數(shù)據(jù)，并將所提取的運動圖像數(shù)據(jù)或所提取的靜止圖像數(shù)據(jù)存儲到所述第二存儲部分中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體處理裝置，其中，所述窗口部分包括附接到所述真空腔的板形電介質(zhì)構(gòu)件，使得所述板形電介質(zhì)構(gòu)件的一面面對在所述處理腔中產(chǎn)生的等離子體，并且其中，所述放電狀態(tài)檢測單元包括透明電極，被提供在所述電介質(zhì)構(gòu)件的另一面上； 以及放電狀態(tài)分析部分，接收根據(jù)所述等離子體的改變而在所述透明電極處感應(yīng)的電勢的改變，并檢測異常放電的產(chǎn)生。
全文摘要
一種等離子體處理裝置，能夠獲得對確定在等離子體處理期間的異常放電的原因有用的數(shù)據(jù)并能夠確?？勺匪菪?。該等離子體處理裝置在處理腔(3a)中持有基板(9)以使其經(jīng)歷等離子體處理。該等離子體處理裝置被提供有放電檢測傳感器(23)，檢測處理腔(3a)內(nèi)部的異常放電；以及照相機(26)，通過窗口部分(2a)拍攝處理腔(3a)內(nèi)部的圖像并輸出運動圖像數(shù)據(jù)。當已檢測到異常放電時，等離子體處理裝置存儲與一時間段對應(yīng)的運動圖像數(shù)據(jù)，該時間段包括檢測到異常放電的時間，并且當未檢測到異常放電時，等離子體處理裝置存儲示出正常放電狀態(tài)的運動圖像或靜止圖像的數(shù)據(jù)作為示出已執(zhí)行等離子體處理的正常歷史圖像數(shù)據(jù)。因此，可以獲得對確定等離子體處理中的異常放電的原因有用的數(shù)據(jù)并確保可追溯性。
文檔編號H01L21/304GK102293064SQ201080005409
公開日2011年12月21日 申請日期2010年1月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月26日
發(fā)明者土師宏, 有田潔, 野野村勝 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社